特許 6794976 移載設備、移載方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6794976

(24)【登録日】2020年11月16日

(45)【発行日】2020年12月2日

(54)【発明の名称】移載設備、移載方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20201119BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20201119BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/06 Z

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2017-240108(P2017-240108)

(22)【出願日】2017年12月15日

(65)【公開番号】特開2019-106517(P2019-106517A)

(43)【公開日】2019年6月27日

【審査請求日】2019年12月9日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001298

【氏名又は名称】特許業務法人森本国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】坂田 博史

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 韓国登録特許第１０−１５１１９６３（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】 特開２０１０−０１０２９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１５０００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０７６９１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０３８３２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−００２２１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２４３０７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０６４１３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を載置して水平方向に出退移動させる第１移載機と、物品の上部を支持して鉛直方向に昇降移動させる第２移載機と、の間で物品の移載を行う移載設備であって、
前記第１移載機の載置面に載置されている物品の側面に当接して前記載置面における前記物品の位置規制を行う位置規制装置を備え、
前記第１移載機は、その載置面上にフローティングユニットを備え、
前記フローティングユニットは、物品載置支持用の支持部を備えた可動部が固定部に対して水平方向に移動自在に受け止め支持される構造であり、
前記物品は前記物品載置支持用の支持部に支持され、
前記可動部を前記固定部に対して水平方向に移動可能とし、且つ前記位置規制装置により前記物品の位置規制を行うことにより、前記第２移載機の昇降位置に対する物品の位置決めが前記載置面上で行われること
を特徴とする移載設備。

【請求項2】

前記第２移載機の昇降位置に対する前記第１移載機の位置決めを行う位置決め手段を備えること
を特徴とする請求項１に記載の移載設備。

【請求項3】

前記物品は、その上部に前記第２移載機に係止される係止部が形成される略箱型形状のものであり、且つ前記係止部が鉤状に形成されているものであること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の移載設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、物品を載置して水平方向に出退移動させる第１移載機と、物品の上部を支持して鉛直方向に昇降移動させる第２移載機と、の間で物品の移載を行う移載設備に関するものである。

【背景技術】

【0002】

上記移載設備としては、例えば、処理装置であるチャンバに基板を収容したカセット（物品）を移載する設備がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の移載設備においては、搬送台車ユニットによって搬送されるカセットをカセット搬送ユニット（第１移載機）が設備内に搬入し、カセット搬送ユニットにより搬入されたカセットをカセット移載ユニット（第２移載機）がチャンバに搬入する。或いはチャンバに搬入されたカセットをカセット移載ユニットが搬出し、カセット移載ユニットが搬送するカセットをカセット搬送ユニットが搬送台車ユニットに移載する。
カセット搬送ユニットが搬送台車ユニットから移載したカセットは、カセット移載ユニットによってチャンバに搬入される前に、チャンバの上方に設けられる荷受台に載置される。同様に、カセット移載ユニットがチャンバから搬出したカセットは、カセット搬送ユニットによって搬送台車ユニットに移載される前に荷受台に載置される。
カセット移載ユニットは、カセットを上方から把持して昇降移動させることにより、荷受台に載置されたカセットをチャンバに搬入し、或いはチャンバから搬出したカセットを荷受台に搬入する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】韓国登録特許第１０−１５１１９６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記のような移載設備においては、カセット（物品）をカセット搬送ユニット（第１移載機）とカセット移載ユニット（第２移載機）との間で移載する際に、移載途中に、一旦カセット（物品）を荷受台に載置させる動作が必要となる。さらに、カセット移載ユニット（第２移載機）がカセット（物品）を把持して昇降移動させる際に、カセット（物品）が荷受台に干渉するため、荷受台との干渉を避けるために、カセット（物品）を旋回させる等の動作が必要となる。そのため、カセット搬送ユニット（第１移載機）とカセット移載ユニット（第２移載機）との間のカセット（物品）の移載に時間を要するという問題があった。

