特許 6791944 密封製品の耐漏洩性を制御する方法及び漏洩検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6791944

(24)【登録日】2020年11月9日

(45)【発行日】2020年11月25日

(54)【発明の名称】密封製品の耐漏洩性を制御する方法及び漏洩検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/20 20060101AFI20201116BHJP

【ＦＩ】

   G01M3/20 B

【請求項の数】9

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2018-502750(P2018-502750)

(86)(22)【出願日】2016年7月11日

(65)【公表番号】特表2018-520363(P2018-520363A)

(43)【公表日】2018年7月26日

(86)【国際出願番号】EP2016066448

(87)【国際公開番号】WO2017012904

(87)【国際公開日】20170126

【審査請求日】2019年5月16日

(31)【優先権主張番号】1556848

(32)【優先日】2015年7月20日

(33)【優先権主張国】FR

(73)【特許権者】

【識別番号】511148259

【氏名又は名称】ファイファー バキユーム

(74)【代理人】

【識別番号】100060759

【弁理士】

【氏名又は名称】竹沢 荘一

(74)【代理人】

【識別番号】100083389

【弁理士】

【氏名又は名称】竹ノ内 勝

(74)【代理人】

【識別番号】100198317

【弁理士】

【氏名又は名称】横堀 芳徳

(72)【発明者】

【氏名】アラン ペリスー

【審査官】 福田 裕司

(56)【参考文献】

【文献】 実開昭５８−０５７９４０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０３−１９５９３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−１４６１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１９６７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 中国実用新案第２０１９０３４３３（ＣＮ，Ｕ）

【文献】 特開平０７−２１８３７６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｍ ３／００

Ｇ０１Ｍ ３／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

漏洩検出装置（１）により、トレーサーガスが充填されている１つの密封製品（３）の耐漏洩性を監視する方法（１００）であって、
前記漏洩検出装置は、
少なくとも１つの前記密封製品（３）を収容するチャンバ（２；２ａ、２ｂ）と、
漏洩検出器（４）を有し、検出弁（５；５ａ、５ｂ）を介して前記チャンバに接続される１つの分析ラインと、
真空ポンプ（９；９ａ、９ｂ）により大気圧より低い圧力に減圧可能なバッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）と、
前記チャンバと前記バッファ容積とを接続する通路に設けられた予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）と、
前記検出弁及び前記予備排気弁を制御する制御ユニット（１４）を備えており、
前記分析ラインは、前記バッファ容積をバイパスして前記チャンバに接続されており、
少なくとも１つの前記密封製品（３）を収容する前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）の残容積（Ｖ_Ｒ;Ｖ_Ｒａ,Ｖ_Ｒｂ）に対する前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）の比は、少なくとも１００より大きく、
前記方法は、
− 前記予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）及び前記検出弁（５；５ａ、５ｂ）が閉じている状態で、少なくとも１つの前記密封製品（３）を大気圧の前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）内に搬入する（１０１）と共に、前記バッファ容積を、前記真空ポンプ（９；９ａ、９ｂ）により圧力が大気圧未満の状態にする段階と、
− 前記予備排気弁を０．５秒未満の間開放し、少なくとも１つの前記密封製品（３）を含む前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）を、前記真空ポンプ（９；９ａ、９ｂ）により前記大気圧未満の圧力下にある前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）と連通させて予備排気を行う予備排気段階（１０２）と、
− 前記予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）を閉鎖し、前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）を前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）から分離し、次に、前記検出弁を開いて前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）を、前記１つの分析ラインを介して前記漏洩検出器（４）と連通させ、前記漏洩検出器（４）により前記チャンバ内の前記トレーサーガスの濃度を測定して、少なくとも１つの前記密封製品（３）からの漏洩を検出する検査段階（１０３）と、
− 前記検出弁（５；５ａ、５ｂ）を閉じ、前記チャンバを大気圧に戻し、検査済の前記少なくとも１つの密封製品を前記チャンバから取り出す搬出段階（１０４，１０５）とを含むことを特徴とする密封製品の耐漏洩性を監視する方法。

