特許 6777551 測定装置用の接続切替装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6777551

(24)【登録日】2020年10月12日

(45)【発行日】2020年10月28日

(54)【発明の名称】測定装置用の接続切替装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20201019BHJP

【ＦＩ】

   G01R27/02 R

【請求項の数】3

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2017-930(P2017-930)

(22)【出願日】2017年1月6日

(65)【公開番号】特開2018-109585(P2018-109585A)

(43)【公開日】2018年7月12日

【審査請求日】2019年11月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】山嵜 浩

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 達也

【審査官】 島田 保

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−１４２２９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３００４９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−９９０１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−５５２１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２１６６１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０７１２９３（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ２７／００−２７／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象の物理量を第１測定方法で測定する第１測定装置が接続可能な第１装置用端子群と、
前記測定対象の物理量を前記第１測定方法とは異なる第２測定方法で測定する第２測定装置が接続可能な第２装置用端子群と、
前記測定対象に接続されるシールド付き測定ケーブルが接続可能な複数チャンネル分のケーブル用端子群と、
複数のスイッチで構成されると共に前記第１装置用端子群および前記第２装置用端子群と前記ケーブル用端子群との間に配設されて、前記第１測定方法および前記第２測定方法のうちから一つの測定方法が選択され、かつ前記複数チャンネルのうちから１つのチャンネルが選択されたときには、当該第１装置用端子群および当該第２装置用端子群のうちの当該選択された１つの測定方法に対応する装置用端子群と当該ケーブル用端子群のうちの当該選択された１つのチャンネルに対応する各端子とが、当該装置用端子群に含まれる接地用端子と当該ケーブル用端子群のうちの前記測定ケーブルのシールドが接続されるシールド端子とが接続された状態で接続される接続形態に前記複数のスイッチのオン・オフ状態が切り替え可能なスキャナ部とを備えている測定装置用の接続切替装置。

【請求項2】

前記スキャナ部は、前記選択された一つの測定方法が２端子法であって前記測定対象の一端が接地されているときには、前記接地用端子に前記シールド端子が接続される接続形態に代えて、前記ケーブル用端子群のうちの前記測定ケーブルを介して前記測定対象の非接地側端子に接続される端子に当該シールド端子が接続される接続形態に前記複数のスイッチのオン・オフ状態を切り替え可能に構成されている請求項１記載の測定装置用の接続切替装置。

【請求項3】

前記スキャナ部は、導電性を有すると共に接地されたシャーシと、接断スイッチとを備えると共に、当該接断スイッチおよび前記複数のスイッチは当該シャーシに配設され、かつ当該接断スイッチがオン状態のときには当該接断スイッチを介して前記シールド端子が当該シャーシに接続され、当該接断スイッチがオフ状態のときには当該シールド端子が当該シャーシから切り離される請求項１または２記載の測定装置用の接続切替装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の測定対象に接続される測定ケーブルと測定装置との間に配設されて、選択された測定対象と測定装置とを測定ケーブルを介して測定装置での測定方法に対応した接続形態で接続する測定装置用の接続切替装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の接続切替装置として、本願出願人が提案した下記特許文献１において背景技術として開示されている接続切替部（基板検査装置に設けられている構成要素）が一般的に知られている。この接続切替部は、複数のスイッチを備えて構成されて、複数の測定対象（複数の検査導体）に接続させられる複数のリード配線と、測定装置（電源（直流源または電圧源）、電圧計、電流計および処理部を含んで構成される装置）との間に配設されている。

【0003】

この接続切替部は、内蔵されている複数のスイッチが処理部によって個別にオン・オフ制御されることにより、複数の測定対象から選択された１つの測定対象に接触させられている４つのリード配線を４端子法（測定装置での測定方法）に対応した接続形態で測定装置に接続する。これにより、測定装置は、この１つの測定対象の物理量（この例では抵抗値）を４端子法で測定することが可能となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−２１６６１６号公報（第２−４頁、第４図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところが、上記の測定装置用の接続切替装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。すなわち、測定装置には、上記した測定装置のような４端子法で測定するものだけではなく、２端子法や４端子対法などの種々の測定方法で測定するものが存在している。このため、異なる測定方法の測定装置を接続可能であって、接続された測定装置を、この測定装置の測定方法に対応した接続形態でリード配線（測定ケーブル）を介して選択された測定対象に接続し得る構成であるのが好ましいが、上記した接続切替装置に接続し得る測定装置は４端子法で測定する測定装置だけであるため、この接続切替装置には、４端子法以外の測定方法で測定する測定装置を接続して使用することができないという課題が存在している。

【0006】

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、異なる測定方法の測定装置とその測定ケーブルとを接続して使用し得る測定装置用の接続切替装置を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置用の接続切替装置は、測定対象の物理量を第１測定方法で測定する第１測定装置が接続可能な第１装置用端子群と、前記測定対象の物理量を前記第１測定方法とは異なる第２測定方法で測定する第２測定装置が接続可能な第２装置用端子群と、前記測定対象に接続されるシールド付き測定ケーブルが接続可能な複数チャンネル分のケーブル用端子群と、複数のスイッチで構成されると共に前記第１装置用端子群および前記第２装置用端子群と前記ケーブル用端子群との間に配設されて、前記第１測定方法および前記第２測定方法のうちから一つの測定方法が選択され、かつ前記複数チャンネルのうちから１つのチャンネルが選択されたときには、当該第１装置用端子群および当該第２装置用端子群のうちの当該選択された１つの測定方法に対応する装置用端子群と当該ケーブル用端子群のうちの当該選択された１つのチャンネルに対応する各端子とが、当該装置用端子群に含まれる接地用端子と当該ケーブル用端子群のうちの前記測定ケーブルのシールドが接続されるシールド端子とが接続された状態で接続される接続形態に前記複数のスイッチのオン・オフ状態が切り替え可能なスキャナ部とを備えている。

【0008】

また、請求項２記載の測定装置用の接続切替装置は、請求項１記載の測定装置用の接続切替装置において、前記スキャナ部は、前記選択された一つの測定方法が２端子法であって前記測定対象の一端が接地されているときには、前記接地用端子に前記シールド端子が接続される接続形態に代えて、前記ケーブル用端子群のうちの前記測定ケーブルを介して前記測定対象の非接地側端子に接続される端子に当該シールド端子が接続される接続形態に前記複数のスイッチのオン・オフ状態を切り替え可能に構成されている。

【0009】

また、請求項３記載の測定装置用の接続切替装置は、請求項１または２記載の測定装置用の接続切替装置において、前記スキャナ部は、導電性を有すると共に接地されたシャーシと、接断スイッチとを備えると共に、当該接断スイッチおよび前記複数のスイッチは当該シャーシに配設され、かつ当該接断スイッチがオン状態のときには当該接断スイッチを介して前記シールド端子が当該シャーシに接続され、当該接断スイッチがオフ状態のときには当該シールド端子が当該シャーシから切り離される。

【発明の効果】

【0010】

請求項１記載の測定装置用の接続切替装置では、第１測定装置が接続可能な第１装置用端子群、第２測定装置が接続可能な第２装置用端子群、測定ケーブルが接続可能なケーブル用端子群、第１装置用端子群および第２装置用端子群のうちの選択された１つの測定方法に対応する装置用端子群とケーブル用端子群のうちの選択された１つのチャンネルに対応する各端子とが、装置用端子群に含まれる接地用端子とケーブル用端子群のうちのシールド端子とが接続された状態で接続される接続形態に切り替え可能なスキャナ部とを備えている。

【0011】

したがって、この測定装置用の接続切替装置によれば、１つの測定方法の測定装置とその測定ケーブルだけではなく、異なる複数種類の測定方法の測定装置とそれぞれに対応する複数種類の測定ケーブルのうちから任意の１つの組を選択して接続して使用することができる。

