特許 6781679 記録層、光情報記録媒体及びスパッタリングターゲット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6781679

(24)【登録日】2020年10月20日

(45)【発行日】2020年11月4日

(54)【発明の名称】記録層、光情報記録媒体及びスパッタリングターゲット

(51)【国際特許分類】

   G11B 7/2433 20130101AFI20201026BHJP

   G11B 7/26 20060101ALI20201026BHJP

   C23C 14/08 20060101ALI20201026BHJP

【ＦＩ】

   G11B7/2433

   G11B7/26 531

   C23C14/08 K

【請求項の数】11

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-174285(P2017-174285)

(22)【出願日】2017年9月11日

(65)【公開番号】特開2019-50072(P2019-50072A)

(43)【公開日】2019年3月28日

【審査請求日】2019年9月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001199

【氏名又は名称】株式会社神戸製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】100120329

【弁理士】

【氏名又は名称】天野 一規

(74)【代理人】

【識別番号】100159581

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 勝誠

(74)【代理人】

【識別番号】100159499

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 義典

(74)【代理人】

【識別番号】100158540

【弁理士】

【氏名又は名称】小川 博生

(74)【代理人】

【識別番号】100106264

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 耕治

(74)【代理人】

【識別番号】100187768

【弁理士】

【氏名又は名称】藤中 賢一

(72)【発明者】

【氏名】田内 裕基

【審査官】 中野 和彦

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１６／１２９２３７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−０６５７３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１８２２３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２３３９５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１１Ｂ ７／２４３３

Ｃ２３Ｃ １４／０８

Ｇ１１Ｂ ７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

レーザー光の照射によって記録が行われる光情報記録媒体用記録層であって、
タングステン酸化物及びコバルト酸化物を含有し、
全金属原子に対するコバルト原子の含有量が４０原子％以上７０原子％以下であり、
インジウム酸化物及び銅酸化物をさらに含有し、
全金属原子に対するインジウム原子の含有量が１５原子％以上、かつ全金属原子に対する銅原子の含有量が３０原子％以上である記録層。

【請求項2】

亜鉛酸化物をさらに含有する請求項１に記載の記録層。

【請求項3】

銀酸化物をさらに含有し、
全金属原子に対する銀原子の含有量が２０原子％以下である請求項１又は請求項２に記載の記録層。

【請求項4】

レーザー光の照射によって気泡を生成する請求項１、請求項２又は請求項３に記載の記録層。

【請求項5】

平均厚さが５ｎｍ以上６０ｎｍ以下である請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の記録層。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の記録層を備える光情報記録媒体。

【請求項7】

上記記録層のレーザー照射面の反対側の面に反射層が積層されていない請求項６に記載の光情報記録媒体。

【請求項8】

誘電体層が積層されていない請求項６又は請求項７に記載の光情報記録媒体。

【請求項9】

レーザー光の照射によって記録が行われる光情報記録媒体用記録層をスパッタリングにより形成するためのスパッタリングターゲットであって、
タングステン及びコバルトを含有し、
全金属原子に対するコバルト原子の含有量が４０原子％超７０原子％以下であり、
インジウム酸化物及び銅酸化物をさらに含有し、
全金属原子に対するインジウム原子の含有量が１５原子％以上、
全金属原子に対する銅原子の含有量が３０原子％以上であるスパッタリングターゲット。

【請求項10】

亜鉛をさらに含有する請求項９に記載のスパッタリングターゲット。

【請求項11】

銀をさらに含有し、
全金属原子に対する銀原子の含有量が２０原子％以下である請求項９又は請求項１０に記載のスパッタリングターゲット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、記録層及び光情報記録媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

例えばＣＤ、ＤＶＤ等の光ディスクが光情報記録媒体として広く用いられている。この光情報記録媒体は、記録再生方式により、再生専用型、追記型及び書き換え型の３種類に分類される。また、上記追記型の記録方式としては、例えば（ｉ）記録層を相変化させる相変化方式、（ｉｉ）複数の記録層を反応させる層間反応方式、（ｉｉｉ）記録層を構成する化合物を分解させる分解方式、（ｉｖ）記録層に孔やピットなどの記録マークを局所的に形成させる孔開け方式が用いられている。

