特許6798996光集積回路の特性評価及びパッケージ化のためのマルチポート光学プローブ

発明の名称　光集積回路の特性評価及びパッケージ化のためのマルチポート光学プローブ

出願人　テクニッシュ　ウニバルシテイト　アイントホーフェン　（識別番号 513273694）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6798996

公報発行日　2020年12月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6798996

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