【0005】

そこで、本発明は、物品を載置して水平方向に出退移動させる第１移載機と、物品の上部を支持して鉛直方向に昇降移動させる第２移載機との間の物品の移載を効率良く行うことが可能な移載設備を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0007】

即ち、本発明の移載設備は、物品を載置して水平方向に出退移動させる第１移載機と、物品の上部を支持して鉛直方向に昇降移動させる第２移載機と、の間で物品の移載を行う移載設備であって、前記第１移載機の載置面に載置されている物品の側面に当接して前記載置面における前記物品の位置規制を行う位置規制装置を備え、前記第１移載機は、その載置面上にフローティングユニットを備え、前記フローティングユニットは、物品載置支持用の支持部を備えた可動部が固定部に対して水平方向に移動自在に受け止め支持される構造であり、前記物品は前記物品載置支持用の支持部に支持され、前記可動部を前記固定部に対して水平方向に移動可能とし、且つ前記位置規制装置により前記物品の位置規制を行うことにより、前記第２移載機の昇降位置に対する物品の位置決めが前記載置面上で行われるものである。
上記構成では、第１移載機の載置面に載置されている物品が、第２移載機の昇降位置に位置決めされる。

【0008】

本発明の移載設備は、上記移載設備において、前記第２移載機の昇降位置に対する前記第１移載機の位置決めを行う位置決め手段を備えるものである。
上記構成では、第１移載機が第２移載機の昇降位置に位置決めされる。

【0009】

本発明の移載設備は、上記移載設備において、前記物品は、その上部に前記第２移載機に係止される係止部が形成される略箱型形状のものであり、且つ前記係止部が鉤状に形成されているものである。
上記構成では、鉤状の係止部を有する略箱型形状の物品が、第１移載機と第２移載機との間で移載される。

【発明の効果】

【0010】

本発明の移載設備によれば、第１移載機と第２移載機との間の物品の移載を荷受台を介さずに直接行うことができるため、移載途中に物品を荷受台に載置する動作及び第２移載機による物品の昇降移動時に物品を旋回させる等の動作が不要となる。そのため、第１移載機と第２移載機との間の物品の移載を効率良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に係る移載設備の平面図である。

【図2】同移載設備の正面図である。

【図3】同移載設備におけるフローティングユニットの側面断面図である。

【図4】同移載設備におけるフォークユニットが搬送台車からカセットを搬出する際の概略を示す側面断面図である。

【図5】同移載設備におけるフォークユニットが移載設備にカセットを搬入する際の概略を示す図であり、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその平面図である。

【図6】同移載設備におけるフォークユニットが移載設備にカセットを搬入する際の概略を示す側面断面図である。

【図7】同移載設備における移載機がフォークユニットからカセットを搬出する際の概略を示す図であり、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその平面図である。

【図8】同移載設備における移載機が蒸着装置のロードポートにカセットを移載する際の概略を示す正面断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明に係る移載設備１０について説明する。
図１及び図２に示すように、移載設備１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板９１に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０に付設される設備であり、板状体の基板９１を収容したカセット９０（「物品」の一例）を蒸着装置８０のロードポート８３に移載するものである。移載設備１０においては、移載設備１０に搬入されるカセット９０が蒸着装置８０のロードポート８３に移載されるとともに、蒸着装置８０のロードポート８３から搬出されたカセット９０が移載設備１０の外部に搬出される。
移載設備１０において搬送されるカセット９０は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板９１を収容可能に構成されている。カセット９０は、その上部に後述する移載機２０に係止されるフランジ部９２（「係止部」の一例）が複数形成されている。フランジ部９２はカセット９０の上面から突出して設けられる鉤状の部材により構成され、カセット９０の上面の複数箇所に設けられる。