【請求項2】

請求項１に記載の耐漏洩性を監視する方法（１００）であって、
前記予備排気の時間は、０．３秒以下であることを特徴とする密封製品の耐漏洩性を監視する方法。

【請求項3】

請求項１または２に記載の耐漏洩性を監視する方法（１００）であって、
前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）の前記大気圧未満の圧力は、１０００パスカル未満であることを特徴とする密封製品の耐漏洩性を監視する方法。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれかに記載の耐漏洩性を監視する方法（１００）であって、
前記予備排気弁は、ソレノイド弁（７；７ａ、７ｂ）であることを特徴とする密封製品の耐漏洩性を監視する方法。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれかに記載の耐漏洩性を監視する方法（１００）であって、
前記漏洩検出装置は、
少なくとも２つの前記密封製品（３）を収容する第１、第２のチャンバ（２ａ、２ｂ）と、
前記漏洩検出器（４）を有し、第１、第２の検出弁（５ａ、５ｂ）を介して前記第１、第２チャンバ（２ａ、２ｂ）のいずれか１つのチャンバに接続される前記１つの分析ラインと、
第１、第２の真空ポンプ（９ａ、９ｂ）により、各々、大気圧より低い圧力に減圧可能な第１、第２のバッファ容積（Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）と、
前記第１、第２のチャンバ（２ａ、２ｂ）と前記第１、第２のバッファ容積（Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）とを接続する通路の途中に、各々挿入された第１、第２の予備排気弁（７ａ、７ｂ）とを備え、
前記制御ユニット（１４）は、前記第１、第２の予備排気弁、及び、前記第１、第２の検出弁を制御する機能を有しており、
前記１つの分析ラインは、前記第１、第２のバッファ容積をバイパスして前記第１、第２のチャンバに接続されており、
前記トレーサーガスの濃度を、前記１つの同じ分析ラインによって、前記第１、第２のチャンバ（２ａ、２ｂ）のいずれかにおいて交互に測定することを特徴とする密封製品の耐漏洩性を監視する方法。

【請求項6】

密封製品の耐漏洩性を監視する方法（１００）を実施するための漏洩検出装置（１；１’）であって、
トレーサーガスが充填されている少なくとも１つの密封製品（３）を収容するチャンバ（２；２ａ、２ｂ）と、
前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）に接続された少なくとも１つの予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）と、
前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）に接続された少なくとも１つの検出弁（５；５ａ、５ｂ）と、
前記予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）を介して前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）に接続された少なくとも１つのバッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）と、
漏洩検出器（４）を有し、前記検出弁（５；５ａ、５ｂ）を介して前記チャンバに接続された１つの分析ラインと、
前記検出弁及び前記予備排気弁を制御する制御ユニット（１４）を備えており、
前記少なくとも１つの前記予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）及び前記少なくとも１つの検出弁（５；５ａ、５ｂ）は、ソレノイド弁であり、
前記分析ラインは、前記バッファ容積をバイパスして前記チャンバに接続されており、
少なくとも１つの前記密封製品（３）を収容する前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）の残容積（Ｖ_Ｒ;Ｖ_Ｒａ,Ｖ_Ｒｂ）に対する前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）の比は、少なくとも１００より大きく、
前記制御ユニット（１４）は、
− 前記予備排気弁及び前記検出弁が閉じている状態で、少なくとも１つの前記密封製品（３）を大気圧の前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）内に搬入する（１０１）と共に、前記バッファ容積を、前記真空ポンプ（９；９ａ、９ｂ）により圧力が大気圧未満の状態にする機能と、
− 前記予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）を０．５秒未満の間開放し、前記密封製品（３）を含む前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）を、前記真空ポンプ（９；９ａ、９ｂ）により前記大気圧未満の圧力下にある前記バッファ容積と連通させて予備排気を行う予備排気機能（１０２）と、
− 前記予備排気弁（７；７ａ、７ｂ）を閉鎖し、前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）を前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）から分離し、次に、前記検出弁を開いて前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）を、前記１つの分析ラインを介して前記漏洩検出器（４）と連通させ、前記漏洩検出器（４）により前記チャンバ（２；２ａ、２ｂ）内の前記トレーサーガスの濃度を測定して、少なくとも１つの前記密封製品（３）からの漏洩を検出する検査機能と、
− 前記検出弁（５；５ａ、５ｂ）を閉じ、前記チャンバを大気圧に戻し、検査済の前記少なくとも１つの密封製品を前記チャンバから取り出す搬出機能とを含んでいることを特徴とする漏洩検出装置。

