特許 6794898 収納棚

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6794898

(24)【登録日】2020年11月16日

(45)【発行日】2020年12月2日

(54)【発明の名称】収納棚

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20201119BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20201119BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/00 521Z

   H01L21/68 T

【請求項の数】2

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2017-65323(P2017-65323)

(22)【出願日】2017年3月29日

(65)【公開番号】特開2018-167941(P2018-167941A)

(43)【公開日】2018年11月1日

【審査請求日】2019年2月6日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】安部 健史

(72)【発明者】

【氏名】吉本 忠浩

(72)【発明者】

【氏名】吉川 尚幸

【審査官】 中田 誠二郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−２１９５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−０５０５１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１５／０４５５８３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１７／０２２３３０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０３６０５３１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １／００−１／１３３，１／１４−１／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器を収納する収納部を複数備えた収納棚であって、
前記容器は、その底面に被支持部と前記容器の内部に気体を供給するための給気部とを備えると共に、上下方向に見て前記被支持部と前記給気部との間に前記容器の重心が位置し、
複数の前記収納部の夫々は、前記容器の前記被支持部を下方から支持する支持面を形成する容器支持体と、前記給気部に下方から接触して気体を前記給気部から前記容器の内部に供給するノズルと、前記収納部に収納された前記容器の側面に接触して前記容器の水平方向への移動を規制する規制体と、を備え、
前記ノズルが、前記支持面から上方に突出する状態で前記容器支持体に固定され、
前記容器が、前記支持面と前記ノズルとのみで支持され、
前記ノズルにおける前記給気部に接触する先端部が、弾性変形可能に構成され、
前記ノズルは、筒状の前記先端部と、前記先端部より下方に位置する筒状の基部と、を備え、
前記支持面における前記容器の前記被支持部に接触する部分を支持部とし、
水平方向における前記支持部と前記ノズルとが並ぶ方向を並び方向とし、前記支持部に対して前記ノズルが存在する方向を第一方向、その反対方向を第二方向とし、
鉛直方向における、前記支持面から、自然状態の前記ノズルの上端までの距離を、第一鉛直距離Ｈ１とし、
鉛直方向における、前記支持面から、前記容器を支持した支持状態の前記ノズルの上端までの距離を、第二鉛直距離Ｈ２とし、
前記並び方向における、前記支持部から、前記先端部における前記容器に接触している接触領域の前記第一方向側の端部である第一端部までの距離を、第一水平距離Ｌ１とし、
前記並び方向における、前記第一端部から、前記接触領域の第二方向側の端部である第二端部までの距離を、第二水平距離Ｌ２とし、
鉛直方向における、自然状態の前記先端部の上端から下端までの距離を、第三鉛直距離Ｈ３とし、
前記第三鉛直距離Ｈ３は、
Ｈ４＝（Ｌ２／Ｌ１）×Ｈ２＋（Ｈ１−Ｈ２）
で表される第四鉛直距離Ｈ４より大きい収納棚。

【請求項2】

前記先端部の径方向厚さが、前記基部の径方向厚さよりも小さい請求項１に記載の収納棚。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、容器を収納する収納部を複数備えた収納棚に関する。

【背景技術】

【0002】

かかる収納棚の従来例が、特開２０１３−１３３１９３号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の収納棚における収納部の夫々には、容器を支持する３個の位置決め突起１０ｂを有する載置支持部１０ａと、容器の内部に気体を供給するための吐出ノズル１０ｉと、を備えている。また、３個の位置決め突起３０ｂは、容器の底部に形成された被係合部に係合することで、容器を支持すると共に容器の水平方向への移動を規制している。また、収納部に収納された容器の給気口５１ｉに吐出ノズルが接触しており、吐出ノズルから噴出された気体が給気口５１ｉから容器の内部に供給されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３−１３３１９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１の収納棚では、載置支持部１０ａの歪み等により、３個の位置決め突起１０ｂの高さに誤差が生じたために、収納部に収納された容器が給気口５１ｉに対して傾き、容器の給気口５１ｉが吐出ノズル１０ｉに適切に接触しなくなることで、吐出ノズル１０ｉから噴出した気体が給気口５１ｉから容器の内部に適切に供給されない可能性がある。

