特許 6783062 測定用治具および補正値測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6783062

(24)【登録日】2020年10月23日

(45)【発行日】2020年11月11日

(54)【発明の名称】測定用治具および補正値測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20201102BHJP

   G01B 5/02 20060101ALI20201102BHJP

【ＦＩ】

   G01R31/26 J

   G01B5/02

【請求項の数】4

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2016-47732(P2016-47732)

(22)【出願日】2016年3月11日

(65)【公開番号】特開2016-200583(P2016-200583A)

(43)【公開日】2016年12月1日

【審査請求日】2019年1月21日

(31)【優先権主張番号】特願2015-79139(P2015-79139)

(32)【優先日】2015年4月8日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】中島 康海

【審査官】 山崎 仁之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−１７２７５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−０９５７７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０２６８１５０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０００−２３０９５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｂ ５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブ部を移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備え、
前記移動機構は、前記各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって前記移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成され、
前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を備えている測定用治具であって、
前記移動機構は、前記移動対象のプローブ部を保持するプローブ保持部と、当該プローブ保持部と共に移動する当接部とを備えて構成され、
前記移動規制部は、支持部と、当該支持部に固定されると共に第１目盛りが設けられたスリーブと、当該スリーブに回転可能に支持されると共に回転量に応じて前記支持部からの先端部の突出量が変化するように形成されて当該先端部に前記当接部が当接したときに前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制するスピンドルと、当該スピンドルの基端部に取り付けられて前記第１目盛りと共に前記突出量を示す第２目盛りが設けられたシンブルとを備えて構成されている測定用治具。

【請求項2】

測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブ部を移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備え、
前記移動機構は、前記各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって前記移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成され、
前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を備えている測定用治具であって、
前記電気部品の前記各被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記溝部において当該電気部品が位置する測定位置を覆うカバー部を備え、
前記カバー部は、支軸によって回動可能に軸支されて、前記移動機構による前記移動対象のプローブ部の移動動作に連動して回動することによって、前記測定位置を開放する第１状態と前記測定位置を覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、前記移動対象のプローブ部が初期位置に位置している状態において前記第１状態に維持され、前記電気部品の前記各被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記第２状態に切り替えられる測定用治具。

【請求項3】

測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブ部を移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備え、
前記移動機構は、前記各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって前記移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成され、
前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を備えている測定用治具であって、
前記保持部は、底面が平坦に形成されると共に当該底面が前記溝部の底部と同じ深さに規定されて、前記溝部における前記測定位置を除く部分に連続するように形成された凹部を備えている測定用治具。

【請求項4】

電気部品における対向する一対の被接触部に測定装置に接続された一対のプローブ部をそれぞれ接触させて当該測定装置で測定した当該電気部品の被測定量の測定値を補正するためのオープン補正用の補正値を測定する補正値測定方法であって、
前記測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、前記各プローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向における当該各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって当該移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成されて前記保持部によって保持されている前記電気部品の前記各被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構と、前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部とを備えると共に、前記移動機構は、前記移動対象のプローブ部を保持するプローブ保持部と、当該プローブ保持部と共に移動する当接部とを備えて構成され、かつ前記移動規制部は、支持部と、当該支持部に固定されると共に第１目盛りが設けられたスリーブと、当該スリーブに回転可能に支持されると共に回転量に応じて前記支持部からの先端部の突出量が変化するように形成されて当該先端部に前記当接部が当接したときに前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制するスピンドルと、当該スピンドルの基端部に取り付けられて前記第１目盛りと共に前記突出量を示す第２目盛りが設けられたシンブルとを備えて構成されている測定用治具を用いて、
前記溝部に前記電気部品を載置しない状態で、
前記第１目盛りおよび前記第２目盛りを視認しつつ前記シンブルを回転させて前記スピンドルを回転させることで、当該スピンドルにおける前記先端部を前記支持部から前記電気部品の長さに対応する前記突出量だけ突出させ、
次いで、前記移動機構の前記プローブ保持部を移動させることで、当該プローブ保持部に保持された前記移動対象のプローブ部を前記当接部と共に前記第１の向きへ移動させ、
続いて、前記当接部と前記スピンドルにおける前記先端部とを当接させることで、前記移動対象のプローブ部の前記第１の向きへの移動を規制して、前記各プローブ部の各先端部同士を前記電気部品の長さに相当する前記離間距離だけ離間させ、
次いで、前記測定装置を操作して、前記測定値を測定すると共に、当該測定された測定値を前記オープン補正用の補正値とする補正値測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定対象の電気部品を保持する保持部と、電気部品にプローブ部を接触させる移動機構とを備えた測定用治具、および電気部品の被測定量の測定値を補正するための補正値を測定する補正値測定方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種の測定用治具として、下記特許文献１において出願人が開示した測定治具が知られている。この測定治具は、基台および電極スライド機構を備えて構成されている。電極スライド機構は、被測定物を保持する保持台部と、プローブ部として機能する電極板を支持すると共に基台に固定された固定電極支持体と、電極板を支持すると共に固定電極支持体に対して接離する方向に移動可能に基台に配設された可動電極支持体と、可動電極支持体を固定電極支持体に向けて付勢する付勢バネとを備えている。この測定治具を用いて被測定物の測定を行う際には、可動電極支持体に取り付けられている操作用ノブを把持し、次いで、付勢バネの付勢力に抗して、可動電極支持体を固定電極支持体から離間する向きにスライドさせる。この際に、固定電極支持体に支持されている電極板の先端部と可動電極支持体に支持されている電極板の先端部との間隔が広がる。続いて、各電極板の先端部の間に位置するように被測定物を保持台部の上にセットする。次いで、操作用ノブを把持した状態を維持しつつ、付勢バネの付勢力に抗する力を緩めて可動電極支持体を固定電極支持体に近接する向きにスライドさせる。この際に、付勢バネの付勢力によって各電極板の先端部が被測定物の電極に押し付けられて接触する。次いで、測定を開始する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４−２０８１９号公報（第５−１１頁、第１−５図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところが、出願人が開示している上記の測定治具には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、この測定治具では、付勢バネによって可動電極支持体が固定電極支持体に向けて付勢されている。ここで、被測定物について被測定量を正確に測定するには、測定系の誤差（例えば、各電極板（各プローブ部）間のインピーダンスや静電容量等の被測定量）を補正する必要がある。この種の補正の１つとしてのオープン補正を行う際には、被測定量をセットしない状態で、各電極板を被測定物の長さ分だけ離間させて被測定量を測定し、その測定値をオープン補正用の補正値とする。しかしながら、上記の測定治具では、付勢バネによって可動電極支持体が固定電極支持体に向けて付勢されているため、各電極板を被測定物の長さ分だけ離間させるには、操作用ノブを把持して、付勢バネの付勢力に抗して可動電極支持体を固定電極支持体から離間させた状態に保持する必要がある。このような操作では、可動電極支持体の保持の仕方次第で各電極板の離間距離が変化してしまうため、正確な補正値の測定が困難となる。