【請求項7】

請求項６に記載の前記漏洩検出装置（１；１’）であって、
前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）は、１０００ｃｍ^３より大きいことを特徴とする漏洩検出装置。

【請求項8】

請求項６〜７のいずれかに記載の前記漏洩検出装置（１；１’）であって、
直径２５ｍｍ及び長さ１ｍを超える前記バッファ容積（Ｖ_Ｔ;Ｖ_Ｔａ,Ｖ_Ｔｂ）を定めるパイプ（１０；１０ａ、１０ｂ）を含むことを特徴とする漏洩検出装置。

【請求項9】

請求項６〜８のいずれかに記載の前記漏洩検出装置（１；１’）であって、
前記漏洩検出器（４）は、質量分析計を含むことを特徴とする漏洩検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、密封製品の耐漏洩性を監視する方法に関する。本発明は、さらに、このような監視方法を実施する漏洩検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

エアバッグ点火器、ペースメーカ、あるいはある種の電子部品などのいくつかの製品は、その安全性を確保するために密封されている。この密封に漏れがないことを確認するために、漏洩を検出するいくつかの方法が知られている。

【0003】

１つの既知の方法は、ヘリウムトレーサーガスを用いて、漏洩の検査を行うことである。この方法によれば、ヘリウム原子のサイズが小さいために、他のガスよりも容易に、漏洩箇所を通過するヘリウムの漏れを検出することができる。

【0004】

このために、密封製品を封止する前に、ヘリウムが充填される。その後、密封製品は、真空下の耐漏洩性の検査室内に置かれる。この検査室内の真空度が適切な値になると、検査室の内部の雰囲気中に存在する可能性のあるヘリウムが、漏洩検出器を用いて検査される。ヘリウムの漏出を検出するためのこのプロセスは、信頼性があり、再現性があり、かつ、高感度である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

それにもかかわらず、漏れが比較的大きいという欠陥のある小さい密封製品の耐漏洩性の監視には、ある種の困難が生じる場合がある。それは、検査室が真空状態にあるときに、密封製品中に存在する可能性のあるヘリウムが、漏洩箇所を通して急速に排出されるからである。
その結果、漏洩検出器に連通している検査室内の圧力が十分に低いと、すべてのヘリウムが消失してしまう。そのため、大きな欠陥のある密封製品を検知できないというリスクが存在する。

【0006】

この問題を克服するための１つの解決法は、「水」検査である。この方法は、ヘリウムによる検査の前に、密封製品を水で満たされた大きなタンクに浸して行われる。目視検査により、タンク内に気泡が形成される可能性を検出することができる。気泡が存在しないと、密封製品には著しい漏れがないことを確認できる。

【0007】

しかしながら、この方法は、オペレータに依存し、気泡を見つけられず、そのため欠陥のある密封製品の検出を見逃すオペレータもいるので、ヘリウム検査ほどには信頼性がない。

【0008】

この方法のもう一つの欠点は、実行するのが面倒であるということである。
まず、小さな漏れを検出することはできないので、ヘリウム検査に加えて、他の検査を実施する必要がある。従って、密封製品に対して、２つの連続した耐漏洩性の監視の操作を行わなければならない。第２に、水検査の後、密封製品を完全に乾燥させてから、生産ラインに再導入できるものでなければならない。

【0009】

本発明の目的の１つは、これらの欠点を少なくとも部分的に解消し、最先端の技術よりも制限が少なく、かつ、連続した検査を高速で行える、密封製品の耐漏洩性を監視するための方法及び装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

この目的のために、本発明の主題は、トレーサーガスが充填されている少なくとも１つの密封製品を大気圧下のチャンバ内に置く搬入段階を含む、密封製品の耐漏洩性を監視する方法であって、
‐ 少なくとも１つの前記密封製品を含むチャンバを、０．５秒未満の予備排気段階の間、大気圧未満の圧力下で、バッファ容積と連通させる予備排気段階と、
‐ その後、前記チャンバ内のトレーサーガスの濃度を測定して、前記少なくとも１つの密封製品からの漏洩を検出するために、前記チャンバを、前記バッファ容積をバイパスするように構成された１つの分析ラインと連通させる段階とを含むことを特徴としている。

