特許 6793624 圧力センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6793624

(24)【登録日】2020年11月12日

(45)【発行日】2020年12月2日

(54)【発明の名称】圧力センサ

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/14 20060101AFI20201119BHJP

【ＦＩ】

   G01L19/14

【請求項の数】7

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2017-218309(P2017-218309)

(22)【出願日】2017年11月13日

(65)【公開番号】特開2019-90651(P2019-90651A)

(43)【公開日】2019年6月13日

【審査請求日】2019年9月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000143949

【氏名又は名称】株式会社鷺宮製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】特許業務法人 谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】滝本 和哉

【審査官】 大森 努

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２６４０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１４５４６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３３３３７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０１２１４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１８８９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２０５５１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１６／０１４６６８９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００１−２４２０３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１６２３０５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｌ １９／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、
前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、
前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケース部と、
前記ケース部の内部に配置され、前記圧力検出部から外部に圧力信号を送出するケーブルを含む導通部材によって外部に信号を送出する信号送出部と
を備える圧力センサにおいて、
前記ケース部の内部に配置されたインナーキャップを更に備え、
前記インナーキャップには、
前記圧力検出部側に形成された内部空洞と、
前記内部空洞と外部との間に設けられた少なくとも１つの開口部と
が形成され、
前記内部空洞には、前記導通部材が配置され、前記少なくとも１つの開口部には前記ケーブルを含む導通部材が貫通配置され、
前記開口部の前記ケーブルの周囲、及び、前記インナーキャップの外周と前記ケース部の内周との間のそれぞれに、封止接着剤が封入され、
前記信号送出部は、
前記圧力検出部に接続される接続基板と、
前記接続基板と前記ケーブルを接続する電気コネクタとを更に含み、
前記電気コネクタは、前記インナーキャップに一体として固定される
ことを特徴とする圧力センサ。

【請求項2】

前記インナーキャップは、前記ケース部のかしめ加工により固定され、前記かしめ加工された部分の全周に亘り封止接着剤が封入されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項3】

前記継手部と、前記ケース部が一体として形成されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項4】

前記接続基板が、樹脂コーティングにより保護されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項5】

前記圧力検出部は、オイル封入タイプであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項6】

前記圧力検出部は、静電容量検出タイプであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項7】

配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、
前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、
前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケース部と、
前記ケース部の内部に配置され、前記圧力検出部から外部に圧力信号を送出するケーブルを含む導通部材によって外部に信号を送出する信号送出部と
を備える圧力センサにおいて、
前記ケース部の内部に配置されたインナーキャップを更に備え、
前記インナーキャップには、
前記圧力検出部側に形成された内部空洞と、
前記内部空洞と外部との間に設けられた少なくとも１つの開口部と
が形成され、
前記内部空洞には、前記導通部材が配置され、前記少なくとも１つの開口部には前記ケーブルを含む導通部材が貫通配置され、
前記開口部の前記ケーブルの周囲、及び、前記インナーキャップの外周と前記ケース部の内周との間のそれぞれに、封止接着剤が封入され、
前記圧力検出部のハウジングの前記内部空洞側が樹脂コーティングにより保護されている
ことを特徴とする圧力センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力センサに関し、特に防水性及び気密性が要求される圧力センサに関する。

【背景技術】

【0002】

流体圧検出用の圧力センサとして、冷凍、冷蔵、空調機器用の冷媒用圧力センサ等のように、防水性及び気密性が要求される圧力センサが従来から知られている。

【0003】

このような圧力センサとして、従来から、図８に示すオイル封入型圧力センサ８００、及び、図９に示す静電容量検出型圧力センサ９００が知られている。以下、これら従来の圧力センサ８００、９００について説明する。

【0004】

図８において、従来のオイル封入型圧力センサ８００は、圧力導入部８１０と、圧力検出部８２０と、信号送出部８３０とを備える。

【0005】

圧力導入部８１０は、配管に接続され、圧力検出されるべき冷媒などの流体を導入する継手８１１と、継手８１１に接続され、お椀形状を有するロアカバー８１２と、継手８１１、ロアカバー８１２、及び、後述するダイヤフラム８２３により区画される圧力室８１３とを備える。

