特許 6765864 リニアモータ及びリニアスライダ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6765864

(24)【登録日】2020年9月18日

(45)【発行日】2020年10月7日

(54)【発明の名称】リニアモータ及びリニアスライダ

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/03 20060101AFI20200928BHJP

【ＦＩ】

   H02K41/03 A

【請求項の数】6

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2016-116614(P2016-116614)

(22)【出願日】2016年6月10日

(65)【公開番号】特開2017-221089(P2017-221089A)

(43)【公開日】2017年12月14日

【審査請求日】2019年2月13日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000003458

【氏名又は名称】芝浦機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001634

【氏名又は名称】特許業務法人 志賀国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】星川 朋之

(72)【発明者】

【氏名】山田 智広

【審査官】 津久井 道夫

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−１１９６１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２９９９７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 中国実用新案第２０４６６９１９８（ＣＮ，Ｕ）

【文献】 特開２００２−３０５８６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／００６３６８７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０２Ｋ ４１／０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定子及び可動子と、
前記固定子及び前記可動子のうち一方の第１部材から他方の第２部材に向かって立設され、厚さ方向に並んで配置された複数の第１板状部材と、
前記第２部材から前記第１部材に向かって立設され、前記複数の第１板状部材のそれぞれを挟んで厚さ方向に並んで配置され、前記複数の第１板状部材との対向面に磁石またはコイルを支持する複数の第２板状部材と、を備え、
前記複数の第２板状部材は、厚さ方向の端部に配置された端部板状部材と、厚さ方向の端部以外に配置された中間板状部材と、を備え、
前記中間板状部材が複数設けられ、
前記複数の中間板状部材同士並びに前記端部板状部材及び前記中間板状部材を接続するオーステナイト系のステンレスや銅やアルミニウムや樹脂で形成され、平面視した幅方向の中心線を中心として対称（線対称）となる形状をなしたベース部材を備え、
前記ベース部材が複数設けられ、
前記中間板状部材の厚さは、前記端部板状部材の厚さの２倍より薄い、
リニアモータ。

【請求項2】

前記可動子は、前記コイルを有し、
前記固定子は、前記磁石を有する、
請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項3】

前記中間板状部材の一面及び前記一面の背後の背面で、前記磁石またはコイルが支持されている、請求項１または２に記載のリニアモータ。

【請求項4】

前記端部板状部材と前記中間板状部材とを締結する締結部材が設けられている、請求項１から３のうちのいずれか一項に記載のリニアモータ。

【請求項5】

前記端部板状部材と前記中間板状部材には、前記締結部材が配置される締結部が設けられ、
前記締結部は、第１締結部と第２締結部とを有しており、
前記中間板状部材に、前記第１締結部と前記第２締結部とが交互に並んで設けられている、請求項４に記載のリニアモータ。

【請求項6】

請求項１から５のうちのいずれか一項に記載のリニアモータと、
前記複数の第１板状部材を連結する連結部材と、を備える、リニアスライダ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、リニアモータ及びリニアスライダに関する。

【背景技術】

【0002】

コアレスリニアモータは、磁気回路構造を有するモータである。コアレスリニアモータは、磁石またはコイルを可動子の移動方向に直交する方向に並設する際に有効な構造を有する。この種のリニアモータでは、大きな推力が要求される場合、例えばコイル量を増加させる工夫が施されている。ところが、コイル量の増加にも限界があることから、さらなる推力の向上の要求に応えることが難しかった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６−０２５８１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、推力の向上に寄与できるリニアモータ及びリニアスライダを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

実施形態のリニアモータは、固定子及び可動子と、第１板状部材と、第２板状部材と、ベース部材と、を持つ。第１板状部材は、前記固定子及び前記可動子のうち一方の第１部材から他方の第２部材に向かって立設され、厚さ方向に並んで配置されている。第２板状部材は、前記第２部材から前記第１部材に向かって立設され、前記複数の第１板状部材のそれぞれを挟んで厚さ方向に並んで配置され、前記複数の第１板状部材との対向面に磁石またはコイルを支持する。複数の第２板状部材は、端部板状部材と、中間板状部材と、を持つ。端部板状部材は、厚さ方向の端部に配置されている。中間板状部材は、厚さ方向の端部以外に配置されている。前記中間板状部材が複数設けられる。ベース部材は、前記複数の中間板状部材同士並びに前記端部板状部材及び前記中間板状部材を接続する。ベース部材は、オーステナイト系のステンレスや銅やアルミニウムや樹脂で形成される。ベース部材は、平面視した幅方向の中心線を中心として対称（線対称）となる形状をなす。前記ベース部材が複数設けられる。前記中間板状部材の厚さは、前記端部板状部材の厚さの２倍より薄い。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】一実施形態のリニアモータの斜視図。

