特許 6783209 真空洗浄装置および真空洗浄方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6783209

(24)【登録日】2020年10月23日

(45)【発行日】2020年11月11日

(54)【発明の名称】真空洗浄装置および真空洗浄方法

(51)【国際特許分類】

   B08B 3/08 20060101AFI20201102BHJP

   B08B 3/04 20060101ALI20201102BHJP

【ＦＩ】

   B08B3/08 Z

   B08B3/04 Z

【請求項の数】2

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2017-187515(P2017-187515)

(22)【出願日】2017年9月28日

(62)【分割の表示】特願2016-142767(P2016-142767)の分割

【原出願日】2012年11月20日

(65)【公開番号】特開2018-12106(P2018-12106A)

(43)【公開日】2018年1月25日

【審査請求日】2017年10月30日

【審判番号】不服2019-14520(P2019-14520/J1)

【審判請求日】2019年10月30日

(31)【優先権主張番号】特願2011-257625(P2011-257625)

(32)【優先日】2011年11月25日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000000099

【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩ

(73)【特許権者】

【識別番号】000198329

【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩ機械システム

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(74)【代理人】

【識別番号】100175802

【弁理士】

【氏名又は名称】寺本 光生

(74)【代理人】

【識別番号】100169764

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 雄一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100167553

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 久典

(72)【発明者】

【氏名】平本 昇

(72)【発明者】

【氏名】三塚 正敏

(72)【発明者】

【氏名】小西 博之

【合議体】

【審判長】 柿崎 拓

【審判官】 小川 恭司

【審判官】 長馬 望

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−１６０３７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−５１８０２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

B08B 3/08, B08B 3/04

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

石油系溶剤の蒸気を生成する蒸気生成手段と、
前記蒸気生成手段から供給される蒸気によって減圧下でワークを洗浄可能な洗浄室と、
前記洗浄室に隣接し、減圧状態に保持される凝縮室と、
前記凝縮室を前記洗浄室よりも低い温度に保持する温度保持手段と、
前記凝縮室と前記洗浄室とを連通させ、または、その連通を遮断する開閉バルブと、を備え、
前記凝縮室と前記洗浄室とは配管を用いることなく前記開閉バルブを介して接続され、前記開閉バルブによって前記凝縮室と前記洗浄室とを連通させることによって洗浄後の前記ワークを乾燥させることを特徴とする真空洗浄装置。

【請求項2】

ワークが搬入された洗浄室および当該洗浄室に隣接した凝縮室を減圧する工程と、
石油系溶剤の蒸気を生成し、当該蒸気を減圧下にある前記洗浄室に供給して前記ワークを洗浄する工程と、
減圧下にある前記凝縮室を前記洗浄室よりも低い温度に保持する工程と、
前記凝縮室と前記洗浄室とを配管を用いることなく開閉バルブを介して接続し、当該開閉バルブを開弁して前記洗浄室と前記凝縮室とを連通させることによって洗浄後の前記ワークを乾燥させる工程と
を含む真空洗浄方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、減圧下にある洗浄室に石油系溶剤の蒸気を供給してワークを洗浄する真空洗浄装置および真空洗浄方法に関する。本願は、２０１１年１１月２５日に出願された日本国特許出願第２０１１−２５７６２５号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。

【背景技術】

【0002】

従来、例えば、特許文献１に示される真空洗浄装置が知られている。この真空洗浄装置によれば、まず、ワークが搬入された蒸気洗浄・乾燥室を真空ポンプによって減圧する減圧工程がなされる。その後、石油系溶剤の蒸気を蒸気洗浄・乾燥室に供給して、ワークを洗浄する蒸気洗浄工程がなされる。次に、浸漬室に貯留された石油系溶剤にワークを浸漬させ、特に蒸気洗浄工程で洗浄が不十分となるワークの隙間等を洗浄する浸漬洗浄工程がなされる。

