特許 6799280 ロードポート装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6799280

(24)【登録日】2020年11月25日

(45)【発行日】2020年12月16日

(54)【発明の名称】ロードポート装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20201207BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20201207BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   H01L21/68 T

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2017-65579(P2017-65579)

(22)【出願日】2017年3月29日

(65)【公開番号】特開2018-170359(P2018-170359A)

(43)【公開日】2018年11月1日

【審査請求日】2019年12月26日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001494

【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】岩本 忠将

(72)【発明者】

【氏名】江本 淳

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−２５８２０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０８８５００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０３８０７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０５３４１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

容積が可変である複数の圧力室へ導入する駆動ガスを供給する駆動ガス供給部と、
ウエハ搬送容器を載置する載置テーブルを駆動するテーブル駆動部、前記ウエハ搬送容器を前記載置テーブルに対して固定するクランプ機構を駆動するクランプ駆動部、前記ウエハ搬送容器の主開口に連通する連通口を開閉するドアを駆動するドア駆動部、のうち少なくとも一つが有する前記圧力室である第１圧力室へ、第１の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第１ガス導入路と、
前記ウエハ搬送容器の底部開口を介して前記ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを駆動するボトムノズル駆動部が有する前記圧力室である第２圧力室へ、前記第１の圧力より低い第２の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第２ガス導入路と、を有するロードポート装置。

【請求項2】

前記第２ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第２の圧力に減圧する第２レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部または前記第１ガス導入路に繋がっていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項3】

前記第１ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第１の圧力に減圧する第１レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部に繋がっており、
前記第２ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第２の圧力に減圧する第２レギュレータを介して、前記第１ガス導入路に繋がっていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項4】

前記ボトムノズルを介して、前記ウエハ搬送容器に第３の圧力を有する清浄化ガスを導入する清浄化ガス導入路を有しており、
前記第２の圧力は、前記第３の圧力より低いことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載のロードポート装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを有するロードポート装置に関する。

【背景技術】

【0002】

たとえば半導体の製造工程では、スミフ（ＳＭＩＦ）やフープ（ＦＯＵＰ）と呼ばれる搬送容器を用いて、各処理装置の間のウエハの搬送が行われる。さらに、搬送容器は、各処理装置に備えられるロードポート装置に設置され、ロードポート装置は、搬送容器内の空間と処理室の空間を連通させる。これにより、ロボットアーム等により搬送容器からウエハを取り出し、このウエハを処理装置へ受け渡すことが可能となる。

【0003】

ここで、ウエハが収納される搬送容器内の環境は、ウエハ表面を酸化や汚染から守るために、所定の状態を上回る不活性状態及び清浄度が保たれることが好ましい。搬送容器内の気体の不活性状態や清浄度を向上させる方法としては、搬送容器の内部又は搬送容器と連通する空間に清浄化ガスを導入するガスパージ等の技術が提案されている。ウエハ搬送容器に対してガスパージを行うことが可能なロードポート装置として、たとえばウエハ搬送容器の底部開口を介して、ウエハ搬送容器に清浄化ガスを導入するものが提案されている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３−２５８２０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ボトムガスパージが可能なロードポート装置では、ガス圧を利用してボトムノズルを昇降移動させるものが提案されている。しかしながら、従来のロードポート装置では、ボトムノズルを移動させるための力が大きすぎるために、ボトムノズルがウエハ搬送容器の底部に接触した際に、ウエハ搬送容器に衝撃を与えることにより、ウエハ搬送容器の耐久寿命が短くなる問題や、ウエハ搬送容器が振動してパーティクルが発生するなどの問題が生じている。

【0006】

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、ボトムノズルの接触時において、ウエハ搬送容器に与える衝撃を抑制し得るボトムノズル駆動部を有するロードポート装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
容積が可変である複数の圧力室へ導入する駆動ガスを供給する駆動ガス供給部と、
ウエハ搬送容器を載置する載置テーブルを駆動するテーブル駆動部、前記ウエハ搬送容器を前記載置テーブルに対して固定するクランプ機構を駆動するクランプ駆動部、前記ウエハ搬送容器の主開口に連通する連通口に設けられたドアを駆動するドア駆動部、のうち少なくとも一つが有する前記圧力室である第１圧力室へ、第１の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第１ガス導入路と、
前記ウエハ搬送容器の底部開口を介して前記ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを駆動するボトムノズル駆動部が有する前記圧力室である第２圧力室へ、前記第１の圧力より低い第２の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第２ガス導入路と、を有する。