【図2】一実施形態のリニアモータの分解斜視図。

【図3】固定子のヨークとベースの接続部分の平断面図。

【図4】可動子の斜視図。

【図5】一実施形態のリニアモータを備えるリニアスライダの斜視図。

【図6】（Ａ）は、固定子が一つのリニアモータの斜視図、（Ｂ）は、固定子が一つのリニアモータを３個並設した状態の斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、実施形態のリニアモータについて、図面を用いて説明する。
なお、各実施形態において共通する部材については共通の番号を付し、その説明を省略することがある。また、図１に示すＸ方向を幅方向、Ｙ方向を奥行き方向、Ｚ方向を高さ方向ともいう。また、Ｘ方向の一側（矢視している側）を「右側」、他側を「左側」ともいう。Ｙ方向の一側（矢視している側）を「奥側」、他側を「手前側」ともいう。Ｚ方向の一側（矢視している側）を「上側」、他側を「下側」ともいう。

【0008】

図１は、一実施形態のリニアモータの斜視図、図２は、一実施形態のリニアモータの分解斜視図である。図１及び図２に示すように、リニアモータ１０は、固定子（第２部材）２０及び可動子（第１部材）３０を備える。リニアモータ１０は、可動子３０に鉄心が設けられていない、いわゆるコアレスモータである。

【0009】

固定子２０は、４枚のヨーク２１（第２板状部材）と、３枚のベース（ベース部材）２２とを備えている。以下、４枚のヨーク２１について、幅方向（厚さ方向）の一側から順に第１ヨーク２１Ａ（端部板状部材）、第２ヨーク２１Ｂ（中間板状部材）、第３ヨーク２１Ｃ（中間板状部材）、第４ヨーク２１Ｄ（端部板状部材）ということがある。同様に、３枚のベース２２について、幅方向の一側から順に第１ベース２２Ａ、第２ベース２２Ｂ、第３ベース２２Ｃということがある。

【0010】

ヨーク２１は、板状をなしている。ヨーク２１は、いずれも高さ方向及び奥行き方向に延在して設けられている。ヨーク２１は、固定子２０から可動子３０に向かって立設されている。４枚のヨーク２１のうち、隣り合うヨーク２１は、いずれも略同一の幅をおいて配置されている。
ヨーク２１は、鉄鋼によって形成されている。ヨーク２１は、鉄鋼以外のステンレスや他の磁性体で形成されていてもよい。

【0011】

第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄは、幅方向に並んで配置されている。第１ヨーク２１Ａ及び第４ヨーク２１Ｄは、幅方向の端部に配置されている。第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃは、第１ヨーク２１Ａと第４ヨーク２１Ｄとの間に配置されている。第１ヨーク２１Ａと第４ヨーク２１Ｄとの間は、幅方向の端部以外の位置である。
第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄの厚さは、互いに同一である。このため、第２ヨーク２１Ｂの厚さは、第１ヨーク２１Ａの厚さ及び第４ヨーク２１Ｄの厚さの２倍より薄い。同様に、第３ヨーク２１Ｃの厚さは、第１ヨーク２１Ａの厚さ及び第４ヨーク２１Ｄの厚さの２倍より薄い。

【0012】

ベース２２は、隣り合うヨーク２１における高さ方向下端部同士の間に配置されている。４枚のヨーク２１は、３枚のベース２２によって接続されている。ベース２２は、細長い板状をなしている。ベース２２は、いずれも幅方向及び奥行き方向に延在して設けられている。
ベース２２は、例えばオーステナイト系のステンレスによって形成されている。ベース２２は、ステンレス以外の金属、例えば銅やアルミニウムで形成されていてもよい。また、金属以外の素材、例えば樹脂で形成されていてもよい。

