特許 6773879 部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6773879

(24)【登録日】2020年10月5日

(45)【発行日】2020年10月21日

(54)【発明の名称】部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/08 20060101AFI20201012BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20201012BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/08 B

   H05K13/04 B

【請求項の数】6

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2019-500924(P2019-500924)

(86)(22)【出願日】2017年2月23日

(86)【国際出願番号】JP2017006789

(87)【国際公開番号】WO2018154673

(87)【国際公開日】20180830

【審査請求日】2019年5月31日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000017

【氏名又は名称】特許業務法人アイテック国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大山 茂人

(72)【発明者】

【氏名】飯阪 淳

(72)【発明者】

【氏名】黒田 英矢

【審査官】 大塚 多佳子

(56)【参考文献】

【文献】 特許第３１２８４０６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特許第６１７７３４２（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／００−１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品を吸着して対象物に実装する部品実装装置であって、
負圧を発生させる負圧源と、
吸着口に前記部品を吸着可能なノズルと、
前記ノズルを保持すると共に内部に前記ノズルの吸着口に連通するホルダ流路が形成された複数のホルダが周方向に配置された回転体を有するロータリヘッドと、
前記回転体を回転させて前記複数のホルダを周方向に旋回させる回転装置と、
前記複数のホルダのうち複数の所定旋回位置にあるホルダをそれぞれ昇降させる複数の昇降装置と、
前記複数のホルダにそれぞれ対応して設けられ、対応するホルダのホルダ流路と前記負圧源との連通と遮断とを切り替える複数の切替弁と、
前記複数のホルダのうち前記複数の所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁をそれぞれ駆動可能な弁駆動装置と、
前記部品の吸着が要求された場合に前記複数の所定旋回位置のうちいずれかにあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう該当する昇降装置および弁駆動装置を制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる吸着動作と、前記吸着動作の実行後に前記ホルダが保持するノズルに前記部品が吸着されていない吸着ミスが発生したか否かを判定する吸着ミス判定と、前記吸着ミスが発生したと判定した場合に当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記複数の所定旋回位置のうちいずれかに旋回したときに当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを遮断する状態となるよう該当する弁駆動装置を制御する負圧回復動作と、を実行可能な制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記負圧源からの負圧が所定負圧に対して不足しているときには、前記吸着動作の実行を停止し、前記負圧回復動作により前記負圧源からの負圧が回復すると、前記吸着動作の実行を再開する、
部品実装装置。

【請求項2】

請求項１記載の部品実装装置であって、
前記制御装置は、前記吸着ミス判定の結果に基づいて前記所定負圧を更新する、
部品実装装置。

【請求項3】

部品を吸着して対象物に実装する部品実装装置であって、
負圧を発生させる負圧源と、
吸着口に前記部品を吸着可能なノズルと、
前記ノズルを保持すると共に内部に前記ノズルの吸着口に連通するホルダ流路が形成された複数のホルダが周方向に配置された回転体を有するロータリヘッドと、
前記回転体を回転させて前記複数のホルダを周方向に旋回させる回転装置と、
前記複数のホルダのうち複数の所定旋回位置にあるホルダをそれぞれ昇降させる複数の昇降装置と、
前記複数のホルダにそれぞれ対応して設けられ、対応するホルダのホルダ流路と前記負圧源との連通と遮断とを切り替える複数の切替弁と、
前記複数のホルダのうち前記複数の所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁をそれぞれ駆動可能な弁駆動装置と、
前記部品の吸着が要求された場合に前記複数の所定旋回位置のうちいずれかにあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう該当する昇降装置および弁駆動装置を制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる吸着動作と、前記吸着動作の実行後に前記ホルダが保持するノズルに前記部品が吸着されていない吸着ミスが発生したか否かを判定する吸着ミス判定と、前記吸着ミスが発生したと判定した場合に当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記複数の所定旋回位置のうちいずれかに旋回したときに当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを遮断する状態となるよう該当する弁駆動装置を制御する負圧回復動作と、を実行可能な制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記負圧源からの負圧が所定負圧に対して不足しているときに前記負圧回復動作を実行する、
部品実装装置。

【請求項4】

部品を吸着して対象物に実装する部品実装装置であって、
負圧を発生させる負圧源と、
吸着口に前記部品を吸着可能なノズルと、
前記ノズルを保持すると共に内部に前記ノズルの吸着口に連通するホルダ流路が形成された複数のホルダが周方向に配置された回転体を有するロータリヘッドと、
前記回転体を回転させて前記複数のホルダを周方向に旋回させる回転装置と、
前記複数のホルダのうち複数の所定旋回位置にあるホルダをそれぞれ昇降させる複数の昇降装置と、
前記複数のホルダにそれぞれ対応して設けられ、対応するホルダのホルダ流路と前記負圧源との連通と遮断とを切り替える複数の切替弁と、
前記複数のホルダのうち前記複数の所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁をそれぞれ駆動可能な弁駆動装置と、
前記部品の吸着が要求された場合に前記複数の所定旋回位置のうちいずれかにあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう該当する昇降装置および弁駆動装置を制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる吸着動作と、前記吸着動作の実行後に前記ホルダが保持するノズルに前記部品が吸着されていない吸着ミスが発生したか否かを判定する吸着ミス判定と、前記吸着ミスが発生したと判定した場合に当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記複数の所定旋回位置のうちいずれかに旋回したときに当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを遮断する状態となるよう該当する弁駆動装置を制御する負圧回復動作と、を実行可能な制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記部品を吸着しておらず且つ対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となっているホルダの数が所定数を超えないように前記吸着動作を実行する、
部品実装装置。

【請求項5】

請求項１ないし４いずれか１項に記載の部品実装装置であって、
前記複数の昇降装置は、前記複数のホルダのうち第１所定旋回位置にあるホルダを昇降させる第１昇降装置と、前記複数のホルダのうち第２所定旋回位置にあるホルダを昇降させる第２昇降装置と、を有し、
前記弁駆動装置は、前記複数のホルダのうち前記第１所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な第１弁駆動装置と、前記複数のホルダのうち前記第２所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な第２弁駆動装置と、を有し、
前記制御装置は、前記第１所定旋回位置にあるホルダが保持するノズルを用いて前記吸着動作を実行した後、当該ホルダが保持するノズルに前記吸着ミスが発生したと判定すると、当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記第２所定旋回位置に旋回したときに前記負圧回復動作を実行する、
部品実装装置。

【請求項6】

請求項５記載の部品実装装置であって、
前記制御装置は、前記吸着動作として、前記第１所定旋回位置にあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう前記第１昇降装置と前記第１弁駆動装置とを制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる第１吸着動作と、前記第２所定旋回位置にあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう前記第２昇降装置と前記第２弁駆動装置とを制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる第２吸着動作と、を略同時に実行可能である、
部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、部品を吸着して対象物に実装する部品実装装置について開示する。

