特許 6791081 屈折率測定装置及び屈折率測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6791081

(24)【登録日】2020年11月9日

(45)【発行日】2020年11月25日

(54)【発明の名称】屈折率測定装置及び屈折率測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/41 20060101AFI20201116BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/41 Z

【請求項の数】6

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-185288(P2017-185288)

(22)【出願日】2017年9月26日

(65)【公開番号】特開2019-60713(P2019-60713A)

(43)【公開日】2019年4月18日

【審査請求日】2020年1月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100141852

【弁理士】

【氏名又は名称】吉本 力

(74)【代理人】

【識別番号】100152571

【弁理士】

【氏名又は名称】新宅 将人

(72)【発明者】

【氏名】永井 徹也

【審査官】 小野寺 麻美子

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１４／２０７８０９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０１０４６０１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−１７０７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 独国特許出願公開第１０２０１０００４８２４（ＤＥ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／００ − Ｇ０１Ｎ ２１／０１

Ｇ０１Ｎ ２１／１７ − Ｇ０１Ｎ ２１／６１

Ｇ０１Ｊ ３／００ − Ｇ０１Ｊ ４／０４

Ｇ０１Ｊ ７／００ − Ｇ０１Ｊ ９／０４

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に保持された試料に対して、前記Ｖブロックプリズムを介して測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出して試料の屈折率を測定する屈折率測定装置であって、
試料を透過した測定光の強度を検出する検出器と、
試料を透過することにより複数色に分光される測定光のカラー画像を撮像する撮像部と、
試料を透過した測定光を受光する角度、又は、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行う走査処理部と、
前記走査処理部による走査に伴い変化する前記検出器の検出強度と、前記撮像部により撮像されるカラー画像における前記検出器に入射する測定光の位置に対応する色情報とに基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長を特定する波長特定処理部とを備えることを特徴とする屈折率測定装置。

【請求項2】

前記波長特定処理部により特定された検出強度の各ピークと波長との関係を、互いに対応付けて記憶する記憶部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の屈折率測定装置。

【請求項3】

前記波長特定処理部により特定された検出強度の各ピークと波長との関係に基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率を算出する屈折率算出処理部をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の屈折率測定装置。

【請求項4】

Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に保持された試料に対して、前記Ｖブロックプリズムを介して測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出して試料の屈折率を測定する屈折率測定方法であって、
試料を透過した測定光を受光する角度、又は、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行いつつ、試料を透過した測定光の強度を検出器で検出するとともに、試料を透過することにより複数色に分光される測定光のカラー画像を撮像部で撮像する走査ステップと、
前記走査ステップによる走査に伴い変化する前記検出器の検出強度と、前記撮像部により撮像されるカラー画像における前記検出器に入射する測定光の位置に対応する色情報とに基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長を特定する波長特定ステップとを含むことを特徴とする屈折率測定方法。

【請求項5】

前記波長特定ステップにより特定された検出強度の各ピークと波長との関係を、互いに対応付けて記憶部に記憶する記憶ステップをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の屈折率測定方法。

【請求項6】

前記波長特定ステップにより特定された検出強度の各ピークと波長との関係に基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率を算出する屈折率算出ステップをさらに含むことを特徴とする請求項４又は５に記載の屈折率測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に保持された試料に対して、前記Ｖブロックプリズムを介して測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出して試料の屈折率を測定する屈折率測定装置及び屈折率測定方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

屈折率測定装置の一例であるＶブロック方式の屈折率測定装置では、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に試料が載置され、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光が照射される。そして、波長に応じた角度でＶブロックプリズムから出射する測定光が、一定の範囲で走査されて検出器で検出されることにより、その検出結果に基づいて試料の屈折率が測定される（例えば、下記特許文献１参照）。

