発明の名称 コンタクトホールパターンの形成方法及び組成物
出願人 JSR株式会社 (識別番号 4178)
特許公開件数ランキング 5790 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4863 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6788198
公報発行日 2020年11月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6788198
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