【0013】

移載設備１０は、蒸着装置８０の上方に付設されている。移載設備１０に付設される蒸着装置８０は、装置全体が装置筐体８１により覆われている。装置筐体８１は、その内部に蒸着装置８０を格納可能な内部空間を有する。装置筐体８１は、その上部に、カセット９０を内部に搬送するためのカセット搬入口８２が形成されている。
装置筐体８１は、その内部空間においてカセット９０を載置するためのロードポート８３が設けられている。具体的には、ロードポート８３は、カセット搬入口８２の真下（後述する移載機２０の真下であって、移載機２０によって昇降するカセット９０の昇降経路上）に設けられている。

【0014】

移載設備１０の側方であって蒸着装置８０の上方には、カセット９０を移載設備１０に対して搬送するフォークユニット４０（「第１移載機」の一例）が設けられている。すなわち、カセット９０は、蒸着装置８０の上方であって、移載設備１０の側方から搬入又は搬出される。
図１に示すように、フォークユニット４０は、カセット９０を載置して水平方向に出退移動させるものである。フォークユニット４０は、台車走行レール８５に沿って走行する搬送台車８６からカセット９０を搬出し、搬出したカセット９０を移載設備１０に搬入する。また、フォークユニット４０は、移載設備１０からカセット９０を搬出し、搬出したカセット９０を搬送台車８６に移載する。
フォークユニット４０は、その上面にカセット９０を載置するための載置面４１ａを有するフォーク４１と、フォーク４１を水平方向に出退移動させるための屈伸式アーム４２と、屈伸式アーム４２を旋回する旋回台４３と、から主に構成されている。
フォーク４１は、カセット９０載置して移載可能な略長方形状の板で構成され、屈伸式アーム４２を屈伸させることによって、搬送台車８６或いは移載設備１０（移載機２０）に対して出退移動を行う。
屈伸式アーム４２は、一対のアームを伸長させることにより、搬送台車８６に対してカセット９０の搬出又は搬入を行うための搬出入位置４５、或いは移載機２０がフォーク４１に対してカセット９０の搬出又は搬入を行うためのカセット搬出入位置１１までフォーク４１を水平移動させる。

【0015】

図１及び図５に示すように、フォーク４１は、載置面４１ａにフローティングユニット５０が設けられている。フローティングユニット５０は、載置面４１ａに載置されるカセット９０を水平方向全方位に移動自在に受け止め支持するためのものである。フローティングユニット５０は、フォーク４１の幅方向（フォーク４１の出退方向と水平に直交する方向）の両端側に、フォーク４１の長手方向（フォークの出退方向）に沿って複数個（図１及び図５では２個づつ合計４個）並べた状態で載置面４１ａ上に配置される。
図３に示すように、フローティングユニット５０は、フォーク４１を構成する枠体の内部に収納されている。フローティングユニット５０は、カセット９０を載置して支持するための支持部５１を備えた可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動自在に受け止め支持される構造を有する。フローティングユニット５０は、物品載置支持用の支持部５１を備えた可動部５２が、複数の転動部材５４を保持具５５にて回転自在に保持する状態で備えた転動式支持体５６により、固定部５３に対して、水平方向の全方位に移動自在に且つ平面視にて回転自在に受け止め支持されている。
転動式支持体５６は、固定部５３に上向き状態で備えさせた平坦状の固定部側接触面形成部材５７ａと、可動部５２に下向き状態で備えさせた平坦状の可動部側接触面形成部材５７ｂとの間に、複数の転動部材５４を位置させた状態で、可動部５２及び固定部５３に対して水平方向の全方位に移動自在に設けられている。
フローティングユニット５０は、可動部５２を固定部５３に対して水平方向に位置固定させる位置固定手段ＫＦと、転動式支持体５６を固定部５３に対して水平方向における基準位置に復帰移動させる支持体復帰手段ＳＦと、を有する。
位置固定手段ＫＦは、電磁石５８ａによる磁気吸引力により可動部５２の固定部に対する水平位置を固定する固定手段であり、固定部５３側の電磁石５８ａと、可動部５２側の強磁性体５８ｂと、を磁力により接着させることにより、可動部５２の平面視での位置を固定させる。
支持体復帰手段ＳＦは、コイルバネ５９の弾性付勢力を利用した弾性付勢式の復帰手段であり、円環状の転動式支持体５６の径方向外方側に周方向に等間隔を空けて複数個の押し操作式のコイルバネ５９を設け、コイルバネ５９の径方向外方側を固定部５３に位置固定状態で設けたバネ受け具５９ａによって受け止め、転動式支持体５６を径方向内方側に向けて押し操作することによって、転動式支持体５６を基準位置に復帰移動させる。