【0008】

本発明に係るロードポート装置では、ボトムノズル駆動部が有する第２圧力室に対して、テーブル駆動部等が有する第１圧力室に導入される駆動ガスに比べて、低い圧力を有する駆動ガスが導入される。これにより、ボトムノズルを移動させるための力を、載置テーブル等を移動させるための力に比べて小さくなるように調整することができ、ボトムノズルがウエハ搬送容器の底部に接触する際の衝撃を抑制することができる。また、ボトムノズルの重量は、載置テーブルやドアに比べて軽く、また、ボトムノズルとウエハ搬送容器との接続は、クランプ機構とウエハ搬送容器との接続ほど強くなくてもよいので、本発明に係るロードポート装置は、ボトムノズルを移動させる力を小さくすることにより、ボトムノズルをウエハ搬送容器に対して適切に接続することが可能である。これにより、ボトムノズルをウエハ搬送容器に接続した際に発生するパーティクルを抑制したり、不完全な接続により接続部分からリークが生じる問題を防止したりすることができる。

【0009】

また、例えば、前記第２ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第２の圧力に減圧する第２レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部または前記第１ガス導入路に繋がっていてもよい。

【0010】

第２レギュレータを用いて減圧するロードポート装置は、共通の駆動ガス供給部から、それぞれ圧力の異なる駆動ガスを、第１圧力室と第２圧力室とに導入することができる。

【0011】

また、例えば、前記第１ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第１の圧力に減圧する第１レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部に繋がっていてもよく、
前記第２ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第２の圧力に減圧する第２レギュレータを介して、前記第１ガス導入路に繋がっていてもよい。

【0012】

第１のレギュレータと第２のレギュレータを有するロードポート装置は、各駆動部の圧力室に対して、適切な圧力の駆動ガスを導入することが可能である。また、第２ガス導入路が、第１ガス導入路に繋がっていることにより、ガス供給部に繋がっている場合より、第２レギュレータによる減圧値を小さくすることができる。

【0013】

また、例えば、本発明に係るロードポート装置は、前記ボトムノズルを介して、前記ウエハ搬送容器に第３の圧力を有する清浄化ガスを導入する清浄化ガス導入路を有してもよく、
前記第２の圧力は、前記第３の圧力より低くてもよい。

【0014】

このようなロードポート装置では、第２の圧力より高い第３の圧力の清浄化ガスをウエハ搬送容器に導入することができるため、効率的にウエハ搬送容器を清浄化することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は本発明の一実施形態に係るロードポート装置の概略図である。

【図2】図２は図１に示すロードポート装置が有する各駆動部の第１状態を表す概念図である。

【図3】図３は図１に示すロードポート装置が有する各駆動部の第２状態を表す概念図である。

【図4】図４は、ボトムノズルを移動させるためのボトムノズル駆動部の一例を示す概略断面図である。

【図5】図５は、第１レギュレータ及び第２レギュレータの配置を示す概略図である。

【図6】図６は、ロードポート装置におけるガス供給部、レギュレータ及びガス導入路等の繋がりを示す概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０は、半導体処理装置へ繋がるウエハ搬送室５２に連結されており、ウエハ搬送室５２とロードポート装置１０とは、イーフェム（ＥＦＥＭ）を構成する。図１に示すように、ロードポート装置１０は、壁部材１１と、固定台１２と、その固定台１２に対して、Ｙ軸方向に移動可能な載置テーブル１４とを有する。なお、図面において、Ｙ軸が載置テーブル１４の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｘ軸がこれらのＹ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。

【0017】

載置テーブル１４のＺ軸方向の上部には、収容物としての複数のウエハ１を密封して保管及び搬送するウエハ搬送容器としてのフープ（ＦＯＵＰ）２が、着脱自在に載置可能になっている。フープ２の内部には、ウエハ１を内部に収めるための空間が形成されている。フープ２は、複数の側面と、上下方向に位置する上面と底面２ｆとを有する箱状の形状を有している。フープ２が有する複数の側面の一つである第１側面２ｄには、フープ２の内部に収容したウエハ１を出し入れする開口としての主開口２ｂが形成されている。