【0005】

一方、出願人は、上記した測定治具とは別の構成として、２つのプローブ部の一方（以下「第１プローブ部」ともいう）を、コイルバネを介して第１プローブ部の長さ方向に移動可能に支持し、２つのプローブ部の他方（以下「第２プローブ部」ともいう）を、第１プローブ部に対して接離するようにスライド可能とした測定治具を開発している。この測定治具では、コイルバネが自然長の状態で第１プローブ部と第２プローブ部とを被測定物の長さよりも長く離間させ、両プローブ部の間に被測定物をセットする。次いで、第２プローブ部を第１プローブ部に近接させて、コイルバネが自然長の状態で両プローブ部の各先端部が被測定物に接触した時点で第２プローブ部の移動を停止させる。続いて、コイルバネが縮長する向きに第１プローブ部を移動させて被測定物を取り除き、次いで、第１プローブ部を元の位置（コイルバネが自然長となる位置）に戻す。これにより、両プローブ部を被測定物の長さ分だけ離間させることができる。しかしながら、この測定治具では、オープン補正用の補正値を測定するために被測定物をセットする必要がある。この場合、微小な被測定物をセットするには、拡大鏡や顕微鏡を用いるため、作業が煩雑で、補正値の測定効率を向上させることが困難となっている。また、第２プローブ部を移動させる際に、両プローブ部の各先端部が被測定物に接触したか否かの判定を作業者の感覚に頼ることとなるため、補正値にばらつきが生じるおそれもある。

【0006】

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、電気部品の被測定量の測定値を補正するための補正値を正確にしかも効率的に測定し得る測定用治具、および補正値測定方法を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定用治具は、測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブ部を移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備え、前記移動機構は、前記各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって前記移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成され、前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を備えている測定用治具であって、前記移動機構は、前記移動対象のプローブ部を保持するプローブ保持部と、当該プローブ保持部と共に移動する当接部とを備えて構成され、前記移動規制部は、支持部と、当該支持部に固定されると共に第１目盛りが設けられたスリーブと、当該スリーブに回転可能に支持されると共に回転量に応じて前記支持部からの先端部の突出量が変化するように形成されて当該先端部に前記当接部が当接したときに前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制するスピンドルと、当該スピンドルの基端部に取り付けられて前記第１目盛りと共に前記突出量を示す第２目盛りが設けられたシンブルとを備えて構成されている。

【0010】

また、請求項２記載の測定用治具は、測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブ部を移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備え、前記移動機構は、前記各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって前記移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成され、前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を備えている測定用治具であって、前記電気部品の前記各被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記溝部において当該電気部品が位置する測定位置を覆うカバー部を備え、前記カバー部は、支軸によって回動可能に軸支されて、前記移動機構による前記移動対象のプローブ部の移動動作に連動して回動することによって、前記測定位置を開放する第１状態と前記測定位置を覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、前記移動対象のプローブ部が初期位置に位置している状態において前記第１状態に維持され、前記電気部品の前記各被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記第２状態に切り替えられる。

【0011】

また、請求項３記載の測定用治具は、測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブ部を移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備え、前記移動機構は、前記各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって前記移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成され、前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を備えている測定用治具であって、前記保持部は、底面が平坦に形成されると共に当該底面が前記溝部の底部と同じ深さに規定されて、前記溝部における前記測定位置を除く部分に連続するように形成された凹部を備えている。

