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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第224位 44件
(2024年:第220位 162件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第329位 24件
(2024年:第257位 124件)
(ランキング更新日:2025年4月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7661324 | リソグラフィ装置のための基板サポートを製造する方法、基板テーブル、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、使用方法 | 2025年 4月14日 | |
特許 7661354 | オブジェクトホルダ、ツール、及びオブジェクトホルダの製造方法 | 2025年 4月14日 | |
特許 7660572 | 極端紫外光源用のターゲット材料タンク | 2025年 4月11日 | |
特許 7659670 | 荷電粒子操作デバイス | 2025年 4月 9日 | |
特許 7654141 | アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成 | 2025年 3月31日 | |
特許 7650280 | 位置決め装置およびリソグラフィ装置 | 2025年 3月24日 | |
特許 7646628 | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び方法 | 2025年 3月17日 | |
特許 7644125 | マスクレスリソグラフィの方法及びシステム | 2025年 3月11日 | |
特許 7644199 | 荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法 | 2025年 3月11日 | |
特許 7639123 | 露光パターンを測定するための計測方法および関連する計測装置 | 2025年 3月 4日 | |
特許 7634936 | 拡散接合により接合された基体を含む、部品を静電的に保持するための保持装置、およびその製造方法 | 2025年 2月25日 | |
特許 7633950 | リソグラフィ装置の基板ハンドリングシステムおよびその方法 | 2025年 2月20日 | |
特許 7631369 | システム、リソグラフィ装置および方法 | 2025年 2月18日 | |
特許 7630515 | コレクタ流リング | 2025年 2月17日 | |
特許 7625017 | 荷電粒子を放出するための放出器 | 2025年 1月31日 |
26 件中 1-15 件を表示
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7661324 7661354 7660572 7659670 7654141 7650280 7646628 7644125 7644199 7639123 7634936 7633950 7631369 7630515 7625017
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4月23日(水) -
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4月24日(木) -
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