特許第6771064号(P6771064)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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6771064糸状コンポーネントの表面処理または被覆を実行するための電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）の場におけるマイクロ波エネルギーによってエネルギーを付与されたプラズマを発生するためのプロセス及びデバイス
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  • 6771064-糸状コンポーネントの表面処理または被覆を実行するための電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）の場におけるマイクロ波エネルギーによってエネルギーを付与されたプラズマを発生するためのプロセス及びデバイス 図000004
  • 6771064-糸状コンポーネントの表面処理または被覆を実行するための電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）の場におけるマイクロ波エネルギーによってエネルギーを付与されたプラズマを発生するためのプロセス及びデバイス 図000005
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  • 6771064-糸状コンポーネントの表面処理または被覆を実行するための電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）の場におけるマイクロ波エネルギーによってエネルギーを付与されたプラズマを発生するためのプロセス及びデバイス 図000008
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