【0012】

請求項２記載の測定装置用の接続切替装置によれば、スキャナ部がケーブル用端子群のうちの測定ケーブルを介して測定対象の非接地側端子に接続される端子にシールド端子が接続される接続形態に切り替えることができるため、電流計が非接地側に配置された測定装置を使用して、測定ケーブルのシールドをこの測定装置内の電流計の電位とほぼ同電位に規定した状態（つまり、より高いシールド効果を維持した状態）で、一端が接地されている測定対象に流れる電流の電流値と測定対象の両端間電圧の電圧値とを高精度で測定することができる。また、これにより、測定対象の抵抗値をより高精度で測定し得るようにすることができる。

【0013】

請求項３記載の測定装置用の接続切替装置によれば、接断スイッチにより、測定ケーブルの接続に際して、ケーブル用端子群のうちの測定ケーブルのシールドが接続されるシールド端子（およびこのシールド端子に接続されているシャーシ内の内部配線）を接地しておくことができる。これにより、この接続切替装置によれば、電位的に不定な状態の測定ケーブルのシールドが接続されることに起因して、ケーブル用端子群のシールド端子（およびこのシールド端子に接続されている内部配線）に、過電圧や過電流などのノイズが生じるという事態の発生を未然に防止することができ、これによってスキャナ部を構成する各スイッチの保護を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】接続切替装置１の構成図である。

【図2】２端子法の測定装置ＭＤ１と測定ケーブルＭＣ１を接続した状態での接続切替装置１の構成図である。

【図3】４端子法の測定装置ＭＤ２と測定ケーブルＭＣ２を接続した状態での接続切替装置１の構成図である。

【図4】４端子対法の測定装置ＭＤ３と測定ケーブルＭＣ３を接続した状態での接続切替装置１の構成図である。

【図5】他の２端子対法の測定装置ＭＤ４と測定ケーブルＭＣ１を接続して、一端が接地された測定対象２１の抵抗値を測定するときの接続切替装置１の構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照して、測定装置用の接続切替装置の実施の形態について説明する。

【0016】

接続切替装置の一例としての接続切替装置１は、図１に示すように、一例として、シャーシ２、複数種類の装置用コネクタ群（本例では一例として、２端子法で測定する測定装置ＭＤ１、４端子法で測定する測定装置ＭＤ２および４端子対法で測定する測定装置ＭＤ３の３種類の測定装置ＭＤのうちの対応する測定装置ＭＤ１を接続可能な装置用コネクタ群５、対応する測定装置ＭＤ２を接続可能な装置用コネクタ群６、および対応する測定装置ＭＤ３を接続可能な装置用コネクタ群７の３種類の装置用コネクタ群）、測定対象に接続されるシールド付き測定ケーブル（測定装置ＭＤ１用の後述する測定ケーブルＭＣ１、測定装置ＭＤ２用の後述する測定ケーブルＭＣ２、および測定装置ＭＤ３用の後述する測定ケーブルＭＣ３。以下、特に区別しないときには「測定ケーブルＭＣ」ともいう）の各コネクタＣＮ１，ＣＮ２，ＣＮ３（図２〜図４参照。以下、特に区別しないときには「コネクタＣＮ」ともいう）が接続可能なケーブル用コネクタ８（本例では一例として、１つの多ピンコネクタ）、スキャナ部９および接断（接続、切断）スイッチ１０を備えている。

【0017】

なお、本例では装置用端子群やケーブル用端子群を構成する端子（接続用の端子）の一例として、端子が合成樹脂製のハウジングに収容されて構成されたコネクタを挙げて説明するが、接続用の端子としては、このようなコネクタの形態に限定されるものではなく、ケーブルの芯線を１本ずつねじで挟むようにして締め付ける形態や、バナナ型プラグの形態とすることもできる。

【0018】

シャーシ２は、金属材料などの導電性材料を用いて、一例として直方体形状の箱体に形成されている。また、シャーシ２は、不図示の接地用の接続端子に接続された不図示の接地用ケーブルを介して接地されて、グランド電位に規定されている。なお、図１〜図５では、接地は符号Ｇを付して示すものとする。

【0019】

装置用コネクタ群５は、図２に示すように、２端子法で測定する測定装置ＭＤ１（一対の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２およびガード端子ＴＰＧを備えた測定装置）を接続するための電圧検出用第１コネクタ５_Ｈ（以下、コネクタ５_Ｈともいう）、電圧検出用第２コネクタ５_Ｌ（以下、コネクタ５_Ｌともいう）およびガード用コネクタ５_Ｇ（接地用端子としての接地用コネクタ。以下、コネクタ５_Ｇともいう）で構成されている。

【0020】

具体的には、接続切替装置１に測定装置ＭＤ１を接続する際には、図２に示すように、装置用コネクタ群５のコネクタ５_Ｈに測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ１を、またコネクタ５_Ｌに測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ２をそれぞれ例えば同軸ケーブルを介して接続し、かつコネクタ５_Ｇには測定装置ＭＤ１のガード端子ＴＰＧを単芯ケーブルなどを介して接続する。また、測定装置ＭＤ１は、図２に示すように接続された信号源ＳＧ、電圧計ＶＭおよび電流計ＩＭを備えて構成されている。このため、測定装置ＭＤ１では、一対の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２は信号出力端子としても機能する。このことから、装置用コネクタ群５の一対の電圧検出用のコネクタ５_Ｈ，５_Ｌは、信号入力用のコネクタとしても機能する。

【0021】

装置用コネクタ群６は、図３に示すように、４端子法（具体的には、シールデッド４端子法（５端子法ともいう））で測定する測定装置ＭＤ２（一対の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２、一対の信号出力用端子ＴＰ３，ＴＰ４、およびガード端子ＴＰＧを備えた測定装置）を接続するための電圧検出用第３コネクタ６_ＡＨ（以下、コネクタ６_ＡＨともいう）、電圧検出用第４コネクタ６_ＡＬ（以下、コネクタ６_ＡＬともいう）、信号出力用第１コネクタ６_ＢＨ（以下、コネクタ６_ＢＨともいう）、信号出力用第２コネクタ６_ＢＬ（以下、コネクタ６_ＢＬともいう）およびコネクタ５_Ｇで構成されている。つまり、装置用コネクタ群６は、コネクタ５_Ｇを装置用コネクタ群５と共有する構成となっている。

【0022】

具体的には、接続切替装置１に測定装置ＭＤ２を接続する際には、図３に示すように、装置用コネクタ群６のコネクタ６_ＡＨに測定装置ＭＤ２の検出用端子ＴＰ１を、またコネクタ６_ＡＬに測定装置ＭＤ２の検出用端子ＴＰ２を、またコネクタ６_ＢＨに測定装置ＭＤ２の信号出力用端子ＴＰ３を、またコネクタ６_ＢＬに測定装置ＭＤ２の信号出力用端子ＴＰ４をそれぞれ例えば同軸ケーブルを介して接続し、かつコネクタ５_Ｇには測定装置ＭＤ２のガード端子ＴＰＧを単芯ケーブルなどを介して接続する。また、測定装置ＭＤ２は、図３に示すように接続された信号源ＳＧ、電圧計ＶＭおよび電流計ＩＭを備えて構成されている。

【0023】

装置用コネクタ群７は、図４に示すように、４端子対法で測定する測定装置ＭＤ３（一対の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２、一対の信号出力用端子ＴＰ３，ＴＰ４、一対の電流検出用端子ＴＰ５，ＴＰ６、およびガード端子ＴＰＧを備えた測定装置）を接続するための一対のコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬ、一対のコネクタ６_ＢＨ，６_ＢＬ、電流検出用第１コネクタ７_Ｈ（以下、コネクタ７_Ｈともいう）、電流検出用第２コネクタ７_Ｌ（以下、コネクタ７_Ｌともいう）、およびコネクタ５_Ｇで構成されている。つまり、装置用コネクタ群７は、コネクタ５_Ｇを装置用コネクタ群５，６と共有し、コネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬ，６_ＢＨ，６_ＢＬを装置用コネクタ群６と共有する構成となっている。

