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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7828351	リソグラフィ装置のための新しいインターフェイス定義	2026年 3月11日
特許 7828365	フーリエ変換ベースレイアウトパターンの階層的クラスタ化	2026年 3月11日
特許 7826005	冷却フードの高速温度制御のためのガス混合	2026年 3月 9日
特許 7824374	広アクティブ領域高速検出器のアーキテクチャ	2026年 3月 4日
特許 7822407	液滴発生器性能を監視及び制御する装置及び方法	2026年 3月 2日
特許 7822408	荷電粒子装置用の交換可能モジュール	2026年 3月 2日
特許 7821186	干渉計システム、ポジショニングシステム、リソグラフィ装置、ジッタ判定方法、デバイス製造方法	2026年 2月26日
特許 7820367	リソグラフィ装置における基板レベルセンシング	2026年 2月25日
特許 7814401	光パルスを空間的にフィルタリングするための方法および装置	2026年 2月16日
特許 7809693	遅延時間測定方法及びシステム	2026年 2月 2日
特許 7809705	静電クランプ	2026年 2月 2日
特許 7805367	帯域幅及びスペックルに基づくリソグラフィプロセスの最適化	2026年 1月23日
特許 7804648	荷電粒子評価ツール、検査方法	2026年 1月22日
特許 7804666	メトロロジシステム及びリソグラフィシステム	2026年 1月22日
特許 7803877	リソグラフィ装置用の光学素子及びペリクル膜	2026年 1月21日

21 件中 1-15 件を表示

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7828351 7828365 7826005 7824374 7822407 7822408 7821186 7820367 7814401 7809693 7809705 7805367 7804648 7804666 7803877

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