【0003】

上記相変化方式としては、記録層の結晶化による光学特性の変化を利用した方式が提案されている。例えば国際公開第１９９８／９８２３号及び特開２００５−１３５５６８号公報ではＴｅ−Ｏ−Ｐｄを含む記録層が提案され、特開２００３−３３１４６１号公報ではＳｂ−Ｔｅを含む記録層が提案されている。

【0004】

上記層間反応方式としては、加熱による反応又は合金化により記録を行う２層構造の記録層が提案されている。例えば特開２００３−３２６８４８号公報では、Ｉｎ及びＯを含む合金からなる第一の記録層と、Ｓｅ及び／又はＴｅとＯとを含む合金からなる第二の記録層とを積層した構成が提案されており、特開平１１−３４５０１号公報では、Ｉｎを主成分とする第１の記録層と、５Ｂ族又は６Ｂ族に属する少なくとも１種類の元素を含む金属或いは非金属からなる第２の記録層とを積層した構成が提案されている。

【0005】

上記分解方式としては、例えば国際公開第２００３／１０１７５０号に、金属窒化物を主成分とし、加熱により溶解することで記録を行う記録層が提案されている。また、上記分解方式としては、記録層の形成材料として有機色素材料を用いることも検討されている。

【0006】

上記孔開け方式としては、低融点材料を用いた記録層が提案されており、例えば特開２００７−１９６６８３号公報では、Ｎｉ及び／又はＣｏを含有するＳｎ基合金からなる記録層が提案されている。また、特許第４１１０１９４号では、Ｉｎ−Ｃｏ合金からなる記録層が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】国際公開第１９９８／９８２３号

【特許文献2】特開２００５−１３５５６８号公報

【特許文献3】特開２００３−３３１４６１号公報

【特許文献4】特開２００３−３２６８４８号公報

【特許文献5】特開平１１−３４５０１号公報

【特許文献6】国際公開第２００３／１０１７５０号

【特許文献7】特開２００７−１９６６８３号公報

【特許文献8】特許第４１１０１９４号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

光情報記録媒体に求められる主な要求特性としては、再生に十分な反射率を有すること、実用的な記録レーザーパワーで記録が可能なこと（高記録感度を有すること）、記録信号が再生に十分な信号振幅を有すること（高変調度）、信号強度が高いこと（高Ｃ／Ｎ比）等が挙げられる。

【0009】

しかしながら、上記公報に記載の材料によってはこれら全ての要求特性を単体（単層）で満たすことは困難である。そのため、従来の光情報記録媒体は、反射率を補うために記録層のレーザー照射面の反対側の面に反射層を積層したり、十分な変調度を確保するために誘電体層を積層したりすることを要する。その結果、従来の光情報記録媒体は、層数が多くなり生産性が低下するという課題を有している。なお、上述のＩｎ−Ｃｏ合金からなる記録層は、単層で十分な反射率及び変調度を確保することが可能であるが、記録感度の点でさらなる向上が望まれる。

【0010】

本発明は、このような事情に基づいてなされたもので、層数の増加を抑制しつつ上記要求特性を満たすことができる記録層及び光情報記録媒体を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するためになされた本発明に係る記録層は、レーザー光の照射によって記録が行われる光情報記録媒体用記録層であって、タングステン酸化物及びコバルト酸化物を含有し、全金属原子に対するコバルト原子の含有量が１０原子％超７０原子％以下である。

【0012】

当該記録層は、タングステン酸化物及びコバルト酸化物を含有するので、複素屈折率が高く、これにより高い反射率を得ることができる。また、当該記録層は、タングステン酸化物及びコバルト酸化物を含有することで吸収率を高めることができるので、信号記録のためのレーザーのエネルギーを効率的に熱に変換することができる。そのため、当該記録層は記録感度が高い。また、当該記録層は、全金属原子に対するコバルト原子の含有量が上記範囲内であるので、変調度及び信号強度（Ｃ／Ｎ比）を高めることができる。当該記録層は、高反射率、高変調度等を得るために他の層を積層することを要しないので、層数の増加を抑制することができる。