【0003】

この種の屈折率測定装置には、測定光の光路中に挿入可能な複数種類のフィルタが備えられている。複数種類のフィルタは、それぞれ異なる特定の波長の光のみを透過させる。これらのフィルタの中から選択された１つのフィルタが測定光の光路中に挿入されることにより、そのフィルタに対応する波長の測定光（単色光）のみが試料に照射されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２０１４／２０７８０９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のような従来のＶブロック方式の屈折率測定装置では、測定光の光路中に挿入するフィルタの種類を切り替えることにより、各波長における試料の屈折率を測定することができる。しかしながら、試料の屈折率を多波長で測定する場合には、測定光の光路中に挿入するフィルタの種類を切り替えて、波長ごとに測定を繰り返さなければならないため、屈折率の測定に時間がかかるという問題があった。

【0006】

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、試料の屈折率を多波長で測定する際の測定時間を短縮することができる屈折率測定装置及び屈折率測定方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明に係る屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に保持された試料に対して、前記Ｖブロックプリズムを介して測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出して試料の屈折率を測定する屈折率測定装置であって、検出器と、撮像部と、走査処理部と、波長特定処理部とを備える。前記検出器は、試料を透過した測定光の強度を検出する。前記撮像部は、試料を透過することにより複数色に分光される測定光のカラー画像を撮像する。前記走査処理部は、試料を透過した測定光を受光する角度、又は、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行う。前記波長特定処理部は、前記走査処理部による走査に伴い変化する前記検出器の検出強度と、前記撮像部により撮像されるカラー画像における前記検出器に入射する測定光の位置に対応する色情報とに基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長を特定する。

【0008】

このような構成によれば、撮像部により撮像されるカラー画像の色情報に基づいて、検出器に入射する測定光の波長を特定することができる。これにより、検出器に入射する測定光の波長と、その波長の測定光が検出器に入射したときの検出強度のピークとを対応付けることができる。したがって、試料の屈折率を多波長で測定する際には、１回の走査で得られる検出強度の複数のピークについて、各ピークに対応する波長を特定することができる。このようにして特定された検出強度の各ピークと波長との関係を用いれば、１回の走査で試料の屈折率を多波長で測定することができるため、測定時間を短縮することができる。

【0009】

（２）前記屈折率測定装置は、記憶部をさらに備えていてもよい。前記記憶部は、前記波長特定処理部により特定された検出強度の各ピークと波長との関係を、互いに対応付けて記憶する。

【0010】

このような構成によれば、１回の走査で得られる検出強度の複数のピークについて、各ピークに対応する波長を特定し、その波長と各ピークとの関係を互いに対応付けて記憶部に記憶することができる。したがって、記憶部に記憶されている対応関係を読み出して演算を行えば、１回の走査で得られるデータに基づいて試料の屈折率を多波長で測定することができる。

【0011】

（３）前記屈折率測定装置は、屈折率算出処理部をさらに備えていてもよい。前記屈折率算出処理部は、前記波長特定処理部により特定された検出強度の各ピークと波長との関係に基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率を算出する。

【0012】

このような構成によれば、１回の走査で得られる検出強度の複数のピークについて、各ピークに対応する波長を特定し、その波長と各ピークとの関係に基づく演算を屈折率算出処理部で行うことにより、試料の屈折率を多波長で自動的に測定することができる。したがって、短時間で容易に試料の屈折率を多波長で測定することができる。

【0013】

（４）本発明に係る屈折率測定方法は、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に保持された試料に対して、前記Ｖブロックプリズムを介して測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出して試料の屈折率を測定する屈折率測定方法であって、走査ステップと、波長特定ステップとを含む。前記走査ステップでは、試料を透過した測定光を受光する角度、又は、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行いつつ、試料を透過した測定光の強度を検出器で検出するとともに、試料を透過することにより複数色に分光される測定光のカラー画像を撮像部で撮像する。前記波長特定ステップでは、前記走査ステップによる走査に伴い変化する前記検出器の検出強度と、前記撮像部により撮像されるカラー画像における前記検出器に入射する測定光の位置に対応する色情報とに基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長を特定する。