【0011】

これにより、数秒間にわたる１つのサイクルで、１０^−１ｍｂａｒ．ｌ／ｓ〜１０^−８ｍｂａｒ．ｌ／ｓの範囲の検出閾値により、密封製品の耐漏洩性を監視することが可能となり、これにより、連続した高感度の検査を、非常に高速で行うことができる。

【0012】

単独でまたは組み合わせて行われる、前記耐漏洩性を監視する方法の１つまたは複数の特徴によれば、
‐ 前記予備排気の時間は、０．３秒以下であり、
‐ 前記バッファ容積の前記大気圧未満の圧力は、１０００パスカル未満、例えば１００パスカル未満であり、
‐ 少なくとも１つの密封製品を含む前記チャンバの残容積に対する前記バッファ容積の比率は、少なくとも１００より大きく、例えば１０００より大きく、
‐ 少なくとも１つの前記密封製品を収容する前記チャンバは、このチャンバと前記バッファ容積との間に設けられたソレノイド弁を制御することによって、前記バッファ容積と連通させられ、
‐ 少なくとも２つの前記チャンバにおけるトレーサーガスの濃度は、同一の前記分析ラインによって交互に測定される。

【0013】

本発明による前記密封製品の耐漏洩性を監視する方法によれば、
‐ 第１のチャンバで検査済の少なくとも１つの密封製品を、大気圧で搬出し、
次に、検査すべき少なくとも１つの密封製品を前記第１のチャンバに搬入し、そして、前記第１のチャンバを第１のバッファ容積に連通させるために、第１の予備排気弁を開かき、前記第２のチャンバを前記分析ラインと連通させ、
‐ 次に、検査済の少なくとも１つの前記密封製品を搬出し、検査すべき少なくとも１つの密封製品を搬入するために、前記第２のチャンバ内の圧力を大気圧に戻しながら、前記第２のチャンバを第２のバッファ容積と連通させるために、第２の予備排気弁が開かれている間、前記第１のチャンバを前記分析ラインと連通させる。

【0014】

本発明の他の主題は、上記密封製品の耐漏洩性を監視する方法を実施するための、漏洩検出装置であって、
‐ トレーサーガスが充填されている少なくとも１つの密封製品を収容するようになっている少なくとも１つのチャンバと、
‐ それぞれ、少なくとも１つの前記チャンバが接続された、少なくとも１つの予備排気弁及び少なくとも１つの検出弁と、
‐ 少なくとも１つの前記検出弁に接続された分析ラインとを備え、
‐ 少なくとも１つの前記予備排気弁及び少なくとも１つの前記検出弁は、ソレノイド弁であり、
‐ 前記漏洩検出装置は、以下のように制御するようになっている制御ユニットを含むことを特徴としている。
・０．５秒未満の予備排気時間のために、前記予備排気弁を開放し、次いで、
・前記分析ラインによる前記チャンバ内の前記トレーサーガスの濃度を測定するために、前記予備排気弁の閉鎖と前記検出弁の開放とを行う。

【0015】

前記予備排気弁の閉鎖及び前記予備排気段階から前記検査段階への推移のための前記検出弁の開放を、経過した時間の関数として自動的に実行することが可能である。そのため、この切り替えが行われる瞬間を決定するために、圧力センサを使用する必要はない。
圧力センサの応答時間はもはや関係しないので、前記予備排気段階から前記検査段階への推移はより速くなる。

【0016】

単独または組み合わせられた前記漏洩検出装置の１つまたは複数の特徴として、
‐ 少なくとも１つの前記密封製品を包囲する残容積に対する前記バッファ容積の比率は、少なくとも１００より大きく、例えば１０００であるか、それよりもより大きく、
‐ 前記バッファ容積は、１０００ｃｍ^３より大きく、
‐ 前記漏洩検出装置は、直径２５ｍｍ及び長さ１ｍより大きな前記バッファ容積を有するパイプを含み、
‐ 前記分析ラインは、質量分析計を有する漏洩検出器を含んでいる。