【0003】

このようにしてワークの洗浄が完了すると、再び蒸気洗浄・乾燥室にワークを搬送する。その後、蒸気洗浄・乾燥室をさらに減圧して、ワーク表面に付着した溶剤を蒸発させる乾燥工程がなされる。そして、乾燥工程が終了したら、蒸気洗浄・乾燥室を大気圧に復帰させる。その後、ワークを搬出して、一連の工程が終了する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】日本国特開２００３−２３６４７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記特許文献１の真空洗浄装置によれば、乾燥工程において、蒸気洗浄・乾燥室を真空ポンプで真空引きして減圧している。このとき、蒸発によって１００倍以上の体積に気化した気体を、従来のメカニカルな回転駆動式真空ポンプで排気乾燥するのは容易ではない。また、乾燥性を高めるために更に減圧すれば、さらに気体が膨張して排気時間がかかる。そのため、この従来の乾燥方法による乾燥工程には長時間を要する。すなわち、安定した洗浄品質かつ生産性を高める乾燥工程において、その時間の短縮化が望まれている。

【0006】

本発明は、ワークの乾燥に要する時間を短縮して全体の処理能力を向上することができる真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供している。本発明の第１の態様は、真空洗浄装置である。この真空洗浄装置は、石油系溶剤の蒸気を生成する蒸気生成手段と、前記蒸気生成手段から供給される蒸気によって減圧下でワークを洗浄可能な洗浄室と、前記洗浄室に隣接し、減圧状態に保持される凝縮室と、前記凝縮室を前記洗浄室よりも低い温度に保持する温度保持手段と、前記凝縮室と前記洗浄室とを連通させ、または、その連通を遮断する開閉バルブとを備え、前記凝縮室と前記洗浄室とは配管を用いることなく前記開閉バルブを介して接続され、前記開閉バルブによって前記凝縮室と前記洗浄室とを連通させることによって洗浄後の前記ワークを乾燥させる。

【0008】

本発明の第２の態様は、真空洗浄方法である。この真空洗浄方法は、ワークが搬入された洗浄室および当該洗浄室に隣接した凝縮室を減圧する工程と、石油系溶剤の蒸気を生成し、当該蒸気を減圧下にある前記洗浄室に供給して前記ワークを洗浄する工程と、減圧下にある前記凝縮室を前記洗浄室よりも低い温度に保持する工程と、前記凝縮室と前記洗浄室とを配管を用いることなく開閉バルブを介して接続し、当該開閉バルブを開弁して前記洗浄室と前記凝縮室とを連通させることによって洗浄後の前記ワークを乾燥させる工程とを含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、ワークの乾燥に要する時間を短縮して全体の処理能力を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】第１実施形態の真空洗浄装置を説明するための概念図である。

【図2】第１実施形態の真空洗浄装置の処理工程を説明するフローチャートである。

【図3】従来の真空洗浄装置による乾燥工程の試験データを示す図である。

【図4】第１実施形態の真空洗浄装置による乾燥工程の試験データを示す図である。

【図5】従来の真空洗浄装置による乾燥工程の他の試験データを示す図である。

【図6】第１実施形態の真空洗浄装置による乾燥工程の他の試験データを示す図である。

【図7】第２実施形態の真空洗浄装置を説明するための概念図である。

【図8】第２実施形態の真空洗浄装置の処理工程を説明するフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。本実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能および構成を有する要素については、同一の符号を付することにより、重複する説明を省略する。また、本発明に直接関係のない要素については、その図示を省略する。

【0012】

図１は、第１実施形態の真空洗浄装置１を説明するための概念図である。この図１に示すように、真空洗浄装置１は、内部に洗浄室２が設けられた真空容器３を備えている。この真空容器３には、開口３ａが形成されており、開閉扉４によって開口３ａが開閉可能となっている。したがって、ワークＷを洗浄する際には、開閉扉４を開放して、開口３ａから洗浄室２内にワークＷを搬入して載置部５に載置する。その後、開閉扉４を閉じて、ワークＷを洗浄する。その後、再び開閉扉４を開放して、開口３ａからワークＷを搬出する。

