特許 6798834 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6798834

(24)【登録日】2020年11月24日

(45)【発行日】2020年12月9日

(54)【発明の名称】検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20201130BHJP

【ＦＩ】

   G01R31/28 H

   G01R31/28 D

【請求項の数】10

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2016-176699(P2016-176699)

(22)【出願日】2016年9月9日

(65)【公開番号】特開2018-40762(P2018-40762A)

(43)【公開日】2018年3月15日

【審査請求日】2019年8月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227205

【氏名又は名称】ＮＥＣプラットフォームズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109313

【弁理士】

【氏名又は名称】机 昌彦

(74)【代理人】

【識別番号】100124154

【弁理士】

【氏名又は名称】下坂 直樹

(72)【発明者】

【氏名】尾崎 岳

【審査官】 永井 皓喜

(56)【参考文献】

【文献】 特開平９−８６３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平６−１８６２９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２７０９０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−７３１６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−５８０４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２３７１６４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第１の電圧を出力する降圧回路と、
前記被検査信号の電圧を昇圧した第２の電圧を出力する昇圧回路と、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記降圧回路へ入力させ、
前記降圧回路から出力された前記第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記昇圧回路へ入力させ、
前記昇圧回路から出力された前記第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査手段と
を備えた検査装置。

【請求項2】

前記検査手段は、
特定のインタフェース規格に対応する前記下限値と前記上限値との複数の組から、特定の前記下限値又は特定の前記上限値を選択し、
選択した前記特定の前記下限値又は前記特定の前記上限値を用いて前記検査を行う
請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記降圧回路は、前記被検査信号の電圧を分圧した前記第１の電圧を出力する分圧抵抗であり、
前記昇圧回路は、前記被検査信号の電圧と、前記低値側の値として予想される前記被検査信号の電圧の上限より高い定電圧との間の電圧を分圧した前記第２の電圧を出力する分圧抵抗である
請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記定電圧は、特定のインタフェース規格に対応する電源電圧である
請求項３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記期待値、前記下限値、及び前記上限値は、前記検査装置に接続されたコンピュータにより選択され、
前記コンピュータは前記検査装置から検査結果を受け取る
請求項１乃至４のいずれかに記載の検査装置。

【請求項6】

複数の、前記降圧回路と前記昇圧回路と前記検査手段との組と、
検査対象装置に対して固定され、前記検査対象装置の異なる位置に接触する複数の電極を介して、前記検査対象装置から前記被検査信号を前記昇圧回路と前記検査手段との組毎に入力する検査用基板と
を更に備える請求項１乃至５のいずれかに記載の検査装置。

【請求項7】

前記検査対象装置は、デバイス間インタフェースを介して接続された複数のデバイスを備え、
前記所定の位置は、前記デバイス間インタフェースに含まれる接点の位置である
請求項６に記載の検査装置。

【請求項8】

高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第１の電圧を出力する降圧回路と、
前記被検査信号の電圧を昇圧した第２の電圧を出力する昇圧回路と、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記降圧回路へ入力させ、
前記降圧回路から出力された前記第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記昇圧回路へ入力させ、
前記昇圧回路から出力された前記第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査手段と
を含む検査装置と、
前記検査装置を制御し、
前記検査装置による前記検査の結果を収集するコンピュータと
を備える検査システム。

【請求項9】

高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を検査する検査方法であって、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を降圧した第１の電圧を生成し、前記第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を昇圧した第２の電圧を生成し、前記第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査方法。

【請求項10】

高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を検査する検査プログラムであって、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を降圧した第１の電圧を生成し、前記第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を昇圧した第２の電圧を生成し、前記第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査処理
をコンピュータに実行させる検査プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、２値信号を表す電圧を検査する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

検査対象基板上に実装されたデバイス間のインタフェース（デバイス間インタフェース）における電圧の検査では、検査対象基板上の接点に、手作業でテスターやオシロスコープ等の端子を接触させること（プロービング）により検査が行われることが多い。尚、接点は、デバイスに接続された、端子、コネクタ、導体パターン、ビアホール（スルーホール）、リード等である。又、プロービングによる検査では、検査対象基板の表面及び裏面の両方にテスター等の端子を接触させることが多い。そのため、そのような検査には、検査対象基板を固定すると共に電源を供給する冶具が必要であることが多い。