【0013】

また、請求項４記載の補正値測定方法は、電気部品における対向する一対の被接触部に測定装置に接続された一対のプローブ部をそれぞれ接触させて当該測定装置で測定した当該電気部品の被測定量の測定値を補正するためのオープン補正用の補正値を測定する補正値測定方法であって、前記測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、前記各プローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向における当該各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの付勢力によって当該移動対象のプローブ部を当該第１の向きに移動可能に構成されて前記保持部によって保持されている前記電気部品の前記各被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構と、前記各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部とを備えると共に、前記移動機構は、前記移動対象のプローブ部を保持するプローブ保持部と、当該プローブ保持部と共に移動する当接部とを備えて構成され、かつ前記移動規制部は、支持部と、当該支持部に固定されると共に第１目盛りが設けられたスリーブと、当該スリーブに回転可能に支持されると共に回転量に応じて前記支持部からの先端部の突出量が変化するように形成されて当該先端部に前記当接部が当接したときに前記第１の向きへの前記移動対象のプローブ部の移動を規制するスピンドルと、当該スピンドルの基端部に取り付けられて前記第１目盛りと共に前記突出量を示す第２目盛りが設けられたシンブルとを備えて構成されている測定用治具を用いて、前記溝部に前記電気部品を載置しない状態で、前記第１目盛りおよび前記第２目盛りを視認しつつ前記シンブルを回転させて前記スピンドルを回転させることで、当該スピンドルにおける前記先端部を前記支持部から前記電気部品の長さに対応する前記突出量だけ突出させ、次いで、前記移動機構の前記プローブ保持部を移動させることで、当該プローブ保持部に保持された前記移動対象のプローブ部を前記当接部と共に前記第１の向きへ移動させ、続いて、前記当接部と前記スピンドルにおける前記先端部とを当接させることで、前記移動対象のプローブ部の前記第１の向きへの移動を規制して、前記各プローブ部の各先端部同士を前記電気部品の長さに相当する前記離間距離だけ離間させ、次いで、前記測定装置を操作して、前記測定値を測定すると共に、当該測定された測定値を前記オープン補正用の補正値とする。

【発明の効果】

【0015】

請求項１，３記載の測定用治具、および請求項４記載の測定値測定方法によれば、各プローブ部の各先端部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの移動対象のプローブ部の移動を規制する移動規制部を用いることにより、電気部品を保持部にセットすることなく、各プローブ部の各先端部同士を電気部品の長さに相当する離間距離だけ離間させ、かつその状態を確実に維持することができる。したがって、この測定用治具および測定値測定方法によれば、各プローブ部の各先端部同士の離間距離が変化してしまうおそれがある従来の構成とは異なり、補正値を正確に測定することができる。また、この測定用治具および測定値測定方法によれば、補正値を測定するために電気部品を保持部にセットする必要がない分、補正値の測定効率を十分に向上させることができる。

【0016】

また、請求項１記載の測定用治具、および請求項４記載の測定値測定方法によれば、第１目盛りが設けられたスリーブと、スリーブに回転可能に支持されて回転量に応じて先端部の突出量が変化して移動機構の当接部に先端部が当接して、各プローブ部が互いに近接する第１の向きへの移動対象のプローブ部の移動を規制するスピンドルと、スピンドルに取り付けられて第１目盛りと共に突出量を示す第２目盛りが設けられたシンブルとを備えて移動規制部を構成したことにより、電気部品の長さに対応する突出量だけスピンドルの先端部を突出させることで、各プローブ部の各先端部同士を電気部品の長さ分だけ正確に離間させることができる。したがって、この測定用治具、および補正値測定方法によれば、補正値をより正確に測定することができる。

【0018】

また、請求項２記載の測定用治具によれば、支軸によって回動可能に軸支されて、移動機構による移動対象のプローブ部の移動動作に連動して回動することによって第１状態と第２状態とを切り替え可能にカバー部を構成したことにより、溝部の長さ方向に平行な方向や溝部の長さ方向に直交する方向にカバー部を移動させて第１状態と第２状態とを切り替える構成と比較して、少ない移動量で第１状態と第２状態とを切り替えることができるため、カバー部を十分に小形化することができる。

【0019】

また、請求項３記載の測定用治具によれば、底面が平坦に形成されると共に底面が溝部の底部と同じ深さに規定されて、溝部における測定位置を除く部分に連続するように形成された凹部を備えて保持部を構成したことにより、凹部の底面に電気部品を載置させた後に、凹部の底面から溝部の底部に電気部品を滑らせつつ移動させることができる。このため、この測定用治具によれば、電気部品が小形の場合であっても、電気部品を溝部に容易に載置することができる結果、測定効率を十分に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】測定用治具１を本体部２の正面パネル２ａ側から見た斜視図である。

【図2】測定用治具１を本体部２の背面パネル２ｂ側から見た斜視図である。

【図3】測定用治具１の内部の構成を示す斜視図である。

【図4】測定用治具１の内部の構成を示す平面図である。

【図5】移動機構４を分解した状態の斜視図である。

【図6】測定用治具１の平面図である。

【図7】測定用治具１の動作を説明する第１の説明図である。

【図8】測定用治具１の動作を説明する第２の説明図である。

【図9】測定用治具１の動作を説明する第３の説明図である。

【図10】測定用治具１の動作を説明する第４の説明図である。

【図11】図１０におけるＸ−Ｘ線断面図である。

【図12】測定用治具１の動作を説明する第５の説明図である。

【図13】図１２におけるＹ−Ｙ線断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、測定用治具、補正値測定方法および補正方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0022】

最初に、測定用治具の一例としての図１，２に示す測定用治具１の構成について、図面を参照して説明する。測定用治具１は、両図に示すように、本体部２、保持部３、移動機構４、カバー部５、移動規制部６およびプローブ部５０ａ，５０ｂ（図３参照：以下、区別しないときには「プローブ部５０」ともいう）を備えて、例えば、図１０に示す測定対象のチップ部品１００（電気部品の一例）を保持すると共に、保持した状態のチップ部品１００に対してプローブ部５０を接触可能に構成されている。なお、図３〜図５、図７および図９〜図１３では、本体部２における後述する各パネル２ｂ〜２ｆを取り外した状態で図示している。