【0016】

図２及び図４に示すように、フォーク４１は、その長手方向の端部（フォーク４１の伸長方向の先端部）に、後述する位置決めガイドローラ２６に篏合するローラ篏合部４１ｂが形成されている。ローラ篏合部４１ｂは、フォーク４１の幅方向に沿って形成される側面視凹状の長尺状の部材であり、凹状部分が下方に向いた状態で形成されている。

【0017】

図１に示すように、フォークユニット４０の両側方には、カセット９０を一時的に保管するためのバッファーステーション９５が設けられている。バッファーステーション９５には、カセット９０を載置するための載置台９６が設けられている。

【0018】

図１及び図２に示すように、移載設備１０は、その下部に、蒸着装置８０のロードポート８３に対してカセット９０を搬出するためのカセット搬出口１４が設けられている。カセット搬出口１４は、装置筐体８１のカセット搬入口８２と連通して設けられている。

【0019】

移載設備１０は、移載設備１０におけるカセット９０の搬送部である移載機２０（「第２移載機」の一例）と、フォークユニット４０のフォーク４１の載置面４１ａに載置されているカセット９０の位置規制を行うプッシャー２５（「位置規制装置」の一例）と、移載機２０の昇降位置に対するフォークユニット４０のフォーク４１の位置決めを行う位置決めガイドローラ２６（「位置決め手段」の一例）と、を備える。

【0020】

図２に示すように、移載機２０は、フォークユニット４０のフォーク４１に対してカセット９０を搬出又は搬入し、搬出又は搬入するカセット９０をフォーク４１と蒸着装置８０のロードポート８３との間で昇降移動させるものである。すなわち、移載設備１０においては、フォークユニット４０により搬送されるカセット９０を、荷受台等に一旦載置することなく、移載機２０が直接フォークユニット４０から搬出するとともに、蒸着装置８０のロードポート８３から搬出されるカセット９０を、荷受台等に一旦載置することなく、移載機２０が直接フォークユニット４０に対して搬入する。
移載機２０は、蒸着装置８０のロードポート８３の上方に設けられ、平面視において蒸着装置８０のロードポート８３と重なる位置に配置される。移載機２０は、カセット搬出入位置１１まで搬送されたカセット９０をフォーク４１から搬出し、又は、カセット搬出入位置１１まで移動したフォーク４１に対してカセット９０を搬入する。移載機２０は、蒸着装置８０の上方において、カセット９０の上部を係止して鉛直方向に昇降移動させることによりカセット９０を搬送する。移載機２０は、カセット９０を昇降移動させるための昇降機構２１と、カセット９０の上部を係止するための係止機構２４と、から主に構成されている。