【0024】

具体的には、接続切替装置１に測定装置ＭＤ３を接続する際には、図４に示すように、装置用コネクタ群６のコネクタ６_ＡＨに測定装置ＭＤ３の検出用端子ＴＰ１を、またコネクタ６_ＡＬに測定装置ＭＤ３の検出用端子ＴＰ２を、またコネクタ６_ＢＨに測定装置ＭＤ３の信号出力用端子ＴＰ３を、またコネクタ６_ＢＬに測定装置ＭＤ３の信号出力用端子ＴＰ４を、またコネクタ７_Ｈに測定装置ＭＤ３の電流検出用端子ＴＰ５を、またコネクタ７_Ｌに測定装置ＭＤ３の電流検出用端子ＴＰ６をそれぞれ例えば同軸ケーブルを介して接続し、かつコネクタ５_Ｇには測定装置ＭＤ３のガード端子ＴＰＧを単芯ケーブルなどを介して接続する。また、測定装置ＭＤ３は、図４に示すように接続された信号源ＳＧ、電圧計ＶＭおよび電流計ＩＭを備えて構成されている。

【0025】

なお、本例の接続切替装置１では、測定装置ＭＤ２，ＭＤ３のいずれかと測定装置ＭＤ１とを同時に接続し得るように、測定装置ＭＤ１を接続するための装置用コネクタ群５を構成するコネクタ５_Ｈ，５_Ｌを、測定装置ＭＤ２，ＭＤ３を接続するための装置用コネクタ群６，７を構成するコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬとは別に設ける構成を採用しているが、測定装置ＭＤ１，ＭＤ２，ＭＤ３から選択したいずれか１つだけを接続する構成でよいときには、コネクタ５_Ｈ，５_Ｌと後述するスイッチＳＷ１の組、およびコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬと後述するスイッチＳＷ２の組のいずれか一方の組を省く構成とすることもできる。この構成においては、各測定装置ＭＤ１，ＭＤ２，ＭＤ３の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２は、コネクタ５_Ｈ，５_Ｌおよびコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬのうちの残したコネクタに接続される。また、以下では、各検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２、各信号出力用端子ＴＰ３，ＴＰ４、各電流検出用端子ＴＰ５，ＴＰ６およびガード端子ＴＰＧを区別しないときには、単に端子ＴＰともいう。

【0026】

この接続切替装置１では、接続切替装置１に接続される測定装置ＭＤ１〜ＭＤ３の各端子ＴＰのうちのガード端子ＴＰＧを除く端子の最大数（測定装置ＭＤ３の６つ）が、１つの測定対象の物理量を測定するために測定対象に接続される１チャンネル分の配線数となる。これにより、ｎ個の測定対象を同時に接続し得る測定ケーブルＭＣ（つまり、図１に示すようにｎチャンネル（ＣＨ１〜ＣＨｎ）用の測定ケーブルＭＣ）が接続可能なケーブル用コネクタ８は、６×ｎ個の端子と１個の端子（測定ケーブルＭＣのシールドに接続される１つのシールド端子ＳＨ）とを有して構成されている。ケーブル用コネクタ８は、多ピンコネクタの一例であるＤ−ｓｕｂコネクタで構成されている。

【0027】

また、ケーブル用コネクタ８には、測定装置ＭＤ１用の図２に示す構成の測定ケーブルＭＣ１、測定装置ＭＤ２用の図３に示す構成の測定ケーブルＭＣ２、および測定装置ＭＤ３用の図４に示す構成の測定ケーブルＭＣ３のうちから選択された１つの測定ケーブルＭＣが接続される。この場合、測定ケーブルＭＣ１は、２端子法に対応した測定ケーブルであって、この測定ケーブルＭＣ１に取り付けられてケーブル用コネクタ８に接続される１つのコネクタＣＮ１におけるケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１，ＣＨ２，・・・，ＣＨｎの１番ピンと２番ピン（後述するようにしてスキャナ部９を介してコネクタ５_Ｈ，５_Ｌに接続され得るピン（端子））に接続される合計２×ｎ個のピンに配線（２×ｎ本の配線）が施されると共に、コネクタＣＮ１におけるシールド端子に接続される１個のピン（端子）にシールド（例えば、測定ケーブルＭＣ１を構成する２×ｎ本の配線の周囲を覆う銅編み線などのシールド用導体）が接続されて構成されている。

【0028】

また、測定ケーブルＭＣ２は、４端子法に対応した測定ケーブルであって、この測定ケーブルＭＣ２に取り付けられてケーブル用コネクタ８に接続される１つのコネクタＣＮ２におけるケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１，ＣＨ２，・・・，ＣＨｎの１番ピンから４番ピン（後述するようにしてスキャナ部９を介してコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬ，６_ＢＨ，６_ＢＬに接続され得るピン（端子））に接続される合計４×ｎ個のピンに配線（４×ｎ本の配線）が施されると共に、コネクタＣＮ２におけるシールド端子に接続される１個のピン（端子）にシールド（例えば、測定ケーブルＭＣ２を構成する２×ｎ本の配線の周囲を覆う銅編み線などのシールド用導体）が接続されて構成されている。

【0029】

また、測定ケーブルＭＣ３は、４端子対法に対応した測定ケーブルであって、この測定ケーブルＭＣ３に取り付けられてケーブル用コネクタ８に接続される１つのコネクタＣＮ３におけるケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１，ＣＨ２，・・・，ＣＨｎの１番ピンから６番ピン（後述するようにしてスキャナ部９を介してコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬ，６_ＢＨ，６_ＢＬ，７_Ｈ，７_Ｌに接続され得るピン（端子））に接続される合計６×ｎ個のピンに配線（６×ｎ本の配線）が施されると共に、コネクタＣＮ３におけるシールド端子に接続される１個のピン（端子）にシールド（例えば、測定ケーブルＭＣ３を構成する６×ｎ本の配線の周囲を覆う銅編み線などのシールド用導体）が接続されて構成されている。

【0030】

スキャナ部９は、複数のスイッチで構成されると共に、各装置用コネクタ群５，６，７とケーブル用コネクタ８との間に配設されている。また、スキャナ部９は、測定装置ＭＤ１〜ＭＤ３での測定において用いられる複数の測定方法（本例では、２端子法、４端子法および４端子対法）のうちから一つの測定方法が選択され、かつ複数（ｎ個。ｎは２以上の整数）のチャンネルＣＨ１，ＣＨ２，・・・，ＣＨｎのうちから１つのチャンネルＣＨが選択されたときには、各装置用コネクタ群５，６，７のうちの選択された１つの測定方法に対応する装置用コネクタ群と選択された１つのチャンネルＣＨに対応するケーブル用コネクタ８の各ピン（端子）とが接続される接続形態に移行し得るように、複数のスイッチのオン・オフ状態が切り替え可能に構成されている。また、これに加えてスキャナ部９は、この接続形態において、この装置用コネクタ群に含まれるコネクタ５_Ｇとケーブル用コネクタ８の各ピンに含まれて測定ケーブルＭＣのシールドが接続されるシールド端子ＳＨとが接続された状態で接続されるようにも複数のスイッチのオン・オフ状態が切り替え可能に構成されている。

【0031】

具体的には、スキャナ部９は、図１に示すように、２つのスイッチ回路における一方の接点（同図中の上側の接点）がコネクタ５_Ｈ，５_Ｌに接続された２極単投型のスイッチＳＷ１と、２つのスイッチ回路における一方の接点（同図中の上側の接点）がコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬに接続された２極単投型のスイッチＳＷ２と、２つのスイッチ回路における一方の接点（同図中の上側の接点）がコネクタ６_ＢＨ，６_ＢＬに接続された２極単投型のスイッチＳＷ３と、２つのスイッチ回路における一方の接点（同図中の上側の接点）がコネクタ７_Ｈ，７_Ｌに接続された２極単投型のスイッチＳＷ４とを備えている。