【0006】

圧力検出部８２０は、主に、半導体センサチップ８２１と、液封室８２２と、ダイヤフラム８２３と、金属製のハウジング８２４等を備える。圧力検出部８２０では、配管から継手８１１を介して圧力室８１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、ダイヤフラム８２３及び液封室８２２を介して、半導体センサチップ８２１により検出する。圧力検出部８２０の詳細な説明は、当業者に周知なため省略する。

【0007】

信号送出部８３０は、半導体センサチップ８２１に電気的に接続される接続基板８３１と、接続基板８３１に接続される結線材及びコンタクトピン等８３２と、接続基板８３１及びコンタクトピン等８３２を絶縁して保持する本体８３３と、圧力検出部８２０と接続基板８３１との間の絶縁を確保するスペーサ８３４と、圧力検出部８２０及び本体８３３の外周を固定するケース８３５と、本体８３３とケース８３５との間に挟まれ防水性を確保する大気側Ｏリング８３６とを備える。

【0008】

次に、図９において、従来の静電容量検出型圧力センサ９００は、圧力導入部９１０と、圧力検出部９２０と、信号送出部９３０とを備える。

【0009】

圧力導入部９１０は、保護カバー９１１と、冷媒等の流体の圧力をシールするＯリング９１２と、圧力室９１３とを備える。保護カバー９１１は、継手部９１１ａ、圧力室凹部９１１ｂ、ケース部９１１ｃ、及び、かしめ部９１１ｄを有するように一体として成形されるが、これには限定されず、継手部９１１ａ、圧力室凹部９１１ｂ、及び、ケース部９１１ｃをそれぞれ別々に、又は、いずれかの組み合わせとして成形して、接着剤又は溶接等により接続してもよい。圧力室９１３は、後述するセンサエレメント９２１と保護カバー９１１の圧力室凹部９１１ｂとの間に形成される。

【0010】

圧力検出部９２０は、静電容量検出式のセンサエレメント９２１と、絶縁材で形成され、保護カバー９１１のケース部９１１ｃに配置されるスペーサ９２２とを備える。センサエレメント９２１では、圧力室９１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、電極の変動による電極間の静電容量の変化として読み取り、圧力信号として外部に送出する。センサエレメント９２１は、主に、２枚の電極、２枚の電極間に配置される絶縁体、２枚の電極に接続されるリード線、接着剤、電極間のギャップを確保する部材などから構成されるが、詳細な説明は当業者に周知であるため省略する。

【0011】

信号送出部９３０は、センサエレメント９２１に電気的に接続される接続基板９３１と、接続基板９３１に接続される結線材及びコンタクトピン等９３２と、接続基板９３１及びコンタクトピン等９３２を絶縁して保持する本体９３３と、本体９３３と保護カバー９１１のケース部９１１ｃとの間に挟まれ防水性を確保する大気側Ｏリング９３６とを備える。

【0012】

このような従来の圧力センサ８００、９００では、防水性及び気密性を達成するために、上述のように大気側Ｏリング８３６、９３６、又は、その他のパッキングが使用されていた。しかしながらＯリングやパッキングによる気密構造では、水中ヒートショック、及び、凍結／解凍を繰り返すことにより、Ｏリングやパッキングの材質が収縮・膨張し、隙間が生じ水分が内部に侵入し不具合が生じるという問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0013】

【特許文献1】特開２０１４−９８６８５号公報

【特許文献2】特開平６−１２９９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

特許文献１には、Ｏリングやパッキングを使用せずに、複雑な構成を使用することなく、コストを低減しつつ、上述の問題を解消できる圧力センサを提供するために、継手部材側から装着され、一方が開口し、他方側の基端部が継手部材と当接するカバー部材を備え、このカバー部材内部に封止接着剤が充填される圧力センサの発明が開示されている。

【0015】

しかしながら、特許文献１に示す防水構造では、封止接着剤をカバー部材内部全体に充填させていたため、全体に行き渡るように接着剤を流し込む必要があるために作業工数が増加し、さらにこの封止接着剤を固める工程が必要となり、工数短縮の余地があった。

【0016】

従って、本発明は、Ｏリングやパッキングを使用することなく、防水性及び気密性を高めるために封止接着剤を使用し、更に作業工数を下げるために、この封止接着剤の使用量を削減することができる圧力センサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

