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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 出願公開件数ランキング    第219位 146件 上昇2023年:第242位 151件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第249位 117件 下降2023年:第238位 146件)

(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7584593 インプリントリソグラフィ 2024年11月15日
特許 7583868 ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ 2024年11月14日
特許 7581267 ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 2024年11月12日
特許 7581459 EUVリソグラフィ用のメンブレン 2024年11月12日
特許 7580439 EUVリソグラフィのための膜 2024年11月11日
特許 7580476 アパーチャ本体、フラッドコラム、及び荷電粒子ツール 2024年11月11日
特許 7577843 基板ホルダ、基板ホルダを備えた搬送システム、及びリソグラフィ装置 2024年11月 5日
特許 7572492 EUVペリクル 2024年10月23日
特許 7568763 極端紫外光源におけるターゲット軌道計測 2024年10月16日
特許 7566950 アライメント方法及び装置 2024年10月15日
特許 7566007 リソグラフィ装置用のペリクル膜 2024年10月11日
特許 7564162 ペイロードを支持する防振装置 2024年10月 8日
特許 7557003 リソグラフィ装置で用いる基板ホルダ及びデバイス製造方法 2024年 9月26日
特許 7555912 検査装置 2024年 9月25日
特許 7555390 放射源 2024年 9月24日

121 件中 1-15 件を表示

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7584593 7583868 7581267 7581459 7580439 7580476 7577843 7572492 7568763 7566950 7566007 7564162 7557003 7555912 7555390

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