【0014】

（５）前記屈折率測定方法は、記憶ステップをさらに含んでいてもよい。前記記憶ステップでは、前記波長特定ステップにより特定された検出強度の各ピークと波長との関係を、互いに対応付けて記憶部に記憶する。

【0015】

（６）前記屈折率測定方法は、屈折率算出ステップをさらに含んでいてもよい。前記屈折率算出ステップでは、前記波長特定ステップにより特定された検出強度の各ピークと波長との関係に基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率を算出する。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、１回の走査で試料の屈折率を多波長で測定することができるため、測定時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態に係る屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。

【図2】Ｖブロックプリズムの構成例を示した概略側面図である。

【図3】図１の屈折率測定装置における制御部の構成例を示すブロック図である。

【図4】カメラにより撮像されるカラー画像の具体例を概略的に示した図である。

【図5】カメラにより撮像されるカラー画像の具体例を概略的に示した図である。

【図6】走査処理部の走査に伴う検出器の検出強度の変化の一例を概略的に示した図であり、モータの回転角と検出器の検出強度との関係を表している。

【発明を実施するための形態】

【0018】

１．屈折率測定装置の全体構成
図１は、本発明の一実施形態に係る屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。この屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズム１を介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置である。

【0019】

試料としては、例えばガラス、プラスチック又は液体などを挙げることができる。試料は、Ｖブロックプリズム１に形成されているＶ字状の溝１１（図１では溝１１を真上から見た図を示している。）に載置され、試料を透過した測定光を検出器２で検出し、屈折角とＶブロックプリズム１の屈折率から試料の屈折率を測定することができるようになっている。

【0020】

この屈折率測定装置には、上述のＶブロックプリズム１及び検出器２に加えて、測定光を照射する光源部３と、光源部３からの測定光をＶブロックプリズム１に導く第１光学系４と、Ｖブロックプリズム１を透過した測定光を検出器２に導く第２光学系５とが備えられている。

【0021】

光源部３には、複数の光源３１が備えられている。光源３１としては、例えばヘリウムランプ、水素ランプ及び水銀ランプが用いられ、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線、水素Ｆ線、水銀ｅ線、水銀ｇ線及び水銀ｈ線などの異なる波長の測定光を光源部３から照射することができるようになっている。光源３１からの測定光は、ミラー３２で反射され、光源部３から水平方向に照射される。ミラー３２は、垂直方向（図１における紙面前後方向）に延びる回転軸３２１を中心に回転可能となっており、ミラー３２の回転位置に応じた光源３１からの測定光を第１光学系４に導くことができる。ただし、光源３１は、上記のような種類に限られるものではない。

【0022】

第１光学系４には、レンズ４１、ミラー４２，４３，４４、スリット４６及びコリメータレンズ４７などが備えられている。光源部３からの測定光は、レンズ４１を通過し、ミラー４２，４３，４４で順次に反射した後、スリット４６を通過する。スリット４６を通過した測定光は、コリメータレンズ４７で平行光とされた後、Ｖブロックプリズム１に入射する。Ｖブロックプリズム１に対して一方の端面１２から入射した測定光は、Ｖ字状の溝１１に載置されている試料を透過した後、再びＶブロックプリズム１を通り、他方の端面１３から出射する。

【0023】

第２光学系５には、ミラー５１，５２、テレメータレンズ５３及びビームスプリッタ５４などが備えられている。第２光学系５は、モータ６の回転軸６１に取り付けられた円板７に固定されている。具体的には、ミラー５１，５２及びテレメータレンズ５３が、回転軸６１に対して偏心した位置で回転軸６１に平行に並び、ミラー５２及びビームスプリッタ５４が、回転軸６１に対して垂直方向に並ぶように、それぞれ円板７に固定されている。