【0005】

そこで、容器の内部に気体を適切に供給し易い収納棚の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記に鑑みた、収納棚の特徴構成は、容器を収納する収納部を複数備え、
前記容器は、その底面に被支持部と前記容器の内部に気体を供給するための給気部とを備えると共に、上下方向に見て前記被支持部と前記給気部との間に前記容器の重心が位置し、複数の前記収納部の夫々は、前記容器の前記被支持部を下方から支持する支持面を形成する容器支持体と、前記給気部に下方から接触して気体を前記給気部から前記容器の内部に供給するノズルと、前記収納部に収納された前記容器の側面に接触して前記容器の水平方向への移動を規制する規制体と、を備え、前記ノズルが、前記支持面から上方に突出する状態で前記容器支持体に固定され、前記容器が、前記支持面と前記ノズルとのみで支持され、前記ノズルにおける前記給気部に接触する先端部が、弾性変形可能に構成され、前記ノズルは、筒状の前記先端部と、前記先端部より下方に位置する筒状の基部と、を備え、前記支持面における前記容器の前記被支持部に接触する部分を支持部とし、水平方向における前記支持部と前記ノズルとが並ぶ方向を並び方向とし、前記支持部に対して前記ノズルが存在する方向を第一方向、その反対方向を第二方向とし、鉛直方向における、前記支持面から、自然状態の前記ノズルの上端までの距離を、第一鉛直距離Ｈ１とし、鉛直方向における、前記支持面から、前記容器を支持した支持状態の前記ノズルの上端までの距離を、第二鉛直距離Ｈ２とし、前記並び方向における、前記支持部から、前記先端部における前記容器に接触している接触領域の前記第一方向側の端部である第一端部までの距離を、第一水平距離Ｌ１とし、前記並び方向における、前記第一端部から、前記接触領域の第二方向側の端部である第二端部までの距離を、第二水平距離Ｌ２とし、鉛直方向における、自然状態の前記先端部の上端から下端までの距離を、第三鉛直距離Ｈ３とし、前記第三鉛直距離Ｈ３は、Ｈ４＝（Ｌ２／Ｌ１）×Ｈ２＋（Ｈ１−Ｈ２）で表される第四鉛直距離Ｈ４より大きい点にある。

【0007】

これらの特徴構成によれば、収納部に収納された容器の給気部にはノズルが接触するため、ノズルから噴出された気体を給気部から容器の内部に供給することができる。また、収納部に収納された容器は、規制体に接触することで水平方向への移動が規制されている。
そして、収納部に収納された容器は、容器支持体の支持面とノズルとのみで支持されており、容器の重心は、容器支持体の支持面とノズルとの間に位置している。そのため、容器の荷重により容器の給気部がノズルに押し付けられ、給気部がノズルに密着するため、ノズルから噴出される気体を給気部から容器の内部に適切に供給し易くなっている。
また、上記の特徴構成によれば、容器の荷重により容器の給気部がノズルに押し付けられることにより、ノズルの先端部が弾性変形する。そのため、ノズルの先端部の形状が給気部に密着する形状になり易く、ノズルから噴出される気体を給気部から容器の内部に適切に供給し易い。
また、上記の特徴構成によれば、容器を支持したノズルの先端部は、鉛直方向に圧縮されるように弾性変形する。そして、ノズルが弾性変形することで、ノズルが弾性変形していない場合に比べて、容器は、第一方向の端部が下降するように傾いた姿勢となる。そのため、容器を支持したノズルは、その第一端部が、第二端部に比べて大きく下降する。このノズルの第一端部の下降量とノズルの第二端部の下降量との差である下降量差は、（Ｌ２／Ｌ１）×Ｈ２により求められる。また、第一端部の下降量は、Ｈ１−Ｈ２で表され、この第一端部の下降量に、上述の下降量差を加えることで、ノズルの自然状態からの第二端部の下降量が求められる。
そして、自然状態の先端部の上端から下端までの距離である第三鉛直距離Ｈ３が、ノズルの最も下降する部分となる第二端部の下降量より大きい。このようにすることで、容器を支持したときにノズルが鉛直方向に圧縮されるように弾性変形するが、このノズルの弾性変形を先端部のみで吸収でき、ノズルの基部を変形させることなく容器を支持できるため、ノズルの先端部を給気部に密着させ易い。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】物品収納設備の側面図