【0003】

デバイスにおける多ピン化の進展に伴い、プロービングに要する時間が増大してきた。プロービングに要する時間を短縮するために、プロービングを自動化することが考えられる。しかしながら、プロービングの自動化は、設備（装置、ソフトウェア、検査対象基板の種類毎に必要な設定情報等）に多大なコストを必要とする。又、プロービングを自動化したとしても、プロービングは機械的な移動を伴って逐次行われるため、時間の短縮には限界がある。

【0004】

そこで、検査のために検査用基板が用いられることがある。検査対象基板上の複数の接点に、それぞれが同時に接触する電極を有する検査用基板を用いることにより、プロービングを行うことなく、デバイス間インタフェースにおける電圧の検査を行うことができる。このような検査用基板を用いれば、テスター等の端子を移動させる必要がないため、検査に要する時間が短縮される。特に、検査対象基板上の接点に接触させる検査用基板上の端子の配置を規格化することにより、１つの検査用基板を用いて複数種類の検査対象基板における電圧の検査を行うことができる。

【0005】

検査用基板を用いた電圧検査技術の一例が、特許文献１に開示されている。特許文献１のテスト装置は、測定部と、判定部とを含む。測定部は、被測定装置が装着された装着テストボードを介して被測定装置に電流を印加し、被測定装置の所定部位の電圧を測定する。判定部は、測定部による測定結果を取得し、測定結果を規格値と比較することにより、被測定装置の合否を判定する。判定部は、合否の判定に際して、測定結果に影響を与える、装着テストボードに固有な固有抵抗値を取得し、測定結果における固有抵抗値の影響を除去する。

【0006】

上記構成の結果、特許文献１のテスト装置は、被測定装置が装着テストボードに装着されて行われる電圧テストにおいて、装着テストボードが有する固有抵抗値のばらつきに影響されること無く、正確に合否判定を行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１１−３８９２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

通常、電圧検査では、規格値は所定の範囲として与えられる。そして、測定値が所定の範囲内に収まれば合格と判定され、測定値が所定の範囲内に収まらなければ不合格と判定される。ところが、電圧検査において測定値が所定の範囲内に収まったとしても、被測定装置の動作環境の変化や被測定装置の特性の経時変化等に起因して、電圧検査後に測定値が所定の範囲内に収まらなくなる可能性がある。そこで、電圧検査後に測定値が所定の範囲内に収まらなくなることを防止するために、動作マージンが付与された電圧検査を行うことが望ましい。しかしながら、特許文献１のテスト装置では、電圧テストにおける動作マージンが考慮されていない。従って、特許文献１のテスト装置には、動作マージンを付与した上で電圧テストを行うことができないという問題がある。

【0009】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、２値信号の電圧検査において、動作マージンが付与された検査を行うことを主たる目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様において、検査装置は、高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第１の電圧を出力する降圧回路と、被検査信号の電圧を昇圧した第２の電圧を出力する昇圧回路と、被検査信号が高値側の値又は低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が高値側の値を示す場合に、被検査信号を降圧回路へ入力させ、降圧回路から出力された第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、期待値が低値側の値を示す場合に、被検査信号を昇圧回路へ入力させ、昇圧回路から出力された第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う検査手段とを備える。

【0011】

本発明の一態様において、検査システムは、高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第１の電圧を出力する降圧回路と、被検査信号の電圧を昇圧した第２の電圧を出力する昇圧回路と、被検査信号が高値側の値又は低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が高値側の値を示す場合に、被検査信号を降圧回路へ入力させ、降圧回路から出力された第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、期待値が低値側の値を示す場合に、被検査信号を昇圧回路へ入力させ、昇圧回路から出力された第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う検査手段とを含む検査装置と、検査装置を制御し、検査装置による検査の結果を収集するコンピュータとを備える。

【0012】

本発明の一態様において、検査方法は、高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第１の電圧を出力する降圧回路と、被検査信号の電圧を昇圧した第２の電圧を出力する昇圧回路とを備えた検査装置において、被検査信号が高値側の値又は低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が高値側の値を示す場合に、被検査信号を降圧回路へ入力させ、降圧回路から出力された第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、期待値が低値側の値を示す場合に、被検査信号を昇圧回路へ入力させ、昇圧回路から出力された第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う。