【0017】

本発明の他の利点や特徴は、本発明の詳細な説明や図面により明らかになると思う。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の第１の実施例に係る漏洩検出装置の模式図である。

【図2】密封製品の耐漏洩性を監視する方法における、異なる段階を示すフローチャートである。

【図3】本発明の第２の実施例に係る漏洩検出装置の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

添付の図面において、同じ構成要素には同じ符号を付してある。

【0020】

以下の実施例は例示的なものである。以下の説明では、１つまたは複数の実施例を挙げているが、これは、必ずしも各符号が同じ実施例に関すること、またその特徴がただ１つの実施例にのみに限定されることを意味するものではない。異なる実施例の簡単な特徴を組み合わせて、他の実施例を提供することもできる。

【実施例1】

【0021】

図１は、本発明の第１の実施例としての漏洩検出装置１を示す図である。

【0022】

漏洩検出装置１は、トレーサーガスが充填されている少なくとも１つの密封製品３を収容するチャンバ２と、検出弁５を介してチャンバ２に接続されている分析ラインと、予備排気弁７を介してチャンバ２に接続された予備排気装置６とを備えている。従って、分析ラインは、バッファ容積Ｖ_Ｔをバイパスするように構成されている。

【0023】

密封製品３は、（例えばはんだ付けによる）封止前にトレーサーガスが濃縮されている内部雰囲気中に、保護されるべきエレメントを備えている。密封製品３は、例えば、エアバッグの点火器、ペースメーカまたは各種の電子部品である。それらは、特に自動車、エレクトロニクスまたは医療機器産業用のものである。

【0024】

一般に、ヘリウムまたは水素をトレーサーガスとして使用する。これらのガスは、原子または分子のサイズが小さいため、他のガスよりも容易に小さな漏洩箇所を通過するからである。

【0025】

予備排気装置６は、第１ポンプ装置９とパイプ１０とを備えている。パイプ１０は、予備排気弁７を第１ポンプ装置９の吸引部に接続し、バッファ容積Ｖ_Ｔを定めている。

【0026】

少なくとも１つの密封製品３の周囲の容積は、残容積Ｖ_Ｒである。この残容積Ｖ_Ｒは、チャンバ２の容積によって規定され、その中に収容された少なくとも１つの密封製品３の容積は差し引かれ、チャンバ２と予備排気弁７との間の容積と、必要に応じて、チャンバ２と吸気弁８との間の容積と、チャンバ２と検出弁５との間の容積とが追加される。
チャンバ２に接続された吸気弁８は、チャンバ２を外部の大気雰囲気または中性ガスと連通させることを可能にしている。

【0027】

チャンバ２、予備排気弁７、吸気弁８、検出弁５、及びパイプ１０は、次のように構成されている。すなわち、少なくとも１つの密封製品３を取り囲んでいる残容積Ｖ_Ｒに対するバッファ容積Ｖ_Ｔの比は、少なくとも１００より大きく、例えば１０００以上である。

【0028】

従って、残容積Ｖ_Ｒは可能な限り小さく、例えば１ｃｍ^３以下とする。
そのため、予備排気弁７、吸気弁８及び検出弁５をチャンバ２に近接して設け、チャンバ２の容積を、このチャンバに収容しようとする１つまたは複数の密封製品３の体積よりわずかに大きい寸法になるようにする。

【0029】

さらに、少なくとも１０００ｃｍ^３を超える、比較的大きなバッファ容積Ｖ_Ｔが提供される。そのために、パイプ１０は、例えば、直径が２５ｍｍで長さが１ｍ以上、例えば２ｍ程度の、少なくとも１つの管路を備えている。

【0030】

第１ポンプ装置９は、例えば、所定の流量でガスを吸引して、大気圧に戻す、ロータリーベーンポンプのような低真空ポンプ、例えば２段ロータリーベーンポンプを備えている。ポンプ流量は、例えば１５〜２０ｍ^３／ｈである。

