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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7644125	マスクレスリソグラフィの方法及びシステム	2025年 3月11日
特許 7644199	荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法	2025年 3月11日
特許 7639123	露光パターンを測定するための計測方法および関連する計測装置	2025年 3月 4日
特許 7634936	拡散接合により接合された基体を含む、部品を静電的に保持するための保持装置、およびその製造方法	2025年 2月25日
特許 7633950	リソグラフィ装置の基板ハンドリングシステムおよびその方法	2025年 2月20日
特許 7631369	システム、リソグラフィ装置および方法	2025年 2月18日
特許 7630515	コレクタ流リング	2025年 2月17日
特許 7625017	荷電粒子を放出するための放出器	2025年 1月31日
特許 7624471	ペリクル及びペリクルアセンブリ	2025年 1月30日
特許 7617917	放射源用容器	2025年 1月20日
特許 7617220	計測装置及び基板ステージ・ハンドラ・システム	2025年 1月17日
特許 7614211	粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム	2025年 1月15日
特許 7614278	リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ	2025年 1月15日
特許 7614297	荷電粒子ビーム検査のためのサンプルの予備帯電方法及び装置	2025年 1月15日
特許 7612565	回転防止流体接続	2025年 1月14日

19 件中 1-15 件を表示

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7644125 7644199 7639123 7634936 7633950 7631369 7630515 7625017 7624471 7617917 7617220 7614211 7614278 7614297 7612565

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