【0023】

本体部２は、図１，２に示すように、例えば、直方体の箱状に形成されて、保持部３および移動機構４を内部に収容可能に構成されている。また、本体部２の正面パネル２ａには、プローブ部５０と図外の測定装置との間で電気信号を入出力するための接続ケーブルのＢＮＣコネクタ（ＢＮＣプラグ）を接続させる複数（この例では、４つ）のＢＮＣコネクタ１０（ＢＮＣレセプタクル）が配設されている。

【0024】

また、図１，２に示すように、本体部２には、背面パネル２ｂおよび天面パネル２ｃの一部を切り欠くことにより、保持部３にチップ部品１００を保持させる際に、チップ部品１００を出し入れするための開口部２ｇが形成されている。また、図１に示すように、本体部２の側面パネル２ｅには、移動機構４を構成する構成部品２１ｃ（図３参照）のレバー２２を本体部２の外側に突出させる切り欠き２ｈが形成されている。

【0025】

保持部３は、図３，４に示すように、台座１１および保持部材１２を備えて構成されている。台座１１は、本体部２の底面パネル２ｄに取り付けられている。保持部材１２は、台座１１の上に固定されている。また、保持部材１２の上面には、図１０に示すように、チップ部品１００を載置可能な溝部１３が形成されている。この場合、溝部１３は、図１１に示すように、断面が矩形に形成されている。また、保持部材１２の上面には、図１０に示すように、凹部１４が形成されている。この場合、凹部１４は、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するときに溝部１３においてチップ部品１００が位置する測定位置１３ｂ（図１２参照）を除く溝部１３の一部（この例では、測定位置１３ｂよりも図１０における左側の部分）に連続するようにして形成されている。また、凹部１４は、図１１に示すように、底面１４ａが平坦に形成されると共に、底面１４ａまでの深さが溝部１３における底部１３ａまでの深さと同じになるように（つまり、底部１３ａと底面１４ａとが面一となるように）規定されている。

【0026】

移動機構４は、保持部３における溝部１３の長さ方向（図３に示す矢印Ａの方向：以下「Ａ方向」ともいう）にプローブ部５０ｂを移動させて、保持部３によって保持（保持部３の溝部１３に載置）されているチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂ（対向する一対の被接触部：図１２参照）にプローブ部５０ａ，５０ｂをそれぞれ接触可能に構成されている。具体的には、移動機構４は、図３〜図５に示すように、構成部品２１ａ〜２１ｈ、レバー２２、ベアリング２３、スプリング２４および当接板２５（当接部に相当する）を備えて構成されている。

【0027】

構成部品２１ａは、レールで構成されて、図３〜図５に示すように、Ａ方向に直交する方向（各図に矢印Ｂで示す方向：以下「Ｂ方向」ともいう）に延在するようにして、本体部２の底面パネル２ｄに固定されている。構成部品２１ｂは、構成部品２１ａの上に配設されて構成部品２１ａ上をＢ方向にスライド可能に構成されている。構成部品２１ｃは、構成部品２１ｂの上に配設されて、ねじ６０（図５参照）で固定されている。また、構成部品２１ｃには、プローブ部５０ｂをＡ方向に移動させる移動操作の際に用いるレバー２２が取り付けられている。また、構成部品２１ｃには、図４に示すように、Ｂ方向に対して傾斜する（Ａ方向に対しても傾斜する）傾斜部３１が設けられている。

【0028】

構成部品２１ｄは、レールで構成されて、図３〜図５に示すように、Ａ方向に延在するようにして、本体部２の底面パネル２ｄに固定されている。構成部品２１ｅは、構成部品２１ｄの上に配設されて構成部品２１ｄ上をＡ方向にスライド可能に構成されている。構成部品２１ｆは、構成部品２１ｅの上に配設されて、ねじ６０（図５参照）で固定されている。また、構成部品２１ｆの端部（図３〜図５における左側の端部）には、ベアリング２３が回転可能に取り付けられている。

【0029】

構成部品２１ｇは、図３〜図５に示すように、構成部品２１ｅの上に配設されて、ねじ６０（図５参照）で固定されている。また、構成部品２１ｇは、プローブ保持部に相当し、プローブ部５０ｂを保持可能に構成されている。構成部品２１ｈは、構成部品２１ｆの端部（各図における右側の端部）に固定されている。また、構成部品２１ｈには、図４に示すように、Ｂ方向に対して傾斜する（Ａ方向に対しても傾斜する）傾斜部３２が設けられている。また、構成部品２１ｈには、後述する移動規制部６のスピンドル６３に当接する当接板２５が取り付けられている。スプリング２４は、一例として、引っ張りコイルバネで構成されて、プローブ部５０ａ，５０ｂが互いに近接する第１の向き（図４に示す矢印Ａ１の向き）に構成部品２１ｅ〜２１ｈを付勢する（引っ張る向きの付勢力を作用させる）。

【0030】

この移動機構４では、図４に示すように、構成部品２１ｃが正面パネル２ａ側（同図における上部側）に位置しているとき（構成部品２１ｃのレバー２２が位置Ｐ１に位置しているとき）には、構成部品２１ｃの傾斜部３１よりも背面パネル２ｂ側のＢ方向に平行な部分（以下、「平行部３３」ともいう）が構成部品２１ｆに取り付けられているベアリング２３に当接している。この状態では、構成部品２１ｅ〜２１ｈが側面パネル２ｅ側（同図における左側）に位置して、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士が離間している。