【図2】収納部の平面図

【図3】収納部の側面図

【図4】容器支持体及びノズルの側面図

【図5】自然状態のノズルを示す図

【図6】容器を支持した状態のノズルを示す図

【発明を実施するための形態】

【0009】

１．実施形態
収納棚を備えた容器収納設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、容器収納設備は、容器Ｗを収納する収納部１Ａを複数備えた収納棚１と、容器Ｗを搬送するスタッカークレーン２と、収納棚１やスタッカークレーン２が設置される空間の側周囲を覆う壁体Ｋと、を備えている。

【0010】

また、図２及び図３に示すように、容器収納設備には、気体供給装置３が備えられている。気体供給装置３は、収納部１Ａに収納されている容器Ｗの内部に、気体としてのクリーンドライエアー（以下、ドライエアーと略称する）を供給するように構成されている。つまり、気体供給装置３により容器Ｗの内部に供給される気体は、収納部１Ａの気体に比べて湿度が低い気体となっている。
容器Ｗは、１枚の基板を収容可能に構成されている。本実施形態では、基板をレチクルとし、容器Ｗを、レチクルを収納する容器Ｗとしている。

【0011】

図１に示すように、物品収納設備は、天井部Ｃから床部Ｆに向かって気体が流動するダウンフロー式のクリーンルームＳ内に設置されている。
クリーンルームＳの床部Ｆは、下床部Ｆ１と、下床部Ｆ１よりも上方に設置された上床部Ｆ２とを備えている。下床部Ｆ１は、通気孔を有さない通気不能な床であり、上床部Ｆ２は、通気孔を有する鉛直方向Ｚに通気可能な床である。
クリーンルームＳの天井部Ｃは、上天井部Ｃ１と、上天井部Ｃ１よりも下方に設置された下天井部Ｃ２とにより構成されている。上天井部Ｃ１は、通気孔を有さない通気不能な天井であり、下天井部Ｃ２は、鉛直方向Ｚに通気可能な天井である。
そして、図外の送風装置の作動により、下床部Ｆ１と上床部Ｆ２との間に空気を噴出することで、下天井部Ｃ２のフィルタにより浄化された空気（清浄空気）が、クリーンルームＳに排出されて、クリーンルームＳを天井部Ｃから床部Ｆに向けて下方に流動し、その後、上床部Ｆ２を通って下床部Ｆ１と上床部Ｆ２との間の空間に流動する。

【0012】

以下、容器Ｗ、及び、物品収納設備の各構成について説明するが、鉛直方向Ｚに見て、収納棚１とスタッカークレーン２とが並ぶ方向を前後方向Ｘとし、前後方向Ｘに対して直交する方向を幅方向Ｙとして説明する。また、前後方向Ｘにおいて、収納棚１に対してスタッカークレーン２が存在する方向を前方Ｘ１とし、その反対方向を後方Ｘ２として説明する。また、容器Ｗについては、容器Ｗを収納部１Ａに収納した状態に基づいて前後方向Ｘ及び幅方向Ｙを定義して説明する。
尚、前後方向Ｘが、水平方向における支持部２５Ｂとノズル１６とが並ぶ方向である並び方向に相当する。また、前方Ｘ１が、支持部２５Ｂに対してノズル１６が存在する方向である第一方向に相当し、後方Ｘ２が、第一方向の反対方向である第二方向に相当する。