【0032】

また、スキャナ部９には、図１に示すように、スイッチＳＷ１の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ５_Ｈに接続されるスイッチ回路（同図中の左側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）とスイッチＳＷ２の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ６_ＡＨに接続されるスイッチ回路（同図中の左側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）とが接続される一方の検出ラインＬｖ１（一方の電圧検出ライン）、およびスイッチＳＷ１の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ５_Ｌに接続されるスイッチ回路（同図中の右側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）とスイッチＳＷ２の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ６_ＡＬに接続されるスイッチ回路（同図中の右側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）とが接続される他方の検出ラインＬｖ２（他方の電圧検出ライン）が配設されている。

【0033】

また、スキャナ部９には、図１に示すように、スイッチＳＷ３の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ６_ＢＨに接続されるスイッチ回路（同図中の左側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）に接続される一方の信号出力ラインＬｏ１、およびスイッチＳＷ３の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ６_ＢＬに接続されるスイッチ回路（同図中の右側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）に接続される他方の信号出力ラインＬｏ２が配設されている。また、スキャナ部９には、スイッチＳＷ４の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ７_Ｈに接続されるスイッチ回路（同図中の左側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）に接続される一方の電流検出ラインＬｉ１、およびスイッチＳＷ４の２つのスイッチ回路のうちのコネクタ７_Ｌに接続されるスイッチ回路（同図中の右側のスイッチ回路）における他方の接点（同図中の下側の接点）に接続される他方の電流検出ラインＬｉ２が配設されている。

【0034】

また、スキャナ部９は、図１に示すように、２つのスイッチ回路のうちの一方のスイッチ回路（同図中の上側のスイッチ回路）における一方の接点（同図中の右側の接点）が検出ラインＬｖ１に接続され、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８の対応するチャンネルＣＨにおける１番ピンに接続されると共に、２つのスイッチ回路のうちの他方のスイッチ回路（同図中の下側のスイッチ回路）における一方の接点（同図中の右側の接点）が検出ラインＬｖ２に接続され、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８の対応するチャンネルＣＨにおける２番ピンに接続された２極単投型のスイッチＳＷｖを、チャンネル数分だけ備えている。以下、各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおけるこれらのスイッチＳＷｖを電圧検出用スイッチ群ともいうものとする。

【0035】

また、スキャナ部９は、図１に示すように、２つのスイッチ回路のうちの一方のスイッチ回路（同図中の上側のスイッチ回路）における一方の接点（同図中の右側の接点）が信号出力ラインＬｏ１に接続され、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８の対応するチャンネルＣＨにおける３番ピンに接続されると共に、２つのスイッチ回路のうちの他方のスイッチ回路（同図中の下側のスイッチ回路）における一方の接点（同図中の右側の接点）が信号出力ラインＬｏ２に接続され、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８の対応するチャンネルＣＨにおける４番ピンに接続された２極単投型のスイッチＳＷｏを、チャンネル数分だけ備えている。以下、各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおけるこれらのスイッチＳＷｏを出力用スイッチ群ともいうものとする。

【0036】

また、スキャナ部９は、図１に示すように、２つのスイッチ回路のうちの一方のスイッチ回路（同図中の上側のスイッチ回路）における一方の接点（同図中の右側の接点）が電流検出ラインＬｉ１に接続され、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８の対応するチャンネルＣＨにおける５番ピンに接続されると共に、２つのスイッチ回路のうちの他方のスイッチ回路（同図中の下側のスイッチ回路）における一方の接点（同図中の右側の接点）が電流検出ラインＬｉ２に接続され、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８の対応するチャンネルＣＨにおける６番ピンに接続された２極単投型のスイッチＳＷｉを、チャンネル数分だけ備えている。以下、各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおけるこれらのスイッチＳＷｉを電流検出用スイッチ群ともいうものとする。

【0037】

また、スキャナ部９は、図１に示すように、一方の接点（同図中の上側の接点）がコネクタ５_Ｈに接続され、かつ他方の接点（同図中の下側の接点）がケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨに接続された１極単投型のスイッチＳＷｓ１を備えている。また、スキャナ部９は、同図に示すように、一方の接点（同図中の上側の接点）がコネクタ５_Ｇに接続され、かつ他方の接点（同図中の下側の接点）がケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨに接続された１極単投型のスイッチＳＷｓ２を備えている。

【0038】

本例の接続切替装置１では、スキャナ部９を構成する上記のスイッチＳＷ１〜ＳＷ４、ｎ個のスイッチＳＷｖ、ｎ個のスイッチＳＷｏ、ｎ個のスイッチＳＷｉ、およびスイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２は、例えば、リレーや、トランジスタ（バイポーラ型トランジスタや電界効果型トランジスタ）などの半導体スイッチ素子で構成されて、そのオン・オフ切替制御（接続状態と切断状態の切替制御）が接続切替装置１とは別体に配設されたコンピュータなどの制御装置１１から出力される個別の制御信号Ｓｃｏに基づいて独立して実行されるように構成されている。

【0039】

接断スイッチ１０は、図１に示すように、一方の接点（同図中の右側の接点）がシャーシ２に接続され（つまり、接地Ｇに接続され）、かつ他方の接点（同図中の左側の接点）がケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨに接続された１極単投型のスイッチで構成されている。本例の接続切替装置１では、接断スイッチ１０は、一例としてシャーシ２の表面に配設された手動式のスイッチで構成されている。

【0040】

次に、接続切替装置１の動作について、図面を参照して説明する。なお、以下では、測定装置ＭＤ１と測定ケーブルＭＣ１とを接続切替装置１に接続して、測定対象２１の物理量（本例では一例として抵抗体の抵抗値。以下の各実施の形態において同様）を２端子法で測定する実施の形態と、測定装置ＭＤ２と測定ケーブルＭＣ２とを接続切替装置１に接続して、測定対象２１の物理量（抵抗値）を４端子法で測定する実施の形態と、測定装置ＭＤ３と測定ケーブルＭＣ３とを接続切替装置１に接続して、測定対象２１の物理量（抵抗値）を４端子対法で測定する実施の形態とに分けて、各実施の形態での接続切替装置１の動作を説明する。

【0041】

まず、図２を参照して、測定対象２１の物理量（抵抗値）を２端子法で測定するときの接続切替装置１の動作について説明する。この場合、測定者は、測定の前処理として、最初に、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オン状態に移行させる。これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ（測定ケーブルＭＣ１が接続切替装置１に接続された際に測定ケーブルＭＣ１のシールドが接続される端子）およびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線がシャーシ２に接続される（つまり、接地される）。

【0042】

また、測定者は、測定の前処理として、次に、図２に示すように、測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ１を装置用コネクタ群５のコネクタ５_Ｈに、また測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ２をコネクタ５_Ｌにそれぞれ同軸ケーブルを介して接続し、かつ測定装置ＭＤ１のガード端子ＴＰＧをコネクタ５_Ｇに単芯ケーブルを介して接続する。また、測定ケーブルＭＣ１のコネクタＣＮ１をケーブル用コネクタ８に接続すると共に、測定ケーブルＭＣ１の各チャンネルＣＨのうちの使用するチャンネルＣＨに（本例では同図に示すようにチャンネルＣＨ１〜ＣＨｎのすべてに）測定対象２１を接続する。また、測定装置ＭＤ１において測定された測定対象２１の両端間電圧の電圧値を示す電圧データＤｖおよび測定対象２１に流れる電流の電流値を示す電流データＤｉを制御装置１１で取得し得るように、測定装置ＭＤ１を制御装置１１に接続する。

【0043】

このコネクタＣＮ１のケーブル用コネクタ８への接続に際して、電位的に不定な状態の測定ケーブルＭＣ１のシールドが接続されることに起因して、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線に、過電圧や過電流などのノイズが生じようとする場合があるが、上記したように、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等が接地されているため、このノイズの発生を未然に防止することが可能となり、またスキャナ部９を構成する各スイッチの保護も可能となっている。