【0021】

昇降機構２１は、係止機構２４を支持枠２２Ａにより吊り下げた状態で支持する。昇降機構２１は、係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる第１昇降部２２と、第１昇降部２２及び係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる第２昇降部２３と、から構成されている。すなわち、昇降機構２１は、二段階の昇降移動によりカセット９０を昇降させる。
第１昇降部２２は、係止機構２４を吊下げて支持する支持枠２２Ａと、支持枠２２Ａを昇降させるためのボールねじ２２Ｂと、ボールねじ２２Ｂのねじ軸２２ｄを回動する第１モータ２２Ｃと、から主に構成されている。
支持枠２２Ａは、正面視逆Ｕ字状に形成される枠材であり、その両端に設けられる一対の脚部２２ａにおいてねじ軸２２ｄを回動可能に支持し、一対の脚部２２ａに架設される支持部２２ｂにおいて係止機構２４を吊下げた状態で支持する。ボールねじ２２Ｂは、ねじ軸２２ｄが支持枠２２Ａに支持されるとともに、ナット２２ｅが第２昇降部２３に支持される。第１モータ２２Ｃは、支持枠２２Ａの両端上部に設けられる。
第１昇降部２２は、第１モータ２２Ｃの駆動によりねじ軸２２ｄを回動させることで、第２昇降部２３に支持されるナット２２ｅに対してねじ軸２２ｄを昇降させる。これにより、ねじ軸２２ｄを回動可能に支持する支持枠２２Ａが昇降し、その昇降により係止機構２４（カセット９０）が昇降移動する。第１昇降部２２は、ねじ軸２２ｄの回動により係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させることから、蒸着装置８０のロードポート８３に対するカセット９０の細かな位置合わせを容易に行うことができる。
第２昇降部２３は、ボールねじ２２Ｂのナット２２ｅを昇降可能にガイドするガイド体２３Ａと、ナット２２ｅを昇降移動させる駆動ベルト２３Ｂと、駆動ベルト２３Ｂを回動させるための第２モータ２３Ｃと、から主に構成されている。
ガイド体２３Ａは、一対の長尺状の部材により構成される。駆動ベルト２３Ｂは、ガイド体２３Ａの上端部と下端部との間に回動可能に架け渡される。第２モータ２３Ｃはガイド体２３Ａの下端部に設けられる。
第２昇降部２３は、第２モータ２３Ｃを駆動させて駆動ベルト２３Ｂを回動させることによりボールねじ２２Ｂのナット２２ｅを昇降移動させる。これにより、ナット２２ｅを支持する支持枠２２Ａ（ねじ軸２２ｄ）が昇降し、その昇降により係止機構２４（カセット９０）が昇降移動する。第２昇降部２３は、鉛直方向に延設される長尺状の一対のガイド体２３Ａの間でガイド枠２３Ａを昇降移動させることで、蒸着装置８０のロードポート８３に対するカセット９０の大まかな位置合わせを行う。
このように、昇降機構２１は、第２昇降部２３によりカセット９０を蒸着装置８０のロードポート８３に対して大まかな位置まで下降させ、続いて第１昇降部２２によりカセット９０を蒸着装置８０のロードポート８３に対して接近する位置まで下降させることで、蒸着装置８０のロードポート８３に対するカセット９０の位置合わせを行うことができる。

【0022】

図１及び図２に示すように、係止機構２４は、第１昇降部２２の支持枠２２Ａ（支持部２２ｂ）により支持されるとともに、カセット９０の上部のフランジ部９２を係止する。係止機構２４は、カセット９０の係止時にカセット９０と対向する側にカセット９０のフランジ部９２を係止するための係止部２４Ａを有する。係止部２４Ａは、カセット９０のフランジ部９２に対応する位置に複数（図１においては４個）設けられている。係止部２４Ａは、フランジ部９２に係止可能な鉤状の部材により形成され、当該鉤状の部材が所定方向に旋回可能に構成されている。係止機構２４は、係止部２４Ａがフランジ部９２を係止することによりカセット９０を吊下げた状態で支持する。

