特許6780004表面処理用組成物およびそれを用いたレジストパターンの表面処理方法

発明の名称　表面処理用組成物およびそれを用いたレジストパターンの表面処理方法

出願人　メルク、パテント、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング　（識別番号 506427679）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6780004

公報発行日　2020年11月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6780004

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