上述の課題を解決するために、本発明の圧力センサは、配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケース部と、前記ケース部の内部に配置され、前記圧力検出部から外部に圧力信号を送出するケーブルを含む導通部材によって外部に信号を送出する信号送出部とを備える圧力センサにおいて、前記ケース部の内部に配置されたインナーキャップを更に備え、前記インナーキャップには、前記圧力検出部側に形成された内部空洞と、前記内部空洞と外部との間に設けられた少なくとも１つの開口部とが形成され、前記内部空洞には、前記導通部材が配置され、前記少なくとも１つの開口部には前記ケーブルを含む導通部材が貫通配置され、前記開口部の前記ケーブルの周囲、及び、前記インナーキャップの外周と前記ケース部の内周との間のそれぞれに、封止接着剤が封入され、前記信号送出部は、前記圧力検出部に接続される接続基板と、前記接続基板と前記ケーブルを接続する電気コネクタとを更に含み、前記電気コネクタは、前記インナーキャップに一体として固定されることを特徴とする。

【0018】

また、前記インナーキャップは、前記ケース部のかしめ加工により固定され、前記かしめ加工された部分の全周に亘り封止接着剤が封入されるものとしてもよい。

【0023】

また、前記継手部と、前記ケース部が一体として形成されるものとしてもよい。

【0024】

また、前記接続基板が、樹脂コーティングにより保護されるものとしてもよい。

【0025】

また、前記圧力検出部は、オイル封入タイプであるものとしてもよい。

【0026】

また、前記圧力検出部は、静電容量検出タイプであるものとしてもよい。
また、上述の課題を解決するために、本発明の圧力センサは、配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケース部と、前記ケース部の内部に配置され、前記圧力検出部から外部に圧力信号を送出するケーブルを含む導通部材によって外部に信号を送出する信号送出部とを備える圧力センサにおいて、前記ケース部の内部に配置されたインナーキャップを更に備え、前記インナーキャップには、前記圧力検出部側に形成された内部空洞と、前記内部空洞と外部との間に設けられた少なくとも１つの開口部とが形成され、前記内部空洞には、前記導通部材が配置され、前記少なくとも１つの開口部には前記ケーブルを含む導通部材が貫通配置され、前記開口部の前記ケーブルの周囲、及び、前記インナーキャップの外周と前記ケース部の内周との間のそれぞれに、封止接着剤が封入され、前記圧力検出部のハウジングの前記内部空洞側が樹脂コーティングにより保護されていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0027】

本発明の圧力センサによれば、Ｏリングやパッキングを使用せずに、封止接着剤を使用して防水性及び気密性を高め、更にこの封止接着剤の使用量を削減することにより、作業性を改善することができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す圧力センサの上面図である。

【図2】本発明の第２の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。

【図3】本発明の第３の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。

【図4】本発明の第４の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。

【図5】本発明の第５の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。

【図6】本発明の第６の実施形態の圧力センサとして静電容量検出型圧力センサを示す縦断面図である。

【図7】本発明の第７の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。

【図8】従来のオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。

【図9】従来の静電容量検出型圧力センサを示す縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。

【0030】

尚、以下の説明における上下方向、又は、左右方向の概念は、添付の図１（ａ）等の図面における上下左右に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

【0031】

まず、本発明の第１の実施形態について説明する。

【0032】

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ１００を示す縦断面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す圧力センサ１００の上面図である。

【0033】

図１（ａ）及び図１（ｂ）において、圧力センサ１００は、圧力導入部１１０と、圧力検出部１２０と、信号送出部１３０とを備える。

【0034】

圧力導入部１１０は、配管に接続され、圧力検出されるべき冷媒等の流体を導入し、例えば真鍮等の金属材料で成形される継手１１１と、継手１１１に接続され、お椀形状を有し、例えばステンレス等の金属材料で成形されるロアカバー１１２と、継手１１１、ロアカバー１１２、及び、後述するダイヤフラム１２３により区画される圧力室１１３とを備える。なお、継手部は、継手１１１と、ロアカバー１１２とから構成される。