【背景技術】

【0002】

従来、この種の部品実装装置としては、装着ヘッドと、ノズル昇降装置と、エアー切替バルブ（切替弁）と、ラインセンサユニットと、を備えるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。装着ヘッドは、円周上に複数配設された吸着ノズルを有する。ノズル昇降装置は、装着ヘッドに設けられ、複数の吸着ノズルのうち所定の吸着ノズルを昇降させる。エアー切替バルブは、各吸着ノズルに対応してそれぞれ設けられ、電磁石への通電・非通電により個別にエアーの吸引と吹き出しとの切替が可能なソレノイドバルブにより構成される。ラインセンサユニットは、部品有無検出および吸着姿勢検出の検出手段として構成される。部品実装装置は、吸着ノズルによる電子部品の吸着動作が終了すると、ラインセンサユニットにより当該吸着ノズルが部品を吸着しているか否かを判定し、部品を吸着していないと判定した場合には、ソレノイドバルブ（電磁石）の動作により吸着ノズルと真空源に連通する流路を遮断する。部品実装装置は、このようにして真空源からの真空通路を断って真空吸着動作を停止することにより、負圧のリークを防止している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−３６１６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した特許文献１には、各吸着ノズル（ホルダ）に対応してそれぞれ設けられたエアー切替バルブ（切替弁）にそれぞれ電磁石（弁駆動装置）を備えるものにおいて、吸着ミスが発生したときのリークを防止する技術については記載されている。しかしながら、特許文献１には、切替弁と弁駆動装置とが切り離され、それぞれノズルを保持する複数のホルダのうち昇降可能な所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な弁駆動装置を備えるものにおいて、吸着ミスが発生したときのリークを防止することについては何ら言及されていない。

【0005】

本開示は、それぞれノズルを保持する複数のホルダのうち昇降可能な所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な弁駆動装置を備えるものにおいて、ホルダが保持するノズルに吸着ミスが発生したときに負圧のリークを適切に抑制することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

【0007】

本開示は、部品を吸着して対象物に実装する部品実装装置であって、負圧を発生させる負圧源と、吸着口に前記部品を吸着可能なノズルと、前記ノズルを保持すると共に内部に前記ノズルの吸着口に連通するホルダ流路が形成された複数のホルダが周方向に配置された回転体を有するロータリヘッドと、前記回転体を回転させて前記複数のホルダを周方向に旋回させる回転装置と、前記複数のホルダのうち複数の所定旋回位置にあるホルダをそれぞれ昇降させる複数の昇降装置と、前記複数のホルダにそれぞれ対応して設けられ、対応するホルダのホルダ流路と前記負圧源との連通と遮断とを切り替える複数の切替弁と、
前記複数のホルダのうち前記複数の所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁をそれぞれ駆動可能な弁駆動装置と、前記部品の吸着が要求された場合に前記複数の所定旋回位置のうちいずれかにあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう該当する昇降装置および弁駆動装置を制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる吸着動作と、前記吸着動作の実行後に前記ホルダが保持するノズルに前記部品が吸着されていない吸着ミスが発生したか否かを判定する吸着ミス判定と、前記吸着ミスが発生したと判定した場合に当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記複数の所定旋回位置のうちいずれかに旋回したときに当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを遮断する状態となるよう該当する弁駆動装置を制御する負圧回復動作と、を実行可能な制御装置と、を備えることを要旨とする。

【0008】

この本開示の部品実装装置は、複数のホルダにそれぞれ対応して設けられ、対応するホルダのホルダ流路と負圧源との連通と遮断とを切り替える複数の切替弁と、複数のホルダのうち所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な弁駆動装置と、を備える。そして、部品実装装置は、吸着動作の実行後にノズルに部品が吸着されていない吸着ミスが発生したと判定した場合、負圧回復動作を実行可能である。部品実装装置は、負圧回復動作として、吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが所定旋回位置に旋回するのを待って弁駆動装置により当該ホルダに対応する切替弁を駆動してホルダ流路と負圧源とを遮断する。これにより、部品実装装置は、それぞれノズルを保持する複数のホルダのうち昇降可能な所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な弁駆動装置を備えるものにおいて、ホルダが保持するノズルに吸着ミスが発生したときに負圧のリークを適切に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】部品実装システム１の構成の概略を示す構成図である。

【図2】実装ヘッド４０の構成の概略を示す構成図である。

【図3】ノズルホルダ４２の配列と第１Ｚ軸駆動装置７０および第２Ｚ軸駆動装置７５の配置を説明する説明図である。

【図4】配管経路を説明する説明図である。

【図5】圧力供給装置８０の構成の概略を示す構成図である。

【図6】制御装置９０および管理装置１００の電気的な接続関係を示す説明図である。

【図7】吸着制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。

【図8】吸着動作と部品有無判定と負圧回復動作の様子を示す説明図である。

【図9】吸着動作と部品有無判定と負圧回復動作の様子を示す説明図である。

【図10】他の実施形態に係る吸着動作と部品有無判定と負圧回復動作の様子を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。

【0011】

図１は、部品実装システム１の構成の概略を示す構成図である。図２は、実装ヘッド４０の構成の概略を示す構成図である。図３は、ノズルホルダ４２の配列と第１Ｚ軸駆動装置７０および第２Ｚ軸駆動装置７５の配置を説明する説明図である。図４は、配管経路を説明する説明図である。図５は、圧力供給装置８０の構成の概略を示す構成図である。図６は、制御装置９０および管理装置１００の電気的な接続関係を示す説明図である。なお、図１の左右方向がＸ軸方向であり、前（手前）後（奥）方向がＹ軸方向であり、上下方向がＺ軸方向である。

【0012】

部品実装システム１は、図１に示すように、基板Ｓの搬送方向に並べて複数配置されて部品実装ラインを構成する部品実装装置１０と、システム全体をコントロールする管理装置１００と、を備える。

【0013】

部品実装装置１０は、図１に示すように、筐体１２と、部品供給装置２２と、基板搬送装置２４と、ＸＹロボット３０と、実装ヘッド４０と、制御装置９０（図６参照）と、を備える。また、部品実装装置１０は、これらの他に、パーツカメラ２６やマークカメラ（図示せず）なども備えている。なお、パーツカメラ２６は、実装ヘッド４０に吸着された部品Ｐの姿勢を下方から撮像するためのものである。また、マークカメラは、実装ヘッド４０に設けられ、基板Ｓに付された位置決め基準マークを上方から撮像して読み取るためのものである。

【0014】

部品供給装置２２は、所定間隔毎に部品Ｐが収容されたテープをリールから引き出してピッチ送りすることで、部品Ｐを部品供給位置に供給するテープフィーダとして構成されている。この部品供給装置２２は、部品実装装置１０の前側に、左右方向（Ｘ軸方向）に並ぶように複数設けられている。