【0018】

また、フープ２は、主開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。フープ２の内部には、水平に保持された複数のウエハ１を、鉛直方向に重ねるための棚（不図示）が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々は、その間隔を一定としてフープ２の内部に収容される。また、フープ２の底面２ｆには、ロードポート装置１０のボトムノズル２０（図２参照）が接続する複数の底部開口５と、ロードポート装置１０のクランプ機構１６が係合する係合用端縁７とが形成されている。

【0019】

図１に示すロードポート装置１０は、ＳＥＭＩスタンダードに準拠するフープ（Front Opening Unified Pod)２に適用される装置であるが、本発明に係るロードポート装置はこれに限定されず、ウエハを出し入れする主開口及びボトムノズルが接続する底部開口が形成された構造を有する他の密封搬送容器に対して適用されるものであってもよい。後述するように、ロードポート装置１０は、フープ２の側面に形成された主開口２ｂを開閉し、フープ２の内部とウエハ搬送室５２とを機密に連結するためのインターフェース装置である。

【0020】

フープ２からのウエハ１の搬出は、フープ２を載置テーブル１４の上に設置した状態で行われる。ロードポート装置１０は、載置テーブル１４を駆動するテーブル駆動部１５（図６参照）を有している。テーブル駆動部１５は、図２に示すように載置テーブル１４および載置されたフープ２が連通口１３に対して離間した第１状態と、図３に示すように載置テーブル１４が連通口１３に近づき、フープ２の一部が連通口１３に入り込んだ第２状態の間で、載置テーブル１４をＹ方向に移動させることができる。

【0021】

また、ロードポート装置１０は、壁部材１１に形成された連通口１３を開閉するドア１８と、ドア１８を駆動するドア駆動部１９とを有する。壁部材１１は、ウエハ搬送室５２の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部として機能するようになっている。壁部材１１には、図３に示すようにドア１８及び蓋４を開いた状態において、フープ２の主開口２ｂに連通する連通口１３が形成されている。ドア駆動部１９は、図２に示すように、ドア１８が連通口１３を封止している第１状態と、フープ２の蓋４と係合したドア１８が、連通口１３から下方に退避した第２状態との間で、ドア１８を移動させることができる。

【0022】

図３に示すように、ドア駆動部１９は、ドア１８を蓋４と共に、Ｙ軸方向に平行移動させて蓋４をフープ２から取り外し、さらにドア１８及び蓋４をＺ軸方向へ平行移動させるか又は回転移動させることにより、連通口１３を開く。このようにして、ロードポート装置１０は、フープ２の内部とウエハ搬送室５２の内部とを連通させることにより、ウエハ搬送室５２内に設けられるロボットアーム５４ａ（図１参照）が、フープ２内のウエハ１を搬出することができるようになる。

【0023】

図２では図示されていないが、載置テーブル１４の上面には、１つ以上（好ましくは３つ）の位置決めピンが設けられており、載置テーブル１４に載置されたフープ２は、これらの位置決めピンによって下方から支持されている。さらに、ロードポート装置１０は、フープ２を載置テーブル１４に対して固定するクランプ機構１６と、クランプ機構１６を駆動するクランプ駆動部１７（図６参照）とを有する。クランプ駆動部１７は、図２に示すようにクランプ機構１６がフープ２の底面２ｆに形成された係合用端縁７から離脱している第１状態と、図３に示すようにクランプ機構１６が係合用端縁７に係合している第２状態との間で、クランプ機構１６を移動させることができる。

【0024】

クランプ機構１６は、フープ２が載置テーブル１４の上面に載置された後、フープ２の蓋４が、ドア駆動部１９によってフープ２から取り外される前に、クランプ駆動部１７によって駆動され、フープ２を載置テーブル１４に対して固定する。これにより、クランプ機構１６は、フープ２から蓋４を取り外す際に、フープ２が載置テーブル１４または位置決めピンから脱落等する問題を、防止することができる。

【0025】

また、ロードポート装置１０は、ボトムノズル２０と、ボトムノズル２０を駆動するボトムノズル駆動部２１（図４及び図５参照）とを有している。ボトムノズル２０は、載置テーブル１４とともにＹ軸方向に移動可能に設けられている。また、ボトムノズル２０は、載置テーブル１４に対して、上下に相対移動することができる。すなわち、ボトムノズル駆動部２１は、図２に示すようにボトムノズル２０がフープ２の底部開口５から離間した第１状態と、図３に示すようにボトムノズル２０が底部開口５を介してフープ２の内部に連通する第２状態との間で、ボトムノズル２０を移動させることができる。