【0013】

〔容器〕
図４に示すように、容器Ｗの底面には、給気部６と排気部７と被支持部８とが備えられている。
給気部６は、気体供給装置３のノズル１６から噴出されたドライエアーを容器Ｗの内部に供給するための部分である。給気部６には、給気用開閉弁（図示せず）が備えられている。給気部６は、幅方向Ｙに並ぶ状態で一対備えられており、一対の給気部６は、前後方向Ｘで同じ位置に備えられている。
排気部７は、容器Ｗの内部の気体を容器Ｗの外部に排気するための部分である。排気部７には、排気用開閉弁（図示せず）が備えられている。給気部６は、幅方向Ｙに並ぶ状態で一対備えられており、一対の給気部６は、前後方向Ｘで同じ位置に備えられている。

【0014】

前後方向Ｘにおいて、一対の給気部６の双方は容器Ｗの重心より前方Ｘ１に位置し、一対の排気部７の双方は容器Ｗの重心より後方Ｘ２に位置しており、給気部６と排気部７との間に容器Ｗの重心が位置している。また、幅方向Ｙにおいて、一対の給気部６の間に容器Ｗの重心が位置し、一対の排気部７の間に容器Ｗの重心が位置している。尚、容器Ｗの重心は、容器Ｗに基板を収納しているか否かに関わらず、給気部６と排気部７との間に位置している。

【0015】

給気部６の給気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、給気部６に気体供給装置３のノズル１６が下方から接触した状態で、そのノズル１６からドライエアーが噴出されると、その噴出したドライエアーの圧力により給気用開閉弁が開き、ドライエアーが給気部６から容器Ｗの内部に供給される。また、排気部７の排気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、気体供給装置３によるドライエアーの供給により容器Ｗの内部の圧力が高まるとその圧力により排気用開閉弁が開き、容器Ｗの内部の気体が排気部７から排気される。

【0016】

被支持部８は、容器Ｗが収納部１Ａに収納された場合に、収納部１Ａの容器支持体２５の支持面２５Ａにより下方から支持される部分である。そして、被支持部８は、容器Ｗの底面における後端に位置しており、前後方向Ｘにおいて、被支持部８は容器Ｗの重心より後方Ｘ２に位置している。また、幅方向Ｙにおいて、被支持部８は容器Ｗの重心と同じ位置に位置している。
そのため、前後方向Ｘにおいて、一対の給気部６と被支持部８との間に容器Ｗの重心が位置しており、幅方向Ｙにおいて、被支持部８の少なくとも一部が、一対の給気部６の間に位置している。

【0017】

〔スタッカークレーン〕
図１に示すように、スタッカークレーン２は、収納棚１の前方を走行方向（幅方向Ｙ）に走行する走行台車９と、走行台車９に立設されたマスト１０と、マスト１０に沿って昇降する昇降体１１と、昇降体１１に支持されている移載装置１２と、を備えている。
移載装置１２は、走行台車９が走行することで幅方向Ｙに沿って移動し、昇降体１１が昇降することでマスト１０に沿って鉛直方向Ｚに移動する。また、詳細な説明は省略するが、移載装置１２には、容器Ｗを支持する支持台と、当該支持台を前後方向Ｘに沿って移動させるリンク機構と、を備えており、移載装置１２は、自己と収納部１Ａとの間で容器Ｗを移載可能に構成されている。

【0018】

〔気体供給装置〕
図２及び図３に示すように、気体供給装置３は、気体供給源（図示せず）に接続された基幹配管（図示せず）と、この基幹配管から分岐する複数の縦配管１４と、それぞれの縦配管１４から分岐する複数の分岐配管１５と、を備えている。気体供給源からのドライエアーは、基幹配管、縦配管１４、分岐配管１５の順に流通して、各収納部１Ａに備えられたノズル１６から噴出する。
基幹配管は、例えば最下段の収納部１Ａよりも下方において、幅方向Ｙに沿って配設されている。複数の縦配管１４のそれぞれは、基幹配管から上方に向かって延びるように配設されている。複数の分岐配管１５のそれぞれは、縦配管１４から幅方向Ｙ及び前後方向Ｘに延びるように配設されている。分岐配管１５の先端には、ノズル１６が接続されている。