【0031】

また、この移動機構４では、図７に示すように、構成部品２１ｃが背面パネル２ｂ側（同図における下部側）に位置しているとき（構成部品２１ｃのレバー２２が位置Ｐ２に位置しているとき）には、構成部品２１ｃの傾斜部３１の先端部側がベアリング２３に当接している。この状態では、構成部品２１ｅ〜２１ｈが側面パネル２ｆ側（同図における右側）に位置して、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士が近接する。つまり、この移動機構４では、構成部品２１ｃとベアリング２３とによってカム機構が構成されている。

【0032】

カバー部５は、図１２に示すように、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに各プローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するときにチップ部品１００が位置する溝部１３の測定位置１３ｂを覆う部材であって、保持部３における保持部材１２の上面に配設されている。この場合、カバー部５は、底面パネル２ｄに対して直交する方向に配置された支軸５ａ（図３参照）に軸支されることにより、底面パネル２ｄに平行な面に沿って回動可能に構成されている。また、カバー部５は、図外のバネ（例えば、支軸５ａに軸支されたねじりコイルバネ）によって平面視右回りに回動する向きに付勢されている。また、カバー部５は、移動機構４によるプローブ部５０ｂ（移動対象のプローブ部）の移動動作に連動して、測定位置１３ｂを開放する第１状態（図１０に示す状態）と、測定位置１３ｂを覆う第２状態（図１２に示す状態）とが切り替えられる。具体的には、プローブ部５０ｂが初期位置に位置している状態（図４，１０に示す状態）において第１状態に維持され、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するとき（図１２に示すとき）に第２状態に切り替えられる。

【0033】

移動規制部６は、図１，２，６に示すように、本体部２における天面パネル２ｃの上に配設されて、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士を任意の離間距離Ｌａ（図９参照）だけ離間させた状態で、同図に示す矢印Ａ１の向き（プローブ部５０ａ，５０ｂが互いに近接する第１の向き）へのプローブ部５０ｂの移動を規制する。具体的には、移動規制部６は、図６，８に示すように、支持部６１、スリーブ６２、スピンドル６３およびシンブル６４を備えて構成されている。支持部６１は、本体部２の天面パネル２ｃに取り付けられている。スリーブ６２は、支持部６１に固定されている。また、支持部６１には、第１目盛り７１が設けられている。

【0034】

スピンドル６３は、スリーブ６２によって回転可能に支持されると共に、回転量に応じて支持部６１からの先端部６３ａの突出量Ｌｂ（図６，８参照）が変化（増減）するように形成されている。シンブル６４は、スピンドル６３の基端部６３ｂに取り付けられている。また、シンブル６４には、スリーブ６２の第１目盛り７１と共にスピンドル６３の先端部６３ａの突出量Ｌｂを示す第２目盛り７２が設けられている。この移動規制部６では、図８に示すように、スピンドル６３の先端部６３ａが、移動機構４の構成部品２１ｈに取り付けられている当接板２５に当接することにより、同図に示す矢印Ａ１の向き（プローブ部５０ａ，５０ｂが互いに近接する第１の向き）へのプローブ部５０ｂの移動を規制する。したがって、スピンドル６３における先端部６３ａの突出量Ｌｂを調節することで、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士を任意の離間距離Ｌａだけ離間させた状態に維持することが可能となっている。

【0035】

プローブ部５０ａ，５０ｂは、一例として、４端子法で被測定量を測定するためのプローブ部であって、筒状の第１プローブ（図示せず）と第１プローブ内に配設されて第１プローブに対して付勢部材を介して長さ方向に微小移動可能な棒状の第２プローブ（図示せず）とを備えてそれぞれ構成されている。また、この測定用治具１では、図３，４に示すように、プローブ部５０ａが固定台５１に固定され、プローブ部５０ｂ（移動対象のプローブ）が移動機構４の構成部品２１ｇによって保持されて、Ａ方向（溝部１３の長さ方向）に移動させられる。つまり、プローブ部５０ａ，５０ｂの一方だけがＡ方向に移動可能な構成となっている。

【0036】

次に、測定用治具１を用いてチップ部品１００についての被測定量を測定する方法、被測定量の測定値を補正するための補正値を測定する補正値測定方法、およびその補正値を用いて被測定量の測定値を補正する方法について図面を参照して説明する。

【0037】

まず、測定用治具１における本体部２の正面パネル２ａに配設されているＢＮＣコネクタ１０に、図外の接続ケーブルのＢＮＣコネクタ（ＢＮＣプラグ）を接続して、図外の測定装置と測定用治具１とを接続する。次いで、図４に示すように、移動機構４における構成部品２１ｃのレバー２２を位置Ｐ１に位置させる。この場合、移動機構４における構成部品２１ｅ〜２１ｈがスプリング２４によって同図に示す矢印Ａ１の向き（側面パネル２ｆに向かう向き）に付勢されているため、構成部品２１ｆに取り付けられているベアリング２３が、構成部品２１ｃの平行部３３に当接している。

【0038】

この状態では、構成部品２１ｅ〜２１ｈが側面パネル２ｅ側（図４における左側）に位置して、プローブ部５０ｂが初期位置に位置し、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士が離間している。また、この状態では、図４に示すように、カバー部５が保持部３の保持部材１２に形成されている溝部１３の測定位置１３ｂを開放する第１状態となっている。また、構成部品２１ｈの傾斜部３２がカバー部５の外周部に当接して、図外のバネの付勢力によるカバー部５の右回りの回動を規制している。このため、カバー部５が第１状態に維持されている。

