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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第219位 146件 (2023年:第242位 151件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第249位 117件 (2023年:第238位 146件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7584593 | インプリントリソグラフィ | 2024年11月15日 | |
特許 7583868 | ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ | 2024年11月14日 | |
特許 7581267 | ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 | 2024年11月12日 | |
特許 7581459 | EUVリソグラフィ用のメンブレン | 2024年11月12日 | |
特許 7580439 | EUVリソグラフィのための膜 | 2024年11月11日 | |
特許 7580476 | アパーチャ本体、フラッドコラム、及び荷電粒子ツール | 2024年11月11日 | |
特許 7577843 | 基板ホルダ、基板ホルダを備えた搬送システム、及びリソグラフィ装置 | 2024年11月 5日 | |
特許 7572492 | EUVペリクル | 2024年10月23日 | |
特許 7568763 | 極端紫外光源におけるターゲット軌道計測 | 2024年10月16日 | |
特許 7566950 | アライメント方法及び装置 | 2024年10月15日 | |
特許 7566007 | リソグラフィ装置用のペリクル膜 | 2024年10月11日 | |
特許 7564162 | ペイロードを支持する防振装置 | 2024年10月 8日 | |
特許 7557003 | リソグラフィ装置で用いる基板ホルダ及びデバイス製造方法 | 2024年 9月26日 | |
特許 7555912 | 検査装置 | 2024年 9月25日 | |
特許 7555390 | 放射源 | 2024年 9月24日 |
121 件中 1-15 件を表示
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7584593 7583868 7581267 7581459 7580439 7580476 7577843 7572492 7568763 7566950 7566007 7564162 7557003 7555912 7555390
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
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11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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