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特許6777933化学蒸着用原料及びその製造方法、並びに該化学蒸着用原料を用いて形成されるインジウムを含有する酸化物の膜の製造方法
発明の名称 化学蒸着用原料及びその製造方法、並びに該化学蒸着用原料を用いて形成されるインジウムを含有する酸化物の膜の製造方法
出願人 株式会社高純度化学研究所 （識別番号 143411）
特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3906 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6777933
公報発行日 2020年10月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6777933
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