【0013】

永久磁石２３は、ヨーク２１の一面（可動子３０の収納部３１Ｂ（図４参照）との対向面）に複数支持されている。複数の永久磁石２３は、奥行き方向に並んで配置されている。隣り合う永久磁石２３は、相反する磁極とされている。例えば、ヨーク２１の先端に設けられた永久磁石２３の磁極がＮ極である場合、その隣の永久磁石２３の磁極はＳ極である。
永久磁石２３は、ヨーク２１の左面（一面）及び右面（一面の背後の背面）の双方において複数支持されている。例えば、第１ヨーク２１Ａの右面と第２ヨーク２１Ｂの左面には、それぞれ複数の永久磁石２３が支持されている。同様に、第２ヨーク２１Ｂの右面と第３ヨーク２１Ｃの左面には、複数の永久磁石２３が支持されている。また、ヨーク２１を挟んで対称位置にある永久磁石２３同士の磁極は、互いに相反する磁極とされている。
隣り合うヨーク２１のうち、一のヨーク２１の左面及び他のヨーク２１の右面に支持される向かい合う永久磁石２３の磁極は、互いに相反する磁極とされている。例えば、第１ヨーク２１Ａの右面に支持される永久磁石２３に第２ヨーク２１Ｂの左面に支持される永久磁石２３が向かい合っている。このうち、第１ヨーク２１Ａの右面に支持される永久磁石２３の磁極は、向かい合う第２ヨーク２１Ｂの左面に支持される永久磁石２３の磁極と相反している。

【0014】

ヨーク２１及びベース２２の下端部には、ボルト締結部（締結部）２４が設けられている。ボルト締結部２４は、図３にも示すように、第１締結孔（第１締結部）２４Ａと第２締結孔（第２締結部）２４Ｂと第３締結孔２４Ｃとを備えている。第１締結孔２４Ａ及び第２締結孔２４Ｂは、ヨーク２１に形成されている。第３締結孔２４Ｃは、ベース２２に形成されている。
ヨーク２１において、第１締結孔２４Ａと第２締結孔２４Ｂとは、奥行き方向に沿って等間隔で離間して配置されている。第１締結孔２４Ａと第２締結孔２４Ｂとは、交互に配置されている。ベース２２において、第３締結孔２４Ｃは、奥行き方向に沿って等間隔で離間して配置されている。ヨーク２１は、第１締結孔２４Ａと第２締結孔２４Ｂとをそれぞれ３個ずつ備えている。ベース２２は、第３締結孔２４Ｃを６個備えている。

【0015】

ヨーク２１における隣接する第１締結孔２４Ａと第２締結孔２４Ｂの軸間の距離は、ベース２２における隣接する第３締結孔２４Ｃの軸間の距離と同一とされている。
ヨーク２１の先端部に最も近い位置の第１締結孔２４Ａからヨーク２１の先端部までの距離を距離Ａとする。ヨーク２１の後端部に最も近い位置の第２締結孔２４Ｂからヨーク２１の後端部までの距離を距離Ｂとする。このとき、距離Ａと距離Ｂとは同一である。
ベース２２の先端部に最も近い位置に配置された第３締結孔２４Ｃからベース２２の先端部までの距離を距離Ｃとする。ベース２２の後端部に最も近い位置に配置された第３締結孔２４Ｃからベース２２の後端部までの距離を距離Ｄとする。このとき、距離Ｃと距離Ｄとは同一である。

【0016】

ヨーク２１及びベース２２は、いずれも平面視した幅方向の中心線を中心として対称（線対称）となる形状（以下「対称形状」という）をなしている。このため、ヨーク２１及びベース２２は、先端部と後端部との位置を取り換えても、第１締結孔２４Ａ〜第３締結孔２４Ｃをボルト（締結部材）２５で締め付けることによって締結可能である。
図３に示す例では、第１ヨーク２１Ａにおいては、先端部に近い位置に第１締結孔２４Ａが配置されている。第２ヨーク２１Ｂにおいては、先端部に近い位置に第２締結孔２４Ｂが配置されている。第１ヨーク２１Ａと第２ヨーク２１Ｂでは、第１締結孔２４Ａと第２締結孔２４Ｂとが千鳥に配置される。同様に、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄでは、隣接するヨーク２１間で、第１締結孔２４Ａと第２締結孔２４Ｂとが千鳥に配置される。