【0039】

次いで、チップ部品１００についての被測定量の測定に先立ち、測定系の誤差を補正するための補正値（オープン補正用の補正値）の測定を行う。具体的には、移動規制部６のシンブル６４を回転（回動）させる。この際に、スピンドル６３がシンブル６４と共に回転して、これに伴ってスピンドル６３における先端部６３ａの支持部６１からの突出量Ｌｂ（図６参照）が変化する。次いで、シンブル６４の回転量を調節して、離間距離としての測定対象のチップ部品１００の長さ（電極１０１ａ，１０１ｂ（一対の被接触部）間の長さ）に対応する突出量Ｌｂだけ先端部６３ａを突出させる。この場合、この移動規制部６では、スリーブ６２に設けられている第１目盛り７１とシンブル６４に設けられている第２目盛り７２とによって先端部６３ａの突出量Ｌｂが示されるため、両目盛り７１，７２を視認しつつシンブル６４を回転させることで、測定対象のチップ部品１００の長さに対応する突出量Ｌｂだけ、正確に先端部６３ａを突出させることが可能となっている。

【0040】

続いて、図７に示すように、構成部品２１ｃのレバー２２を本体部２の背面パネル２ｂ側に移動させて、位置Ｐ２に位置させる。この際に、構成部品２１ｃの傾斜部３１が同図に示す矢印Ｂ１の向き（背面パネル２ｂに向かう向き）に移動し、これに伴い、ベアリング２３と構成部品２１ｃとの当接部位が平行部３３から傾斜部３１に移動し、次いで、傾斜部３１に沿って同図に示す矢印Ａ１の向きに移動する。これにより、構成部品２１ｅ〜２１ｈが矢印Ａ１の向きに移動し、構成部品２１ｇに保持されているプローブ部５０ｂが矢印Ａ１の向き、つまりプローブ部５０ａに近接する向きに移動させられる。また、構成部品２１ｅ〜２１ｈの矢印Ａ１の向きでの移動に伴って構成部品２１ｈに取り付けられている当接板２５も矢印Ａ１の向きに移動する。

【0041】

次いで、図８に示すように、当接板２５が移動規制部６におけるスピンドル６３の先端部６３ａに当接したときには、構成部品２１ｅ〜２１ｈの矢印Ａ１への移動が規制される。この状態では、図９に示すように、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部がチップ部品１００の長さに相当する離間距離Ｌａだけ離間し、かつその状態が維持される。

【0042】

この場合、この測定用治具１では、移動規制部６のスピンドル６３の先端部６３ａを移動機構４の当接板２５に当接させて、プローブ部５０ａ，５０ｂが互いに近接する第１の向きへのプローブ部５０ｂの移動を規制する構成のため、チップ部品１００を保持部３にセットすることなく、チップ部品１００の長さに対応する突出量Ｌｂだけスピンドル６３の先端部６３ａを突出させることで、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さに相当する離間距離Ｌａだけ離間させ、かつその状態を確実に維持することが可能となっている。このため、この測定用治具１では、補正値を測定するためにチップ部品１００を保持部３にセットする必要がない分、補正値の測定効率を十分に向上させることが可能となっている。

【0043】

一方、図７に示すように、構成部品２１ｅ〜２１ｈの矢印Ａ１への移動に伴って構成部品２１ｈの傾斜部３２とカバー部５とが離間する（当接状態が解除される）。この際に、図外のバネの付勢力によってカバー部５が右回りに回動して、図９に示すように、保持部３における溝部１３の測定位置１３ｂを覆う第２状態に切り替えられる。

【0044】

続いて、測定装置を操作して、被測定量（インピーダンスや静電容量）を測定してその測定値をオープン補正用の補正値とする。この場合、この測定用治具１では、上記したように、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さに相当する離間距離Ｌａだけ離間させ、かつその状態を確実に維持することが可能となっている。このため、この測定用治具１では、オープン補正用の補正値を正確に測定することが可能となっている。以上により、測定系の誤差を補正するための補正値の測定が終了する。

【0045】

次いで、チップ部品１００についての被測定量を測定する。具体的には、図４に示すように、レバー２２を本体部２の正面パネル２ａ側に移動させて、位置Ｐ１に位置させる。この際に、同図に示すように、構成部品２１ｃの傾斜部３１が同図に示す矢印Ｂ２向き（正面パネル２ａに向かう向き）に移動し、これに伴い、ベアリング２３と構成部品２１ａとの当接部位が傾斜部３１に沿って矢印Ａ２の向きに移動し、続いて、傾斜部３１から平行部３３に移動する。

【0046】

これにより、構成部品２１ｅ〜２１ｈが図４に示す矢印Ａ２の向きに移動し、構成部品２１ｇに保持されているプローブ部５０ｂが矢印Ａ２の向き、つまりプローブ部５０ａから離間する向きに移動させられる。また、構成部品２１ｈの移動により、同図に示すように、構成部品２１ｈの傾斜部３２がカバー部５の外周部に当接して、カバー部５が左回りに回動させられ、これによって、カバー部５が第２状態から第１状態に切り替えられる。

【0047】

続いて、チップ部品１００を保持部３の溝部１３にセットする。具体的には、まず、図１０に示すように、保持部材１２に形成されている凹部１４の底面１４ａにチップ部品１００を載置する。次いで、棒等を用いてチップ部品１００を押すことにより、チップ部品１００を凹部１４から溝部１３に移動させる。この場合、凹部１４の底面１４ａと溝部１３の底部１３ａとが面一となっているため（図１１参照）、底面１４ａから底部１３ａにチップ部品１００を滑らせつつ移動させることで、スムーズな移動を行うことが可能となっている。なお、凹部１４の底面１４ａに測定対象のチップ部品１００を複数載置し、測定する度に、チップ部品１００を溝部１３に１つずつ移動させることもできる。つまり、凹部１４を、溝部１３に移動させるチップ部品１００の待機場所として使用することができる。