【0015】

基板搬送装置２４は、図１の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に架け渡された１対のコンベアベルトを有している。基板Ｓは、基板搬送装置２４のコンベアベルトにより図中左から右へと搬送される。

【0016】

ＸＹロボット３０は、実装ヘッド４０をＸＹ軸方向に移動させるものであり、図１に示すように、Ｘ軸スライダ３２と、Ｙ軸スライダ３４と、を備える。Ｘ軸スライダ３２は、Ｙ軸スライダ３４の前面にＸ軸方向に延在するように設けられたＸ軸ガイドレール３１に支持され、Ｘ軸モータ３６（図６参照）の駆動によってＸ軸方向に移動可能である。Ｙ軸スライダ３４は、筐体１２の上段部にＹ軸方向に延在するように設けられた左右一対のＹ軸ガイドレール３３に支持され、Ｙ軸モータ３８（図６参照）の駆動によってＹ軸方向に移動可能である。なお、Ｘ軸スライダ３２は、Ｘ軸位置センサ３７（図６参照）によりＸ軸方向の位置が検知され、Ｙ軸スライダ３４は、Ｙ軸位置センサ３９（図６参照）によりＹ軸方向の位置が検知される。Ｘ軸スライダ３２には実装ヘッド４０が取り付けられている。このため、実装ヘッド４０は、ＸＹロボット３０（Ｘ軸モータ３６およびＹ軸モータ３８）を駆動制御することにより、ＸＹ平面上の任意の位置に移動可能である。

【0017】

実装ヘッド４０は、図２に示すように、ヘッド本体４１と、ノズルホルダ４２と、吸着ノズル４４と、Ｒ軸駆動装置５０と、Ｑ軸駆動装置６０と、第１Ｚ軸駆動装置７０と、第２Ｚ軸駆動装置７５と、側面カメラ４７，４８と、を備える。

【0018】

ヘッド本体４１は、Ｒ軸駆動装置５０によって回転可能な回転体である。ノズルホルダ４２は、ヘッド本体４１に対して円周方向に所定角度間隔で配列され、且つ、ヘッド本体４１に昇降自在に支持されている。ノズルホルダ４２の先端部は、吸着ノズル４４が着脱可能となっている。

【0019】

Ｒ軸駆動装置５０は、複数のノズルホルダ４２（複数の吸着ノズル４４）をヘッド本体４１の中心軸回りに円周方向に旋回（公転）させるものである。Ｒ軸駆動装置５０は、図２に示すように、Ｒ軸モータ５１と、ヘッド本体４１の中心軸から軸方向に延出されたＲ軸５２と、Ｒ軸モータ５１の回転をＲ軸５２に伝達する伝達ギヤ５３と、を備える。また、Ｒ軸駆動装置５０は、この他に、Ｒ軸モータ５１の回転位置を検知するＲ軸位置センサ５５（図６参照）も備える。Ｒ軸駆動装置５０は、Ｒ軸モータ５１により伝達ギヤ５３を介してＲ軸５２を回転駆動することにより、ヘッド本体４１を回転させる。各ノズルホルダ４２は、ヘッド本体４１の回転によって、吸着ノズル４４と一体となって円周方向に旋回（公転）する。

【0020】

Ｑ軸駆動装置６０は、各ノズルホルダ４２（各吸着ノズル４４）をその中心軸回りに回転（自転）させるものである。Ｑ軸駆動装置６０は、図２に示すように、Ｑ軸モータ６１と、円筒部材６２と、伝達ギヤ６３と、Ｑ軸ギヤ６４と、を備える。円筒部材６２は、Ｒ軸５２に対して同軸かつ相対回転可能に挿通され、外周面に平歯のギヤ６２ａが形成されている。伝達ギヤ６３は、Ｑ軸モータ６１の回転を円筒部材６２に伝達するものである。Ｑ軸ギヤ６４は、各ノズルホルダ４２の上部に設けられ、円筒部材６２のギヤ６２ａとＺ軸方向（上下方向）にスライド可能に噛み合うものである。また、Ｑ軸駆動装置６０は、この他に、Ｑ軸モータ６１の回転位置を検知するＱ軸位置センサ６５（図６参照）も備える。Ｑ軸駆動装置６０は、Ｑ軸モータ６１により伝達ギヤ６３を介して円筒部材６２を回転駆動することにより、円筒部材６２のギヤ６２ａと噛み合う各Ｑ軸ギヤ６４を纏めて回転させることができる。各ノズルホルダ４２は、Ｑ軸ギヤ６４の回転によって、吸着ノズル４４と一体となってその中心軸回りに回転（自転）する。

【0021】

第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、ノズルホルダ４２の旋回（公転）軌道上の２箇所においてノズルホルダ４２を個別に昇降可能に構成されている。本実施形態では、図３に示すように、第１Ｚ軸駆動装置７０は、ヘッド本体４１に支持されるノズルホルダ４２のうち０度の方向（以下、Ｚ１ともいう）にあるノズルホルダ４２を昇降可能となっている。また、第２Ｚ軸駆動装置７５は、ヘッド本体４１に支持されるノズルホルダ４２のうち１８０度の方向（以下、Ｚ２ともいう）にあるノズルホルダ４２を昇降可能となっている。なお、０度の方向は、ヘッド本体４１の中心軸に対して基板搬送方向（Ｘ軸方向）上流側の方向であり（図３中、Ａ）、１８０度の方向は、基板搬送方向下流側の方向である（図３中、Ｅ）。

【0022】

第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、何れも、図２に示すように、Ｚ軸スライダ７２，７７と、Ｚ軸スライダ７２，７７を昇降させるＺ軸モータ７１，７６と、を備える。また、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、この他に、Ｚ軸スライダ７２，７７の昇降位置を検知するＺ軸位置センサ７３，７８（図６参照）も備える。第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、それぞれＺ軸モータ７１，７６を駆動してＺ軸スライダ７２，７７を昇降させることにより、Ｚ軸スライダ７２，７７の下方にあるノズルホルダ４２と当接して、当該ノズルホルダ４２を吸着ノズル４４と一体的に昇降させる。なお、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、Ｚ軸モータ７１，７６としてリニアモータを用いてＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるものとしてもよいし、回転モータと送りねじ機構とを用いてＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるものとしてもよい。また、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５は、Ｚ軸モータ７１，７６に代えてエアシリンダなどのアクチュエータを用いてＺ軸スライダ７２，７７を昇降させるものとしてもよい。このように、本実施形態の実装ヘッド４０は、それぞれノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を個別に昇降可能な２つのＺ軸駆動装置７０，７５を備え、Ｚ軸駆動装置７０，７５を用いて吸着ノズル４４による部品Ｐの吸着動作を個別に行なうことができる。このため、実装ヘッド４０は、２つのＺ軸駆動装置７０，７５によって昇降可能な２つの吸着ノズル４４と同じ配置間隔で２つの部品Ｐを部品供給装置２２から供給することで、２つの吸着ノズル４４を略同時に下降させて２つの部品Ｐを略同時に吸着させることもできる。