【0019】

図５に示すように、ノズル１６は、筒状の先端部１８と、先端部１８より下方に位置する筒状の基部１９と、を備えている。基部１９は、収納部１Ａの容器支持体２５に固定されており、先端部１８は、収納部１Ａに収納された容器Ｗの給気部６に下方から接触する。
基部１９は、先端部１８に連なる第一基部２０と、最も下方に位置する第二基部２１と、で構成されている。
先端部１８と基部１９とは、弾性変形可能な材質（例えば合成ゴム）により構成されており、先端部１８と基部１９との夫々は、弾性変形可能に構成されている。また、先端部１８と基部１９とは一体形成されており、先端部１８と基部１９とは同じ材質で構成されている。

【0020】

先端部１８と第一基部２０とは、外径が同じであり、第二基部２１は、先端部１８及び第一基部２０より外形が大きい。また、第一基部２０と第二基部２１とは、内径が同じであり、先端部１８は、第一基部２０及び第二基部２１より内径が大きい。そのため、先端部１８の径方向厚さは、基部１９（第一基部２０及び第二基部２１）の径方向厚さより小さくなっている。そして、先端部１８の径方向厚さが、基部１９より径方向厚さが小さいため、先端部１８は、基部１９に比べて弾性変形し易く構成されている。また、先端部１８は、上方側ほど径方向厚さが小さくなる形状に形成されている。

【0021】

〔収納棚〕
図１に示すように、収納棚１は、互いに対向する状態で一対設置されている。一対の収納棚１の夫々には、鉛直方向Ｚ及び幅方向Ｙに並ぶ状態で収納部１Ａが配置されている。一対の収納棚１は、設置されている向きが異なる以外は同様に構成されている。

【0022】

図２及び図３に示すように、収納棚１は、収納部１Ａに収納した容器Ｗを下方から支持する複数の棚板２３と、複数の棚板２３を片持ち状に支持する棚枠２４と、を備えている。
棚板２３は、鉛直方向Ｚ及び幅方向Ｙに並ぶ状態で収納棚１に複数備えられている。棚板２３は、幅方向Ｙに隣接する２つの収納部１Ａに対して１つ設置されており、棚板２３の幅方向Ｙの大きさは、幅方向Ｙに並ぶ２つの容器Ｗを支持可能な大きさに形成されており、１つの棚板２３により、２つの容器支持体２５が形成されている。

【0023】

容器支持体２５は、収納部１Ａに収納されている容器Ｗを下方から支持する支持板２６と、棚枠２４に連結される連結部２７と、を備えている。支持板２６は、前後方向Ｘ及び幅方向Ｙに延びる平板状に形成されており、支持板２６における上方を向く面により、容器Ｗの被支持部８を下方から支持する支持面２５Ａが形成されている。

【0024】

容器支持体２５には、複数の規制体２８と一対のノズル１６とが支持されている。
複数の規制体２８は、容器支持体２５の支持面２５Ａから上方に突出する状態で容器支持体２５に固定されている。また、複数の規制体２８は、収納された容器Ｗに対して前後方向Ｘの両側及び幅方向Ｙの両側に位置するように、鉛直方向Ｚにみて収納部１Ａに収納された容器Ｗと重ならないように設置されている。収納された容器Ｗは、その側面が規制体２８に接触することで前後方向Ｘや幅方向Ｙに移動することが規制されている。