【0031】

分析ラインは、漏洩検出器４を備えている。
漏洩検出器４は、トレーサーガスとして使用されるガス状物質の濃度を測定するために、第２のポンプ装置１２、１３と、ガス分析装置１１とを備えている。

【0032】

第２ポンプ装置１２、１３は、例えば、ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプ１２と、これに直列に接続された低真空ポンプ１３とを備え、高真空ポンプ１２は、低真空ポンプ１３に対して、ガスの流れ方向における上流側に配置されている。
低真空ポンプ１３は、例えば、予備排気装置６のものと同様の２段ロータリーベーンポンプ、又は小型のドライ低真空ポンプ等のロータリーベーンポンプである。
高真空ポンプ１２のポンプ吸引時のポンプ流量は、例えば、５０ｌ／ｓ〜１５０ｌ／ｓである。

【0033】

ガス分析装置１１は、例えば、質量分析計である。
質量分析計は、良く知られているように、イオン化チャンバと加熱された電気フィラメントのような電子エミッタとを含む、測定セルを備えている。分析すべきガスの分子は、電子ビームによって衝突され、イオン化される。
これらのイオン化粒子は、電場によって連続的に加速され、その質量の関数として、イオン化粒子の軌道を偏向させる磁場にさらされる。トレーサーガスのイオン化された粒子の流れは、装置内のガスの分圧に比例し、それを測定することにより、検出された漏洩の流量の値を決定することができる。

【0034】

ガス分析装置１１は、例えば、高真空ポンプ１２の吸引部に接続されている。

【0035】

検出弁５は、例えば高真空ポンプ１２の中間圧縮ステージにおいて、第２ポンプ装置１２、１３に接続されている。従って、ガス分析装置１１の測定セルは、１０^−４ｍｂａｒのオーダーの低圧下にある。このようにして、ガス分析装置１１の測定セルは、中間圧縮ステージによってガスの逆拡散から保護されている。

【0036】

予備排気弁７、検出弁５及び吸気弁８は、コンピュータなどの漏洩検出装置１の制御ユニット１４によって制御することができる。予備排気弁７、検出弁５及び吸気弁８は、電磁弁等のソレノイド弁により構成されている。

【0037】

次に、密封製品の耐漏洩性を監視するためのサイクルについて説明する。

【0038】

第１ポンプ装置９、第２ポンプ装置１２、１３及びガス分析装置１１は、中断することなく機能するものとする。

【0039】

サイクルの開始時に、予備排気弁７及び検出弁５は閉じられる。バッファ容積Ｖ_Ｔの大気圧未満の圧力（準大気圧）は、定義上、大気圧よりも低い。望ましくは、１０００パスカル（または１０ｍｂａｒ）未満、例えば１００パスカル（または１ｍｂａｒ）未満である。

【0040】

搬入段階１０１の間に、トレーサーガスの雰囲気下で予めシールされた少なくとも１つの密封製品３がチャンバ２内に置かれる。チャンバ２内の圧力は、このチャンバ２の外部に広がる大気雰囲気の大気圧である。

【0041】

吸気弁８を閉鎖し、チャンバ２を漏洩のない状態で密閉する。

【0042】

次に、予備排気段階１０２において、少なくとも１つの密封製品３を収容しているチャンバ２を、０．５秒未満の予備排気時間の間、大気圧より低い圧力のバッファ容積Ｖ_Ｔと連通させる。そのために、チャンバ２をパイプ１０から分離するための予備排気弁７を開く。

【0043】

予備排気時間は、例えば０．３秒以下、例えば０．１秒と０．３秒の間である。

【0044】

予備排気弁７を数十秒間にわたり開放することにより、残容積Ｖ_Ｒとバッファ容積Ｖ_Ｔとの圧力はバランスする。残容積Ｖ_Ｒの容積とバッファ容積Ｖ_Ｔの容積の比は、残容積Ｖ_Ｒの圧力を、数秒ではなく実質的に瞬時に、大気圧から数ｍｂａｒオーダーの低圧に低下させることを可能にする。従って、少なくとも１つの密封製品３が不良である場合、第１ポンプ装置９によって排出される時間を要することなく、トレーサーガスは、漏洩箇所を通して密封製品３から流出しチャンバ２を経て拡散する。