【0013】

当該記録層は、インジウム酸化物、亜鉛酸化物及び銅酸化物のうち少なくとも１種をさらに含有するとよい。このように、インジウム酸化物、亜鉛酸化物及び銅酸化物のうち少なくとも１種をさらに含有することによって、記録感度等をより高めることができる。

【0014】

当該記録層は、銀酸化物をさらに含有することが好ましく、全金属原子に対する銀原子の含有量としては２０原子％以下が好ましい。このように、銀酸化物を上記割合で含有することで、記録感度をさらに高めることができる。

【0015】

当該記録層は、レーザー光の照射によって気泡を生成するとよい。この構成によると、レーザー光の照射による気泡の生成によって層形状が変化し、不可逆的な記録を行うことができる。この記録方式によると、記録感度をさらに高めることができる。

【0016】

当該記録層の平均厚さとしては、５ｎｍ以上６０ｎｍ以下が好ましい。このように、当該記録層の平均厚さが上記範囲内であることによって、反射率及び記録感度を適切に制御することができる。

【0017】

また、上記課題を解決するためになされた本発明に係る光情報記録媒体は、当該記録層を備える。

【0018】

当該光情報記録媒体は、当該記録層を備えるので、層数の増加を抑制しつつ高反射率、高記録感度、高変調度及び高Ｃ／Ｎ比を満たすことができる。

【0019】

当該光情報記録媒体は、上記記録層のレーザー照射面の反対側の面に反射層が積層されていないとよい。このように、上記記録層のレーザー照射面の反対側の面に反射層が積層されていないことにより、全体の層数を少なくすることで生産性を高めることができる。

【0020】

当該光情報記録媒体は誘電体層が積層されていないとよい。このように、誘電体層が積層されていないことによって、全体の層数を少なくすることで生産性を高めることができる。

【0021】

なお、本発明において「平均厚さ」とは、任意の１０点の厚さの平均値をいう。

【発明の効果】

【0022】

以上説明したように、本発明の記録層及び光情報記録媒体は、層数の増加を抑制しつつ高反射率、高記録感度、高変調度及び高Ｃ／Ｎ比を満たすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の一実施形態に係る光情報記録媒体を示す模式的部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。

【0025】

当該記録層は、レーザー光の照射によって記録が行われる光情報記録媒体用記録層である。当該光情報記録媒体は、典型的には光ディスク、より詳しくはＣＤ，ＤＶＤ、ＢＤ等の追記型の光ディスクである。当該光情報記録媒体は、例えば図１に示すように、当該記録層１と、当該記録層１の表面側（レーザー光の照射面側）に積層される光透過層２と、当該記録層１の裏面側に積層される基板３とを備える。以下では、まず当該記録層１について説明する。

【0026】

＜記録層＞
当該記録層１は、Ｗ（タングステン）酸化物及びＣｏ（コバルト）酸化物を含有する。また、当該記録層１は、全金属原子に対するＣｏ原子の含有量が１０原子％超７０原子％以下である。なお、Ｗ酸化物及びＣｏ酸化物は、Ｏ（酸素）のみと構成される酸化物の他、当該記録層１に含まれる他の元素との複合酸化物であってもよい。

【0027】

当該記録層１は、Ｗ酸化物及びＣｏ酸化物を含有するので、複素屈折率が高く、これにより高い反射率を得ることができる。また、当該記録層１は、Ｗ酸化物及びＣｏ酸化物を含有することで吸収率を高めることができ、信号記録のためのレーザー光のエネルギーを効率的に熱に変換することができる。

【0028】

なお、当該記録層１は、実質的に（つまり、不可避的不純物として含まれる場合を除いて）金属Ｗ及び金属Ｃｏを単体として含有しないことが好ましい。当該記録層１が金属Ｗ及び／又は金属Ｃｏを単体として含有する場合、これらの金属元素の酸化によって当該記録層１の所望の特性に影響を与えるおそれがある。