【0025】

一対のノズル１６は、容器支持体２５の支持面２５Ａから上方に突出する状態で容器支持体２５に固定されている。ノズル１６は、収納部１Ａに収納された容器Ｗにおける給気部６に対して鉛直方向Ｚに見て重なる位置に設置されている。つまり、容器Ｗが収納部１Ａに収納されると、当該容器Ｗは、給気部６にノズル１６が下方から接触し、ノズル１６と給気部６とが接続される。そして、給気部６にノズル１６が接触した状態でノズル１６からドライエアーが噴出されることにより、給気部６から容器Ｗの内部にドライエアーが供給されるとともに、容器Ｗの内部の気体が排気部７から排気される。

【0026】

ノズル１６の容器支持体２５への固定について説明を加えると、容器支持体２５には、分岐配管１５の先端を容器支持体２５に固定するための固定体２９が備えられており、この固定体２９は、支持板２６の下面に連結される。そして、ノズル１６は、容器支持体２５と固定体２９との間に第二基部２１が鉛直方向Ｚに挟まれる状態で、容器支持体２５に固定されている。ノズル１６は、先端部１８の全体及び第一基部２０の一部が支持面２５Ａより上方に位置している。
図５に示すように、先端部１８における容器Ｗに接触している接触領域の前方Ｘ１側の端部を第一端部１８Ａとし、接触領域の後方Ｘ２側の端部を第二端部１８Ｂとして、ノズル１６が自然状態では、第一端部１８Ａと第二端部１８Ｂとは同じ高さに位置している。

【0027】

このように、複数の容器支持体２５の夫々にノズル１６及び規制体２８を支持することで、複数の収納部１Ａの夫々には、容器Ｗの被支持部８を下方から支持する支持面２５Ａを形成する容器支持体２５と、給気部６に下方から接触してドライエアーを給気部６から容器Ｗの内部に供給するノズル１６と、収納部１Ａに収納された容器Ｗの側面に接触して容器Ｗの水平方向への移動を規制する規制体２８と、が備えられている。
そして、収納部１Ａに収納された容器Ｗは、被支持部８のみが支持面２５Ａに接触している。つまり、収納部１Ａに収納された容器Ｗは、被支持部８が支持面２５Ａの支持部２５Ｂに接触し、給気部６がノズル１６に接触することで支持されており、当該容器Ｗは、支持面２５Ａとノズル１６とのみで支持されている。

【0028】

図５及び図６に示すように、収納部１Ａに容器Ｗを収納して当該容器Ｗを支持面２５Ａとノズル１６とのみで支持した状態では、容器Ｗの荷重によって、ノズル１６は下方に圧縮されて鉛直方向の長さが短くなる。そのため、鉛直方向Ｚにおける、支持面２５Ａから、自然状態の先端部１８の上端までの距離を、第一鉛直距離Ｈ１とし、鉛直方向Ｚにおける、支持面２５Ａから、容器Ｗを支持した支持状態のノズル１６の上端までの距離を、第二鉛直距離Ｈ２とした場合、第二鉛直距離Ｈ２は、第一鉛直距離Ｈ１より短くなる。

【0029】

そして、容器Ｗは、水平な面上に支持させたときの姿勢を基準姿勢とした場合、支持面２５Ａとノズル１６とのみで支持されている容器Ｗは、基準姿勢に比べて前方Ｘ１側の部分が持ち上げられた傾斜姿勢となっている。そして、ノズル１６の第一端部１８Ａが、容器Ｗを支持した支持状態のノズル１６の上端となっている。つまり、第二鉛直距離Ｈ２は、鉛直方向Ｚにおける、支持面２５Ａから、支持状態のノズル１６における第一端部１８Ａまでの距離となる。
また、容器Ｗは、上述の如く傾斜姿勢となるため、ノズル１６は、第一端部１８Ａ側に比べて第二端部１８Ｂ側が大きく下方に圧縮される。そのため、鉛直方向Ｚにおける、支持面２５Ａから、支持状態のノズル１６における第二端部１８Ｂまでの距離を、第五鉛直距離Ｈ５とした場合、第五鉛直距離Ｈ５は、第二鉛直距離Ｈ２より短くなる。