【0013】

そして、上記の洗浄室２には、蒸気供給部６が設けられている。この蒸気供給部６は、蒸気供給管７を介して、蒸気発生室８に接続されている。蒸気発生室８は、ヒータ８ａを備えており、石油系溶剤を加熱して溶剤蒸気（以下、単に蒸気という）を生成する。このように、蒸気発生室８によって生成された蒸気は、蒸気供給管７および蒸気供給部６を介して、洗浄室２に供給される。なお、この石油系溶剤の種類は、特に限定されない。ただし、安全性の観点から第３石油類溶剤を使用することが望ましく、例えば、ノルマルパラフィン系、イソパラフィン系、ナフテン系、芳香族系の炭化水素系溶剤が挙げられる。具体的には、第３石油類溶剤として、一般的にクリーニングソルベントと呼ばれるテクリーンＮ２０、クリーンソルＧ、ダフニーソルベント等を使用することが望ましい。なお、「テクリーン」は、新日本石油株式会社（現：ＪＸホールディングス株式会社）の登録商標であり、「クリーンソルＧ」は、同社の商品名であり、「ダフニー」は、出光興産株式会社の登録商標である。

【0014】

また、洗浄室２には、配管９を介して、真空ポンプ１０が接続されている。この真空ポンプ１０は、ワークＷの洗浄を開始する前の減圧工程において、真空容器３内を真空引き（初期真空）によって減圧する。さらに、洗浄室２には、この洗浄室２を大気開放するための配管１１が接続されている。この配管１１は、ワークＷの洗浄工程および乾燥工程が終了した後の搬出工程において、洗浄室２を大気開放して大気圧に復帰させる。

【0015】

そして、洗浄室２には、開閉手段である開閉バルブ２０を介して、凝縮室２１が接続されている。開閉バルブ２０を開弁すると、洗浄室２と凝縮室２１とが連通し、開閉バルブ２０を閉弁すると、洗浄室２と凝縮室２１との連通が遮断される。この凝縮室２１も、洗浄室２と同様に、配管９から分岐する分岐管２５を介して真空ポンプ１０に接続されており、減圧状態を保持することが可能である。また、この凝縮室２１には、熱交換器等からなる温度保持装置２２（温度保持手段）が設けられており、凝縮室２１内の温度が洗浄室２内の温度よりも低い一定温度（５℃〜５０℃、より好ましくは１５℃〜約２５℃）に保持することが可能である。

【0016】

さらに、凝縮室２１の底部には、リターン配管２３を介して、リザーバタンク２４が接続されている。凝縮室２１で凝縮した石油系溶剤をリターン配管２３からリザーバタンク２４に導くとともに、このリザーバタンク２４に一時的に貯留することが可能である。このリザーバタンク２４は、蒸気発生室８に接続されており、一定量以上の石油系溶剤が貯留されると、リザーバタンク２４から蒸気発生室８に石油系溶剤が導かれる。つまり、リターン配管２３およびリザーバタンク２４は、石油系溶剤を回収する回収手段として機能する。こうした回収手段によって回収された石油系溶剤は、蒸気発生室８に還流して再度気化されて洗浄室２に供給される。

【0017】

なお、図１に示すように、蒸気供給管７には、洗浄室２と蒸気発生室８とを連通させたり、その連通を遮断したりする切換バルブＶ１が設けられている。配管９には、洗浄室２と真空ポンプ１０とを連通させたり、その連通を遮断したりする切換バルブＶ２が設けられている。配管１１には、洗浄室２を大気に開放したり、洗浄室２を大気から遮断したりする切換バルブＶ３が設けられている。分岐管２５には、凝縮室２１と真空ポンプ１０とを連通したり、あるいは、その連通を遮断したりする切換バルブＶ４が設けられている。