【0023】

図１及び図７に示すように、プッシャー２５は、フォークユニット４０のフォーク４１の載置面４１ａに載置されているカセット９０の位置規制を行うものである。プッシャー２５は、フォーク４１に載置されるカセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接することで、フォーク４１上でのカセット９０の位置を規制する。プッシャー２５は、カセット搬出入位置１１まで搬送されたカセット９０を、対となるプッシャー２５とともに挟んでなるカセット９０の対角位置近傍に配置される。プッシャー２５は、プッシャー本体２５Ａと、プッシャー本体２５Ａに支持されて水平方向に出退移動可能なアーム部２５Ｂと、を備える。アーム部２５Ｂはカセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接可能に構成されている。プッシャー２５は、アーム部２５Ｂを、対となるプッシャー２５のアーム部２５Ｂとともに、フォーク４１上のカセット９０の対角位置から挟み込むように、カセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接させることで、フォーク４１上のカセット９０の位置を、所定の位置に規制する。ここで、所定の位置とは、移載機２０がフォーク４１上のカセット９０の姿勢を保持した状態で係止して昇降可能な位置（カセット搬出入位置１１）である。アーム部２５Ｂは、移載機２０がフォーク４１に対してカセット９０を搬出又は搬入する際には、カセット９０に向かって伸長移動を行うことによりカセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接する。アーム部２５Ｂは、移載機２０によってカセット９０が昇降する際には、カセット９０から離れるように収縮移動を行うことによりカセット９０の昇降経路を避ける方向に移動する。

【0024】

図２及び図７に示すように、位置決めガイドローラ２６は、フォークユニット４０のフォーク４１の出退移動方向に対して水平方向に直交して設けられる長尺状のローラであり、フォーク４１がカセット搬出入位置１１まで移動した際にフォーク４１のローラ篏合部４１ｂが篏合可能な位置に設けられる。位置決めガイドローラ２６に、カセット搬出入位置１１まで移動したフォーク４１のローラ篏合部４１ｂが篏合することで、移載機２０がフォーク４１に対してカセット９０の搬出又は搬入を行う位置（カセット搬出入位置１１）に、フォーク４１を位置決めすることができる。位置決めガイドローラ２６は、ローラ篏合部４１ｂの凹状部分の形状に合わせたローラ径により構成されている。位置決めガイドローラ２６は、回動可能に支持される回動軸を介して回動する。位置決めガイドローラ２６が回動軸を介して回動可能に構成されることで、位置決めガイドローラ２６に向かって移動するローラ篏合部４１ｂが位置決めガイドローラ２６に引き込まれ篏合し易くなる。

【0025】

次に、移載設備１０におけるカセット９０の移載方法について説明する。
図４に示すように、搬送台車８６によりカセット９０が所定の位置まで搬送されると、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１を搬送台車８６に対して水平移動させることにより搬送台車８６上のカセット９０をフォーク４１上に載置して支持する。カセット９０がフォーク４１上に載置されると、フローティングユニット５０が作動し（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動不能となり）、カセット９０がフォーク４１上で移動不能な状態となる。
図５及び図６に示すように、フローティングユニット５０が作動すると、フォークユニット４０は、カセット９０をフォーク４１に載置した状態で屈伸式アーム４２を屈曲させるとともにフォーク４１を旋回させる。さらに、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１を移載設備１０のカセット搬出入位置１１まで水平移動させる。これにより、カセット９０がカセット搬出入位置１１まで搬送される。

【0026】

図６及び図７に示すように、カセット９０がカセット搬出入位置１１まで搬送されると、フォーク４１が下降するとともに、フォーク４１のローラ篏合部４１ｂが位置決めガイドローラ２６に篏合される。これにより、フォーク４１がカセット搬出入位置１１に位置決めされる。フォーク４１がカセット搬出入位置１１に位置決めされると、フローティングユニット５０の作動が解除され（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動可能となり）、カセット９０がフォーク４１上で移動可能な状態となる。続いて、プッシャー２５のアーム部２５Ｂがカセット９０に向かって伸長移動し、カセット９０の角部９０Ａに当接する。これにより、カセット９０の一方の対角が一対のアーム部２５Ｂにより挟持された状態となる。
プッシャー２５は、一対のアーム部２５Ｂを互いに伸縮移動させることにより、カセット９０を四方に移動させる。そして、プッシャー２５は、カセット９０を、移載機２０の係止部２４Ａ（係止機構２４）がカセット９０のフランジ部９２を係止可能な位置（カセット搬出入位置１１）まで移動させる。すなわち、プッシャー２５は、カセット９０を四方に移動させることで移載機２０の昇降位置に対するカセット９０の位置決めを行う。プッシャー２５によるカセット９０の位置決めが完了すると、フローティングユニット５０が作動し（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動不能となり）、カセット９０がフォーク４１上で移動不能な状態となる。これにより、カセット９０がカセット搬出入位置１１で保持される。

