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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7931789 メトロロジ方法及びデバイス 2026年10月 7日
特許 7931105 静電ホルダおよびリソグラフィ装置 2026年10月 6日
特許 7927754 温度調節システム、リソグラフィ装置及びオブジェクトを温度調節するための方法 2026年10月 1日
特許 7914144 レチクルのための冷却フード 2026年 9月 1日
特許 7912020 荷電粒子システムにおける検査中に局所焦点を特定するためのシステム及び方法 2026年 8月27日
特許 7910124 荷電粒子システムにおける電子源を安定させるためのシステム及び装置 2026年 8月24日
特許 7908298 低クロストークを有する多重荷電粒子ビーム装置 2026年 8月19日
特許 7908268 対物レンズアレイアセンブリ、電子光学系、電子光学系アレイ、集束方法 2026年 8月19日
特許 7906956 リソグラフィ装置、基板テーブル、及び方法 2026年 8月18日
特許 7905337 一次電子ビームをサンプルに向ける方法及び電子光学カラム 2026年 8月14日
特許 7902847 リソグラフィ装置用パターニング装置および方法 2026年 8月10日
特許 7902248 EUVリソグラフィのためのペリクル 2026年 8月 7日
特許 7901662 リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ 2026年 8月 6日
特許 7901592 リソグラフィ方法 2026年 8月 6日
特許 7898466 半導体製造に関連する変動源をデカップリングするための方法 2026年 7月31日

67 件中 1-15 件を表示

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7931789 7931105 7927754 7914144 7912020 7910124 7908298 7908268 7906956 7905337 7902847 7902248 7901662 7901592 7898466

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