【0017】

第１締結孔２４Ａ、第２締結孔２４Ｂ、及び第３締結孔２４Ｃには、ボルト２５が配置される。第１締結孔２４Ａは、ボルト２５のねじ部の径と略同径の細径孔２４Ａ１と、ボルトの頭部の径よりも大径の太径孔２４Ａ２と、を備えている。太径孔２４Ａ２は、ヨーク２１の左右両側のそれぞれに設けられている。このため、第１締結孔２４Ａには、幅方向の左右のどちら側からもボルト２５をねじ込むことができる。
細径孔２４Ａ１は、２個の太径孔２４Ａ２を繋いで設けられている。第１締結孔２４Ａは、ヨーク２１を幅方向に貫通している。細径孔２４Ａ１には、ボルト２５のねじ部がねじ込まれるねじ溝が切られている。
第２締結孔２４Ｂは、ボルトのねじ部の径と略同径を成している。第２締結孔２４Ｂは、ボルト２５のねじ部がねじ込まれるねじ溝が切られている。このため、第２締結孔２４Ｂに対して、ボルト２５を締付可能とされている。第２締結孔２４Ｂは、ヨーク２１を貫通している。このため、ヨーク２１及びベース２２は、第２締結孔２４Ｂの左右両側のいずれからねじ込まれたボルト２５によっても締結可能である。
ベース２２における第３締結孔２４Ｃは、貫通孔であり、ねじ溝が切られていない。このため、ボルト２５のねじ部は、第３締結孔２４Ｃを貫通する。また、第３締結孔２４Ｃには、ボルト２５のねじ部がねじ込まれるねじ溝が切られていてもよい。この場合、ベース２２を貫通するボルト２５のねじ部にボルト２５のねじ部がねじ込まれる。

【0018】

第１ヨーク２１Ａの第１締結孔２４Ａには、ボルト２５がねじ込まれている。ボルト２５のねじ部は、第１ベース２２Ａの第３締結孔２４Ｃを貫通し、第２ヨーク２１Ｂの第２締結孔２４Ｂにねじ込まれる。第１ヨーク２１Ａにおける３個の第１締結孔２４Ａには、ボルト２５がねじ込まれている。第１ヨーク２１Ａ、第１ベース２２Ａ、及び第２ヨーク２１Ｂは、３本のボルトによって締め付けられる。

【0019】

同様に、第２ヨーク２１Ｂの第１締結孔２４Ａ、第２ベース２２Ｂの第３締結孔２４Ｃ、及び第３ヨーク２１Ｃの第２締結孔２４Ｂがボルト２５によって締め付けられる。第３ヨーク２１Ｃの第１締結孔２４Ａ、第３ベース２２Ｃの第３締結孔２４Ｃ、及び第４ヨーク２１Ｄの第２締結孔２４Ｂがボルト２５によって締め付けられる。

【0020】

可動子３０は、隣接する２枚のヨーク２１の間に配置されている。可動子３０は、４枚のヨーク２１によって形成された３個の溝部のそれぞれに配置されている。リニアモータ１０は、３個の可動子３０を備えている。図４は、可動子３０の斜視図である。図４に示すように、可動子３０は、ケース３１と、コイル３２と、接続部３３と、を備えている。

【0021】

ケース３１は、樹脂等の非磁性体製である。ケース３１は、ケース上部３１Ａと、収納部（第１板状部材）３１Ｂと、を備えている。ケース３１は、正面視した形状が略Ｔ字形状をなしている。ケース上部３１Ａは、中実である。収納部３１Ｂは、中空である。ケース上部３１Ａは、中空であってもよい。
ケース上部３１Ａは、幅方向に延在する板材である。ケース上部３１Ａの幅は、隣接するヨーク２１の内側辺同士の間の幅よりも広い。ケース上部３１Ａの幅は、隣接するヨーク２１の外側側辺同士の間の幅よりも狭い。ケース上部３１Ａの奥行き方向の長さは、ヨーク２１の奥行き方向の長さよりも短い。

【0022】

収納部３１Ｂは、隣接するヨーク２１の間に配置されている。収納部３１Ｂは、高さ方向に延在する板材である。収納部３１Ｂは、可動子３０から固定子２０に向かって立設されている。収納部３１Ｂは、ケース上部３１Ａの下面に接続されている。収納部３１Ｂの幅は、隣接するヨーク２１の内側辺同士の間の幅よりも狭い。収納部３１Ｂは、隣接するヨーク２１の内側面にそれぞれ取り付けられた永久磁石２３同士の間の幅よりも狭い。収納部３１Ｂの奥行き方向の長さは、ケース上部３１Ａの奥行き方向の長さと同じである。