【0027】

カセット９０がカセット搬出入位置１１で保持されると、移載機２０の第２昇降部２３が駆動し、移載機２０の係止機構２４がカセット９０の上方位置まで下降する。そして、係止機構２４の係止部２４Ａが所定方向に旋回することで、カセット９０のフランジ部９２が係止部２４Ａにより係止される。フランジ部９２が係止部２４Ａに係止されると、フローティングユニット５０の作動が解除される（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動可能となる）。これにより、カセット９０が移載機２０により昇降移動可能な状態となる。
フローティングユニット５０の作動が解除されると、フォークユニット４０は屈伸式アーム４２を屈曲させてフォーク４１をカセット搬出入位置１１から離れた位置まで水平移動させる。また、プッシャー２５は、アーム部２５Ｂをカセット９０から離れる方向（カセット９０の昇降経路を避ける方向）に収縮移動させる。
フォーク４１及びアーム部２５Ｂがカセット搬出入位置１１から離れた位置まで移動すると、移載機２０の第２昇降部２３が駆動し、カセット９０を係止した係止機構２４が蒸着装置８０のロードポート８３に向けて下降する。具体的には、第２モータ２３Ｃが駆動することで駆動ベルト２３Ｂが作動し、駆動ベルト２３Ｂが作動することでボールねじ２２Ｂのナット２２ｅがガイド体２３Ａに沿って下降する。そして、ナット２２ｅを支持する支持枠２２Ａ（ねじ軸２２ｄ）が下降し、その下降により係止機構２４（カセット９０）が所定位置まで下降する。
図８に示すように、係止機構２４が所定位置まで下降すると、第２昇降部２３の駆動が停止し、第１昇降部２２が駆動する。これにより、係止機構２４に係止されるカセット９０が蒸着装置８０のロードポート８３に移載される。具体的には、第２モータ２３Ｃの駆動が停止することで、第１モータ２２Ｃが駆動してボールねじ２２Ｂのねじ軸２２ｄが回動する。これにより、ねじ軸２２ｄを支持する支持枠２２Ａが下降し、その昇降により係止機構２４（カセット９０）が下降する。

【0028】

一方、蒸着装置８０において基板９１に対する処理が完了すると、係止機構２４の係止部２４Ａがカセット９０のフランジ部９２を係止する。そして、第１モータ２２Ｃが駆動してボールねじ２２Ｂのねじ軸２２ｄが回動する。これにより、支持枠２２Ａが上昇し、その上昇に合わせて係止機構２４が上昇してカセット９０がロードポート８３から搬出される。係止機構２４が所定位置まで上昇すると、第１モータ２２Ｃの駆動が停止し、第２モータ２３Ｃが駆動する。これにより、駆動ベルト２３Ｂが作動し、駆動ベルト２３Ｂが作動することでボールねじ２２Ｂのナット２２ｅがガイド体２３Ａに沿って上昇する。そして、ナット２２ｅを支持する支持枠２２Ａ（ねじ軸２２ｄ）が上昇し、その上昇により係止機構２４（カセット９０）が上昇する。
係止機構２４に係止されるカセット９０がカセット搬出入位置１１まで上昇すると、フォークユニット４０はフォーク４１をカセット搬出入位置１１まで水平移動させる。この時、ローラ篏合部４１ｂが位置決めガイドローラ２６に篏合される。

