【図1】[0037] 例示的な検査装置及びメトロロジー技法を概略的に示す。

【図2A】[0038] 例示的な検査装置を概略的に示す。

【図2B】[0039] 検査装置の照明スポットとメトロロジーターゲットとの関係を示す。

【図2C】[0040] 測定データに基づいて関心パラメータを導出するプロセスを概略的に示す。

【図2D】[0041] ターゲットの周期構造のフィーチャの例示的な単位セルモデルを概略的に示す。

【図2E】[0042] 測定データに基づいてターゲットの１つ以上の関心パラメータを導出するためのプロセスのフロー図を概略的に示す。

【図3】[0043] 一実施形態に従って、１つの形状が、一実施形態に従った異なる次数の複数のサブ形状によって階層的に記述され得ることを概略的に示す。

【図4】[0043] 一実施形態に従って、１つの形状が、一実施形態に従った異なる次数の複数のサブ形状によって階層的に記述され得ることを概略的に示す。

【図5】[0043] 一実施形態に従って、１つの形状が、一実施形態に従った異なる次数の複数のサブ形状によって階層的に記述され得ることを概略的に示す。

【図6】[0043] 一実施形態に従って、１つの形状が、一実施形態に従った異なる次数の複数のサブ形状によって階層的に記述され得ることを概略的に示す。

【図7】[0043] 一実施形態に従って、１つの形状が、一実施形態に従った異なる次数の複数のサブ形状によって階層的に記述され得ることを概略的に示す。

【図8】[0044] 形状の階層的記述を取得する方法のフローチャートを示す。

【図9】[0045] 一実施形態に従った、形状の階層的記述を表すデータ構造を概略的に示す。

【図10】[0046] 一実施形態に従った、形状の階層的記述を最適化する方法のフローチャートを示す。

【図11】[0047] 一実施形態に従った、形状から取得された実験データ（例えばメトロロジーデータ）をモデル化する方法のフローチャートを示す。

【図12】[0047] 一実施形態に従った、形状から取得された実験データ（例えばメトロロジーデータ）をモデル化する方法のフローチャートを示す。

【図13】[0048] サブ形状のデータベースを概略的に示す。

【図14】[0049] 同一次数の２つ以上のサブ形状を階層的記述において使用することができる、形状の階層的記述を取得する方法のフローチャートを示す。

【図15】[0050] 例示的なコンピュータシステムのブロック図である。

【図16】[0051] リソグラフィ投影装置の概略図を示す。

【図17】[0052] リソグラフィセル又はクラスタを概略的に示す。