【0024】

ミラー５１は、測定光の入射方向に対して反射面が４５°傾斜するように配置されることにより、当該ミラー５１で反射した測定光は、進行方向が９０°変換されてテレメータレンズ５３に導かれる。テレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光を集光させてミラー５２に導き、ミラー５２で反射した測定光は、ビームスプリッタ５４を透過して、円板７に固定された検出器２により受光される。検出器２は、受光する光の強度に応じた信号を出力することにより、試料を透過した測定光の強度を検出する。

【0025】

ミラー５１及びテレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光の入射方向に対して垂直方向に１列に配置され、回転軸６１に対して偏心した位置で、テレメータ部５０として一体的に円板７に保持されている。したがって、モータ６を回転させることにより、回転軸６１を中心に円板７を回転させれば、Ｖブロックプリズム１に対するテレメータ部５０の位置を変化（走査）させ、Ｖブロックプリズム１からの測定光を異なる角度から受光して検出器２に導くことができる。モータ６は、例えばエンコーダ付きのサーボモータからなり、モータ６の回転角を正確に把握することができる。

【0026】

一方、ビームスプリッタ５４で反射した測定光は、ミラー８で反射した後、レンズ９を通過してカメラ（撮像部）２００へと導かれ、当該カメラ２００により試料を透過した測定光を撮像することができる。ビームスプリッタ５４及びミラー８は、回転軸６１上に設けられており、Ｖブロックプリズム１の位置調整を行う際には、ビームスプリッタ５４とミラー８との間の光路上にオートコリメーションプリズム１０を挿入可能となっている。

【0027】

カメラ２００は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）を有するカラーカメラにより構成することができる。カメラ２００は、上記のような位置に設けられた構成に限らず、例えば円板７に取り付けられ、ビームスプリッタ５４とは別に設けられたビームスプリッタを介して、当該カメラ２００に測定光が導かれるような構成などであってもよい。

【0028】

本実施形態では、測定光の光路中にフィルタが設けられていないため、試料には単色光ではなく光源部３からの測定光がそのまま入射する。そして、測定光は、試料を透過することにより複数色に分光された後、カメラ２００に入射する。カメラ２００の撮像範囲は、分光された複数色の測定光を同時に撮像できる範囲に設定されている。したがって、カメラ２００により撮像される測定光のカラー画像（静止画又は動画）には、複数色の画像が並んで表示されることとなる。

【0029】

２．Ｖブロックプリズムの構成
図２は、Ｖブロックプリズム１の構成例を示した概略側面図である。図２に示すように、Ｖブロックプリズム１は、互いに直角に交わる１対の平面１１１，１１２により形成されたＶ字状の溝１１を備えている。試料Ｓの表面は、溝１１に対応するＶ字状に形成されており、溝１１上に載置された状態で保持される。

【0030】

測定光は、Ｖブロックプリズム１の一方の端面１２に対して垂直に入射する。端面１２から入射した測定光は、Ｖブロックプリズム１内を通って溝１１の平面１１１から試料Ｓに入射する。このとき、測定光は、図２に矢印で示すように試料Ｓの屈折率に応じた角度で屈折し、試料Ｓを透過した後、溝１１の平面１１２で再び屈折してＶブロックプリズム１内に再度入射する。そして、測定光は、Ｖブロックプリズム１内を通って他方の端面１３から出射する際に再び屈折する。

【0031】

このように、測定光はＶブロックプリズム１を介して試料Ｓに照射され、試料Ｓを透過した測定光は、Ｖブロックプリズム１と試料Ｓの屈折率差に応じた角度で他方の端面１３から出射する。したがって、Ｖブロックプリズム１から出射する測定光を検出することにより、その測定光の出射角度に基づいて、試料Ｓの屈折率を測定することができる。

