特許6789972マスクブランク用基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体装置の製造方法

発明の名称　マスクブランク用基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体装置の製造方法

出願人　ＨＯＹＡ株式会社　（識別番号 113263）

　　　　特許公開件数ランキング 487 位（59件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 297 位（90件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6789972

公報発行日　2020年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6789972

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