特許6783235加工物を保持及び加熱する装置、加工物を加熱する方法及びリングヒータアセンブリ

発明の名称　加工物を保持及び加熱する装置、加工物を加熱する方法及びリングヒータアセンブリ

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6783235

公報発行日　2020年11月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6783235

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