【0013】

本発明の一態様において、検査プログラム又は、係る検査プログラムが格納された記録媒体は、高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第１の電圧を出力する降圧回路と、被検査信号の電圧を昇圧した第２の電圧を出力する昇圧回路とを備えた検査装置において、被検査信号が高値側の値又は低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が高値側の値を示す場合に、被検査信号を降圧回路へ入力させ、降圧回路から出力された第１の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、期待値が低値側の値を示す場合に、被検査信号を昇圧回路へ入力させ、昇圧回路から出力された第２の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う検査処理とをコンピュータに実行させる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、２値信号の電圧検査において、動作マージンが付与された検査を行うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の第１の実施形態における検査システムの構成の一例を示すブロック図である。

【図2】本発明の第１の実施形態における検査装置の構成の一例を示すブロック図である。

【図3】２値信号を利用するデバイス間インタフェース規格の一例を示す表である。

【図4】本発明の第１の実施形態における検査システムの動作を示すフローチャートである。

【図5】本発明の第１の実施形態における検査システムの動作例を説明するための表である。

【図6】本発明の第２の実施形態における検査システムの構成の一例を示すブロック図である。

【図7】本発明の各実施形態における検査装置を実現可能なハードウェア構成の一例を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。尚、すべての図面において、同等な構成要素には同じ符号を付し、適宜説明を省略する。
（第１の実施形態）
本実施形態における構成について説明する。

【0017】

図１は、本発明の第１の実施形態における検査システムの構成の一例を示すブロック図である。

【0018】

検査システム１００は、検査対象基板１１０と、検査装置１４０とを含む。検査対象基板１１０は、電圧を検査する対象の回路基板である。検査装置１４０は、検査対象基板１１０における電圧を検査する。検査システム１００は、ＰＣ（Personal Computer）１５０を更に含んでもよい。

【0019】

検査対象基板１１０は、デバイス１２０とデバイス１３０とを含む。デバイス１２０とデバイス１３０とは、デバイス間インタフェース１６０を介して接続される。デバイス間インタフェース１６０は、電圧が検査される１つ以上の接点（端子、コネクタ、導体パターン、ビアホール、リード等）を含む。デバイス間インタフェース１６０の接点における信号（以下、「被検査信号」と称す）は、高値側の値（以下、「ＨＩＧＨ」で表す）又は低値側の値（以下、「ＬＯＷ」で表す）の何れかの値を電圧で表す２値信号である。

【0020】

検査装置１４０は、デバイス間インタフェース１６０の接点において、検査用に分岐された被検査信号を入力し、被検査信号の電圧を検査する。

【0021】

ＰＣ１５０は、情報処理装置である。ＰＣ１５０は、検査装置１４０に接続される。ＰＣ１５０は、検査装置１４０を制御する。又、ＰＣ１５０は、検査装置１４０による検査結果を収集してもよい。又、ＰＣ１５０は、検査装置１４０の機能の一部をソフトウェア等を用いて代替してもよい。

【0022】

図２は、本発明の第１の実施形態における検査装置の構成の一例を示すブロック図である。

【0023】

検査装置１４０は、スイッチ２１０と、降圧回路２６０と、昇圧回路２７０と、検査部２３０とを含む。尚、検査装置１４０は、制御部２５０を更に含んでもよい。又、デバイス間インタフェース１６０が検査対象である複数の接点を含む場合には、検査装置１４０は、スイッチ２１０と降圧回路２６０と昇圧回路２７０と検査部２３０との組を複数含んでもよい。或いは、デバイス間インタフェース１６０が検査対象である複数の接点を含む場合には、検査装置１４０は、複数系統の信号を同時に処理できる、スイッチ２１０、降圧回路２６０、昇圧回路２７０、又は検査部２３０を含んでもよい。

【0024】

スイッチ２１０は、被検査信号の電圧を降圧回路２６０又は昇圧回路２７０の何れかに出力する。スイッチ２１０は、検査部２３０により出力先を制御される。スイッチ２１０は、例えば、バススイッチである。