【0023】

コイル３２は、収納部３１Ｂの中空空間に配置されている。コイル３２は、鉄心が設けられていないコアレスコイルである。収納部３１Ｂの中空空間には、３個のコイル３２が収納されている。３個のコイル３２は、奥行き方向に沿って並設されている。このため、コイル３２は、幅方向に見て永久磁石２３に挟まれた位置に配置されている。また、奥行き方向に隣接する３個のコイル３２は、およそ３個の永久磁石２３同士に挟まれた位置に配置されている。

【0024】

接続部３３は、例えば金属製である。接続部３３は、樹脂など他の材料で形成されていてもよい。接続部３３の外形は、ケース３１のケース上部３１Ａの外形とほぼ同一である。接続部３３には、図示しないボルト等によってケース３１のケース上部３１Ａに接合されている。接続部３３は、ケース３１の移動に伴って移動する。

【0025】

コイル３２には、図示しない電気回路が接続されており、電気回路は、コイル３２に三相交流の電流を供給する。電力が供給されたコイル３２には、磁力が生じて磁気回路を構成する。コイル３２に生じた磁力と、固定子２０のヨーク２１に支持された永久磁石２３の磁力による磁気回路によって、コイル３２が設けられた可動子３０が移動する。固定子２０のヨーク２１に支持された永久磁石２３は、コイル３２を収納する収納部３１Ｂを挟んで奥行き方向に並設されている。このため、可動子３０は、奥行き方向に移動する。
また、コイル３２に供給する電流の方向の正逆を逆転させると、可動子３０に働く力も逆転する。このため、コイル３２に供給する電流の方向を変えることにより、可動子３０は、奥行き方向に沿って往復移動する。

【0026】

第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄは、幅方向に並べられている。また、可動子３０は、奥行き方向に移動する。このように、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄは、可動子３０の移動方向に直交する方向に並べられている。

【0027】

図５は、一実施形態のリニアモータを備えるリニアスライダの斜視図である。図５に示すように、リニアスライダ４は、図１及び図２に示すリニアモータ１０と、スライダ４０と、を備える。スライダ４０は、リニアモータ１０の上方に配置されている。スライダ４０は、スライダベース４１と、レール４２と、スライダ部材（連結部材）４３と、を備えている。
スライダベース４１は、上方が開口する略コ字形状をなしている。スライダベース４１の内側には、リニアモータ１０が収容されている。
レール４２は、スライダベース４１の両壁部の上面にそれぞれ設けられている。レール４２は、奥行き方向に沿って延在している。レール４２は、第１ヨーク２１Ａ及び第４ヨーク２１Ｄの奥行き方向とほぼ全長にわたって延在している。

【0028】

スライダ部材４３は、平面部４３Ａと、鉛直部４３Ｂと、走行部４３Ｃと、を備えている。スライダ部材４３は、例えば金属製である。スライダ部材４３は、樹脂など他の材料で形成されていてもよい。
平面部４３Ａは、板状をなしている。平面部４３Ａは、３個の可動子３０における接続部３３にそれぞれ図示しないボルト等によって接合されている。平面部４３Ａは、３個の可動子３０を連結している。スライダ部材４３は、３個の可動子３０と一体となって移動する。

【0029】

鉛直部４３Ｂは、平面部４３Ａの幅方向の左右両端辺のそれぞれに設けられている。鉛直部４３Ｂは、平面部４３Ａの左右端辺から下方に向けて延在している。鉛直部４３Ｂの高さ方向の長さは、可動子３０における接続部３３の高さ方向の長さよりも短くされている。

【0030】

走行部４３Ｃは、左右の鉛直部４３Ｂの双方の底面における先端部及び後端部のそれぞれ取り付けられている。走行部４３Ｃはスライド構造をなしており、レール４２に噛み合っている。スライド構造は、レール４２の長手方向に沿って移動可能な構造である。走行部４３Ｃは、レール４２の長手方向に沿って移動可能である。