【0045】

予備排気時間の終了時、チャンバ２内の圧力は、検出弁５が開放されるのに十分な程度に低くなり、そのため、分析ラインはチャンバ２に連通させられる。

【0046】

次に、予備排気弁７を閉じ、予備排気装置６をチャンバ２から隔離し、検出弁５を開いてチャンバ２を漏洩検出器４に連通させる（検査段階１０３）。

【0047】

残容積ＶＲの圧力は、例えば、１０^−２ｍｂａｒ〜１０^−３ｍｂａｒの間の低圧まで低下する。

【0048】

欠陥のある密封製品３がある場合、例えば、大きな漏洩のある小さな密封製品３であっても、チャンバ２内に存在する可能性のあるトレーサーガスを、漏洩検出器４によって検出することができる。

【0049】

同時に、予備排気弁７を閉鎖することにより、第１ポンプ装置９によって、パイプ１０内のバッファ容積Ｖ_Ｔの圧力を低下させることができる。

【0050】

そして、大気圧に戻す段階１０４において、検出弁５を閉じ、吸気弁８を開くと、チャンバ２内の圧力は大気圧に戻る。
そして、検査済の少なくとも１つの密封製品３を取り出すために、チャンバ２を開放し（搬出段階１０５）、次に、検査すべき少なくとも１つの新しい密封製品３をチャンバ２に搬入することができる（搬入段階１０１）。

【0051】

従って、唯１回の検査だけで、密封製品３が、小さな漏洩や大きな漏洩のいずれかを有するか否かを、検出することができる。

【0052】

さらに、耐漏洩性を監視するための方法１００は、完全にまたは部分的に自動化される。特に、チャンバ２が自動的にバッファ容積Ｖ_Ｔまたは分析ラインと連通するように、装置は構成されている。

【0053】

そのため、制御ユニット１４は、制御を行うために、次のように構成されている。
‐ 予備排気段階１０２の間、予備排気時間だけ予備排気弁７を開放し、検出弁５及び吸気弁８を閉鎖する制御を行い、そして、
‐ 検査段階１０３の間、チャンバ２内のトレーサーガスの濃度を漏洩検出器４のガス分析装置１１により測定するために、予備排気弁７の閉鎖と検出弁５の開放の制御を行い、次に
‐ 大気圧に戻す段階１０４の間、検出弁５の閉鎖及び吸気弁８の開放の制御を行う。

【0054】

予備排気弁７の閉鎖及び予備排気段階１０２から検査段階１０３への移行のための検出弁５の開放は、経過時間の関数として自動的に実行される。そのため、この切り替えが行われる瞬間を決定するために、もはや圧力センサを使用する必要はない。従って、予備排気段階１０２から検査段階１０３への移行は、圧力センサの応答時間が関与しないので、より速くなる。

【0055】

同様に、チャンバ２のドア１６の開閉も、制御ユニット１４によって制御することができる。この制御ユニット１４は、搬入段階１０１と搬出段階１０５の間の密封製品３の搬入及び搬出を自動化するために、検出装置１のロボット１５を制御し、密封製品３を把持して移動させ、チャンバ２内に出し入れすることができる。

【0056】

従って、密封製品３の耐漏洩性を、１サイクル（段階１０１〜段階１０５）を数秒間で、かつ、１０^−１ｍｂａｒ．ｌ／ｓ〜１０^−８ｍｂａｒ．ｌ／ｓの範囲の検出閾値で監視することが可能であり、非常に高感度で、高速の連続した検査を行うことが可能になる。さらに、サイクルの自動管理の結果、速度は保証されたものとなる。

【実施例2】

【0057】

図３は、密封製品の耐漏洩性を監視するための方法１００を実施するための、漏洩検出プラント１’の他の実施例を示す。

【0058】

漏洩検知装置１’は、それぞれ少なくとも１つの密封製品３を収容する第１のチャンバ２ａ及び第２のチャンバ２ｂと、第１の予備排気装置６ａ及び第２の予備排気装置６ｂと、第１のチャンバ２ａに接続された第１の検出弁５ａと、第２のチャンバ２ｂに接続された第２の検出弁５ｂとを備えている。