【0025】

降圧回路２６０は、ＨＩＧＨを示す被検査信号の電圧を降圧する。降圧される電圧の幅（降圧幅）は、検査において「下限値」（後述）に加算するマージンに応じて決定される。例えば、ＨＩＧＨを示す被検査信号の電圧として実際に予想される電圧の最小値と下限値との間に、下限値の５％のマージンが必要であれば、降圧幅を約５％にすればよい。即ち、検査装置１４０は、下限値に降圧幅が加算された値を実効的な下限値として、ＨＩＧＨを示す被検査信号の電圧を検査する。降圧回路２６０は、例えば、入力電圧を分圧して出力する分圧抵抗である。

【0026】

昇圧回路２７０は、ＬＯＷを示す被検査信号の電圧を昇圧する。昇圧される電圧の幅（昇圧幅）は、検査において「上限値」（後述）から減算するマージンに応じて決定される。例えば、ＬＯＷを示す被検査信号の電圧として実際に予想される電圧の最大値と上限値との間に、上限値の５％のマージンが必要であれば、昇圧幅を約５％にすればよい。即ち、検査装置１４０は、上限値から昇圧幅が減算された値を実効的な上限値として、ＬＯＷを示す被検査信号の電圧を検査する。昇圧回路２７０は、例えば、入力電圧と電源電圧との間の電圧を分圧して出力する分圧抵抗、又は電圧増幅器である。

【0027】

検査部２３０は、検査条件を予め保持する。検査条件は、電源電圧、期待値、下限値、及び上限値を含む。電源電圧は、デバイス１２０及びデバイス１３０の電源電圧である。期待値は、被検査信号がＨＩＧＨ又はＬＯＷの何れを示すかを表す値である。下限値は、ＨＩＧＨを表す被検査信号として許容される電圧の下限である。上限値は、ＬＯＷを表す被検査信号として許容される電圧の上限である。

【0028】

検査部２３０は、期待値がＨＩＧＨならば、スイッチ２１０の出力先を降圧回路２６０に決定し、降圧回路２６０により出力された電圧が下限値以上であるか否かを判定する。或いは、検査部２３０は、期待値がＬＯＷならば、スイッチ２１０の出力先を昇圧回路２７０に決定し、昇圧回路２７０により出力された電圧が上限値以下であるか否かを判定する。尚、降圧回路２６０により出力された電圧が下限値以上であれば検査結果は正常（以下、「ＯＫ」で示す）で、そうでなければ検査結果は異常（以下、「ＮＧ」で示す）である。又、昇圧回路２７０により出力された電圧が上限値以下であれば検査結果はＯＫで、そうでなければ検査結果はＮＧである。

【0029】

制御部２５０は、ＰＣ１５０との通信内容に応じて、検査部２３０を制御する。具体的には、例えば、制御部２５０は、ＰＣ１５０からの指示に基づいて、検査部２３０における検査条件の設定を行う。又、例えば、制御部２５０は、検査部２３０による検査結果をＰＣ１５０へ送信する。又、例えば、制御部２５０は、直接又は検査部２３０を介して、スイッチ２１０の出力先を制御してもよい。

【0030】

検査部２３０又は制御部２５０は、検査装置１４０に含まれる、ＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等を用いて実現されてもよい。又、検査部２３０又は制御部２５０の機能の一部は、ＰＣ１５０のソフトウェア等として実現されてもよい。

【0031】

本実施形態における降圧回路２６０及び昇圧回路２７０の具体例について説明する。尚、以下の説明において、分圧抵抗の抵抗値は一例であり、本実施形態における分圧抵抗の抵抗値はこれらに限定されない。

【0032】

降圧回路２６０は、被検査信号の電圧を分圧する。降圧回路２６０は、入力信号の電圧を１０ｋΩの抵抗（信号側）と３３ｋΩの抵抗（接地（ＧＮＤ）側）とにより分圧した電圧を出力する。その結果、降圧回路２６０は、ＨＩＧＨを示す被検査信号の電圧を降圧する。

【0033】

昇圧回路２７０は、電源電圧と入力信号の電圧との間の電圧を１２ｋΩの抵抗（信号側）と１０ｋΩの抵抗（電源電圧側）とにより分圧した電圧を出力する。その結果、昇圧回路２７０は、ＬＯＷを示す被検査信号の電圧を昇圧する。