【0018】

次に、上記の真空洗浄装置１におけるワークＷの真空洗浄方法について、図１および図２を用いて説明する。なお、以下では、真空洗浄装置１における真空洗浄方法を具体的に説明するため、石油系溶剤として第３石油類溶剤であるテクリーンＮ２０を用いた場合を説明する。ただし、上記したとおり、真空洗浄装置１に使用可能な石油系溶剤は、これに限定されるものではない。使用する石油系溶剤の沸点や凝縮点等の特性に応じて、各種装置における制御温度等を変更すれば、種々の石油系溶剤を利用することが可能である。

【0019】

図２は、真空洗浄装置１の処理工程を説明するフローチャートである。真空洗浄装置１を利用するにあたっては、まず、準備工程（ステップＳ１００）を１回行う。その後、１つのワークＷに対して、搬入工程（ステップＳ２００）、減圧工程（ステップＳ３００）、蒸気洗浄工程（ステップＳ４００）、乾燥工程（ステップＳ５００）、搬出工程（ステップＳ６００）を行う。そして、以後、順次搬入されるワークＷに対して、ステップＳ２００〜ステップＳ６００の工程が行われる。以下に、図１を参照しながら、上記の各工程について説明する。

【0020】

（準備工程：ステップＳ１００）
まず、真空洗浄装置１を稼働させる。そのために、開閉バルブ２０および切換バルブＶ１〜Ｖ３を閉弁するとともに、切換バルブＶ４を開弁して真空ポンプ１０を駆動する。これにより、凝縮室２１を真空引きして、この凝縮室２１の内部を１０ｋＰａ以下に減圧する。そして、温度保持装置２２を駆動して、減圧状態にある凝縮室２１を、洗浄室２よりも低い温度、より詳細には、使用する石油系溶剤の凝縮点以下の温度（５℃〜５０℃、より好ましくは１５℃〜約２５℃）に保持する。

【0021】

また、ヒータ８ａを駆動して蒸気発生室８に貯留されている石油系溶剤を加温し、蒸気を生成させる。なお、このとき、蒸気発生室８は飽和蒸気圧となっており、かつ切換バルブＶ１が閉じられているため、蒸気発生室８で生成された蒸気は、この蒸気発生室８内に充満している。これにより、真空洗浄装置１の準備工程が終了し、真空洗浄装置１によるワークＷの洗浄が可能となる。

【0022】

（搬入工程：ステップＳ２００）
真空洗浄装置１によってワークＷの洗浄を行う際には、まず、開閉扉４を開放し、開口３ａから洗浄室２にワークＷを搬入して載置部５に載置する。このとき、開閉バルブ２０は閉弁したままであり、凝縮室２１が減圧状態に維持されている。そして、ワークＷの搬入が完了したら、開閉扉４を閉じて洗浄室２を密閉状態にする。このとき、ワークＷの温度は、常温（１５〜４０℃程度）となっている。

【0023】

（減圧工程：ステップＳ３００）
次に、真空ポンプ１０を駆動して、真空引きにより洗浄室２を凝縮室２１と同じ１０ｋＰａ以下に減圧する。

【0024】

（蒸気洗浄工程：ステップＳ４００）
次に、切換バルブＶ１を開弁して、蒸気発生室８によって生成された蒸気を洗浄室２に供給する。このとき、蒸気の温度は、７０〜１５０℃（より好ましくは１１５〜１２５℃）に制御されており、高温の蒸気が洗浄室２に充満する。

【0025】

このように、洗浄室２に供給された蒸気がワークＷの表面に付着すると、ワークＷの温度が蒸気の温度に比べて低いことから、蒸気がワークＷの表面で凝縮する。その結果、ワークＷの表面に付着していた油脂類が、凝縮された石油系溶剤によって溶解、流下され、ワークＷが洗浄される。この蒸気洗浄工程は、ワークＷの温度が、蒸気の温度（石油系溶剤の沸点）である７０〜１５０℃（１１５〜１２５℃）に到達するまで行われるとともに、ワークＷの温度が蒸気の温度に到達したときに切換バルブＶ１を閉弁する。こうして、蒸気洗浄工程が、終了する。