【0023】

吸着ノズル４４は、圧力供給装置８０によって供給される圧力（負圧，正圧）により部品Ｐの吸着や吸着した部品Ｐの基板Ｓへの実装が可能である。圧力供給装置８０は、図５に示すように、負圧源（負圧ポンプ）８１と、正圧源（正圧ポンプ）８２と、各吸着ノズル４４の吸着口に供給する圧力を負圧と正圧と大気圧とに切り替え可能な切替弁８６と、を備える。切替弁８６は、負圧源８１と連通する負圧流路８３と、正圧源８２と連通する正圧流路８４と、大気と連通する大気圧流路８５と、吸着ノズル４４の吸着口と連通するノズルホルダ４２内部のホルダ流路４２ａとが接続された４ポート３位置弁である。切替弁８６は、３位置として、ホルダ流路４２ａが負圧流路８３と連通すると共に他の流路から遮断する位置（負圧供給位置）と、ホルダ流路４２ａが大気圧流路８５と連通すると共に他の流路から遮断する位置（大気圧供給位置）と、ホルダ流路４２ａが正圧流路８４と連通すると共に他の流路から遮断する位置（正圧供給位置）とに切り替えることができる。切替弁８６は、図４に示すように、各ノズルホルダ４２（ホルダ流路４２ａ）にそれぞれ対応して設けられ、ヘッド本体４１の軸中心から放射状に延びる放射状通路４１ａを介して負圧流路８３に接続されると共に同様の放射状流路（図示せず）を介して正圧流路８４に接続されている。また、負圧流路８３には、流路内の圧力（負圧）を検出するための圧力センサ８８が設けられている。

【0024】

また、切替弁８６は、自動復帰機能を有しておらず、弁操作レバー８７の操作によって負圧供給位置と大気圧供給位置と正圧供給位置とに切り替えられるようになっている。弁操作レバー８７は、図２に示すように、２つの弁駆動装置４５，４６の何れかによって操作される。弁駆動装置４５は、第１Ｚ軸駆動装置７０により昇降可能な位置にあるノズルホルダ４２に対応する切替弁８６の弁操作レバー８７を駆動することができる。一方、弁駆動装置４６は、第２Ｚ軸駆動装置７５により昇降可能な位置にあるノズルホルダ４２に対応する切替弁８６の弁操作レバー８７を駆動することができる。なお、弁駆動装置４５，４６は、例えば、モータと、モータの回転運動をストローク運動に変換する変換機構（カム機構やリンク機構など）とを用いて構成することができる。

【0025】

側面カメラ４７，４８は、吸着ノズル４４による吸着動作の実行後に当該吸着ノズル４４の部品吸着有無や部品吸着姿勢を判定するために、当該吸着ノズル４４の先端部付近を側方から撮像するものである。本実施形態では、側面カメラ４７は、第１Ｚ軸駆動装置７０により吸着ノズル４４を下降させて吸着動作を実行した後、当該吸着ノズル４４がＲ軸駆動装置５０により１つ先に旋回されたときに当該吸着ノズル４４を撮像可能である。また、側面カメラ４８は、第２Ｚ軸駆動装置７５により吸着ノズル４４を下降させて吸着動作を実行した後、当該吸着ノズル４４がＲ軸駆動装置５０により１つ先に旋回されたときに当該吸着ノズル４４を撮像可能である。

【0026】

制御装置９０は、図６に示すように、ＣＰＵ９１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ９１の他に、ＲＯＭ９２やＨＤＤ９３、ＲＡＭ９４、入出力インタフェース９５などを備える。これらはバス９６を介して接続されている。制御装置９０には、Ｘ軸位置センサ３７やＹ軸位置センサ３９、Ｒ軸位置センサ５５、Ｑ軸位置センサ６５、Ｚ軸位置センサ７３，７８などからの各種検知信号が入力されている。また、制御装置９０には、パーツカメラ２６や側面カメラ４７，４８からの画像信号なども入出力インタフェース９５を介して入力されている。一方、制御装置９０からは、部品供給装置２２や基板搬送装置２４、Ｘ軸モータ３６、Ｙ軸モータ３８、Ｒ軸モータ５１、Ｑ軸モータ６１、Ｚ軸モータ７１，７６、弁駆動装置４５，４６、側面カメラ４７，４８などへの各種制御信号が出力されている。

【0027】

管理装置１００は、例えば、汎用のコンピュータであり、図６に示すように、ＣＰＵ１０１やＲＯＭ１０２、ＨＤＤ１０３、ＲＡＭ１０４、入出力インタフェース１０５等により構成される。管理装置１００には、入力デバイス１０７からの入力信号が入出力インタフェース１０５を介して入力されている。管理装置１００からは、ディスプレイ１０８への表示信号が入出力インタフェース１０５を介して出力されている。ＨＤＤ１０３には、基板Ｓの生産プログラムやその他の生産情報を含むジョブ情報が記憶されている。ここで、生産プログラムは、部品実装装置１０において、どの基板Ｓにどの部品Ｐをどの順番で実装するか、また、そのように実装した基板Ｓを何枚作製するかを定めたプログラムをいう。また、生産情報には、実装対象の部品Ｐに関する部品情報（部品の種類やその供給位置）や使用する吸着ノズル４４に関するノズル情報、基板Ｓにおける部品Ｐの実装位置（ＸＹ座標）等が含まれる。管理装置１００は、部品実装装置１０の制御装置９０と通信可能に接続され、各種情報や制御信号のやり取りを行なう。

【0028】

こうして構成された本実施形態の部品実装装置１０は、管理装置１００によりジョブ情報を受信したときに、吸着動作と実装動作とを１サイクルとして実行する。吸着動作は、実装ヘッド４０を部品供給装置２２の上方へ移動させ、ノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を旋回させつつＺ軸駆動装置７０，７５の何れかにより下降させて吸着ノズル４４に部品Ｐを当接させ、吸着ノズル４４に負圧を供給することにより、当該吸着ノズル４４に部品Ｐを吸着させる動作である。実装動作は、実装ヘッド４０を基板Ｓの上方へ移動させ、ノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を旋回させつつＺ軸駆動装置７０，７５の何れかにより下降させて吸着ノズル４４に吸着させた部品Ｐを基板Ｓの目標位置に当接させ、吸着ノズル４４に正圧を供給することにより、部品Ｐを基板Ｓに実装する動作である。