【0044】

また、測定者は、このようにして接続切替装置１への測定装置ＭＤ１および測定ケーブルＭＣ１の接続が完了した後に、測定の前処理の最後として、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オフ状態に移行させる。これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等がシャーシ２から切り離されて、接地が解除される。

【0045】

次いで、測定者は制御装置１１に対する操作（制御装置１１に設けられているキーボードや操作パネルなどの不図示の入力部に対する操作）を実行して、測定ケーブルＭＣ１の各チャンネルＣＨに接続されているｎ個の測定対象２１の抵抗値を２端子法で測定する指示を制御装置１１に入力する。

【0046】

これにより、制御装置１１は、まず、図２に示すように、各スイッチＳＷ１〜ＳＷ４については、スイッチＳＷ１のみをオン状態に移行させると共に、スイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２については、スイッチＳＷｓ２のみをオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（測定方法として２端子法を選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ１を一方の検出ラインＬｖ１に接続し、検出用端子ＴＰ２を他方の検出ラインＬｖ２に接続し、かつガード端子ＴＰＧを内部配線（シールド端子ＳＨに接続されている配線）およびケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨを介して測定ケーブルＭＣ１のシールドに接続する。

【0047】

次いで、制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおける１番ピンおよび２番ピンに接続されたスイッチＳＷｖを、例えば、チャンネルＣＨ１側から１つずつ順番に所定時間だけオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（チャンネルＣＨを選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、ｎ個の測定対象２１を１つずつ順番に所定時間だけスイッチＳＷｖを介して一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続する（つまり、スイッチＳＷ１を介してこの一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続されている測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２に接続する）。

【0048】

測定装置ＭＤ１は、このようにして所定時間だけ接続される各測定対象２１に対して信号源ＳＧから測定用の信号を供給し、この信号の供給時における測定対象２１の両端間電圧の電圧値を電圧計ＶＭで測定してこの電圧値を示す電圧データＤｖを制御装置１１に出力し、かつこの信号の供給時に測定対象２１に流れる電流の電流値を電流計ＩＭで測定してこの電流値を示す電流データＤｉを制御装置１１に出力する。制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎに接続されているｎ個の測定対象２１のうちの接続切替装置１を介して測定装置ＭＤ１に実際に接続されている１つの測定対象２１についての電圧データＤｖおよび電流データＤｉを取得する都度、この取得した各データＤｖ，Ｄｉに基づいてこの接続されている１つの測定対象２１についての抵抗値を算出すると共にこの１つの測定対象２１に対応させて記憶する。

【0049】

制御装置１１は、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値をすべて測定して記憶したときには、スキャナ部９を構成するすべてのスイッチ（上記のスイッチＳＷ１〜ＳＷ４、ｎ個のスイッチＳＷｖ、ｎ個のスイッチＳＷｏ、ｎ個のスイッチＳＷｉ、およびスイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２）をオフ状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏを接続切替装置１に出力する。これにより、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値の２端子法による測定処理が完了する。その後、測定者は、新たなｎ個の測定対象２１の抵抗値を２端子法で引き続き測定する場合には、測定済みのｎ個の測定対象２１に代えて新たなｎ個の測定対象２１を測定ケーブルＭＣ１に接続して、上記した処理を繰り返す。一方、測定者は、２端子法での測定を終了させるときには、測定ケーブルＭＣ１および測定装置ＭＤ１を接続切替装置１から取り外す。

【0050】

次いで、図３を参照して、測定対象２１の物理量（抵抗値）を４端子法で測定するときの接続切替装置１の動作について説明する。この場合、測定者は、測定の前処理として、最初に、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オン状態に移行させる。これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ（測定ケーブルＭＣ２が接続切替装置１に接続された際に測定ケーブルＭＣ２のシールドが接続される端子）およびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線がシャーシ２に接続される（つまり、接地される）。

【0051】

また、測定者は、測定の前処理として、次に、図３に示すように、測定装置ＭＤ２の検出用端子ＴＰ１を装置用コネクタ群６のコネクタ６_ＡＨに、また測定装置ＭＤ２の検出用端子ＴＰ２をコネクタ６_ＡＬに、また測定装置ＭＤ２の信号出力用端子ＴＰ３を装置用コネクタ群６のコネクタ６_ＢＨに、また測定装置ＭＤ２の信号出力用端子ＴＰ４をコネクタ６_ＢＬにそれぞれ同軸ケーブルを介して接続し、かつ測定装置ＭＤ２のガード端子ＴＰＧをコネクタ５_Ｇに単芯ケーブルを介して接続する。また、測定ケーブルＭＣ２のコネクタＣＮ２をケーブル用コネクタ８に接続すると共に、測定ケーブルＭＣ２の各チャンネルＣＨのうちの使用するチャンネルＣＨに（本例では同図に示すようにチャンネルＣＨ１〜ＣＨｎのすべてに）測定対象２１を接続する。また、測定装置ＭＤ２において測定された測定対象２１の電圧データＤｖおよび電流データＤｉを制御装置１１で取得し得るように、測定装置ＭＤ２を制御装置１１に接続する。

【0052】

このコネクタＣＮ２のケーブル用コネクタ８への接続に際して、上記したコネクタＣＮ１のケーブル用コネクタ８への接続のときと同様にして、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線にノイズが生じようとする場合があるが、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等は接地されているため、このノイズの発生を未然に防止することが可能となり、またスキャナ部９を構成する各スイッチの保護も可能となっている。

【0053】

また、測定者は、このようにして接続切替装置１への測定装置ＭＤ２および測定ケーブルＭＣ２の接続が完了した後に、測定の前処理の最後として、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オフ状態に移行させる。これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等の接地が解除される。

【0054】

次いで、測定者は制御装置１１に対する操作を実行して、測定ケーブルＭＣ２の各チャンネルＣＨに接続されているｎ個の測定対象２１の抵抗値を４端子法で測定する指示を制御装置１１に入力する。

【0055】

これにより、制御装置１１は、まず、図３に示すように、各スイッチＳＷ１〜ＳＷ４については、スイッチＳＷ２，ＳＷ３のみをオン状態に移行させると共に、スイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２については、スイッチＳＷｓ２のみをオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（測定方法として４端子法を選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、測定装置ＭＤ２の検出用端子ＴＰ１を一方の検出ラインＬｖ１に接続し、検出用端子ＴＰ２を他方の検出ラインＬｖ２に接続し、信号出力用端子ＴＰ３を一方の信号出力ラインＬｏ１に接続し、信号出力用端子ＴＰ４を他方の信号出力ラインＬｏ２に接続し、かつガード端子ＴＰＧを内部配線（シールド端子ＳＨに接続されている配線）およびケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨを介して測定ケーブルＭＣ２のシールドに接続する。

【0056】

次いで、制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおける１番ピンおよび２番ピンに接続されたスイッチＳＷｖ、並びに３番ピンおよび４番ピンに接続されたスイッチＳＷｏの組を、例えば、チャンネルＣＨ１側から１組ずつ順番に所定時間だけオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（チャンネルＣＨを選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、ｎ個の測定対象２１を１つずつ順番に所定時間だけ、スイッチＳＷｖを介して一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続する（つまり、スイッチＳＷ２を介してこの一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続されている測定装置ＭＤ２の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２に接続する）と共に、スイッチＳＷｏを介して一対の信号出力ラインＬｏ１，Ｌｏ２に接続する（つまり、スイッチＳＷ３を介してこの一対の信号出力ラインＬｏ１，Ｌｏ２に接続されている測定装置ＭＤ２の信号出力用端子ＴＰ３，ＴＰ４に接続する）。