【0026】

（乾燥工程：ステップＳ５００）
上記ステップＳ４００の蒸気洗浄工程が終了すると、次に、洗浄の際にワークＷに付着した石油系溶剤を乾燥させる乾燥工程が行われる。この乾燥工程は、開閉バルブ２０を開弁して、洗浄室２と凝縮室２１とを連通させることによって行われる。具体的には、乾燥工程の開始時には、洗浄室２の温度が蒸気の温度である７０〜１５０℃となっているが、凝縮室２１の温度は、温度保持装置２２によって５〜５０℃（より好ましくは１５〜２５℃）に維持されている。

【0027】

したがって、開閉バルブ２０を開弁すると、洗浄室２内に充満している蒸気は、凝縮室２１に移動して凝縮する。これにより、洗浄室２が減圧されることから、ワークＷに付着している石油系溶剤および洗浄室２内の石油系溶剤が、全て気化して、凝縮室２１に移動する。その結果、従来に比べて極めて短時間で、洗浄室２（ワークＷ）を乾燥させることが可能となる。なお、第１実施形態の真空洗浄装置１における乾燥時間については、後で詳細に説明する。

【0028】

（搬出工程：ステップＳ６００）
上記のように、洗浄室２およびワークＷの乾燥が完了したら、開閉バルブ２０を閉弁して、洗浄室２と凝縮室２１とを遮断する。そして、切換バルブＶ３を開弁して洗浄室２を大気開放し、洗浄室２が大気圧まで復圧したときに、開閉扉４を開放して開口３ａからワークＷを搬出する。こうして、ワークＷに対する全工程が、終了する。このとき、凝縮室２１は、所望の圧力に維持されていることから、以後は、上記ステップＳ２００〜ステップＳ６００を繰り返すことで、次々とワークＷを洗浄することができる。

【0029】

図３は、従来の真空洗浄装置による乾燥工程の試験データを示す図であり、図４は、第１実施形態の真空洗浄装置１による乾燥工程の試験データを示す図である。なお、図３および図４は、ほぼ同一の条件下において、ワークＷとして小型の金属製部品１５０ｋｇを乾燥させた際の各種データを示している。また、従来の真空洗浄装置は、乾燥工程において洗浄室２を減圧する際に、蒸気対応の特殊真空ポンプで真空引きする。この点のみが、第１実施形態の真空洗浄装置１と異なり、その他の構成は全て同じである。

【0030】

図３に示すように、従来の真空洗浄装置において、洗浄工程の終了後に真空ポンプを駆動して真空引きを開始すると、蒸気発生室８の蒸気温度および液温は、いずれも緩やかな上昇傾向を示している。このとき、洗浄室２は、真空引きによって徐々に減圧され、およそ１５０秒で９００Ｐａに到達し、真空引き開始からおよそ４１８秒で、最高減圧レベルである２８０Ｐａに到達している。

【0031】

これに対して、図４に示すように、第１実施形態の真空洗浄装置１において、洗浄工程の終了後に開閉バルブ２０を開弁して乾燥を開始すると、蒸気発生室８の蒸気温度および液温が、上記と同様に、いずれも緩やかな上昇傾向を示している。一方、洗浄室２は、蒸気が凝縮室２１に向けて急激に移動することから、急速に減圧され、およそ１２秒で９００Ｐａに到達し、開閉バルブ２０の開弁からおよそ２２秒で、最高減圧レベルである２８０Ｐａに到達している。

【0032】

また、図５は、従来の真空洗浄装置による乾燥工程の他の試験データを示す図であり、図６は、第１実施形態の真空洗浄装置１による乾燥工程の他の試験データを示す図である。この図５および図６は、ワークＷとして上記と同じ小型の金属製部品１５０ｋｇと、石油系溶剤７０ｃｃが溜められたスチール缶とを洗浄室２に載置した状態で乾燥工程を行った際の各種データを示している。なお、洗浄工程においては、石油系溶剤が部品の隙間や凹部等に残液として溜まることがあり、この試験は、こうした残液が溜まってしまった場合を想定して行われた。

