特許6783248基板ハンドリング及び加熱システム

発明の名称　基板ハンドリング及び加熱システム

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6783248

公報発行日　2020年11月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6783248

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