【0029】

図７は、制御装置９０のＣＰＵ９１により実行される吸着制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。この処理は、Ｚ１で吸着動作を実行する場合を想定したものである。吸着制御ルーチンが実行されると、制御装置９０のＣＰＵ９１は、まず、Ｚ１にあるノズルホルダ４２が保持する吸着ノズル４４に部品Ｐが未吸着であるか否かを判定する（Ｓ１００）。ＣＰＵ９１は、未吸着でない、即ち吸着済みと判定すると、Ｓ１５０の処理に進む。一方、ＣＰＵ９１は、未吸着と判定すると、圧力センサ８８からの負圧流路８３内の負圧の絶対値が負圧閾値以上（負圧閾値ＯＫ）か否か（Ｓ１１０）、吸着ミス発生ホルダ数Ｎが許容最大数Ｎｔｈ未満であるか否か（Ｓ１２０）、をそれぞれ判定する。吸着ミス発生ホルダ数Ｎは、吸着動作を行なったノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）のうち後述する部品有無判定にて部品無しと判定され、且つ、切替弁８６によりホルダ流路４２ａが負圧流路８３（負圧源８１）と連通されているホルダの数を示す。ＣＰＵ９１は、負圧の絶対値が負圧閾値以上であり且つ吸着ミス発生ホルダ数Ｎが許容最大数Ｎｔｈ未満であると判定すると、Ｚ１にあるノズルホルダ４２を下降させると共に当該ノズルホルダ４２に保持される吸着ノズル４４の吸着口に負圧を供給する吸着動作を行なう（Ｓ１３０）。吸着動作は、具体的には、Ｚ１にあるノズルホルダ４２が下降するよう第１Ｚ軸駆動装置７０のＺ軸モータ７１を駆動制御し（Ｚ１ホルダ下降）、当該ノズルホルダ４２内のホルダ流路４２ａが負圧流路８３と連通するよう弁駆動装置４５を駆動制御する（Ｚ１バルブ開）ことにより行なわれる。一方、ＣＰＵ９１は、負圧の絶対値が負圧閾値未満と判定したり、吸着ミス発生ホルダ数Ｎが許容最大数Ｎｔｈ以上と判定すると、Ｚ１での部品Ｐの吸着動作をスキップする（Ｓ１４０）。

【0030】

次に、ＣＰＵ９１は、部品有無判定（吸着ミスの判定）の実行の必要があるか否かを判定する（Ｓ１５０）。この判定は、Ｚ１で吸着動作を実行したノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）が側面カメラ４７の撮像領域に移動（旋回）したか否かを判定することにより行なわれる。ＣＰＵ９１は、部品有無判定の実行の必要がないと判定すると、Ｓ２００の処理へ進み、部品有無判定の実行の必要があると判定すると、部品有無判定を実行する（Ｓ１６０）。部品有無判定は、Ｚ１にて吸着動作を行なった吸着ノズル４４を側面カメラ４７で撮像し、撮像した画像を処理して当該画像中に部品Ｐが認識できるか否かを判定することにより行なわれる。上述したように、各ノズルホルダ４２のホルダ流路４２ａは、対応する切替弁８６を介して共通の負圧流路８３（負圧源８１）に接続されている。このため、切替弁８６がホルダ流路４２ａと負圧流路８３とを連通させた状態でノズルホルダ４２が保持する吸着ノズル４４に部品Ｐが吸着されていないと、負圧流路８３は、負圧のリークが生じる。ＣＰＵ９１は、部品有無判定の結果、部品有りと判定すると（Ｓ１７０で「ＮＯ」）、Ｓ２００の処理に進む。一方、ＣＰＵ９１は、部品無し、即ち吸着ミスが発生したと判定すると（Ｓ１７０で「ＹＥＳ」）、吸着ミス発生ホルダ数Ｎを値１だけインクリメントすると共に（Ｓ１８０）、負圧閾値判定を更新する（Ｓ１９０）。ここで、Ｓ１９０の処理は、以降の吸着ミスの発生を抑制するための処理であり、例えば、吸着ミスの発生回数が多くなるほど、負圧閾値を引き上げて、負圧流路８３内の負圧の絶対値が負圧閾値よりも低下していると判定され易くする。

【0031】

次に、ＣＰＵ９１は、Ｚ２に吸着ミス発生ホルダがあるか否かを判定する（Ｓ２００）。ＣＰＵ９１は、Ｚ２に吸着ミス発生ホルダがないと判定すると、Ｓ２４０の処理に進む。一方、ＣＰＵ９１は、Ｚ２に吸着ミス発生ホルダがあると判定すると、当該ホルダのホルダ流路４２ａが負圧流路８３（負圧源８１）から遮断されるよう対応する切替弁８６を弁駆動装置４６により駆動（Ｚ２バルブ閉）する負圧回復動作を行なう（Ｓ２１０）。即ち、ＣＰＵ９１は、Ｚ１に対応する弁駆動装置４５によりＺ１にある吸着ノズル４４の吸着口を負圧流路８３と連通させて吸着動作を行ない、吸着ミスが発生すると、当該吸着ノズル４４がＺ２まで移動するのを待って、Ｚ２に対応する弁駆動装置４６によりその吸着ノズル４４の吸着口を負圧流路８３から遮断する。これにより、部品実装装置１０は、リークの発生期間をできる限り短くして、負圧流路８３の負圧の低下を抑制することができる。そして、ＣＰＵ９１は、吸着ミス発生ホルダ数を値１だけデクリメントし（Ｓ２２０）、Ｚ１に未吸着ホルダがあるか否かを判定する（Ｓ２３０）。ＣＰＵ９１は、Ｚ１に未吸着ホルダがないと判定すると、Ｓ２４０に進み、Ｚ１に未吸着ホルダがあると判定すると、Ｓ１１０に戻る。即ち、ＣＰＵ９１は、Ｚ２で行なった負圧回復動作によって、負圧流路８３内の負圧（絶対値）が負圧閾値以上に回復すると、Ｚ１にあるノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）を用いて吸着動作を行なうのである。これにより、部品実装装置１０は、吸着動作と負圧回復動作とを効率良く行なうことができ、生産性を向上させることができる。なお、こうした負圧回復動作は、負圧流路８３内の負圧の絶対値が負圧閾値未満（負圧閾値ＮＧ）である場合に限って行なわれるものとしてもよい。この場合、Ｓ２００の前または後に、負圧流路８３内の負圧の絶対値が負圧閾値未満であるか否かの判定を追加すればよい。この場合、吸着ミス発生ホルダは負圧回復動作が実行されることなくＺ２を通過する可能性があるが、ＣＰＵ９１は、負圧の絶対値が負圧閾値未満となった状態で吸着ミス発生ホルダがＺ１，Ｚ２のいずれかに到達したときに、負圧回復動作を行なうものとしてもよい。また、ＣＰＵ９１は、負圧の絶対値が負圧閾値以上であれば、吸着ミス発生ホルダを用いて当該ホルダのホルダ流路４２ａと負圧流路８３とが連通した状態のまま再度吸着動作を実行するものとしてもよい。