【0033】

図５に示すように、従来の真空洗浄装置によれば、洗浄室２が、真空引きによって徐々に減圧され、およそ３５３秒で９００Ｐａに到達し、真空引き開始からおよそ５０８秒で、最高減圧レベルである３２０Ｐａに到達している。つまり、従来の真空洗浄装置によれば、洗浄工程においてワークＷに残液が溜まってしまった場合は、残液が溜まっていない場合に比べて、最高減圧レベルに到達するまでの時間がおよそ９０秒長くなり、最高減圧レベル到達時における洗浄室２の圧力も更に高くなっている。したがって、当然のことながら、ワークＷに溜まった残液が多くなるほど、乾燥工程に要する時間が長時間になる。

【0034】

これに対して、図６に示すように、第１実施形態の真空洗浄装置１によれば、洗浄室２が、開閉バルブ２０の開弁後、およそ２０秒で９００Ｐａに到達し、開閉バルブ２０の開弁からおよそ４４秒で、最高減圧レベルである２８０Ｐａに到達している。つまり、第１実施形態の真空洗浄装置１によれば、洗浄工程においてワークＷに残液が溜まってしまった場合でも、残液が溜まっていない場合に比べて、最高減圧レベルに到達するまでの時間は僅か２２秒しか長くならず、最高減圧レベル到達時における洗浄室２の圧力も、残液が溜まっていない場合と同じ圧力まで減圧されている。

【0035】

このように、第１実施形態の真空洗浄装置１と従来の真空洗浄装置とを比較すると、第１実施形態の真空洗浄装置１を用いることにより、乾燥工程に要する時間が顕著に短縮化され、この時間差は、ワークＷに溜まる残液が多くなるほど一層顕著になることが確認された。したがって、上記の真空洗浄装置１によれば、乾燥工程の短縮により、全体的な処理時間が短縮され、単位時間当たりの処理量が向上するとともに、省エネルギー化を実現することができる。さらに、処理時間が短縮されることから、１つのワークに対して、上記ステップＳ４００〜ステップＳ５００の工程を繰り返し行うことにより、短時間で洗浄精度をより向上させることも可能である。

【0036】

また、凝縮室２１に移動して凝縮された石油系溶剤は、リターン配管２３を介してリザーバタンク２４に導かれ、このリザーバタンク２４において一時的に貯留された後に、再び蒸気発生室８に導かれて再利用される。このとき、石油系溶剤は、洗浄室２および凝縮室２１という外部から密閉された室内を循環している。そのため、従来のような真空ポンプによって屋外に排気される場合に比べて、石油系溶剤の再生率（再利用効率）が非常に高い。したがって、石油系溶剤の消費が低減され、ランニングコストを低減することができる。

【0037】

さらには、従来の真空洗浄装置においては、減圧工程と乾燥工程との双方で、洗浄室を真空ポンプによって真空引きする。この場合、乾燥工程では、洗浄室から多量の蒸気が吸引されるため、特殊仕様の真空ポンプを採用しなければならない。そのため、こうした特殊な部品を設けることが、装置全体のコストアップの大きな要因となっている。これに対して、第１実施形態の真空洗浄装置１によれば、洗浄室２に蒸気がない減圧工程でのみ、真空ポンプを用いる。そのため、特殊仕様ではない一般的な真空ポンプを採用することが可能となり、装置全体のコストを低減することができる。

【0038】

次に、図７および図８を用いて、第２実施形態の真空洗浄装置について説明する。なお、第２実施形態の真空洗浄装置５１は、第１実施形態の真空洗浄装置１の構成にワークＷを浸漬洗浄するための構成を備えた点が、上記第１実施形態の真空洗浄装置１と異なっている。したがって、上記第１実施形態と同一の構成には、上記と同一の符号を付するとともに、その詳細な説明を省略する。以下では、上記第１実施形態と異なる構成について説明する。

