【図1】図１は、本発明の一薄膜製造方法を説明するための模式図である。

【図2】図２は、薄膜製造方法における塗布膜形成工程で使用するインクジェット装置の概略構成を説明するための平面図である。

【図3】図３は、図２に示したインクジェット装置が有するラインヘッドを支持体側からみた場合の図面である。

【図4】図４は、第ｍのラインヘッドにおける複数のノズル孔の配置状態を説明するための模式図である。

【図5】図５は、第ｍのラインヘッドにおける複数のノズル孔の他の配置状態を説明するための模式図である。

【図6】図６は、第１〜第４のラインヘッドにおけるノズル孔の配置状態の一例を示す図面である。

【図7】図７は、第ｍのラインヘッドが有する複数のノズル孔に対応する複数の目標着弾位置の配置状態を説明するための模式図である。

【図8】図８は、第ｍのラインヘッドが有する複数のノズル孔に対応する複数の目標着弾位置の他の配置状態を説明するための模式図である。

【図9】図９（ａ）、図９（ｂ）、図９（ｃ）及び図９（ｄ）は、第１〜第４のラインヘッドから支持体に向けて塗布液を吐出する際に、第１〜第４のラインヘッドそれぞれが有する複数のノズル孔から塗布液の吐出方法を説明するための図面である。

【図10】図１０は、本発明の一有機ＥＬデバイスの構成を示す模式図である。

【図11】図１１は、第１〜第４のラインヘッドに対応する目標着弾位置の配置状態の他の例を説明するための模式図である。

【図12】図１２は、第１〜第Ｍのラインヘッド間の配置状態の他の例を説明するための模式図である。

【図13】図１３は、図１２に示した状態を実現するためのインクジェット装置の装置構成の一例を説明するための図面である。