【0026】

図４（ａ）は、図２に示すような第１状態にあるボトムノズル２０及びボトムノズル駆動部２１の詳細構造を表す模式断面図である。ボトムノズル駆動部２１は、第２圧力室としてのノズル昇降圧力室２１ａと、ノズル昇降制御弁２１ｂと、第２ガス流路の一部であるピストン流路２１ｃと、シリンダ２１ｄと、排出バルブ２１ｅと、仕切り板２１ｆとを有している。ボトムノズル２０は、上下方向に延びる筒状の形状を有しており、ボトムノズル２０に形成された貫通孔であるノズル口２０ａは、下方部材２４及び仕切り板２１ｆによって形成された清浄化ガス導入流路２２に連通している。

【0027】

図４（ｂ）は、図３に示すような第２状態にあるボトムノズル２０及びボトムノズル駆動部２１の詳細構造を表す模式断面図である。ボトムノズル駆動部２１のシリンダ２１ｄとボトムノズル２０との間には、ノズル昇降圧力室２１ａが形成してある。このノズル昇降圧力室２１ａに、ピストン流路２１ｃを通して駆動ガスを導入または導出させることで、ボトムノズル駆動部２１は、ボトムノズル２０をシリンダ２１ｄに対して相対的に、Ｚ軸方向に上下動させることができる。ノズル昇降圧力室２１ａへの駆動ガスの導入及び導出は、ピストン流路２１ｃへつながるノズル昇降制御弁２１ｂ及び排出バルブ２１ｅを開閉することにより制御される。

【0028】

図４（ａ）に示すようにボトムノズル２０が下降した第１状態にある場合、ボトムノズル２０のＺ軸方向の頭部（上部）は、載置テーブル１４の上面と面一または引っ込んでいる。図４（ｂ）に示すように、ボトムノズル２０が上昇した第２状態にある場合、ボトムノズル２０の頭部が、図２に示す載置テーブル１４の上面からＺ軸方向の上部に飛び出し、図４（Ｂ）に示すように、底部開口５を囲むフープ２の底面２ｆに密着する。ボトムノズル２０の頭部には、Ｏリングなどのシール部材２３が装着してあることから、ボトムノズル２０のノズル口２０ａとフープ２の内部が、底部開口５を介して気密に連通する。

【0029】

ボトムノズル２０のＺ軸方向の下端には突出部が形成してあり、図４（Ｂ）に示すように、ボトムノズル２０が第２状態にある場合でも、清浄化ガス導入流路２２の空間２２ａと、ボトムノズル２０のノズル口２０ａとが連通した状態が維持される。ロードポート装置１０が有する清浄化ガス導入流路２２には、図示しない配管部を介して清浄化ガスが供給される。ロードポート装置１０は、図３及び図４（Ｂ）に示すように、ボトムノズル２０とフープ２の内部とを連通させた状態で清浄化ガス導入流路２２に清浄化ガスを供給することにより、ボトムノズル２０を介して、フープ２内に清浄化ガスを導入することができる。なお、ボトムノズル２０を用いたフープ２内への清浄化ガスの導入は、図３に示すようにフープ２の蓋４が開放されている状態で行われてもよく、また、フープ２の蓋４が閉じられた状態において、ボトムノズル２０をフープ２に接続して行われてもよい。

【0030】

図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ボトムノズル駆動部２１は、ノズル昇降制御弁２１ｂを開閉し、ノズル昇降圧力室２１ａへ駆動ガスを導入することにより、ボトムノズル２０を移動させる。図６は、ロードポート装置１０における駆動ガスの経路を表す概念図である。ロードポート装置１０は、ロードポート装置１０へ駆動ガスを供給する駆動ガス供給部３０を有しており、駆動ガス供給部３０には、ガスタンク等で構成されるガス供給源４０から、駆動ガスが供給される。駆動ガス供給部３０は、たとえばガス供給源４０に接続される配管部等で構成される。

【0031】

ガス供給源４０から駆動ガス供給部３０へ供給された駆動ガスは、第１レギュレータ４１により第１の圧力に減圧された後、ロードポート装置１０内の駆動部へ繋がる第１ガス導入路３１へ流入する。