【0032】

そして、ＣＰＵ９１は、各ノズルホルダ４２（各吸着ノズル４４）のうち部品Ｐを吸着していない未吸着のホルダ（吸着ノズル）があるか否かを判定する（Ｓ２４０）。ＣＰＵ９１は、未吸着のホルダがあると判定すると、次のノズルホルダ４２がＺ１（第１Ｚ軸駆動装置７０により昇降可能な位置）に来るようＲ軸駆動装置５０（Ｒ軸モータ５１）を駆動制御して（Ｓ２５０）、Ｓ１００に戻る。

【0033】

図８および図９は、吸着動作と部品有無判定と負圧回復動作の様子を示す説明図である。図中のＡ〜Ｈは、各ノズルホルダ４２を識別する識別記号であり、それぞれＡ〜Ｈホルダと称する。また、図の例では、吸着ミス発生ホルダ数Ｎの許容最大数Ｎｔｈを３つとした。部品実装装置１０は、まず、Ｚ１にあるＡホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開（Ｚ１側にある弁駆動装置４５により対応する切替弁８６を駆動してノズルホルダ４２のホルダ流路４２ａと負圧流路８３とを連通させる動作）による吸着動作を行なう（図８（Ａ）参照）。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＢホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共に側面カメラ４７を用いてＡホルダの部品有無を判定する（図８（Ｂ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ａホルダに部品Ｐがない（吸着ミス発生）と判定し、且つ、負圧閾値ＯＫと判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＣホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＢホルダの部品有無を判定する（図８（Ｃ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｂホルダに部品Ｐがないと判定し、且つ、負圧閾値ＮＧと判定する。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、負圧閾値ＮＧであるため、Ｚ１に移動したＤホルダを用いた吸着動作をスキップし、Ｃホルダの部品有無を判定する（図８（Ｄ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｃホルダに部品Ｐがあると判定する。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させると、吸着ミスが発生したＡホルダがＺ２に移動しているため、Ｚ２バルブ閉（Ｚ２側にある弁駆動装置４６により切替弁８６を駆動してノズルホルダ４２のホルダ流路４２ａと負圧流路８３との連通を遮断させる動作）による負圧回復動作を行なう。続いて、部品実装装置１０は、負圧が回復すると、Ｚ１に移動したＥホルダを用いて吸着動作を行なう（図８（Ｅ）参照）。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させると、ＢホルダがＺ２に移動するため、Ｚ２バルブ閉による負圧回復動作を行ない、Ｚ１に移動したＦホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＥホルダの部品有無を判定する（図８（Ｆ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｅホルダに部品Ｐがないと判定し、且つ、負圧閾値ＯＫと判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＧホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＦホルダの部品有無を判定する（図８（Ｇ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｆホルダに部品Ｐがあると判定する。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＨホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＧホルダの部品有無を判定する（図８（Ｈ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｇホルダに部品Ｐがないと判定し、且つ、負圧閾値ＮＧと判定する。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、吸着ミスが発生したＥホルダがＺ２に移動しているため、Ｚ２バルブ閉による負圧回復動作を行なうと共にＨホルダの部品有無を判定する。ここでは、部品実装装置１０は、Ｈホルダに部品Ｐがあると判定する。続いて、部品実装装置１０は、負圧が回復すると、Ｚ１に移動したＡホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作（再吸着）を行なう（図８（Ｉ）参照）。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＢホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ閉による吸着動作を行なうと共にＡホルダの部品有無を判定する（図８（Ｊ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ａホルダに部品Ｐがあると判定する。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、吸着ミスが発生したＧホルダがＺ２に移動しているため、Ｚ２バルブ閉による負圧回復動作を行なうと共にＢホルダの部品有無を判定する（図８（Ｋ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｂホルダに部品Ｐがあると判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｄホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なう（図８（Ｌ）参照）。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｅホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＤホルダの部品有無を判定する（図８（Ｍ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｄホルダに部品Ｐがあると判定する。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｅホルダの部品有無を判定する（図８（Ｎ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｅホルダに部品Ｐがあると判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＧホルダ用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ閉による部品吸着動作を行なう（図８（Ｏ）参照）。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｇホルダの部品有無を判定する（図８（Ｐ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｇホルダに部品Ｐがあると判定する。このようにして、部品実装装置１０は、全てのノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）に部品Ｐを吸着させる。

【0034】

ここで、本実施形態の構成要素と本開示の発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の負圧源８１が本開示の発明の「負圧源」に相当し、吸着ノズル４４が「ノズル」に相当し、ヘッド本体４１が「回転体」に相当し、実装ヘッド４０が「ロータリヘッド」に相当し、Ｒ軸駆動装置５０が「回転装置」に相当し、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５が「昇降装置」に相当し、切替弁８６が「切替弁」に相当し、弁駆動装置４５，４６が「弁駆動装置」に相当し、制御装置９０が「制御装置」に相当する。また、第１Ｚ軸駆動装置７０が「第１昇降装置」に相当し、第２Ｚ軸駆動装置７５が「第２昇降装置」に相当し、弁駆動装置４５が「第１弁駆動装置」に相当し、弁駆動装置４６が「第２弁駆動装置」に相当する。

【0035】

以上説明した本実施形態の部品実装装置１０は、吸着ノズル４４を保持する複数のノズルホルダ４２にそれぞれ対応して設けられ負圧の供給と遮断とが可能な切替弁８６と、複数のノズルホルダ４２のうち昇降可能な位置（Ｚ１，Ｚ２）で切替弁８６を駆動する弁駆動装置４５，４６とを備える。また、部品実装装置１０は、弁駆動装置４５による対応する切替弁８６の駆動により、Ｚ１にあるノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）に負圧を供給して吸着動作を実行した後、吸着ノズル４４に吸着ミスが発生したか否かを判定する。そして、部品実装装置１０は、吸着ミスが発生したと判定すると、吸着ミスが発生した吸着ノズル４４を保持するノズルホルダ４２がＺ２に移動したときに、弁駆動装置４６による対応する切替弁８６の駆動によりそのノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）への負圧の供給を遮断して負圧回復動作を実行する。これにより、部品実装装置１０は、ノズルホルダ４２が保持する吸着ノズル４４に吸着ミスが発生したときに負圧のリークを適切に抑制することができる。

【0036】

また、本実施形態の部品実装装置１０は、負圧流路８３内の負圧の絶対値が負圧閾値未満のときには、吸着動作の実行を停止し、負圧回復動作によって負圧流路８３内の負圧が回復すると、吸着動作を再開するから、吸着動作を効率良く行なうことができる。

【0037】

さらに、本実施形態の部品実装装置１０は、吸着ミス発生ホルダ数Ｎが許容最大数Ｎｔｈを超えないように吸着動作を行なうから、負圧流路８３内の負圧の低下を効果的に抑制することができる。