【0034】

図３は、２値信号を利用するデバイス間インタフェース規格の一例を示す表である。図３において、各規格は、その規格における電源電圧（１．５Ｖ、１．８Ｖ、２．５Ｖ、３．３Ｖ）により示される。ＬＯＷを表す典型的な電圧は、規格によらず０Ｖである。ＬＯＷを表す電圧の最小値は“ＶＩＬ”の「最小」の列に示され、ＬＯＷを表す電圧の最大値は“ＶＩＬ”の「最大」の列に示される。又、ＨＩＧＨを表す典型的な電圧は、その規格における電源電圧である。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は“ＶＩＨ”の「最小」の列に示され、ＨＩＧＨを表す電圧の最大値は“ＶＩＨ”の「最大」の列に示される。

【0035】

説明を簡単にするために、図３におけるＨＩＧＨを表す電圧の最小値のみに注目して単純化した例について説明する。即ち、ＨＩＧＨを表す電圧の最小値より低い電圧はＬＯＷと判定され、ＨＩＧＨを表す電圧の最小値以上の電圧はＨＩＧＨと判定されるものとする。

【0036】

規格が３．３Ｖである場合を例に説明する。

【0037】

例えば、期待値がＨＩＧＨで、被検査信号の電圧が３．３Ｖである場合には、降圧回路２６０は、約７６％まで降圧した約２．５Ｖの電圧を出力する。下限値（ＨＩＧＨを表す電圧の最小値）は２．０Ｖであるため、検査部２３０は、電圧がＨＩＧＨであると判定する。

【0038】

一方、例えば、期待値がＬＯＷで、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には、昇圧回路２７０は、約１．８Ｖの電圧を出力する。上限値（ＨＩＧＨを表す電圧の最小値）は２．０Ｖであるため、検査部２３０は、電圧がＬＯＷであると判定する。

【0039】

本実施形態における動作について説明する。

【0040】

図４は、本発明の第１の実施形態における検査システムの動作を示すフローチャートである。尚、図４に示すフローチャート及び以下の説明は一例であり、適宜求める処理に応じて、処理順等を入れ替えたり、処理を戻したり、又は処理を繰り返したりしてもよい。

【0041】

まず、検査対象基板１１０が検査装置１４０に接続された状態において、検査装置１４０が起動される（ステップＳ１）。尚、検査装置１４０は、検査条件を予め保持しているものとする。

【0042】

検査部２３０は、期待値がＨＩＧＨならばスイッチ２１０の出力先を降圧回路２６０へ切り替え、期待値がＬＯＷならばスイッチ２１０の出力先を昇圧回路２７０へ切り替える（ステップＳ２）。尚、昇圧回路２７０が上述した分圧抵抗である場合には、昇圧回路２７０における電源電圧は、デバイス間インタフェース規格に応じて切り替えられるものとする。

【0043】

検査部２３０は、期待値がＨＩＧＨであり且つ降圧回路２６０により出力された電圧が下限値以上であるか、又は期待値がＬＯＷであり且つ昇圧回路２７０により出力された電圧が上限値以下であるならば検査結果はＯＫであると判定する。検査部２３０は、そうでなければ検査結果はＮＧであると判定する（ステップＳ３）。

【0044】

尚、ステップＳ３の判定を所定の回数だけ繰り返して、１回でも検査結果がＮＧであれば最終的な検査結果がＮＧであると判定し、全ての検査結果がＯＫであれば最終的な検査結果がＯＫであると判定してもよい。これにより、検査結果の確実性を向上させることができる。

【0045】

図５は、本発明の第１の実施形態における検査システムの動作例を説明するための表である。具体的には、図５は、図３に示した各デバイス間インタフェース規格における、検査システム１００による検査結果の一例を示す。図５の表において、第１列はデバイス間インタフェース規格を、第２列は期待値を、第３列はデバイスの出力電圧を、第４列はスイッチ２１０の出力先を、第５列は降圧回路２６０又は昇圧回路２７０の出力電圧を、第６列は下限値を、第７列は検査部による被検査信号の電圧の判定結果を、第８列は検査部による検査結果を示す。

【0046】

尚、説明を簡単にするために、図３におけるＨＩＧＨを表す電圧の最小値のみに注目して単純化した例について説明する。即ち、ＨＩＧＨを表す電圧の最小値より低い電圧はＬＯＷと判定され、ＨＩＧＨを表す電圧の最小値以上の電圧はＨＩＧＨと判定されるものとする。又、降圧回路２６０及び昇圧回路２７０は、上述した分圧抵抗であるものとする。