【0057】

測定装置ＭＤ２は、このようにして所定時間だけ接続される各測定対象２１に対して信号源ＳＧから測定用の信号を供給し、この信号の供給時における測定対象２１の両端間電圧の電圧値を電圧計ＶＭで測定してこの電圧値を示す電圧データＤｖを制御装置１１に出力し、かつこの信号の供給時に測定対象２１に流れる電流の電流値を電流計ＩＭで測定してこの電流値を示す電流データＤｉを制御装置１１に出力する。制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎに接続されているｎ個の測定対象２１のうちの接続切替装置１を介して測定装置ＭＤ２に実際に接続されている１つの測定対象２１についての電圧データＤｖおよび電流データＤｉを取得する都度、この取得した各データＤｖ，Ｄｉに基づいてこの接続されている１つの測定対象２１についての抵抗値を算出すると共にこの１つの測定対象２１に対応させて記憶する。

【0058】

制御装置１１は、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値をすべて測定して記憶したときには、スキャナ部９を構成するすべてのスイッチ（上記のスイッチＳＷ１〜ＳＷ４、ｎ個のスイッチＳＷｖ、ｎ個のスイッチＳＷｏ、ｎ個のスイッチＳＷｉ、およびスイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２）をオフ状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏを接続切替装置１に出力する。これにより、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値の４端子法による測定処理が完了する。その後、測定者は、新たなｎ個の測定対象２１の抵抗値を４端子法で引き続き測定する場合には、測定済みのｎ個の測定対象２１に代えて新たなｎ個の測定対象２１を測定ケーブルＭＣ２に接続して、上記した処理を繰り返す。一方、測定者は、４端子法での測定を終了させるときには、測定ケーブルＭＣ２および測定装置ＭＤ２を接続切替装置１から取り外す。

【0059】

次いで、図４を参照して、測定対象２１の物理量（抵抗値）を４端子対法で測定するときの接続切替装置１の動作について説明する。この場合、測定者は、測定の前処理として、最初に、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オン状態に移行させる。
これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ（測定ケーブルＭＣ３が接続切替装置１に接続された際に測定ケーブルＭＣ３のシールドが接続される端子）およびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線がシャーシ２に接続される（つまり、接地される）。

【0060】

また、測定者は、測定の前処理として、次に、図４に示すように、測定装置ＭＤ３の検出用端子ＴＰ１を装置用コネクタ群７のコネクタ６_ＡＨに、また測定装置ＭＤ３の検出用端子ＴＰ２を装置用コネクタ群７のコネクタ６_ＡＬに、また測定装置ＭＤ３の信号出力用端子ＴＰ３を装置用コネクタ群７のコネクタ６_ＢＨに、また測定装置ＭＤ３の信号出力用端子ＴＰ４を装置用コネクタ群７のコネクタ６_ＢＬに、また測定装置ＭＤ３の電流検出用端子ＴＰ５を装置用コネクタ群７のコネクタ７_Ｈに、また測定装置ＭＤ３の電流検出用端子ＴＰ６を装置用コネクタ群７のコネクタ７_Ｌにそれぞれ同軸ケーブルを介して接続し、かつ測定装置ＭＤ３のガード端子ＴＰＧをコネクタ５_Ｇに単芯ケーブルを介して接続する。また、測定ケーブルＭＣ３のコネクタＣＮ３をケーブル用コネクタ８に接続する。また、測定ケーブルＭＣ３の各チャンネルＣＨのうちの使用するチャンネルＣＨに（本例では同図に示すようにチャンネルＣＨ１〜ＣＨｎのすべてに）測定対象２１を接続すると共に、リターン経路を形成するための導体２２を接続する。また、測定装置ＭＤ３において測定された測定対象２１の電圧データＤｖおよび電流データＤｉを制御装置１１で取得し得るように、測定装置ＭＤ３を制御装置１１に接続する。

【0061】

このコネクタＣＮ３のケーブル用コネクタ８への接続に際して、上記したコネクタＣＮ１のケーブル用コネクタ８への接続のときと同様にして、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線にノイズが生じようとする場合があるが、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等は接地されているため、このノイズの発生を未然に防止することが可能となり、またスキャナ部９を構成する各スイッチの保護も可能となっている。

【0062】

また、測定者は、このようにして接続切替装置１への測定装置ＭＤ３および測定ケーブルＭＣ３の接続が完了した後に、測定の前処理の最後として、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オフ状態に移行させる。これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等の接地が解除される。

【0063】

次いで、測定者は制御装置１１に対する操作を実行して、測定ケーブルＭＣ３の各チャンネルＣＨに接続されているｎ個の測定対象２１の抵抗値を４端子対法で測定する指示を制御装置１１に入力する。

【0064】

これにより、制御装置１１は、まず、図４に示すように、各スイッチＳＷ１〜ＳＷ４については、スイッチＳＷ２，ＳＷ３，ＳＷ４のみをオン状態に移行させると共に、スイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２については、スイッチＳＷｓ２のみをオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（測定方法として４端子対法を選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、測定装置ＭＤ３の検出用端子ＴＰ１を一方の検出ラインＬｖ１に接続し、検出用端子ＴＰ２を他方の検出ラインＬｖ２に接続し、信号出力用端子ＴＰ３を一方の信号出力ラインＬｏ１に接続し、信号出力用端子ＴＰ４を他方の信号出力ラインＬｏ２に接続し、電流検出用端子ＴＰ５を一方の電流検出ラインＬｉ１に接続し、電流検出用端子ＴＰ６を他方の電流検出ラインＬｉ２に接続し、かつガード端子ＴＰＧを内部配線（シールド端子ＳＨに接続されている配線）およびケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨを介して測定ケーブルＭＣ２のシールドに接続する。

【0065】

次いで、制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおける１番ピンおよび２番ピンに接続されたスイッチＳＷｖ、３番ピンおよび４番ピンに接続されたスイッチＳＷｏ、並びに５番ピンおよび６番ピンに接続されたスイッチＳＷｉの組を、例えば、チャンネルＣＨ１側から１組ずつ順番に所定時間だけオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（チャンネルＣＨを選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、ｎ個の測定対象２１を１つずつ順番に所定時間だけ、スイッチＳＷｖを介して一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続し（つまり、スイッチＳＷ２を介してこの一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続されている測定装置ＭＤ３の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２に接続し）、スイッチＳＷｏを介して一対の信号出力ラインＬｏ１，Ｌｏ２に接続し（つまり、スイッチＳＷ３を介してこの一対の信号出力ラインＬｏ１，Ｌｏ２に接続されている測定装置ＭＤ３の信号出力用端子ＴＰ３，ＴＰ４に接続し）、かつスイッチＳＷｉを介して一対の電流検出ラインＬｉ１，Ｌｉ２に接続する（つまり、スイッチＳＷ４を介してこの一対の電流検出ラインＬｉ１，Ｌｉ２に接続されている測定装置ＭＤ３の電流検出用端子ＴＰ５，ＴＰ６に接続する）。

【0066】

測定装置ＭＤ３は、このようにして所定時間だけ接続される各測定対象２１に対して信号源ＳＧから測定用の信号を供給し、この信号の供給時における測定対象２１の両端間電圧の電圧値を電圧計ＶＭで測定してこの電圧値を示す電圧データＤｖを制御装置１１に出力し、かつこの信号の供給時に測定対象２１に流れる電流の電流値を電流計ＩＭで測定してこの電流値を示す電流データＤｉを制御装置１１に出力する。制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎに接続されているｎ個の測定対象２１のうちの接続切替装置１を介して測定装置ＭＤ３に実際に接続されている１つの測定対象２１についての電圧データＤｖおよび電流データＤｉを取得する都度、この取得した各データＤｖ，Ｄｉに基づいてこの接続されている１つの測定対象２１についての抵抗値を算出すると共にこの１つの測定対象２１に対応させて記憶する。