【0032】

３．屈折率測定装置の電気的構成
図３は、図１の屈折率測定装置における制御部１００の構成例を示すブロック図である。この屈折率測定装置の動作は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む制御部１００により制御される。制御部１００は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、走査処理部１０１、波長特定処理部１０２、屈折率算出処理部１０３及び表示処理部１０４などとして機能する。

【0033】

走査処理部１０１は、モータ６を回転させることにより、Ｖブロックプリズム１に対してテレメータ部５０を走査させる（走査ステップ）。試料の屈折率を測定する際には、走査処理部１０１が一定速度でモータ６を回転させることにより、試料を透過した測定光を受光する角度を変化させて走査を行う。これにより、Ｖブロックプリズム１から検出器２に導かれる測定光の光量が変化するため、モータ６の回転に伴い、検出器２における検出強度が変化することとなる。

【0034】

波長特定処理部１０２は、検出器２における検出強度と、カメラ２００により撮像されるカラー画像とに基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長を特定する処理を行う（波長特定ステップ）。本実施形態では、測定光の光路中にフィルタが設けられていないため、試料には単色光ではなく光源部３からの測定光がそのまま入射し、各波長の光が試料で屈折して検出器２により検出される。そのため、検出器２からの検出信号には複数のピークが現れることとなる。波長特定処理部１０２は、走査処理部１０１による走査に伴い変化する検出器２の検出強度と、カメラ２００により撮像されるカラー画像における検出器２に入射する測定光の位置に対応する色情報（例えばＲＧＢデータ）とに基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長を特定する。

【0035】

屈折率測定装置には、例えばハードディスク又はＲＡＭ（Random Access Memory）により構成される記憶部４００が備えられている。波長特定処理部１０２により特定された検出強度の各ピークと波長との関係は、互いに対応付けられて記憶部４００に記憶される（記憶ステップ）。このとき、各ピークが検出されたときのモータ６の回転角も検出強度及び波長に対応付けて記憶部４００に記憶される。

【0036】

屈折率算出処理部１０３は、記憶部４００に記憶されている検出強度の各ピークと波長との関係に基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率を算出する（屈折率算出ステップ）。すなわち、検出強度の各ピークに対応する波長が波長特定処理部１０２により特定され、各波長とモータ６の回転角とが対応付けて記憶部４００に記憶されているため、各波長におけるモータ６の回転角とＶブロックプリズム１の屈折率とに基づいて、各波長における試料の屈折率を算出することができる。

【0037】

表示処理部１０４は、表示部３００の表示画面への表示に関する処理を行う。表示部３００は、例えば液晶表示器からなり、屈折率測定装置に備えられていてもよいし、屈折率測定装置とは別に設けられていてもよい。表示処理部１０４は、屈折率算出処理部１０３により算出された検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率など、各種情報を表示部３００の表示画面に表示させることができる。

【0038】

４．カラー画像に基づく波長の特定
図４及び図５は、カメラ２００により撮像されるカラー画像の具体例を概略的に示した図である。図６は、走査処理部１０１の走査に伴う検出器２の検出強度の変化の一例を概略的に示した図であり、モータ６の回転角と検出器２の検出強度との関係を表している。

【0039】

測定光は、試料を透過することにより複数色に分光されるため、カメラ２００により撮像される測定光のカラー画像には、図４及び図５に示すように複数色の画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が並んで表示される。この例では、測定光がスリット４６を通過しているため、各色の画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が棒状の細長い形状となっている。各画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５の色は、例えば紫、青、黄、赤、橙などである。

【0040】

走査処理部１０１により走査を行った場合、カラー画像中の各画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５は走査方向に沿って移動する。この例では、図４及び図５に示すように、走査処理部１０１の走査に伴って各画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が上下方向に平行移動している。そのため、検出器２に入射する測定光の位置（測定位置Ｐ）に対応するカラー画像の領域には、走査に伴って異なる画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が位置することになる。この例では、測定位置Ｐに対応するカラー画像の領域に、図４では画像Ｃ３が位置し、図５では画像Ｃ２が位置している。