【0059】

第１予備排気装置６ａは、第１の予備排気弁７ａによって第１のチャンバ２ａに接続され、第２予備排気装置６ｂは、第２の予備排気弁７ｂによって第２のチャンバ２ｂに接続されている。

【0060】

第１の検出弁５ａ及び第２の検出弁５ｂは、単一の分析ラインに接続されている

【0061】

また、制御ユニット１４は、２つのチャンバ２ａ、２ｂ内のトレーサーガスの濃度を前記分析ラインで交互に測定するために、一度に２つの検出弁５ａ、５ｂのうちの一方の検出弁の開放を制御するように構成されている。

【0062】

従って、密封製品の耐漏洩性を監視するサイクルにおいて、少なくとも１つの検査済の密封製品３が搬出されている間に、検査すべき次の密封製品３が大気圧下で第１のチャンバ２ａに搬入される（搬出段階１０４と搬入段階１０１）。その後、第１のチャンバ２ａを第１のパイプ１０ａの第１バッファ容積Ｖ_Ｔａに連通させるために第１の予備排気弁７ａを開き（予備排気工程１０２）、その後、第２のチャンバ２ｂを漏洩検出器４に連通させるために第２の検出弁５ｂを開く（検査段階１０３）。

【0063】

欠陥のある密封製品３が内部に存在する可能性のある第２のチャンバ２ｂのトレーサーガスは、漏洩検出器４によって検出することができる。同時に、第２の予備排気弁７ｂの閉鎖により第２のチャンバ２ｂから隔離された第２バッファ容積Ｖ_Ｔｂの圧力は、第２ポンプ装置９ｂにより第２のパイプ１０ｂ内で減圧される。

【0064】

そして、第２の検出弁５ｂが閉じられている間に、少なくとも１つの密封製品３を搬出し、次の密封製品を搬入するために、第２のチャンバ２ｂ内の圧力を大気圧に戻すように吸気口弁８ｂを開き（搬出段階１０４と搬入段階１０１）、そして、第２の予備排気弁７ｂが第２バッファ容積Ｖ_Ｔｂに開放されている間（予備排気段階１０２）に、第１の検出弁５ａを開き、第１のチャンバ２ａを漏洩検出器４に連通させる（検査段階１０３）。同時に、第１の予備排気弁７ａの閉鎖によって第１のチャンバ２ａから隔離された第１バッファ容積Ｖ_Ｔａの圧力は、第１ポンプ装置９ａによって第１のパイプ１０ａ内で減圧される。

【0065】

このようにして、チャンバ内のトレーサーガスの濃度を並行して測定することができる。すなわち、チャンバを大気圧に戻すのに必要な時間の間に、検査済の密封製品３を搬出し、検査すべき次の新しい密封製品３を搬入し、チャンバ内の圧力を減圧できる（搬出段階１０４、搬入段階１０１、及び、予備排気段階１０２）。

【0066】

従って、密封製品３の測定速度を２倍にすることができる。

【符号の説明】

【0067】

１ 漏洩検出装置
１’ 漏洩検出プラント
２ チャンバ
２ａ 第１のチャンバ
２ｂ 第２のチャンバ
３ 密封製品
４ 漏洩検出器
５ 検出弁
５ａ 第１の検出弁
５ｂ 第２の検出弁
６ 予備排気装置
７ 予備排気弁
８ 吸気弁
９ 第１ポンプ装置
９ａ 第１ポンプ装置
９ｂ 第２ポンプ装置
１０ パイプ
１０ａ 第１のパイプ
１０ｂ 第２のパイプ
１１ ガス分析装置
１２ 高真空ポンプ（第２ポンプ装置）
１３ 低真空ポンプ（第２ポンプ装置）
１４ 制御ユニット
１５ ロボット
１６ ドア
１００ 密封製品の耐漏洩性を監視するための方法
１０１ 搬入段階
１０２ 予備排気段階
１０３ 検査段階
１０４ 大気圧に戻す段階
１０５ 搬出段階
Ｖ_Ｒ 残容積
Ｖ_Ｔ バッファ容積
Ｖ_Ｔａ 第１バッファ容積
Ｖ_Ｔｂ 第２バッファ容積

【図1】

【図2】

【図3】