【0039】

図７は、第２実施形態の真空洗浄装置５１を説明するための概念図である。この図に示すように、真空洗浄装置５１は、内部に洗浄室２が設けられた真空容器５２を備えている。この真空容器５２には、開口５２ａが形成されており、開閉扉４によって開口５２ａが開閉可能となっている。

【0040】

また、真空容器５２内には、洗浄室２の下方に配置された浸漬室５３が設けられている。この浸漬室５３には、ワークＷが完全に浸漬可能な量の石油系溶剤が貯留されており、この石油系溶剤を加熱するためのヒータ５３ａが設けられている。また、洗浄室２と浸漬室５３との間には中間扉５４が設けられており、この中間扉５４によって、洗浄室２と浸漬室５３とが連通され、あるいはその連通が遮断される。

【0041】

なお、浸漬室５３に貯留されている石油系溶剤は、蒸気発生室８で生成される蒸気と同じものである。また、この第２実施形態の真空洗浄装置５１においては、載置部５に不図示の昇降装置が設けられており、載置部５が鉛直方向に移動することが可能である。したがって、中間扉５４を開放して洗浄室２と浸漬室５３とを連通させた状態で昇降装置を駆動することにより、図中破線で示すように、ワークＷを洗浄室２から浸漬室５３に移動させたり、あるいは、ワークＷを浸漬室５３から洗浄室２に移動させることができる。

【0042】

次に、上記の真空洗浄装置５１におけるワークＷの真空洗浄方法について図７および図８を用いて説明する。図８は、真空洗浄装置５１の処理工程を説明するフローチャートである。真空洗浄装置５１を利用するにあたっては、まず、準備工程（ステップＳ１０１）を１回行う。その後、１つのワークＷに対して、搬入工程（ステップＳ２００）、減圧工程（ステップＳ３００）、蒸気洗浄工程（ステップＳ４００）、浸漬洗浄工程（ステップＳ４５０）、乾燥工程（ステップＳ５００）、搬出工程（ステップＳ６００）を行う。そして、以後、順次搬入されるワークＷに対して、ステップＳ２００〜ステップＳ６００の工程が行われる。

【0043】

なお、上記の各工程のうち、搬入工程（ステップＳ２００）、減圧工程（ステップＳ３００）、蒸気洗浄工程（ステップＳ４００）、乾燥工程（ステップＳ５００）、搬出工程（ステップＳ６００）は、上記第１実施形態と同じである。したがって、ここでは、上記第１実施形態と異なる準備工程（ステップＳ１０１）および浸漬洗浄工程（ステップＳ４５０）について説明する。

【0044】

（準備工程：ステップＳ１０１）
まず、真空洗浄装置５１を稼働するにあたり、切換バルブＶ１〜Ｖ４を閉弁するとともに、開閉扉４を閉じて真空容器５２内を外部から遮断する。そして、中間扉５４を開放するとともに開閉バルブ２０を開弁し、浸漬室５３および凝縮室２１を洗浄室２に連通させる。次に、切換バルブＶ２を開弁して真空ポンプ１０を駆動し、洗浄室２、浸漬室５３および凝縮室２１を真空引きにより１０ｋＰａ以下に減圧する。このようにして、洗浄室２、浸漬室５３および凝縮室２１を所望の圧力まで減圧したら、中間扉５４を閉じるとともに開閉バルブ２０を閉弁して、浸漬室５３および凝縮室２１を洗浄室２から遮断する。

【0045】

そして、温度保持装置２２を駆動して、減圧状態にある凝縮室２１を、洗浄室２よりも低い温度、より詳細には、使用する石油系溶剤の凝縮点以下の温度に保持する。また、ヒータ５３ａを駆動して浸漬室５３に貯留されている石油系溶剤を加温するとともに、ヒータ８ａを駆動して蒸気発生室８に貯留されている石油系溶剤を加温して、蒸気を生成させる。このとき、中間扉５４が閉じられていることから、浸漬室５３で生成された蒸気は、この浸漬室５３内に充満している。また、切換バルブＶ１が閉じられていることから、蒸気発生室８で生成された蒸気は、この蒸気発生室８内に充満している。