【0035】

圧力検出部１２０は、主に、半導体センサチップ１２１と、オイル等が充填された液封室１２２と、上述の圧力室１１３を区画するダイヤフラム１２３と、金属製のハウジング１２４等を備える。圧力検出部１２０では、圧力室１１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、ダイヤフラム１２３を介して、オイル等が充填された液封室１２２に配置された半導体センサチップ１２１により検出する。オイル封入型の圧力センサ１００の圧力検出部１２０の詳細な動作については、当業者に周知であり、例えば特許文献１等の記載を参照し、詳細な説明を省略する。

【0036】

信号送出部１３０は、接続基板１３１と、電気コネクタ１３２、１３２Ａと、ケーブル１３３と、スペーサ１３４と、ケース１３５と、インナーキャップ１３６と、封止接着剤１３７とを備える。

【0037】

接続基板１３１は、圧力検出部１２０の半導体センサチップ１２１とリードピン及びワイヤボンディング等を介して電気的に接続され、電気コネクタ１３２、１３２Ａ及びケーブル１３３を介して外部に圧力検出信号を送出する。なお、接続基板１３１を特に用意せずに、半導体センサチップ１２１に内蔵されているものとしてもよい。

【0038】

電気コネクタ１３２、１３２Ａは、接続基板１３１に実装されるレセプタクル側電気コネクタ１３２と、ケーブル１３３に接続されレセプタクル側電気コネクタ１３２に挿抜可能に配置されるプラグ側電気コネクタ１３２Ａとから構成される。

【0039】

ケーブル１３３は、後述するインナーキャップ１３６の開口部１３６ｂから外部に引き出される。なお、ケーブル１３３は、図１（ｂ）に示すように、３本（ＶＣＣ、ＧＮＤ、ＶＯＵＴ）の３本が引き出される。

【0040】

スペーサ１３４は、例えば樹脂等の絶縁材で形成され、圧力検出部１２０と接続基板１３１との間に配置され接続基板１３１等の絶縁を確保する。

【0041】

ケース１３５は、円柱形状を有し圧力検出部１２０の圧力室１１３に対向する側に配置される。ケース１３５の材質としては、金属材料が使用され、金属製のハウジング１２４に溶接されるのが望ましく、特に後述する封止接着剤１３７との接着性のよい、真鍮、銅、鉄ニッケルが望ましい。さらに接合を確実に行うため溶接部に突起（プロジェクション）を設けてもよい。なお、ケース１３５は、ケース部を構成する。

【0042】

インナーキャップ１３６は、ケース１３５の内部に配置され、例えば樹脂等の絶縁材で形成される。インナーキャップ１３６には、圧力検出部１２０側に形成された内部空洞１３６ａと、内部空洞１３６ａと外部との間に設けられた少なくとも１つの開口部１３６ｂとが形成される。内部空洞１３６ａには、信号送出部１３０のケーブル１３３、電気コネクタ１３２、１３２Ａ等の導通部材が配置され、少なくとも１つの開口部１３６ｂには、信号送出部１３０のケーブル１３３が貫通配置される。なお、本実施形態では、インナーキャップ１３６に、図１（ｂ）に示すように、３本のケーブル１３３を引き出すための１つの開口部１３６ｂが形成されるが、これには限定されずケーブル１３３の本数に合わせて複数の開口部１３６ｂが設けられてもよい。また、本実施形態では、インナーキャップ１３６は、ケース１３５にかしめ加工により固定されるものとしたが、これには限定されず、その他の方法で固定されるものとしてもよい。

【0043】

封止接着剤１３７は、図１（ｂ）に示すように、インナーキャップ１３６の開口部１３６ｂのケーブル１３３の周囲、及び、インナーキャップ１３６の外周とケース１３５の内周との間のそれぞれに封入される。なお、図１（ａ）に示すように、インナーキャップ１３６の外周とケース１３５のかしめ加工された部分の内周との間の全周に亘り封止接着剤１３７が封入されるようにすれば、高い防水性を維持したまま、封止接着剤１３７の使用量が削減され、コストダウンできる。また、封止接着剤１３７の材質としては、シリコーン系、エポキシ系、ウレタン系、フッ素系、アクリル系の接着剤を使用することができる。