【0030】

前後方向Ｘにおける、支持部２５Ｂから第一端部１８Ａまでの距離を、第一水平距離Ｌ１とし、前後方向Ｘにおける、第一端部１８Ａから第二端部１８Ｂまでの距離を、第二水平距離Ｌ２とし、鉛直方向Ｚにおける、自然状態の先端部１８の上端から下端までの距離を、第三鉛直距離Ｈ３とする。
この場合は、第三鉛直距離Ｈ３は、Ｈ４＝（Ｌ２／Ｌ１）×Ｈ２＋（Ｈ１−Ｈ２）で表される第四鉛直距離Ｈ４より大きくなるように、ノズル１６の形状やノズルを構成する材質の弾性係数が設定されている。そのため、第三鉛直距離Ｈ３が、ノズル１６における容器Ｗを支持したときの第二端部１８Ｂの下降量より大きく、容器Ｗを支持したときのノズル１６の弾性変形を先端部１８のみで吸収できるようになっている。

【0031】

２．その他の実施形態
次に、収納棚のその他の実施形態について説明する。

【0032】

（１）上記実施形態では、ノズル１６の先端部１８と基部１９とを一体に構成したが、ノズル１６の先端部１８と基部１９とを別体に構成してもよい。そして、ノズル１６の先端部１８と基部１９とを別体に構成した場合は、基部１９をアルミニウム等の金属により構成して、ノズル１６の先端部１８と基部１９とのうち先端部１８のみを弾性変形可能に構成してもよい。

【0033】

（２）上記実施形態では、ノズル１６の先端部１８及び基部１９の双方を筒状に形成し、先端部１８の径方向厚さを基部１９の径方向厚さよりも小さくしたが、ノズル１６の形状は適宜変更してもよく、例えば、先端部１８の径方向厚さと基部１９の径方向厚さとを同じにしてもよい。

【0034】

（３）上記実施形態では、第三鉛直距離Ｈ３を、第四鉛直距離Ｈ４より大きくしたが、例えば、基部１９を弾性変形し易くする等により、第三鉛直距離Ｈ３を、第四鉛直距離Ｈ４と同じ、又は小さくしてもよい。

【0035】

（４）上記実施形態では、容器Ｗを、レチクルを収納する容器としたが、容器Ｗは、半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ等の他の容器としてもよい。また、容器Ｗの内部に供給する気体を、ドライエアーとしたが、容器Ｗの内部に供給する気体は、ドライエアー以外、例えば、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体でもよい。

【0036】

（５）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0037】

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した収納棚の概要について説明する。

【0038】

収納棚は、容器を収納する収納部を複数備え、
前記容器は、その底面に被支持部と前記容器の内部に気体を供給するための給気部とを備えると共に、上下方向に見て前記被支持部と前記給気部との間に前記容器の重心が位置し、複数の前記収納部の夫々は、前記容器の前記被支持部を下方から支持する支持面を形成する容器支持体と、前記給気部に下方から接触して気体を前記給気部から前記容器の内部に供給するノズルと、前記収納部に収納された前記容器の側面に接触して前記容器の水平方向への移動を規制する規制体と、を備え、前記ノズルが、前記支持面から上方に突出する状態で前記容器支持体に固定され、前記容器が、前記支持面と前記ノズルとのみで支持され、前記ノズルにおける前記給気部に接触する先端部が、弾性変形可能に構成され、前記ノズルは、筒状の前記先端部と、前記先端部より下方に位置する筒状の基部と、を備え、前記支持面における前記容器の前記被支持部に接触する部分を支持部とし、水平方向における前記支持部と前記ノズルとが並ぶ方向を並び方向とし、前記支持部に対して前記ノズルが存在する方向を第一方向、その反対方向を第二方向とし、鉛直方向における、前記支持面から、自然状態の前記ノズルの上端までの距離を、第一鉛直距離Ｈ１とし、鉛直方向における、前記支持面から、前記容器を支持した支持状態の前記ノズルの上端までの距離を、第二鉛直距離Ｈ２とし、前記並び方向における、前記支持部から、前記先端部における前記容器に接触している接触領域の前記第一方向側の端部である第一端部までの距離を、第一水平距離Ｌ１とし、前記並び方向における、前記第一端部から、前記接触領域の第二方向側の端部である第二端部までの距離を、第二水平距離Ｌ２とし、鉛直方向における、自然状態の前記先端部の上端から下端までの距離を、第三鉛直距離Ｈ３とし、前記第三鉛直距離Ｈ３は、Ｈ４＝（Ｌ２／Ｌ１）×Ｈ２＋（Ｈ１−Ｈ２）で表される第四鉛直距離Ｈ４より大きい。