【0067】

制御装置１１は、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値をすべて測定して記憶したときには、スキャナ部９を構成するすべてのスイッチ（上記のスイッチＳＷ１〜ＳＷ４、ｎ個のスイッチＳＷｖ、ｎ個のスイッチＳＷｏ、ｎ個のスイッチＳＷｉ、およびスイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２）をオフ状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏを接続切替装置１に出力する。これにより、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値の４端子対法による測定処理が完了する。その後、測定者は、新たなｎ個の測定対象２１の抵抗値を４端子対法で引き続き測定する場合には、測定済みのｎ個の測定対象２１に代えて新たなｎ個の測定対象２１を測定ケーブルＭＣ３に接続して、上記した処理を繰り返す。一方、測定者は、４端子対法での測定を終了させるときには、測定ケーブルＭＣ３および測定装置ＭＤ３を接続切替装置１から取り外す。

【0068】

このように、この接続切替装置１では、測定対象２１の物理量（本例では抵抗値）を第１測定方法（本例では、２端子法、４端子法および４端子対法のうちのいずれか１つ）で測定する第１測定装置（測定装置ＭＤ１〜ＭＤ３のうちの第１測定方法で測定する測定装置）が接続可能な第１装置用コネクタ群（装置用コネクタ群５〜７のうちの第１測定方法で測定する測定装置が接続されるコネクタ群）と、測定対象２１の物理量（本例では抵抗値）を第１測定方法とは異なる第２測定方法（本例では、２端子法、４端子法および４端子対法のうちの上記のいずれか１つを除く残りの２つのうちの１つ）で測定する第２測定装置（測定装置ＭＤ１〜ＭＤ３のうちの第２測定方法で測定する測定装置）が接続可能な第２装置用コネクタ群（装置用コネクタ群５〜７のうちの第２測定方法で測定する測定装置が接続されるコネクタ群）と、測定対象２１の物理量（本例では抵抗値）を第１測定方法および第２測定方法とは異なる第３測定方法（本例では、２端子法、４端子法および４端子対法のうちの第１測定方法および第２測定方法に相当する測定方法以外の１つ）で測定する第３測定装置（測定装置ＭＤ１〜ＭＤ３のうちの第３測定方法で測定する測定装置）が接続可能な第３装置用コネクタ群（装置用コネクタ群５〜７のうちの第３測定方法で測定する測定装置が接続されるコネクタ群）と、測定対象２１に接続される測定ケーブルＭＣ１〜ＭＣ３（シールド付きの測定ケーブル）が接続可能な複数チャンネル（チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎ）分のケーブル用コネクタ８と、制御信号Ｓｃｏによって第１〜第３測定方法のうちから一つの測定方法が選択され、かつｎ個のチャンネルＣＨのうちから１つのチャンネルＣＨが選択されたときには、選択された１つの測定方法に対応する装置用コネクタ群（装置用コネクタ群５〜７のうちの１つ）と選択された１つのチャンネルＣＨに対応するケーブル用コネクタ８の各端子とが、装置用コネクタ群に含まれるガード用コネクタ（接地用コネクタ）５_Ｇとケーブル用コネクタ８の各端子に含まれて測定ケーブル（測定ケーブルＭＣ１〜ＭＣ３のうちの選択された１つの測定方法に対応する測定ケーブル）のシールドが接続されるシールド端子ＳＨとが接続された状態で接続される接続形態に切り替え可能なスキャナ部９とを備えている。

【0069】

したがって、この接続切替装置１によれば、１つの測定方法の測定装置とその測定ケーブルだけではなく、異なる複数種類の測定方法の測定装置（本例では一例として、２端子法の測定装置ＭＤ１、４端子法の測定装置ＭＤ２および４端子対法の測定装置ＭＤ３の異なる３種類の測定方法の測定装置）とそれぞれに対応する複数種類の測定ケーブル（本例では３種類の測定ケーブルＭＣ１〜ＭＣ３）のうちから任意の１つの組を選択して接続して使用することができる。

【0070】

なお、接続切替装置１では、上記したように、２端子法の測定装置ＭＤ１とそれに対応する測定ケーブルＭＣ１の組、４端子法の測定装置ＭＤ２とそれに対応する測定ケーブルＭＣ２の組、および４端子対法の測定装置ＭＤ３とそれに対応する測定ケーブルＭＣ３の組の３つの組のうちから選択された１つの組を接続し得るように構成されているが、２端子法の測定装置ＭＤ１とそれに対応する測定ケーブルＭＣ１の組および４端子法の測定装置ＭＤ２とそれに対応する測定ケーブルＭＣ２の組の２つの組のうちから選択された１つの組を接続し得るように構成してもよいし、２端子法の測定装置ＭＤ１とそれに対応する測定ケーブルＭＣ１の組および４端子対法の測定装置ＭＤ３とそれに対応する測定ケーブルＭＣ３の組の２つの組のうちから選択された１つの組を接続し得るように構成してもよいし、４端子法の測定装置ＭＤ２とそれに対応する測定ケーブルＭＣ２の組および４端子対法の測定装置ＭＤ３とそれに対応する測定ケーブルＭＣ３の組の２つの組のうちから選択された１つの組を接続し得るように構成してもよい。

【0071】

なお、２端子法を採用する測定装置には、図２に示す測定装置ＭＤ１のように、電流計ＩＭが接地側に配置されている構成のものもあれば、図５に示す測定装置ＭＤ４のように、電流計ＩＭが非接地側に配置されている構成のもの（同図に示すように、一端が接地されている測定対象２１の抵抗値を測定するための測定装置）もある。本例の接続切替装置１では、この測定装置ＭＤ４についても接続して使用することが可能となっている。以下、測定装置ＭＤ４を接続して使用する場合の接続切替装置１の動作について図５を参照して説明する。

【0072】

まず、測定者は、測定の前処理として、最初に、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オン状態に移行させる。これにより、接続切替装置１への測定ケーブルＭＣ１（２端子法用の測定ケーブル）の接続によって測定ケーブルＭＣ１のシールドに接続されるケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線がシャーシ２に接続される（つまり、接地される）。

【0073】

また、測定者は、測定の前処理として、次に、図５に示すように、測定装置ＭＤ４の検出用端子ＴＰ１を装置用コネクタ群５のコネクタ５_Ｈに、また測定装置ＭＤ１の検出用端子ＴＰ２をコネクタ５_Ｌにそれぞれ同軸ケーブルを介して接続する。また、測定ケーブルＭＣ１のコネクタＣＮ１をケーブル用コネクタ８に接続すると共に、測定ケーブルＭＣ１の各チャンネルＣＨのうちの使用するチャンネルＣＨに（本例では同図に示すようにチャンネルＣＨ１〜ＣＨｎのすべてに）測定対象２１を接続する。この場合、各測定対象２１の一対の端子のうちの非接地側端子（本例では同図中の上側の端子）が検出ラインＬｖ１に接続され、かつ接地側端子（本例では同図中の下側の端子）が検出ラインＬｖ２に接続されるように各測定対象２１を測定ケーブルＭＣ１の各チャンネルＣＨに接続する。また、測定装置ＭＤ４において測定された測定対象２１についての電圧データＤｖおよび電流データＤｉを制御装置１１で取得し得るように、測定装置ＭＤ４を制御装置１１に接続する。

【0074】

このコネクタＣＮ１のケーブル用コネクタ８への接続に際して、電位的に不定な状態の測定ケーブルＭＣ１のシールドが接続されることに起因して、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線に、過電圧や過電流などのノイズが生じようとする場合があるが、上記したように、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等は接地されているため、このノイズの発生を未然に防止することが可能となり、またスキャナ部９を構成する各スイッチの保護も可能となっている。

【0075】

また、測定者は、このようにして接続切替装置１への測定装置ＭＤ４および測定ケーブルＭＣ１の接続が完了した後に、測定の前処理の最後として、接断スイッチ１０に対する操作を実行して、オフ状態に移行させる。これにより、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨ等の接地が解除される。

【0076】

次いで、測定者は制御装置１１に対する操作（制御装置１１に設けられているキーボードや操作パネルなどの不図示の入力部に対する操作）を実行して、測定ケーブルＭＣ１の各チャンネルＣＨに接続されているｎ個の測定対象２１の抵抗値を、測定対象２１の一方の端子が接地されているという条件下において２端子法で測定する指示を制御装置１１に入力する。