【0046】

次に、ワークＷを洗浄室２に搬入すべく、切換バルブＶ３を開弁して、洗浄室２を大気開放して大気圧に復帰させる。そして、洗浄室２が大気圧に復帰したところで切換バルブＶ３を閉弁する。こうして、真空洗浄装置５１の準備工程が終了し、真空洗浄装置５１によるワークＷの洗浄が可能となる。

【0047】

そして、上記と同様に、搬入工程（ステップＳ２００）、減圧工程（ステップＳ３００）、蒸気洗浄工程（ステップＳ４００）が終了したら、浸漬洗浄工程（ステップＳ４５０）が行われる。なお、この第２実施形態の真空洗浄装置５１においては、浸漬室５３に蒸気が充満していることから、蒸気洗浄工程（ステップＳ４００）の開始に伴って中間扉５４が開放されて、洗浄室２と浸漬室５３とが連通される。したがって、蒸気洗浄工程（ステップＳ４００）では、蒸気発生室８および浸漬室５３の双方から、洗浄室２に蒸気が供給される。

【0048】

（浸漬洗浄工程：ステップＳ４５０）
蒸気洗浄工程が終了すると、載置部５が降下して、浸漬室５３に貯留された石油系溶剤にワークＷが浸漬される。このとき、不図示の昇降装置によってワークＷが鉛直方向の昇降を複数回繰り返し、蒸気洗浄工程で洗浄しきれなかったワークＷの細部に付着した油脂類等が洗浄される。このようにしてワークＷの洗浄が完了したら、載置部５を上昇させてワークＷを洗浄室２に搬送し、中間扉５４を閉じて洗浄室２と浸漬室５３とを遮断する。

【0049】

そして、上記と同様に、乾燥工程（ステップＳ５００）および搬出工程（ステップＳ６００）を行うことで、全工程が終了となる。このように、第２実施形態の真空洗浄装置５１によれば、上記第１実施形態の真空洗浄装置１と同様の作用効果を実現しつつ、ワークＷをより入念に洗浄することができる。なお、第１実施形態においては、蒸気発生室８（ヒータ８ａ）が、石油系溶剤の蒸気を生成する蒸気生成手段として機能していたが、この第２実施形態においては、蒸気発生室８（ヒータ８ａ）および浸漬室５３（ヒータ５３ａ）の双方が、蒸気生成手段として機能する。

【0050】

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されない。当業者であれば、本明細書および特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属する。

【0051】

したがって、例えば、焼き戻し処理が施された直後の高温のワークＷを洗浄するような場合には、洗浄室２と浸漬室５３とを離隔して設けておき、互いに熱伝達しにくいように構成してもよい。この場合には、浸漬室５３に低温の石油系溶剤を貯留しておき、まず、ワークＷを低温の石油系溶剤で浸漬洗浄し、この浸漬洗浄によって冷却されたワークＷを、洗浄室２に搬送して蒸気洗浄すればよい。このように、ワークＷに施す各工程の順序や、真空洗浄装置における各室の配置等は上記実施形態に限定されるものではなく、適宜設計することが可能である。

【産業上の利用可能性】

【0052】

本発明は、減圧下にある洗浄室に石油系溶剤の蒸気を供給してワークを洗浄する真空洗浄装置および真空洗浄方法に利用することができる。

【符号の説明】

【0053】

１、５１ 真空洗浄装置
２ 洗浄室
８ 蒸気発生室
８ａ ヒータ
１０ 真空ポンプ
２０ 開閉バルブ
２１ 凝縮室
２２ 温度保持装置
２３ リターン配管
２４ リザーバタンク
５３ 浸漬室
５３ａ ヒータ
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】