【0041】

したがって、測定位置Ｐに対応する画像の色情報に基づいて、そのときの検出器２の検出強度のピークを、当該色情報に対応する波長の測定光のピークと特定することができる。例えば、図４に示すように、測定位置Ｐに対応するカラー画像の領域に黄色の画像Ｃ３が位置し、このとき図６に示すピークＰＫが検出された場合には、このピークＰＫが黄色の波長に対応するピークであることを特定できる。

【0042】

このようにして、走査に伴い測定位置Ｐに順次位置する各画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５の色情報と、そのときの検出強度のピークとの対応関係に基づいて、各ピークに対応する波長を特定することができる。特定される波長は、各画像Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５の色情報に対応する波長の範囲であってもよいし、その範囲内の特定の波長（例えば中間の波長）であってもよい。

【0043】

５．作用効果
（１）本実施形態では、カメラ２００により撮像されるカラー画像の色情報に基づいて、検出器２に入射する測定光の波長を特定することができる。これにより、検出器２に入射する測定光の波長と、その波長の測定光が検出器２に入射したときの検出強度のピークとを対応付けることができる。したがって、試料の屈折率を多波長で測定する際には、１回の走査で得られる検出強度の複数のピーク（図６参照）について、各ピークに対応する波長を特定することができる。このようにして特定された検出強度の各ピークと波長との関係を用いれば、１回の走査で試料の屈折率を多波長で測定することができるため、測定時間を短縮することができる。なお、上記カラー画像は、撮像した平面上の色分布の情報を取得できるものであればよい。

【0044】

（２）また、本実施形態では、１回の走査で得られる検出強度の複数のピークについて、各ピークに対応する波長を特定し、その波長と各ピークとの関係を互いに対応付けて記憶部４００に記憶することができる。したがって、記憶部４００に記憶されている対応関係を読み出して演算を行えば、１回の走査で得られるデータに基づいて試料の屈折率を多波長で測定することができる。

【0045】

（３）さらに、本実施形態では、１回の走査で得られる検出強度の複数のピークについて、各ピークに対応する波長を特定し、その波長と各ピークとの関係に基づく演算を屈折率算出処理部１０３で行うことにより、試料の屈折率を多波長で自動的に測定することができる。したがって、短時間で容易に試料の屈折率を多波長で測定することができる。

【0046】

６．変形例
走査処理部１０１は、試料から出射する測定光を受光する角度を変化させることにより走査を行うような構成に限らず、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行うような構成であってもよい。この場合、例えばコリメータレンズを保持するコリメータ部（図示せず）を円板に固定し、当該円板をモータで回転させることにより、Ｖブロックプリズム１に対するコリメータ部の角度を変化させて走査を行うことができるような構成であってもよい。

【0047】

波長特定処理部１０２により特定された検出強度の各ピークと波長との関係は、記憶部４００に記憶されなくてもよい。すなわち、屈折率算出処理部１０３が、波長特定処理部１０２により特定された検出強度の各ピークと波長との関係に基づいて、検出強度の各ピークに対応する波長における試料の屈折率をリアルタイムで算出するような構成であってもよい。

【0048】

以上の実施形態では、走査ステップ、波長特定ステップ、記憶ステップ及び屈折率算出ステップが、いずれも屈折率測定装置により自動的に行われるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、上記ステップの少なくとも１つのステップが作業者により手動で行われてもよい。

【符号の説明】

【0049】

１ Ｖブロックプリズム
２ 検出器
３ 光源部
４ 第１光学系
５ 第２光学系
６ モータ
７ 円板
８ ミラー
９ レンズ
１０ オートコリメーションプリズム
１１ 溝
３１ 光源
１００ 制御部
１０１ 走査処理部
１０２ 波長特定処理部
１０３ 屈折率算出処理部
１０４ 表示処理部
２００ カメラ
３００ 表示部
４００ 記憶部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】