【0029】

当該記録層１は、レーザー照射による加熱によってＣｏ酸化物が分解して酸素を放出し、当該記録層１の組成が変化することで不可逆的な記録を行うことができる。換言すると、当該記録層１は、レーザー照射に基づくＣｏ酸化物の分解によって気泡を生成し、この気泡によって層形状が変化することで不可逆的な記録を行うことができる。当該記録層１は、このようにレーザー光の照射に起因する気泡の生成によって記録を行うことができるので記録感度を高めることができる。当該記録層１が記録感度を高めることができる理由としては、レーザー照射による気泡の発生によって記録が行われた部分は、気泡が発生していない部分と比較して透過率が増加する（つまり、反射率が低下する）ため、変調度を高めることができるからと考えられる。

【0030】

当該記録層１に含まれる全金属原子に対するＣｏ原子の含有量としては、上述のように１０原子％超であり、１５原子％以上がより好ましい。一方、全金属原子に対するＣｏ原子の含有量の上限としては、上述のように７０原子％であり、６０原子％がより好ましい。Ｃｏ原子の含有量が上記下限に満たないと、Ｃｏ酸化物の分解によって放出される酸素量が不十分となり、信号強度（Ｃ／Ｎ値）が低くなるおそれがある。逆に、Ｃｏ原子の含有量が上記上限を超えると、変調度が低くなり、酸素が放出され難くなるおそれがある。

【0031】

当該記録層１は、Ｉｎ（インジウム）酸化物、Ｚｎ（亜鉛）酸化物及びＣｕ（銅）酸化物のうち少なくとも１種をさらに含有することが好ましい。Ｉｎ酸化物、Ｚｎ酸化物及びＣｕ酸化物としては、通常存在し得るものであれば特に限定されるものではなく、例えばＩｎ酸化物であればＩｎ_２Ｏ_３等、Ｚｎ酸化物であればＺｎＯ等、Ｃｕ酸化物であればＣｕＯ、Ｃｕ_２Ｏ等が挙げられる。当該記録層１は、Ｉｎ酸化物、Ｚｎ酸化物及びＣｕ酸化物のうち少なくとも１種を含有することで、記録感度等をより高めることができる。

【0032】

具体的には、Ｉｎ酸化物及びＺｎ酸化物は通常無色透明であるため、当該記録層１はＩｎ酸化物及び／又はＺｎ酸化物を含有することで透過率を制御することができる。そのため、当該記録層１の組成に応じてＩｎ酸化物及び／又はＺｎ酸化物の含有量を調節することで、記録感度及び反射率の双方に優れる記録層１を形成しやすい。当該記録層１がＩｎ酸化物又はＺｎ酸化物を含有する場合、当該記録層１に含まれる全金属原子に対するＩｎ原子又はＺｎ原子の含有量の下限としては、５原子％が好ましく、１０原子％がより好ましい。一方、全金属原子に対するＩｎ原子又はＺｎ原子の含有量の上限としては、８０原子％が好ましく、７０原子％がより好ましい。Ｉｎ原子及びＺｎ原子の含有量が上記下限に満たないと、当該記録層１の透過率を十分に高めることができないおそれがある。逆に、Ｉｎ酸化物及びＺｎ酸化物の含有量が上記上限を超えると、記録感度が不足したり当該記録層１の反射率が不十分となるおそれがある。

【0033】

また、当該記録層１は、Ｃｕ酸化物を含有することで吸収性を高めることができる。これにより、レーザー光を効率的に吸収することができるようになり、記録に必要な記録レーザーパワーを低くすることができる。当該記録層１がＣｕ酸化物を含有する場合、当該記録層１に含まれる全金属原子に対するＣｕ原子の含有量の下限としては、５原子％が好ましく、１０原子％がより好ましい。一方、全金属原子に対するＣｕ原子の含有量の上限としては、６０原子％が好ましく、５０原子％がより好ましい。Ｃｕ原子の含有量が上記下限に満たないと、吸収性を十分に高めることができないおそれがある。逆に、Ｃｕ原子の含有量が上記上限を超えると、分解に必要な酸化物の割合が低下して記録感度が低下するおそれがある。