【0047】

まず、規格が３．３Ｖである場合について説明する。

【0048】

降圧回路２６０は、被検査信号の電圧を１０ｋΩの抵抗（信号側）と３３ｋΩの抵抗（接地（ＧＮＤ）側）とにより分圧する。そのため、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が３．３Ｖである場合には約２．５Ｖの電圧を出力する。又、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が２．５Ｖである場合には約１．９Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は２．０Ｖであるため、被検査信号の電圧が３．３Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が２．５Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0049】

昇圧回路２７０は、電源電圧３．３Ｖと被検査信号の電圧との間の電圧を１０ｋΩの抵抗（電源電圧側）と１２ｋΩの抵抗（信号側）とにより分圧する。そのため、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には約１．８Ｖの電圧を出力する。又、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．５Ｖである場合には約２．０Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は２．０Ｖであるため、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が０．５Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0050】

次に、規格が２．５Ｖである場合について説明する。

【0051】

降圧回路２６０は、被検査信号の電圧を１０ｋΩの抵抗（信号側）と３３ｋΩの抵抗（接地側）とにより分圧する。そのため、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が２．５Ｖである場合には約１．９Ｖの電圧を出力する。又、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が２．０Ｖである場合には約１．５Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は１．７Ｖであるため、被検査信号の電圧が２．５Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が２．０Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0052】

昇圧回路２７０は、電源電圧２．５Ｖと被検査信号の電圧との間の電圧を１０ｋΩの抵抗（電源電圧側）と１２ｋΩの抵抗（信号側）とにより分圧する。そのため、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には約１．４Ｖの電圧を出力する。又、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．８Ｖである場合には約１．７Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は１．７Ｖであるため、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が０．８Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0053】

次に、規格が１．８Ｖである場合について説明する。

【0054】

降圧回路２６０は、被検査信号の電圧を１０ｋΩの抵抗（信号側）と３３ｋΩの抵抗（接地側）とにより分圧する。そのため、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が１．８Ｖである場合には約１．４Ｖの電圧を出力する。又、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が１．４Ｖである場合には約１．１Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は１．１Ｖであるため、被検査信号の電圧が１．８Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が１．４Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0055】

昇圧回路２７０は、電源電圧１．８Ｖと被検査信号の電圧との間の電圧を１０ｋΩの抵抗（電源電圧側）と１２ｋΩの抵抗（信号側）とにより分圧する。そのため、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には約１．０Ｖの電圧を出力する。又、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．５Ｖである場合には約１．２Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は１．１７Ｖであるため、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が０．５Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0056】

次に、規格が１．５Ｖである場合について説明する。

【0057】

降圧回路２６０は、被検査信号の電圧を１０ｋΩの抵抗（信号側）と３３ｋΩの抵抗（接地側）とにより分圧する。そのため、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が１．５Ｖである場合には約１．２Ｖの電圧を出力する。又、降圧回路２６０は、例えば、被検査信号の電圧が１．０Ｖである場合には約０．８Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は０．９５７Ｖであるため、被検査信号の電圧が１．５Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が１．０Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0058】

昇圧回路２７０は、電源電圧１．５Ｖと被検査信号の電圧との間の電圧を１０ｋΩの抵抗（電源電圧側）と１２ｋΩの抵抗（信号側）とにより分圧する。そのため、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には約０．９Ｖの電圧を出力する。又、昇圧回路２７０は、例えば、被検査信号の電圧が０．５Ｖである場合には約１．０Ｖの電圧を出力する。ＨＩＧＨを表す電圧の最小値は０．９５７Ｖであるため、被検査信号の電圧が０．１Ｖである場合には検査結果はＯＫであり、被検査信号の電圧が０．５Ｖである場合には検査結果はＮＧである。

【0059】

以上説明したように、本実施形態の検査システム１００では、検査装置１４０の検査部２３０は、期待値がＨＩＧＨを示す場合に、降圧回路２６０により降圧された被検査信号の電圧と下限値とを比較する検査を行う。つまり、被検査信号の電圧と下限値とは、動作マージンが付与された上で、比較される。また、検査装置１４０の検査部２３０は、期待値がＬＯＷを示す場合に、昇圧回路２７０により昇圧された被検査信号の電圧と上限値とを比較する検査を行う。つまり、被検査信号の電圧と上限値とは、動作マージンが付与された上で、比較される。従って、本実施形態の検査システム１００には、２値信号の電圧検査において、動作マージンが付与された検査を行うことができるという効果がある。
（第２の実施形態）
次に、本発明の第１の実施形態の基本である、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態は、本発明の最小限の構成を有する。