【0044】

なお、本実施形態では、外装を構成する部品として、全て別部材である継手１１１、ロアカバー１１２、圧力検出部１２０のハウジング１２４、及び、ケース１３５が用意され、これらが溶接等により一体とされるものとしたが、これには限定されず、後述する図５に示すように、これら全ての形状を有し、真鍮等の金属材料で一体として成形された保護カバー５１１等を使用するものとしてもよい。

【0045】

以上のように、本発明の第１の実施形態の圧力センサ１００によれば、Ｏリングやパッキングを使用せず、防水性及び気密性を高めるために、封止接着剤１３７を使用し、更にインナーキャップ１３６を使用することにより、防水性及び気密性を高く維持したまま封止接着剤１３７を削減することができ、作業性を改善することができる。

【0046】

次に、本発明の第２の実施形態について説明する。

【0047】

図２は、本発明の第２の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ２００を示す縦断面図である。

【0048】

図２において、圧力センサ２００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、信号送出部２３０の接続基板２３１にケーブル２３３の半田接続部２３３ａにより半田接続される点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

【0049】

以上のように、本発明の第２の実施形態の圧力センサ２００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、電気コネクタ１３２、１３２Ａを取り除くことができ、コストダウンができる。

【0050】

次に、本発明の第３の実施形態について説明する。

【0051】

図３は、本発明の第３の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ３００を示す縦断面図である。

【0052】

図３において、圧力センサ３００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、信号送出部３３０のインナーキャップ３３６にプラグ側電気コネクタ３３２Ａが一体として固定される点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

【0053】

以上のように、本発明の第３の実施形態の圧力センサ３００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、インナーキャップ３３６とプラグ側電気コネクタ３３２Ａを同時に取り付けることができ、作業工数を削減できる。

【0054】

次に、本発明の第４の実施形態について説明する。

【0055】

図４は、本発明の第４の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ４００を示す縦断面図である。

【0056】

図４において、圧力センサ４００は、図３に示す圧力センサ３００と比較して、接続基板１３１に、樹脂コーティング４３８が施され、結露による絶縁低下を防止している点、及び、圧力検出部１２０のハウジング１２４にも、樹脂コーティング４３９が施され、半導体センサチップ１２１の静電気耐力を上昇させている点が異なり、その他の点は圧力センサ３００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

【0057】

以上のように、本発明の第４の実施形態の圧力センサ４００によれば、第３の実施形態の圧力センサ３００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、樹脂コーティング４３８により、結露による絶縁低下を防止でき、また、樹脂コーティング４３９により、半導体センサチップ１２１の静電気耐力を上昇させることができる。

【0058】

次に、本発明の第５の実施形態について説明する。

【0059】

図５は、本発明の第５の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ５００を示す縦断面図である。

【0060】

図５において、圧力センサ５００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、継手１１１、ロアカバー１１２、圧力検出部１２０のハウジング１２４、及び、ケース１３５の代わりに、継手部５１１ａ、圧力室凹部５１１ｂ、ケース部５１１ｃ、及び、かしめ部５１１ｄを有するように一体として例えば真鍮等の金属材料で成形された保護カバー５１１と、Ｏリング５１２とを備え、圧力室凹部５１１ｂと、ダイヤフラム１２３により圧力室５１３を区画している点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。なお、Ｏリング５１２は、冷媒などのシールのために使用されるので、水中ヒートショック、及び、凍結／解凍を繰り返すなどの従来の問題は生じない。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

【0061】

以上のように、本発明の第５の実施形態の圧力センサ５００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、圧力センサ５００の外装を構成する保護カバー５１１を一部品とできるので、作業工数を削減でき、気密性防水性も向上する。

【0062】

次に、本発明の第６の実施形態について説明する。

【0063】

図６は、本発明の第６の実施形態の圧力センサとして静電容量検出型圧力センサ６００を示す縦断面図である。

【0064】

図６において、圧力センサ６００は、圧力導入部６１０と、圧力検出部６２０と、信号送出部６３０とを備える。圧力センサ６００は、図５に示す圧力センサ５００と比較して、オイル封入型の圧力検出部１２０の代わりに、静電容量検出型の圧力検出部６２０を使用している点が異なり、その他の点は圧力センサ５００と概ね同様である。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