【0039】

この構成によれば、収納部に収納された容器の給気部にはノズルが接触するため、ノズルから噴出された気体を給気部から容器の内部に供給することができる。また、収納部に収納された容器は、規制体に接触することで水平方向への移動が規制されている。
そして、収納部に収納された容器は、容器支持体の支持面とノズルとのみで支持されており、容器の重心は、容器支持体の支持面とノズルとの間に位置している。そのため、容器の荷重により容器の給気部がノズルに押し付けられ、給気部がノズルに密着するため、ノズルから噴出される気体を給気部から容器の内部に適切に供給し易くなっている。
また、上記の構成によれば、容器の荷重により容器の給気部がノズルに押し付けられることにより、ノズルの先端部が弾性変形する。そのため、ノズルの先端部の形状が給気部に密着する形状になり易く、ノズルから噴出される気体を給気部から容器の内部に適切に供給し易い。
また、上記の構成によれば、容器を支持したノズルの先端部は、鉛直方向に圧縮されるように弾性変形する。そして、ノズルが弾性変形することで、ノズルが弾性変形していない場合に比べて、容器は、第一方向の端部が下降するように傾いた姿勢となる。そのため、容器を支持したノズルは、その第一端部が、第二端部に比べて大きく下降する。このノズルの第一端部の下降量とノズルの第二端部の下降量との差である下降量差は、（Ｌ２／Ｌ１）×Ｈ２により求められる。また、第一端部の下降量は、Ｈ１−Ｈ２で表され、この第一端部の下降量に、上述の下降量差を加えることで、ノズルの自然状態からの第二端部の下降量が求められる。
そして、自然状態の先端部の上端から下端までの距離である第三鉛直距離Ｈ３が、ノズルの最も下降する部分となる第二端部の下降量より大きい。このようにすることで、容器を支持したときにノズルが鉛直方向に圧縮されるように弾性変形するが、このノズルの弾性変形を先端部のみで吸収でき、ノズルの基部を変形させることなく容器を支持できるため、ノズルの先端部を給気部に密着させ易い。

【0042】

また、前記先端部の径方向厚さが、前記基部の径方向厚さよりも小さいと好適である。

【0043】

この構成によれば、先端部の径方向厚さが、基部の径方向厚さよりも小さいため、先端部と基部とを同じ材質で構成した場合に先端部を基部に比べて弾性変形し易くできる。つまり、先端部は、比較的弾性変形し易い為、ノズルの先端部の形状が給気部に密着する形状になり易い。

【産業上の利用可能性】

【0046】

本開示に係る技術は、容器を収納する収納部を複数備えた収納棚に利用することができる。

【符号の説明】

【0047】

１：収納棚
１Ａ：収納部
６：給気部
８：被支持部
１６：ノズル
１８：先端部
１８Ａ：第一端部
１８Ｂ：第二端部
１９：基部
２５：容器支持体
２５Ａ：支持面
２５Ｂ：支持部
２８：規制体
Ｈ１：第一鉛直距離
Ｈ２：第二鉛直距離
Ｈ３：第三鉛直距離
Ｈ４：第四鉛直距離
Ｌ１：第一水平距離
Ｌ２：第二水平距離
Ｗ：容器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】