【0060】

図６は、本発明の第２の実施形態における検査システムの構成の一例を示すブロック図である。

【0061】

本実施形態の検査システム１０２は、検査対象装置１１２と、検査装置１４２とを含む。

【0062】

検査対象装置１１２は、高値側の値又は低値側の値の何れかをとる２値信号を表す被検査信号を生成する。２値信号の高値側の値及び低値側の値は、電圧を用いて表される。

【0063】

検査装置１４２は、降圧回路２６２と、昇圧回路２７２と、検査部２３２とを含む。

【0064】

降圧回路２６２は、検査対象装置１１２から被検査信号を入力し、被検査信号の電圧を降圧した電圧を出力する。

【0065】

昇圧回路２７２は、検査対象装置１１２から被検査信号を入力し、被検査信号の電圧を昇圧した電圧を出力する。

【0066】

検査部２３２は、期待値と下限値と上限値とを予め保持する。期待値は、被検査信号が高値側の値又は低値側の値のいずれを表すかを示す。下限値は、２値信号の高値側の値を示す信号の電圧として許容される電圧の下限である。上限値は、２値信号の低値側の値を示す信号の電圧として許容される電圧の上限である。

【0067】

検査部２３２は、期待値が高値側の値を示す場合に、被検査信号を降圧回路２６２へ入力させ、降圧回路２６２から出力された電圧が下限値以上であるか否かの検査を行う。

【0068】

検査部２３２は、期待値が低値側の値を示す場合に、被検査信号を昇圧回路２７２へ入力させ、昇圧回路２７２から出力された電圧が上限値以下であるか否かの検査を行う。

【0069】

以上説明したように、本実施形態の検査システム１０２では、検査装置１４２の検査部２３２は、期待値が高値側の値を示す場合に、降圧回路２６２により降圧された被検査信号の電圧と下限値とを比較する検査を行う。つまり、被検査信号の電圧と下限値とは、動作マージンが付与された上で、比較される。また、検査装置１４２の検査部２３２は、期待値が低値側の値を示す場合に、昇圧回路２７２により昇圧された被検査信号の電圧と上限値とを比較する検査を行う。つまり、被検査信号の電圧と上限値とは、動作マージンが付与された上で、比較される。従って、本実施形態の検査システム１０２には、２値信号の電圧検査において、動作マージンが付与された検査を行うことができるという効果がある。

【0070】

尚、本実施形態の検査システム１０２では、検査部２３２は、特定のインタフェース規格に対応する下限値と上限値との複数の組から、特定の下限値又は特定の上限値を選択し、選択した特定の下限値又は特定の上限値を用いて検査を行ってもよい。この場合には、本実施形態の検査システム１０２には、１台の検査装置１４２が、複数のインタフェース規格に対応する検査を行うことができるという効果がある。

【0071】

又、本実施形態の検査システム１０２では、降圧回路２６２は、被検査信号の電圧を分圧した電圧を出力する分圧抵抗であってもよい。更に、昇圧回路２７２は、被検査信号の電圧と、低値側の値として予想される被検査信号の電圧の上限より高い定電圧との間の電圧を分圧した電圧を出力する分圧抵抗であってもよい。この場合には、本実施形態の検査システム１０２には、検査装置１４２を安価に実現できるという効果がある。尚、定電圧は、特定のインタフェース規格に対応する電源電圧であってもよい。

【0072】

又、本実施形態の検査システム１０２では、期待値、下限値、及び上限値は、検査装置１４２に接続されたＰＣ１５２により選択され、ＰＣ１５２は検査装置１４２から検査結果を受け取ってもよい。ＰＣ１５２と検査装置１４２との間の通信は、制御部２５２を介して行われる。この場合には、本実施形態の検査システム１０２には、検査の実行及び検査結果の収集が容易であるという効果がある。