【0077】

これにより、制御装置１１は、まず、図５に示すように、各スイッチＳＷ１〜ＳＷ４については、スイッチＳＷ１のみをオン状態に移行させると共に、スイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２については、スイッチＳＷｓ１のみをオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（接地されている測定対象２１を２端子法を測定するという測定方法を選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、測定装置ＭＤ４の検出用端子ＴＰ１を一方の検出ラインＬｖ１に接続し、かつ検出用端子ＴＰ２を他方の検出ラインＬｖ２に接続する。また、接続切替装置１は、さらに測定装置ＭＤ４の検出用端子ＴＰ１をケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨを介して測定ケーブルＭＣ１のシールドに接続する。

【0078】

次いで、制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎにおける１番ピンおよび２番ピンに接続されたスイッチＳＷｖを、例えば、チャンネルＣＨ１側から１つずつ順番に所定時間だけオン状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏ（チャンネルＣＨを選択するための信号）を接続切替装置１に出力する。これにより、接続切替装置１は、ｎ個の測定対象２１を１つずつ順番に所定時間だけスイッチＳＷｖを介して一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続する（つまり、スイッチＳＷ１を介してこの一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２に接続されている測定装置ＭＤ４の検出用端子ＴＰ１，ＴＰ２に接続する）。

【0079】

測定装置ＭＤ４は、このようにして所定時間だけ接続される各測定対象２１に対して信号源ＳＧから測定用の信号を供給し、この信号の供給時における測定対象２１の両端間電圧の電圧値を電圧計ＶＭで測定してこの電圧値を示す電圧データＤｖを制御装置１１に出力し、かつこの信号の供給時に測定対象２１に流れる電流の電流値を電流計ＩＭで測定してこの電流値を示す電流データＤｉを制御装置１１に出力する。この場合、電流計ＩＭが非接地側に配置されている測定装置ＭＤ４では、測定ケーブルＭＣ１のシールドが測定装置ＭＤ４内の電流計ＩＭの電位とほぼ同電位に規定されているため、より高いシールド効果を維持しつつ、測定対象２１の両端間電圧の電圧値および測定対象２１に流れる電流の電流値を測定することが可能となっている。

【0080】

制御装置１１は、ケーブル用コネクタ８の各チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎに接続されているｎ個の測定対象２１のうちの接続切替装置１を介して測定装置ＭＤ１に実際に接続されている１つの測定対象２１についての電圧データＤｖおよび電流データＤｉを取得する都度、この取得した各データＤｖ，Ｄｉに基づいてこの接続されている１つの測定対象２１についての抵抗値を算出すると共にこの１つの測定対象２１に対応させて記憶する。

【0081】

制御装置１１は、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値をすべて測定して記憶したときには、スキャナ部９を構成するすべてのスイッチ（上記のスイッチＳＷ１〜ＳＷ４、ｎ個のスイッチＳＷｖ、ｎ個のスイッチＳＷｏ、ｎ個のスイッチＳＷｉ、およびスイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２）をオフ状態に移行させるための制御信号Ｓｃｏを接続切替装置１に出力する。これにより、ｎ個の測定対象２１についての抵抗値の２端子法による測定処理が完了する。

【0082】

このように、この接続切替装置１では、スキャナ部９は、選択された一つの測定方法が２端子法のときには、上記した図２に示す測定装置ＭＤ１を用いた２端子法による測定の場合の接続形態（つまり、ガード用コネクタ５_Ｇにシールド端子ＳＨが接続される接続形態）に代えて、図５に示すようにケーブル用コネクタ８の各端子のうちの測定ケーブルＭＣ１を介して測定対象２１の非接地側端子に接続される端子（図５では各チャンネルＣＨの１番ピン）にシールド端子ＳＨが接続される接続形態に複数のスイッチ（スイッチＳＷ１〜ＳＷ４、ｎ個のスイッチＳＷｖ、ｎ個のスイッチＳＷｏ、ｎ個のスイッチＳＷｉ、およびスイッチＳＷｓ１，ＳＷｓ２）のオン・オフ状態を切り替え可能に構成されている。

【0083】

したがって、この接続切替装置１によれば、測定装置ＭＤ４が測定ケーブルＭＣ１のシールドを測定装置ＭＤ４内の電流計ＩＭの電位とほぼ同電位に規定した状態（つまり、より高いシールド効果を維持した状態）で、一端が接地されている測定対象２１に流れる電流の電流値を、この測定対象２１の両端間電圧の電圧値と共に高精度で測定することができる結果、制御装置１１においてこの測定対象２１の抵抗値をより高精度で測定し得るようにすることができる。

【0084】

また、この接続切替装置１では、スキャナ部９は、接地された（つまり、グランド電位に規定された）シャーシ２と接断スイッチ１０とを備えると共に、接断スイッチ１０がオン状態のときにはこの接断スイッチ１０を介してシールド端子ＳＨがシャーシ２に接続され、一方、接断スイッチ１０がオフ状態のときにはシールド端子ＳＨがシャーシ２から切り離されるように構成されている。

【0085】

したがって、この接続切替装置１によれば、各種の測定ケーブルＭＣ１〜ＭＣ３の接続に際して、これらの測定ケーブルＭＣ１〜ＭＣ３のシールドが接続されるケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線を接断スイッチ１０を介して接地しておくことができる。これにより、この接続切替装置１によれば、電位的に不定な状態の測定ケーブルＭＣ１〜ＭＣ３のシールドが接続されることに起因して、ケーブル用コネクタ８のシールド端子ＳＨおよびこのシールド端子ＳＨに接続されているシャーシ２内の内部配線に、過電圧や過電流などのノイズが生じるという事態の発生を未然に防止することができ、これによってスキャナ部９を構成する各スイッチの保護を行うことができる。

【0086】

また、この接続切替装置１では、一対のコネクタ５_Ｈ，５_ＬがスイッチＳＷ１を介して、また一対のコネクタ６_ＡＨ，６_ＡＬがスイッチＳＷ２を介して、一対の検出ラインＬｖ１，Ｌｖ２にそれぞれ接続される構成を備えている。したがって、この接続切替装置１によれば、図２において破線で示すように、２端子法の測定装置ＭＤ１と同時に、４端子法の測定装置ＭＤ２や４端子対法の測定装置ＭＤ３を接続して使用することもできる。これにより、この接続切替装置１によれば、測定装置ＭＤ１と同時に測定装置ＭＤ２を接続する場合には測定ケーブルＭＣ２を使用し、一方、測定装置ＭＤ１と同時に測定装置ＭＤ３を接続する場合には測定ケーブルＭＣ３を使用することで、各チャンネルＣＨに接続されている測定対象２１の物理量（抵抗値）を、測定対象２１毎に２端子法と４端子法（または４端子対法）とを切り替えて測定することができる。

【0087】

また、測定対象２１の物理量として抵抗値を測定する例を挙げて説明したが、物理量は抵抗値に限定されえず、例えばインピーダンス、キャパシタンスおよびインダクタンスなどであってもよい。また、スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３，ＳＷ４，ＳＷｖ，ＳＷｏ，ＳＷｉを１つの２極単投型のスイッチで構成する例を挙げて説明したが、２つの１極単投型のスイッチで構成することもできる。

【符号の説明】

【0088】

１ 接続切替装置
２ シャーシ
５，６，７ 装置用コネクタ群
８ ケーブル用コネクタ
９ スキャナ部
ＭＣ１，ＭＣ２，ＭＣ３ 測定ケーブル
ＭＤ１，ＭＤ２，ＭＤ３，ＭＤ４ 測定装置
ＳＨ シールド端子
ＳＷ１〜ＳＷ４，ＳＷｖ，ＳＷｏ，ＳＷｉ，ＳＷｓ１，ＳＷｓ２ スイッチ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】