【0048】

次いで、プローブ部５０ａ，５０ｂをチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに確実に接触させるために、移動規制部６のシンブル６４を回転させて、スピンドル６３の先端部６３ａの突出量Ｌｂを、補正値の測定の際に設定した突出量Ｌｂよりもやや減少させる。

【0049】

続いて、図７に示すように、構成部品２１ｃのレバー２２を本体部２の背面パネル２ｂ側に移動させて、位置Ｐ２に位置させる。この際に、構成部品２１ｅ〜２１ｈが同図に示す矢印Ａ１の向きに移動し、構成部品２１ｇに保持されているプローブ部５０ｂがプローブ部５０ａに近接する向きに移動させられる。この結果、図１２に示すように、プローブ部５０ａ，５０ｂがチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにそれぞれ接触する。

【0050】

一方、図７に示すように、構成部品２１ｅ〜２１ｆの矢印Ａ１への移動に伴って構成部品２１ｈの傾斜部３２とカバー部５とが離間し、カバー部５が右回りに回動して、図１２に示すように、保持部３における溝部１３の測定位置１３ｂを覆う第２状態に切り替えられる。この第２状態では、図１３に示すように、測定位置１３ｂの上方がカバー部５によって覆われているため、プローブ部５０ａ，５０ｂから電極１０１ａ，１０１ｂに力が加わったとしても、チップ部品１００が溝部１３（測定位置１３ｂ）から飛び出す事態を確実に防止することが可能となっている。

【0051】

続いて、測定装置を操作して、チップ部品１００についての被測定量を測定する。この場合、溝部１３からのチップ部品１００の飛び出しが確実に防止されるため、チップ部品１００の被測定量を確実に測定することが可能となっている。続いて、測定した被測定量の測定値を上記した補正値で補正する。以上により、チップ部品１００についての被測定量の測定が終了する。

【0052】

次いで、測定が終了したチップ部品１００を溝部１３から取り出す。このときには、図４に示すように、レバー２２を本体部２の正面パネル２ａ側に移動させて、位置Ｐ１に位置させる。この際に、同図に示すように、構成部品２１ｃの傾斜部３１が同図に示す矢印Ｂ２向きに移動し、これに伴い、ベアリング２３と構成部品２１ａとの当接部位が傾斜部３１に沿って矢印Ａ２の向きに移動し、続いて、傾斜部３１から平行部３３に移動する。

【0053】

これにより、構成部品２１ｅ〜２１ｈが図４に示す矢印Ａ２の向きに移動し、構成部品２１ｇに保持されているプローブ部５０ｂがプローブ部５０ａから離間する向きに移動させられて、図１０に示すように、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部５０ａ，５０ｂの接触が解除される。また、構成部品２１ｈの移動により、図４に示すように、構成部品２１ｈの傾斜部３２がカバー部５の外周部に当接して、カバー部５が左回りに回動させられ、これによって、カバー部５が第２状態から第１状態に切り替えられる。次いで、開放された測定位置１３ｂからチップ部品１００を取り出す。以上により、チップ部品１００についての被測定量の測定が終了する。

【0054】

このように、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士を任意の離間距離Ｌａだけ離間させた状態で、プローブ部５０ａ，５０ｂが互いに近接する第１の向きへのプローブ部５０ｂの移動を規制する移動規制部６を用いることにより、チップ部品１００を保持部３にセットすることなく、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さに相当する離間距離Ｌａだけ離間させ、かつその状態を確実に維持することができる。したがって、この測定用治具１によれば、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士の離間距離Ｌａが変化してしまうおそれがある従来の構成とは異なり、補正値を正確に測定することができる。また、この測定用治具１によれば、補正値を測定するためにチップ部品１００を保持部３にセットする必要がない分、補正値の測定効率を十分に向上させることができる。

【0055】

また、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、第１目盛り７１が設けられたスリーブ６２と、スリーブ６２に回転可能に支持されて回転量に応じて先端部６３ａの突出量Ｌｂが変化して移動機構４の当接板２５に先端部６３ａが当接して、プローブ部５０ａ，５０ｂが互いに近接する第１の向きへのプローブ部５０ｂの移動を規制するスピンドル６３と、スピンドル６３に取り付けられて第１目盛り７１と共に突出量Ｌｂを示す第２目盛り７２が設けられたシンブル６４とを備えて移動規制部６を構成したことにより、チップ部品１００の長さに対応する突出量Ｌｂだけスピンドル６３の先端部６３ａを突出させることで、プローブ部５０ａ，５０ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さ分だけ正確に離間させることができる。したがって、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、補正値をより正確に測定することができる。

【0056】

また、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、移動機構４によるプローブ部５０ｂの移動動作に連動して、溝部１３の測定位置１３ｂを開放する第１状態と測定位置１３ｂを覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、プローブ部５０ｂが初期位置に位置している状態において第１状態に維持され、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するときに第２状態に切り替えられるカバー部５を備えたことにより、プローブ部５０ａ，５０ｂがチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに接触するときに、測定位置１３ｂをカバー部５によって覆うことができる。つまり、カバー部５は、溝部１３の蓋として機能し、その蓋をプローブ部５０ｂの移動動作に連動して自動的に開閉させることができる。この場合、Ａ方向（溝部１３の長さ方向）でのチップ部品１００の移動がプローブ部５０ａ，５０ｂによって規制され、溝部１３の上方へのチップ部品１００の移動がカバー部５によって規制される。このため、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、プローブ部５０ａ，５０ｂから電極１０１ａ，１０１ｂに力が加わったとしても、チップ部品１００が溝部１３から飛び出す事態を確実に回避することができる。したがって、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、溝部１３からのチップ部品１００の飛び出しによる測定の中断やチップ部品１００の紛失を確実に防止することができる。