【0034】

当該記録層１は、Ａｇ（銀）酸化物をさらに含有することが好ましい。Ａｇ酸化物は比較的分解温度が低いので、当該記録層１はＡｇ酸化物を含むことでレーザー光の照射により分解されやすくなる。そのため、当該記録層１は記録感度をさらに高めることができる。Ａｇ酸化物としては、通常存在し得るものであれば特に限定されるものではなく、例えばＡｇＯ、Ａｇ_２Ｏ、Ａｇ_２Ｏ_３等が挙げられる。当該記録層１がＡｇ酸化物を含有する場合、当該記録層１に含まれる全金属原子に対するＡｇ原子の含有量の上限としては、２０原子％が好ましく、１０原子％がより好ましい。Ａｇ原子の含有量が上記上限を超えると、耐候性が低下するおそれがある。一方、全金属原子に対するＡｇ原子の含有量の下限としては、２原子％が好ましく、４原子％がより好ましい。Ａｇ原子の含有量が上記下限に満たないと、当該記録層１の分解容易性を十分に高めることができないおそれがある。

【0035】

なお、当該記録層１は、必要に応じて上述のＩｎ酸化物、Ｚｎ酸化物、Ｃｕ酸化物及びＡｇ酸化物以外の選択酸化物（Ｗ酸化物及びＣｏ酸化物以外の酸化物）を含有していてもよい。また、当該記録層１が選択酸化物（例えば上述のＩｎ酸化物、Ｚｎ酸化物、Ｃｕ酸化物及びＡｇ酸化物）を含有する場合、これらの金属単体（金属Ｉｎ、金属Ｚｎ、金属Ｃｕ及び金属Ａｇ）は実質的に（つまり、不可避的不純物として含まれる場合を除いて）含有しないことが好ましい。これらの金属単体は、他の酸化物から酸素を奪って酸化する場合があるが、この場合、記録層１の所望の特性に影響を与えるおそれがある。

【0036】

当該記録層１の平均厚さの下限としては、５ｎｍが好ましく、１０ｎｍがより好ましい。一方、当該記録層１の平均厚さの上限としては、６０ｎｍが好ましく、５０ｎｍがより好ましく、４０ｎｍがさらに好ましい。上記平均厚さが上記下限より小さいと、当該記録層１の反射率が不十分となるおそれがある。逆に、上記平均厚さが上記上限を超えると、記録感度が不十分となり、記録に必要とされる記録レーザーパワーが不要に大きくなるおそれがある。

【0037】

（製造方法）
当該記録層１は、例えばスパッタリング法によって形成することができる。スパッタリング法によれば、ディスク面内での層厚分布の均一化を図りやすい。特に、当該記録層１の生産性や面内均一性、厚さ制御を容易かつ確実に行うことができる点から、焼結体ターゲットを用いてアルゴン及び酸素の混合ガスを導入してスパッタリングを行う反応性スパッタリング法を用いることが好ましい。

【0038】

当該記録層１を上述の反応性スパッタリング法で形成する場合、アルゴン流量に対する酸素流量の比の下限としては、０．５が好ましく、１．０がより好ましい。一方、上記比の上限としては、５．０が好ましい。また、上記スパッタリング法におけるガス圧としては、例えば０．１Ｐａ以上２．０Ｐａ以下とすることができる。また、スパッタ電力としては、例えば０．５Ｗ／ｃｍ^２以上２０Ｗ／ｃｍ^２以下とすることができる。

【0039】

〈スパッタリングターゲット〉
上記スパッタリング法で用いるスパッタリングターゲットとしては、Ｗ酸化物又は金属Ｗ粉末と、Ｃｏ酸化物又は金属Ｃｏ粉末とを混合し焼結させたものを用いることができる。また、上記スパッタリングターゲットは、Ｉｎ酸化物又は金属Ｉｎ粉末、Ｚｎ酸化物又は金属Ｚｎ粉末、或いはＣｕ酸化物又は金属Ｃｕ粉末をさらに含有していてもよく、Ａｇ酸化物又は金属Ａｇ粉末をさらに含有していてもよい。また、上記スパッタリングターゲットに含まれる全金属原子に対するＣｏ原子の含有量としては、１０原子％超７０原子％以下が好ましい。なお、上記スパッタリングターゲットは、必要に応じて上述のＩｎ酸化物、Ｚｎ酸化物、Ｃｕ酸化物及びＡｇ酸化物以外の金属酸化物を含有していてもよく、上述の金属Ｉｎ粉末、金属Ｚｎ粉末、金属Ｃｕ粉末及び金属Ａｇ粉末以外の金属粉末を含有していてもよい。但し、上記スパッタリングターゲットは、必要に応じて含有される金属酸化物及び金属粉末以外は不可避的不純物を除いて含有しないことが好ましい。