【0073】

又、本実施形態の検査システム１０２は、降圧回路２６２と昇圧回路２７２と検査部２３２との複数の組と、検査用基板（不図示）とを更に備えてもよい。検査用基板は、検査対象装置１１２に対して固定され、検査対象装置１１２の異なる位置に接触する複数の電極を介して、検査対象装置１１２から被検査信号を、降圧回路２６２と昇圧回路２７２と検査部２３２との組毎に入力する。この場合には、本実施形態の検査システム１０２には、１台の検査装置１４２が、検査対象装置１１２における複数の位置における信号をまとめて検査できるという効果がある。更に、本実施形態の検査システム１０２では、検査対象装置１１２は、デバイス間インタフェース（不図示）を介して接続された複数のデバイス（不図示）を備えてもよい。ここで、電極が接触する検査対象装置１１２における位置は、デバイス間インタフェースに含まれる接点の位置である。この場合には、本実施形態の検査システム１０２には、１台の検査装置１４２が、デバイス間インタフェースに含まれる接点をまとめて検査できるという効果がある。

【0074】

又、本実施形態の検査システム１０２がＰＣ１５２を含む場合には、ＰＣ１５２は検査装置１４２の機能の一部をソフトウェア等を用いて代替してもよい。

【0075】

図７は、本発明の各実施形態における検査装置を実現可能なハードウェア構成の一例を示すブロック図である。

【0076】

検査装置９０７は、記憶装置９０２と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９０３と、キーボード９０４と、モニタ９０５と、Ｉ／Ｏ（Input/Output）９０８とを備え、これらが内部バス９０６で接続されている。記憶装置９０２は、検査部２３２等のＣＰＵ９０３の動作プログラムを格納する。ＣＰＵ９０３は、検査装置９０７全体を制御し、記憶装置９０２に格納された動作プログラムを実行し、Ｉ／Ｏ９０８を介して検査部２３２等のプログラムの実行やデータの送受信を行なう。尚、上記の検査装置９０７の内部構成は一例である。検査装置９０７は、必要に応じて、キーボード９０４、モニタ９０５を接続する装置構成であってもよい。

【0077】

上述した本発明の各実施形態における検査装置は、専用の装置によって実現してもよいが、コンピュータ（情報処理装置）によっても実現可能である。この場合、係るコンピュータは、記憶装置９０２に格納されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ９０３に読み出し、読み出したソフトウェア・プログラムをＣＰＵ９０３において実行する。上述した各実施形態の場合、係るソフトウェア・プログラムには、上述したところの、図２に示した検査装置１４０の各部の機能、図６に示した検査装置１４２の各部の機能を実現可能な記述がなされていればよい。ただし、これらの各部には、適宜ハードウェアを含むことも想定される。そして、このような場合、係るソフトウェア・プログラム（コンピュータ・プログラム）は、本発明を構成すると捉えることができる。更に、係るソフトウェア・プログラムを格納した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体も、本発明を構成すると捉えることができる。

【0078】

以上、本発明を、上述した各実施形態及びその変形例によって例示的に説明した。しかしながら、本発明の技術的範囲は、上述した各実施形態及びその変形例に記載した範囲に限定されない。当業者には、係る実施形態に対して多様な変更又は改良を加えることが可能であることは明らかである。そのような場合、係る変更又は改良を加えた新たな実施形態も、本発明の技術的範囲に含まれ得る。そしてこのことは、特許請求の範囲に記載した事項により明らかである。

【産業上の利用可能性】

【0079】

本発明は、電気回路又は電気機器における、２値信号の電圧を検査する用途において利用できる。

【符号の説明】

【0080】

１００ 検査システム
１１０ 検査対象基板
１２０、１３０ デバイス
１４０ 検査装置
１５０ ＰＣ
１６０ デバイス間インタフェース
２１０ スイッチ
２３０ 検査部
２５０ 制御部
２６０ 降圧回路
２７０ 昇圧回路
１０２ 検査システム
１１２ 検査対象装置
１４２ 検査装置
１５２ ＰＣ
２３２ 検査部
２５２ 制御部
２６２ 降圧回路
２７２ 昇圧回路
９０２ 記憶装置
９０３ ＣＰＵ
９０４ キーボード
９０５ モニタ
９０６ 内部バス
９０７ 検査装置
９０８ Ｉ／Ｏ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】