【0065】

静電容量検出型の圧力検出部６２０は、静電容量検出式のセンサエレメント６２１と、絶縁材で形成され、Ｏリング６１２を保持するために保護カバー６１１のケース部６１１ｃに挿入される絶縁スペーサ６２２とを備える。センサエレメント６２１では、圧力室６１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、電極の変動による電極間の静電容量の変化として読み取り、圧力信号として外部に送出する。センサエレメント６２１は、主に、２枚の電極、２枚の電極間に配置される絶縁体、２枚の電極に接続されるリード線、接着剤、電極間のギャップを確保する部材などから構成されるが、詳細な説明は当業者に周知であり、例えば特許文献２等の記載を参照し、詳細な説明を省略する。なお、Ｏリング６１２は、冷媒などのシールのために使用されるので、水中ヒートショック、及び、凍結／解凍を繰り返すなどの従来の問題は生じない。

【0066】

以上のように、本発明の第６の実施形態の静電気容量検出型の圧力センサ６００によっても、第１の実施形態のオイル封入型の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。

【0067】

次に、本発明の第７の実施形態について説明する。

【0068】

図７は、本発明の第７の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ７００を示す縦断面図である。

【0069】

図７において、圧力センサ７００は、図２に示す圧力センサ２００と比較して、ケース１３５の代わりに、ロアカバー１１２、圧力検出部１２０、及び、インナーキャップ１３６の周囲を覆う形状を有するかしめ板７３５が設けられている点が異なり、その他の点は圧力センサ２００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

【0070】

かしめ板７３５は、金属材料等で略円柱形状に形成され、圧力導入部１１０側の端部には、内周側に屈曲されたフランジ部７３５ｂが形成される。かしめ板７３５は、例えば、ロアカバー１１２と、金属製のハウジング１２４とが溶接により固定された後、ロアカバー１１２にフランジ部７３５ｂが接触するように配置され、例えば溶接または圧入等によりロアカバー１１２に固定される。

【0071】

かしめ板７３５のフランジ部７３５ｂに対向する側には、インナーキャップ１３６をかしめ加工により固定するためのかしめ部７３５ａが形成される。また、図７に示すように、圧力センサ７００では、図２に示す圧力センサ２００と同様の位置に封止接着剤１３７が封入されるが、更に、ロアカバー１１２の外周とフランジ部７３５ｂの内周の間に７３７が封入されるものとしてもよい。封止接着剤７３７の材質は、封止接着剤１３７と同じ材質でも、別の材質でも構わない。

【0072】

以上のように、本発明の第７の実施形態の圧力センサ７００によれば、第２の実施形態の圧力センサ２００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、ロアカバー１１２、圧力検出部１２０、及び、インナーキャップ１３６の周囲を覆う形状を有するかしめ板７３５を設けることにより作業工数を上げることなく防水性能を高めることができる。

【0073】

以上説明したように、本発明の圧力センサによれば、Ｏリングやパッキングを使用せず、防水性及び気密性を高めるために封止接着剤を使用し、更にインナーキャップを使用することにより、防水性及び気密性を高く維持したまま封止接着剤を削減することができ、作業性を改善することができる。

【符号の説明】

【0074】

１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００ 圧力センサ
１１０、５１０、６１０ 圧力導入部
１１１ 継手
１１２ ロアカバー
１１３、５１３、６１３ 圧力室
１２０、５２０、６２０ 圧力検出部
１２１ 半導体センサチップ
１２２ 液封室
１２３ ダイヤフラム
１２４、５２４ ハウジング
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０ 信号送出部
１３１、２３１、６３１ 接続基板
１３２、１３２Ａ、３３２Ａ、６３２、６３２Ａ 電気コネクタ
１３３、２３３、６３３ ケーブル
１３４ スペーサ
１３５ ケース
１３６、３３６、５３６、６３６ インナーキャップ
１３７、７３７ 封止接着剤
２３３ａ 半田接続部
４３８、４３９ 樹脂コーティング
５１１、６１１ 保護カバー
５１１ａ、６１１ａ 継手部
５１１ｂ、６１１ｂ 圧力室凹部
５１１ｃ、６１１ｃ ケース部
５１１ｄ、６１１ｄ、７３５ａ かしめ部
５１２、６１２ Ｏリング
６２１ センサエレメント
６２２ 検出部スペーサ
７３５ かしめ板
７３５ｂ フランジ部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】