【0038】

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

【0039】

例えば、上述した実施形態では、部品実装装置１０は、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５の一方を使用して部品Ｐを吸着するものとしたが、第１および第２Ｚ軸駆動装置７０，７５の両方を使用して２つの部品Ｐを略同時に吸着するものとしてもよい。この場合、ＣＰＵ９１は、図７の吸着制御ルーチンのＳ１００において、Ｚ１に加えてＺ２でも未吸着ホルダがあるか否かを判定する。そして、ＣＰＵ９１は、Ｓ１３０の吸着動作として、Ｚ１およびＺ２の双方に未吸着ホルダがある場合には、それぞれの未吸着ホルダを用いて略同時に吸着動作を行ない、Ｚ１およびＺ２の片方に未吸着ホルダがある場合には、その未吸着ホルダのみを用いて吸着動作を行なうものとする。また、ＣＰＵ９１は、同ルーチンのＳ２００において、Ｚ２に加えてＺ１でも吸着ミス発生ホルダがあるか否かを判定する。そして、ＣＰＵ９１は、Ｓ２１０の負圧回復動作として、吸着ミスが発生したノズルホルダ４２がＺ１にある場合には、弁駆動装置４５により対応する切替弁８６を駆動（Ｚ１バルブ閉）し、吸着ミスが発生したノズルホルダ４２がＺ２にある場合には、弁駆動装置４６により対応する切替弁８６を駆動（Ｚ２バルブ閉）するものとする。

【0040】

図１０は、他の実施形態に係る吸着動作と部品有無判定と負圧回復動作の様子を示す説明図である。図の例では、吸着ミス発生ホルダ数Ｎの許容最大数Ｎｔｈを３つとした。部品実装装置１０は、まず、Ｚ１にあるＡホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なう。また、部品実装装置１０は、それと略同時に、Ｚ２にあるＥホルダを用いてＺ２ホルダ下降およびＺ２バルブ開（Ｚ２側にある弁駆動装置４６により対応する切替弁８６を駆動してノズルホルダ４２のホルダ流路４２ａと負圧流路８３とを連通させる動作）による吸着動作を行なう（図１０（Ａ）参照）。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＢホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＺ１側の側面カメラ４７を用いてＡホルダの部品有無を判定する。また、部品実装装置１０は、それと略同時に、Ｚ２に移動したＦホルダを用いてＺ２ホルダ下降およびＺ２バルブ開による吸着動作を行なうと共にＺ２側の側面カメラ４８を用いてＥホルダの部品有無を判定する（図１０（Ｂ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ａホルダに部品Ｐがない（吸着ミス発生）と判定すると共にＥホルダに部品Ｐがあると判定し、且つ、負圧閾値ＯＫと判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＣホルダの吸着動作をスキップすると共にＢホルダの部品有無を判定する。また、部品実装装置１０は、それと略同時に、Ｚ２に移動したＧホルダの吸着動作をスキップすると共にＦホルダの部品有無を判定する（図１０（Ｃ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｂホルダに部品Ｐがないと判定すると共にＦホルダに部品Ｐがあると判定し、且つ、負圧閾値ＮＧと判定する。なお、ＣホルダおよびＧホルダの吸着動作をスキップするのは、上述したように、吸着ミス発生ホルダ数Ｎの許容最大数Ｎｔｈは３つであるため、既にＡホルダで吸着ミスが１つ発生しており且つＢ，Ｆホルダで吸着ミスが発生したかどうかが未確定の状態で、新たな吸着動作を実行すると、吸着ミス発生ホルダ数Ｎが４つ以上となって許容最大数Ｎｔｈを超える可能性があるためである。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、負圧閾値ＮＧであるため、Ｄホルダを用いた吸着動作とＨホルダを用いた吸着動作とをスキップする（図１０（Ｄ）参照）。なお、部品実装装置１０は、負圧閾値ＯＫであれば、ＤホルダおよびＨホルダのうち一方のみ吸着動作を行なうことができる。これは、その吸着動作が仮に吸着ミスに終わっても、吸着ミス発生ホルダ数Ｎが許容最大数Ｎｔｈを超えることはないためである。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させると、吸着ミスが発生したＡホルダがＺ２に移動するため、Ｚ２バルブ閉による負圧回復動作を行なう（図１０（Ｅ）参照）。これにより、部品実装装置１０は、負圧閾値ＯＫと判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回すると、吸着ミスが発生したＢホルダがＺ２に移動するため、Ｚ２バルブ閉による負圧回復動作を行なう（図１０（Ｆ）参照）。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＧホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なう。また、部品実装装置１０は、それと略同時に、Ｚ２に移動したＣホルダを用いてＺ２ホルダ下降およびＺ２バルブ開による吸着動作を行なう（図１０（Ｇ）参照）。次に、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＨホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＧホルダの部品有無を判定する。また、部品実装装置１０は、それと略同時に、Ｚ２に移動したＤホルダを用いてＺ２ホルダ下降およびＺ２バルブ開による吸着動作を行なうと共にＣホルダの部品有無を判定する（図１０（Ｈ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、ＧホルダおよびＣホルダのいずれにも部品Ｐがあると判定する。続いて、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＡホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なうと共にＨホルダの部品有無を判定する。また、部品実装装置１０は、Ｄホルダの部品有無を判定する（図１０（Ｉ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｈホルダに部品Ｐがあると判定すると共にＤホルダに部品Ｐがあると判定する。そして、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｚ１に移動したＢホルダを用いてＺ１ホルダ下降およびＺ１バルブ開による吸着動作を行なう（図１０（Ｊ）参照）。また、部品実装装置１０は、各ホルダを１つ先に旋回させ、Ｂホルダの部品有無を判定する（図１０（Ｋ）参照）。ここでは、部品実装装置１０は、Ｂホルダに部品Ｐがあると判定する。このようにして、部品実装装置１０は、全てのノズルホルダ４２（吸着ノズル４４）に部品Ｐを吸着させる。

【0041】

上述した実施形態では、部品実装装置１０は、吸着動作をスキップするための判定として、負圧流路８３内の負圧の絶対値が負圧閾値未満か否かの判定と、吸着ミス発生ホルダ数Ｎが許容最大数Ｎｔｈ未満であるか否かの判定とを行なうものとしたが、何れか一方の判定を省略してもよい。

【0042】

上述した実施形態では、部品実装装置１０は、Ｚ１にあるノズルホルダ４２を用いて吸着動作を行なった後、吸着ミスが発生したと判定すると、各ノズルホルダ４２の順方向への旋回により吸着ミスが発生したノズルホルダ４２がＺ２へ移動したときに、負圧回復動作を行なうものとした。しかし、部品実装装置１０は、Ｚ１で吸着ミスが発生したと判定すると、各ノズルホルダ４２を逆方向に旋回することにより、吸着ミスが発生したノズルホルダ４２をＺ１へ戻して、負圧回復動作を行なうものとしてもよい。