【0040】

＜光情報記録媒体＞
当該光情報記録媒体は、上述のように当該記録層１と、当該記録層１の表面側に積層される光透過層２と、当該記録層１の裏面側に積層される基板３とを備える。当該光情報記録媒体は、誘電体層及び反射層を有しないことが好ましい。具体的には、当該光情報記録媒体は、当該記録層１に誘電体層が積層されていないことが好ましく、また当該記録層１のレーザー照射面の反対側の面に反射層が積層されていないことが好ましい。当該光情報記録媒体は、当該記録層１の変調度が十分に高いので、必ずしも誘電体層及び反射層を配設することを要しない。当該光情報記録媒体は、誘電体層及び／又は反射層が積層されていないことによって、全体の層数を少なくすることで生産性を高めることができる。

【0041】

当該光情報記録媒体は、レーザーのガイド用の複数の溝３ａが形成された基板３上に当該記録層１を積層したうえ、当該記録層１上に光透過層２を積層することで形成することができる。また、当該光情報記録媒体は、耐久性向上のため、当該記録層１の片面又は両面に酸化物層、硫化物層、金属層等の保護層を積層してもよい。当該記録層１に酸化物層、硫化物層、金属層等を積層することで、経時劣化の原因となる当該記録層１の分解を抑制することができる。

【0042】

光透過層２の主成分としては、例えばポリカーボネート、紫外線硬化型樹脂等が挙げられる。光透過層２の材質としては、記録再生を行うレーザーに対する透過率が高く、かつ吸収率が低いことが好ましい。光透過層２の平均厚さとしては、例えば０．１ｍｍ以上１．２ｍｍ以下とすることができる。なお、「主成分」とは、最も含有量の多い成分をいい、例えば含有量が５０質量％以上の成分をいう。

【0043】

基板３の主成分としては、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、環状ポリオレフィン、非晶質ポリオレフィン等が挙げられる。基板３の平均厚さとしては、例えば０．５ｍｍ以上１．２ｍｍ以下とすることができる。

【0044】

なお、当該光情報記録媒体は、当該記録層１を備える限り、他の層の具体的構成及び層数は上述の構成に限定されるものではない。

【0045】

当該光情報記録媒体は、当該記録層１を備えるので、層数の増加を抑制しつつ高反射率、高記録感度、高変調度及び高Ｃ／Ｎ比を満たすことができる。また、当該光情報記録媒体は、層数の増加を抑制することができるので、生産性に優れる。

【実施例】

【0046】

以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【0047】

（１）光ディスクの作製
直径１２ｃｍ、厚さ１．１ｍｍ、トラックピッチ０．３２μｍ、溝深さ２５ｎｍのポリカーボネート基板を用い、この基板上にマグネトロンスパッタリング法により表１に示す組成の記録層を形成した。記録層の平均厚さは４０ｎｍとした。なお、上記記録層の両面には保護層として平均厚さ１０ｎｍのＩｎ酸化物層を形成した。上記記録層を形成するスパッタリングターゲットとしては、Ｗ酸化物ターゲット及びＣｏ酸化物ターゲット（並びに他の選択的金属酸化物ターゲット）を用い、同時放電による多元スパッタリングによって上記記録層を形成した。

【0048】

上記記録層を形成するうえでのスパッタリング条件としては、アルゴン流量に対する酸素流量の比を１：１（アルゴン流量１０ｓｃｃｍ、酸素流量１０ｓｃｃｍ）とし、ガス圧を０．２６Ｐａ、スパッタリングパワーを２５０Ｗ、基板温度を室温（２５℃）とした。また、得られた記録層の成分組成は、ＩＣＰ発光分析法、蛍光Ｘ線分析法及びＸ線光電子分光法によって測定した。