【0057】

また、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、支軸５ａによって回動可能に軸支されて、移動機構４によるプローブ部５０ｂの移動動作に連動して回動することによって第１状態と第２状態とを切り替え可能にカバー部５を構成したことにより、溝部１３の長さ方向（Ａ方向）に平行な方向や溝部１３の長さ方向に直交する方向にカバー部５を移動させて第１状態と第２状態とを切り替える構成と比較して、少ない移動量で第１状態と第２状態とを切り替えることができるため、カバー部５を十分に小形化することができる。

【0058】

また、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、底面１４ａが平坦に形成されると共に底面１４ａが溝部１３の底部１３ａと同じ深さに規定されて、溝部１３における測定位置１３ｂを除く部分に連続するように形成された凹部１４を備えて保持部３を構成したことにより、凹部１４の底面１４ａにチップ部品１００を載置させた後に、凹部１４の底面１４ａから溝部１３の底部１３ａにチップ部品１００を滑らせつつ移動させることができる。このため、この測定用治具１、補正値測定方法および補正方法によれば、チップ部品１００が小形の場合であっても、チップ部品１００を溝部１３に容易に載置することができる結果、測定効率を十分に向上させることができる。

【0059】

なお、測定用治具の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、例えば、プローブ部５０ａを固定し、プローブ部５０ｂだけをＡ方向に移動させる構成例について上記したが、プローブ部５０ａ，５０ｂの双方をＡ方向に移動させる構成を採用することもできる。この場合、この構成では、プローブ部５０ａの移動を規制する移動規制部、およびプローブ部５０ｂの移動を規制する移動規制部の２つの移動規制部を備えることで、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士を任意の離間距離Ｌａだけ離間させた状態に維持することができる。

【0060】

また、移動規制部の構成は、上記した移動規制部６の構成に限定されない。例えば、本体部２の天面パネル２ｃ上においてＡ方向（プローブ部５０ｂの移動方向）に沿って配設されたレールと、レール上をスライド可能でかつレール上の任意の位置でスライドのロックが可能にスライド部材とを備え、スライドロックされたスライド部材に移動機構４の当接板２５が当接したときに、プローブ部５０ｂの移動を規制するように構成した移動規制部を採用することもできる。

【0061】

また、補正値としてオープン補正用の補正値だけを測定する例について上記したが、オープン補正用の補正値に加えて、ショート補正用の補正値を測定し、双方の補正値で測定値を補正することもできる。この場合、ショート補正用の補正値を測定するときには、移動規制部６におけるスピンドル６３の先端部６３ａの突出量Ｌｂを減少させることにより、移動機構４のレバー２２を位置Ｐ２に位置させたときにプローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士を接触させ、この状態で被測定量を測定してその測定値をショート補正用の補正値とする。

【0062】

また、底面パネル２ｄに平行な面に沿って回動可能にカバー部５を構成した例について上記したが、例えば、底面パネル２ｄに平行な支軸に軸支されて、その支軸を中心として、底面パネル２ｄに対する傾斜角度が増減するように回動可能なカバー部を用いて、カバー部の傾斜角度が９０°以上のときに測定位置１３ｂを開放する第１状態となり、カバー部の傾斜角度が０°のときに測定位置１３ｂを覆う第２状態となるような構成を採用することもできる。

【0063】

また、移動機構４によるプローブ部５０ｂの移動動作に連動してカバー部５を回動させて、第１状態と第２状態とを切り替える構成例について上記したが、プローブ部５０ｂの移動動作に連動して、Ａ方向（溝部１３の長さ方向）に平行な方向、Ｂ方向（Ａ方向に直交する方向）、およびＡ方向やＢ方向に対して傾斜する方向等にカバー部５を移動させて、第１状態と第２状態とを切り替える構成を採用することもできる。

【0064】

また、第１プローブおよび第２プローブを備えた４端子法用のプローブ部５０を用いる例について上記したが、単一のプローブで構成されたプローブ部（２端子法用のプローブ）を用いる構成を採用することもできる。

【0065】

また、引っ張りコイルバネで構成されたスプリング２４の付勢力（引っ張る向きの付勢力）によってプローブ部５０ｂ（構成部品２１ｅ〜２１ｈ）を第１の向きに移動させるように移動機構４を構成した例について上記したが、圧縮コイルバネの付勢力（押圧する向きの付勢力）によってプローブ部５０ｂを第１の向きに移動させるように移動機構４を構成することもできる。また、コイルバネ以外のバネ（例えば板バネ）の付勢力や、ゴム等の弾性材料の付勢力によってプローブ部５０ｂを第１の向きに移動させるように移動機構４を構成することもできる。

【符号の説明】

【0066】

１ 測定用治具
３ 保持部
４ 移動機構
５ カバー部
５ａ 支軸
６ 移動規制部
１３ 溝部
１３ａ 底部
１３ｂ 測定位置
１４ 凹部
１４ａ 底面
２１ｇ 構成部品
２４ スプリング
２５ 当接板
５０ａ，５０ｂ プローブ部
６１ 支持部
６２ スリーブ
６３ スピンドル
６３ａ 先端部
６３ｂ 基端部
６４ シンブル
７１ 第１目盛り
７２ 第２目盛り
１００ チップ部品
１０１ａ，１０１ｂ 電極
Ｌａ 離間距離
Ｌｂ 突出量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】