【0029】

フォーク４１がカセット搬出入位置１１まで水平移動すると、第２モータ２３Ｃが駆動し係止機構２４が下降する。これにより、カセット９０が下降してフォーク４１に載置される。カセット９０がフォーク４１に載置されると、係止機構２４の係止部２４Ａが所定方向に旋回することで、係止部２４Ａによるフランジ部９２への係止が解除される。係止部２４Ａによるフランジ部９２への係止が解除されると、フォークユニット４０は、カセット９０を載置した状態でフォーク４１を上昇させてローラ篏合部４１ｂと位置決めガイドローラ２６との篏合を解除し、屈伸式アーム４２を屈折させるとともに、カセット９０を載置したフォーク４１を旋回させる。さらに、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１を搬送台車８６まで水平移動させ、フォーク４１上のカセット９０を搬送台車８６に移載する。

【0030】

以上のように、本発明に係る移載設備１０は、フォークユニット４０と移載機２０との間のカセット９０の移載を荷受台を介さずに直接行うことができるため、移載途中にカセット９０を荷受台に載置する動作及び移載機２０によるカセット９０の昇降移動時にカセット９０を旋回させる等の動作が不要となる。そのため、フォークユニット４０と移載機２０との間のカセット９０の移載を効率良く行うことができる。また、荷受台が不要となるため、移載設備１０が設備筐体で覆われたものであってもカセット９０の移載を行うことができる。

【0031】

なお、本実施の形態においては、移載設備１０において移載される物品はカセット９０に限定されるものではなく、フォークユニット４０と移載機２０との間で移載を行うことが可能な物品であれば構わない。
本実施の形態においては、移載機２０の係止部２４Ａがカセット９０の上部の鉤状のフランジ部９２を係止した状態で、移載機２０がカセット９０を昇降移動させているが、これに限定されるものではなく、例えば、移載機２０がカセット９０の側面を把持した状態でカセット９０を昇降移動させても構わない。
本実施の形態においては、移載機２０が第１昇降部２２と第２昇降部２３とによる二段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させているが、これに限定されるものではなく、第１昇降部２２又は第２昇降部２３のいずれか一方のみ、すなわち、一段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させても構わない。また、第１昇降部２２は、ボールねじ２２Ｂを用いてカセット９０の昇降を行うが、これに限定されるものではなく、係止機構２４に取り付けた昇降ベルトを巻き取り及び巻き出すことでカセット９０の昇降を行っても構わない。
本実施の形態においては、フローティングユニット５０が、フォーク４１の幅方向の両端部に、フォーク４１の長手方向に沿って複数個並べた状態で載置面４１ａ上に配置されているが、カセット９０をフォーク４１上で充分に支持することが可能であれば、フローティングユニット５０の配置位置、個数は限定されない。
本実施の形態においては、支持体復帰手段ＳＦを弾性付勢式の復帰手段により構成しているが、磁石式の復帰手段により構成しても構わない。
本実施の形態においては、プッシャー２５は、カセット９０の角部９０Ａに当接することでカセット９０の位置を規制しているが、これに限定されるものではなく、カセット９０の側面であって、当接時にカセット９０の位置を規制可能であれば、カセット９０の側面の中央部を当接するように構成しても構わない。また、２体のプッシャー２５によりカセット９０の位置規制を行っているが、これに限定されるものではく、１体、或いは３体以上のプッシャー２５により位置規制を行っても構わない。
本実施の形態においては、移載機２０の昇降位置に対するフォークユニット４０のフォーク４１の位置決めをローラである位置決めガイドローラ２６により行っているが、これに限定されるものではなく、フォーク４１をカセット搬出入位置１１で保持可能な構成であれば、例えば、フォーク４１のローラ篏合部４１ｂが篏合可能な凸状の部材により構成しても構わない。

【符号の説明】

【0032】

１０ 移載設備
２０ 移載機（第２移載機）
２５ プッシャー（位置規制装置）
４０ フォークユニット（第１移載機）
４１ａ 載置面
５０ フローティングユニット
５１ 支持部
５２ 可動部
５３ 固定部
９０ カセット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】