【0043】

上述した実施形態では、実装ヘッド４０はノズルホルダ４２の公転軌跡上の２箇所にＺ軸駆動装置７０，７５を備えるものとした。しかし、実装ヘッド４０が備えるＺ軸駆動装置は、３つ以上あってもよい。

【0044】

上述したように、部品を吸着して対象物に実装する部品実装装置であって、負圧を発生させる負圧源と、吸着口に前記部品を吸着可能なノズルと、前記ノズルを保持すると共に内部に前記ノズルの吸着口に連通するホルダ流路が形成された複数のホルダが周方向に配置された回転体を有するロータリヘッドと、前記回転体を回転させて前記複数のホルダを周方向に旋回させる回転装置と、前記複数のホルダのうち複数の所定旋回位置にあるホルダをそれぞれ昇降させる複数の昇降装置と、前記複数のホルダにそれぞれ対応して設けられ、対応するホルダのホルダ流路と前記負圧源との連通と遮断とを切り替える複数の切替弁と、前記複数のホルダのうち前記複数の所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁をそれぞれ駆動可能な弁駆動装置と、前記部品の吸着が要求された場合に前記複数の所定旋回位置のうちいずれかにあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう該当する昇降装置および弁駆動装置を制御することにより当該ホルダが保持するノズルに前記部品を吸着させる吸着動作と、前記吸着動作の実行後に前記ホルダが保持するノズルに前記部品が吸着されていない吸着ミスが発生したか否かを判定する吸着ミス判定と、前記吸着ミスが発生したと判定した場合に当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記複数の所定旋回位置のうちいずれかに旋回したときに当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを遮断する状態となるよう該当する弁駆動装置を制御する負圧回復動作と、を実行可能な制御装置と、を備えるものである。

【0045】

こうした本開示の部品実装装置において、前記制御装置は、前記負圧源からの負圧が所定負圧に対して不足しているときには、前記吸着動作の実行を停止し、前記負圧回復動作により前記負圧源からの負圧が回復すると、前記吸着動作の実行を再開するものとしてもよい。こうすれば、負圧回復動作と吸着動作とを効率よく実行することができ、生産性を向上させることができる。

【0046】

この場合、前記制御装置は、前記吸着ミス判定の結果に基づいて前記所定負圧を更新するものとしてもよい。こうすれば、ヘッドの個体差や経年変化に拘わらず負圧源からの負圧の不足を適切に判断することができる。

【0047】

また、本開示の部品実装装置において、前記制御装置は、前記負圧源からの負圧が所定負圧に対して不足しているときに前記負圧回復動作を実行するものとしてもよい。こうすれば、負圧回復動作を効率よく実行することができる。

【0048】

また、本開示の部品実装装置において、前記制御装置は、前記部品を吸着しておらず且つ対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となっているホルダの数が所定数を超えないように前記吸着動作を実行するものとしてもよい。こうすれば、負圧源の負圧が大きく低下するのを抑制することができる。

【0049】

さらに、本開示の部品実装装置において、前記複数の昇降装置は、前記複数のホルダのうち第１所定旋回位置にあるホルダを昇降させる第１昇降装置と、前記複数のホルダのうち第２所定旋回位置にあるホルダを昇降させる第２昇降装置と、を有し、前記弁駆動装置は、前記複数のホルダのうち前記第１所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な第１弁駆動装置と、前記複数のホルダのうち前記第２所定旋回位置にあるホルダに対応する切替弁を駆動可能な第２弁駆動装置と、を有し、前記制御装置は、前記第１所定旋回位置にあるホルダが保持するノズルを用いて前記吸着動作を実行した後、当該ホルダが保持するノズルに前記吸着ミスが発生したと判定すると、当該吸着ミスが発生したノズルを保持するホルダが前記第２所定旋回位置に旋回したときに前記負圧回復動作を実行するものとしてもよい。こうすれば、吸着ミスの発生を判定してから負圧回復動作が実行されるまでの時間を短縮させることができ、負圧源の負圧の低下を抑制することができる。

【0050】

この場合、前記制御装置は、前記吸着動作として、前記第１所定旋回位置にあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう前記第１昇降装置と前記第１弁駆動装置とを制御する第１吸着動作と、前記第２所定旋回位置にあるホルダが下降すると共に当該ホルダに対応する切替弁の状態が前記ホルダ流路と前記負圧源とを連通する状態となるよう前記第２昇降装置と前記第２弁駆動装置とを制御する第２吸着動作と、を略同時に実行可能であるものとしてもよい。こうすれば、短時間で多くの部品を吸着することができ、生産性をさらに向上させることができる。

【0051】

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

【産業上の利用可能性】

【0052】

本発明は、部品実装機の製造産業などに利用可能である。

【符号の説明】

【0053】

１ 実装システム、１０ 部品実装装置、１２ 筐体、２２ 部品供給装置、２４ 基板搬送装置、２６ パーツカメラ、３０ ＸＹロボット、３１ Ｘ軸ガイドレール、３２ Ｘ軸スライダ、３３ Ｙ軸ガイドレール、３４ Ｙ軸スライダ、３６ Ｘ軸モータ、３７ Ｘ軸位置センサ、３８ Ｙ軸モータ、３９ Ｙ軸位置センサ、４０ 実装ヘッド、４１ ヘッド本体、４１ａ 放射状通路、４２ ノズルホルダ、４２ａ ホルダ流路、４４ 吸着ノズル、４５，４６ 弁駆動装置、４７，４８ 側面カメラ、５０ Ｒ軸駆動装置、５１ Ｒ軸モータ、５２ Ｒ軸、５３ 伝達ギヤ、５５ Ｒ軸位置センサ、６０ Ｑ軸駆動装置、６１ Ｑ軸モータ、６２ 円筒部材、６２ａ ギヤ、６３ 伝達ギヤ、６４ Ｑ軸ギヤ、６５ Ｑ軸位置センサ、７０ 第１Ｚ軸駆動装置、７１，７６ Ｚ軸モータ、７２，７７ Ｚ軸スライダ、７３，７８ Ｚ軸位置センサ、７５ 第２Ｚ軸駆動装置、８０ 圧力供給装置、８１ 負圧源、８２ 正圧源、８３ 負圧流路、８４ 正圧流路、８５ 大気圧流路、８６ 切替弁、８７ 弁操作レバー、８８ 圧力センサ、９０ 制御装置、９１ ＣＰＵ、９２ ＲＯＭ ９３ ＨＤＤ、９４ ＲＡＭ、９５ 入出力インタフェース、９６ バス、１００ 管理装置、１０１ ＣＰＵ、１０２ ＲＯＭ、１０３ ＨＤＤ、１０４ ＲＡＭ、１０５ 入出力インタフェース、１０７ 入力デバイス、１０８ ディスプレイ、Ｐ 部品、Ｓ 基板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】