【0031】

３個の可動子３０に設けられるコイル３２には、それぞれの可動子３０が同一方向に移動する方向に電流が供給される。このため、３個の可動子３０は、常に同一方向に移動する。スライダ部材４３は、３個の可動子３０の移動に伴ってレール４２上を移動する。このため、スライダ部材４３は、奥行き方向に沿って往復移動可能とされている。

【0032】

上記のリニアモータ１０は、３個の可動子３０を備えており、これらの可動子３０のコイル３２は、それぞれヨーク２１に挟まれて配置されている。ヨーク２１の両側面には、それぞれ複数の永久磁石２３が並べられている。このため、３個の可動子３０におけるコイル３２のそれぞれに対して、磁気回路が構成され、３個の可動子３０のそれぞれに対して推力が与えられる。これらの３個の可動子３０に対して、スライダ４０のスライダ部材４３が接合されている。このため、スライダ４０のスライダ部材４３の推力の向上に寄与することができる。

【0033】

ところで、仮に、図６（Ａ）に示すように、２枚のヨーク２１に可動子（図示せず）が設けられたリニアモータ１０Ａを想定する。このリニアモータ１０Ａでは、推力が小さく、推力を大きくしたい場合、図６（Ｂ）に示すように、リニアモータ１０Ａを並設することが考えられる。３個のリニアモータ１０Ａを並設することで、大きな推力を得ることができる。

【0034】

ところが、３個のリニアモータ１０Ａを並設する場合、永久磁石２３を支持するヨーク２１が左右側の隣接面が合わせられて配置されることとなる。このため、両端に配置されるヨーク２１以外には、２枚のヨークが並べられるので、ヨーク２１を設けるための領域を広くしなければならず、その分大きなスペースを要する。また、１個の可動子に対して、２枚のヨーク２１を要する。

【0035】

この点、上記のリニアモータ１０では、ヨーク２１の左右の両面に永久磁石２３が設けられている。そして、内側の第２ヨーク２１Ｂ、第３ヨーク２１Ｃの幅は、外側の第１ヨーク２１Ａ、第４ヨーク２１Ｄの幅と同一であり、第１ヨーク２１Ａ、第４ヨーク２１Ｄの幅の２倍よりも薄い幅である。このため、２枚のヨークが並べられなくて済むので、ヨーク２１を設けるための領域を広くしなくて済む。したがって、省スペース化に寄与することができる。さらには、３個の可動子３０は、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄの４枚のヨーク２１でそれぞれ挟まれて設けられている。このため、３個の可動子３０に対して４枚のヨーク２１で済むので、部品点数の削減に寄与することができる。

【0036】

また、上記のリニアモータ１０では、２枚のヨーク２１を接近した状態で並べる必要がない。このため、ヨーク２１の間に隙間が生じることがないので、さらに省スペース化に寄与することができる。しかも、並設するヨーク２１の数を少なくできるので、位置決めを行う際の精度の低下を小さくすることができるとともに、リニアモータ１０を組み立てる際の工程を少なくすることができる。

【0037】

また、図６（Ｂ）に示す３個のリニアモータ１０Ａを並設する例では、各リニアモータ１０Ａヨーク２１に対して位置決めを行う必要がある。このため、３個のリニアモータ１０Ａを並設する例では、少なくとも３か所の位置決めを要する。
この点、上記のリニアモータ１０では、４枚のヨーク２１が３枚のベース２２で接続されている。このため、１枚のヨーク２１を位置決めするだけで４枚のヨーク２１の全体を位置決めできる。したがって、位置決めを行う際の手間を軽減することができる。

【0038】

また、上記のリニアモータ１０では、ヨーク２１とベース２２とがボルト２５によって締結されている。このため、ヨーク２１とベース２２とを組み立てる際の位置決めを容易に行うことができる。また、ヨーク２１及びベース２２は、いずれも対称形状とされている。このため、ヨーク２１及びベース２２の種類を多くすることなく、リニアモータ１０を組み立てることができる。
また、上記のリニアモータ１０では、可動子３０がコイル３２を有し、固定子２０が永久磁石２３を有している。このため、可動子３０には、比較的重量が大きい永久磁石２３ではなく、比較的重量が小さいコイル３２が搭載される。したがって、可動子３０を軽量化させることができる。
また、上記のリニアモータ１０では４枚のヨーク２１が設けられているが、５枚あるいはそれ以上のヨーク２１を設けて推力の大きいリニアモータとすることもできる。この場合でも、ヨーク２１及びベース２２を第１ヨーク２１Ａまたは第４ヨーク２１Ｄの側方に順次接続すればよい。したがって、部材の種類を増やすことなく、推力の大きいリニアモータを設けることができる。