【0049】

続いて、記録層の上面側（詳細には、記録層の上面に積層された保護層の上面）に紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によって塗布し、紫外線を照射することで硬化させ、平均厚さ約０．１ｍｍの光透過層を積層し、光ディスクを作製した。

【0050】

（２）光ディスクの品質
上述の手順で作製した光ディスクの反射率、記録パワー（記録レーザーパワー）、ジッター値及び変調度を以下の方法で測定及び評価した。

【0051】

（反射率）
反射率［％］は、光ディスク評価装置（パルステック工業社製の「ＯＤＵ−１０００」）を用い、記録レーザー中心波長は４０５ｎｍとし、ＮＡ（開口数）０．８５のレンズを用い、レーザーをトラック上に照射し、光ディスクにおける未記録部分のレーザー光の戻り光強度によって求めた。この測定結果を表１に示す。

【0052】

（加速環境試験）
加速環境試験として、温度８０℃、相対湿度８５％の環境下に９６時間保持し、試験後の反射率を上記と同様に測定した。この加速環境試験前後の反射率の変化率を以下の基準で評価した。この評価結果を表１に示す。
Ａ：加速環境試験前後の反射率の変化率が−１０％以上１０％以下
Ｂ：加速環境試験前後の反射率の変化率が−１０％未満又は１０％超

【0053】

（ジッター値及び変調度）
上記光ディスク評価装置を用いて、線速４．９２ｍ／ｓ、基準クロック６６ＭＨｚの条件で、２Ｔから８Ｔのランダム信号を種々の記録パワーで記録した。続いて、テクトロニクス社製のタイムインターバルアナライザ「ＴＡ−８１０」を用い、ジッター値［％］（再生レーザーパワー０．３ｍＷでの記録再生時の再生信号の時間軸上のゆらぎを示す値）を測定した。さらに、ジッター値が最小となる記録パワーでの変調度［％］（反射率の変化率）を下記式に基づいて算出した。
変調度＝（未記録部分の反射率−記録部分の反射率）／未記録部分の反射率
この測定結果を表１に示す。

【0054】

また、上記方法で測定したジッター値及び変調度の品質について以下の基準で評価した。この評価結果を表１に示す。
Ａ：ジッター値が７％以下、かつ変調度が４５％以上
Ｂ：ジッター値が７％超１０％以下、又はジッター値が７％以下かつ変調度が４５％未満
Ｃ：ジッター値が１０％超

【0055】

（記録パワー）
上記ジッター値が最小となる記録パワーを本実施例における記録パワー［ｍＷ］とした。この測定結果を表１に示す。なお、表１における、「−」は、評価装置のトラッキングにかかわらず測定できなかったことを意味する。

【0056】

【表1】

【0057】

［評価結果］
表１に示すように、記録層がＷ酸化物及びＣｏ酸化物を含有し、全金属原子に対するＣｏ原子の含有量が１０原子％超７０原子％以下であるＮｏ．３〜５、Ｎｏ．７〜１０は、ジッター値に優れ、実用的な記録レーザーパワーでの記録感度に優れていると共に、反射特性も良好である。特に、Ａｇの含有量が十分に調整されているＮｏ．３〜５、Ｎｏ．７，９，１０は、変調度にも優れており、より品質が高められている。

【0058】

これに対し、Ｃｏ酸化物を含有しないＮｏ．１及びＣｏ酸化物を含有するもののＣｏ原子の含有量が不十分なＮｏ．２は、装置のトラッキングにかかわらず、記録パワー、ジッター値及び変調度が測定できなかった。

【0059】

さらに、Ｃｏ酸化物を含有するがＣｏ原子の含有量の多いＮｏ．６は、ジッター値及び変調度が不十分となっている。

【産業上の利用可能性】

【0060】

以上説明したように、本発明の記録層及び光情報記録媒体は層数の増加を抑制しつつ種々の要求特性を満たすことができるので、追記型の光ディスクに好適に用いられる。

【符号の説明】

【0061】

１ 記録層
２ 光透過層
３ 基板
３ａ 溝

【図1】