【0039】

また、上記のリニアモータ１０では、外側に配置された第１ヨーク２１Ａ及び第４ヨーク２１Ｄのほか、その間に配置された第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃに永久磁石２３が設けられている。このため、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄの間にそれぞれ配置される３個の可動子３０のそれぞれに推力を与えることができるので、推力の向上に寄与することができる。

【0040】

また、仮に、永久磁石２３が片面のみにしか設けられていない第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃを立設した場合には、第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃには永久磁石２３が設けられてない面が生じることとなる。永久磁石２３が設けられていない面では、磁気回路を構成することができず、可動子３０に推力を与えることができない。永久磁石２３が片面のみにしか設けられていない第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃを立設する場合に可動子３０に推力を与えようとすると、第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃとしてそれぞれ２枚のヨークを並べなければならない。
この点、上記のリニアモータ１０では、第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃの左面及び右面には、それぞれ永久磁石２３が支持されている。このため、第２ヨーク２１Ｂ及び第３ヨーク２１Ｃとしてそれぞれ２枚のヨークを並べることなく、可動子３０に推力を与えることができる。したがって、リニアモータ１０では、省スペース化に寄与することができる。

【0041】

また、上記のリニアモータ１０では、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄをそれぞれ接続する第１ベース２２Ａ〜第３ベース２２Ｃが設けられている。このため、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄを安定した状態で連結させることができる。また、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄのそれぞれの間の距離を容易に一定にすることができる。
また、上記のリニアモータ１０では、第１ヨーク２１Ａ〜第４ヨーク２１Ｄのうち、隣り合うヨーク２１同士を、ベース２２を介して締結するボルト締結部２４が設けられている。このため、隣り合うヨーク２１同士を容易に接続することができる。
また、上記のリニアモータ１０では、３個の可動子３０を連結するスライダ部材４３が設けられている。このため、可動子３０を容易に連動させて移動させることができる。

【0042】

上記のリニアモータ１０では、可動子３０にコイル３２が設けられ、固定子２０に永久磁石２３が設けられている。これに対して、可動子に永久磁石が設けられ、固定子にコイルが設けられていてもよい。また、上記のリニアモータ１０では、コイル３２を挟んで永久磁石２３が設けられている。これに対して、永久磁石を挟んでコイルが設けられていてもよい。
また、上記のリニアモータ１０では、３個の可動子３０をスライダ部材４３で連結しているが、３個の可動子３０を連結しないようにしてもよい。この場合、３個の可動子３０の移動方向を共通とせずに、それぞれ異なる方向に移動させるようにしてもよい。
また、上記のリニアモータ１０では、４枚のヨーク２１と、３枚のベース２２及び３個の可動子３０を設けたが、これらの数は適宜他の数としてもよい。

【0043】

以上説明した少なくとも一つの実施形態によれば、複数の固定子でスライダを移動させることにより、推力の向上に寄与できる。また、中間板状部材の厚さが、端部板状部材の厚さの２倍より薄いので、省スペース化に寄与することができる。

【0044】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0045】

４…リニアスライダ、１０…リニアモータ、１０Ａ…リニアモータ、２０…固定子（第２部材）、２１…ヨーク、２１Ａ…第１ヨーク、２１Ｂ…第２ヨーク、２１Ｃ…第３ヨーク、２１Ｄ…第４ヨーク、２２…ベース（ベース部材）、２２Ａ…第１ベース、２２Ｂ…第２ベース、２２Ｃ…第３ベース、２３…永久磁石（磁石）、２４…ボルト締結部（締結部）、２４Ａ…第１締結孔（第１締結部）、２４Ａ１…細径孔、２４Ａ２…太径孔、２４Ｂ…第２締結孔（第２締結部）、２５…ボルト（締結部材）、３０…可動子（第１部材）、３１…ケース、３１Ａ…ケース上部、３１Ｂ…収納部（第１板状部材）、３２…コイル、３３…接続部、４０…スライダ、４１…スライダベース、４２…レール、４３…スライダ部材（連結部材）、４３Ａ…平面部、４３Ｂ…鉛直部、４３Ｃ…走行部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】