【0032】

ここで、ロードポート装置１０において、駆動ガス供給部３０から供給される駆動ガスは、各駆動部が有する圧力室へ導入され、駆動ガスの導入により圧力室の容積が変化することにより、各駆動部は対象となる部材を駆動する。たとえば、ボトムノズル２０を駆動するボトムノズル駆動部２１は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すノズル昇降圧力室２１ａを有しており、図６に示すノズル昇降制御弁２１ｂを開閉することによりノズル昇降圧力室２１ａに駆動ガスを導入し、ノズル昇降圧力室２１ａの容積を変化させることにより、ボトムノズル２０を移動させる。

【0033】

図６に示すように、ロードポート装置１０が有する他の駆動部であるドア駆動部１９、テーブル駆動部１５及びクランプ駆動部１７も、ボトムノズル駆動部２１と同様に、駆動ガスの導入により圧力室の容積が変化する圧力室を有している。すなわち、ドア駆動部１９は、ロードポート装置１０が有する圧力室の一つであるドア開閉圧力室１９ａを有しており、ドア開閉制御弁１９ｂの開閉を制御することによりドア開閉圧力室に駆動ガスを導入し、図２及び図３に示すドア１８を移動させる。また、図６に示すテーブル駆動部１５は、ロードポート装置１０が有する圧力室の一つであるテーブル移動圧力室１５ａを有しており、テーブル移動制御弁１５ｂの開閉を制御することによりテーブル移動圧力室１５ａに駆動ガスを導入し、図２及び図３に示す載置テーブル１４を移動させる。さらに、図６に示すクランプ駆動部１７は、ロードポート装置１０が有する圧力室の一つであるクランプ移動圧力室１７ａを有しており、クランプ移動制御弁１７ｂの開閉を制御することによりクランプ移動圧力室１７ａに駆動ガスを導入し、図２及び図３に示すクランプ機構１６を移動させる。

【0034】

ドア駆動部１９、テーブル駆動部１５及びクランプ駆動部１７が有するドア開閉圧力室１９ａ、テーブル移動圧力室１５ａ及びクランプ移動圧力室１７ａとしては、駆動ガスの導入により容積が変化するものであれば特に限定されないが、たとえばエアシリンダの圧力室など、可動部であるピストンやロッドと、固定部であるシリンダの間に形成されるものが挙げられる。

【0035】

図６に示すように、第１の圧力を有する駆動ガスが流入する第１ガス導入路３１は、ドア開閉圧力室１９ａ、テーブル移動圧力室１５ａ及びクランプ移動圧力室１７ａの３つの圧力室（第１圧力室）と、第１レギュレータ４１とを接続しており、これらの圧力室１９ａ、１５ａ、１７ａへ、第１の圧力を有する駆動ガスを導入する。また、第１ガス導入路３１には、ドア開閉制御弁１９ｂ、テーブル移動制御弁１５ｂ及びクランプ移動制御弁１７ｂが設けられており、各制御弁１９ｂ、１５ｂ、１７ｂは、これらの制御弁が設けられた経路に接続するそれぞれの圧力室１９ａ、１５ａ、１７ａへの駆動ガスの導入を制御するために用いられる。

【0036】

図６に示すように、第１ガス導入路３１は、さらに、第１レギュレータ４１と第２レギュレータ４２とを接続している。第２レギュレータ４２は、第１ガス導入路３１から流入する駆動ガスを、第１の圧力より低い第２の圧力に減圧する。第２レギュレータ４２の出力側には、第２ガス導入路３２が接続されており、第２ガス導入路３２には、第２の圧力を有する駆動ガスが流入する。第２ガス導入路３２は、第２レギュレータ４２とノズル昇降圧力室２１ａとを接続しており、第２の圧力を有する駆動ガスを、第２圧力室であるノズル昇降圧力室２１ａに導入する。ノズル昇降圧力室２１ａへのガスの導入を制御するために用いられるノズル昇降制御弁２１ｂは、図６に示すように、第２レギュレータ４２に繋がる第１ガス導入路３１に設けられているが、これとは異なり、ノズル昇降制御弁２１ｂは、第２ガス導入路３２に設けられていてもよい。

【0037】

図６に示すように、ロードポート装置１０では、第１ガス導入路３１は、第１レギュレータ４１を介して駆動ガス供給部３０に繋がっており、第２ガス導入路３２は、第２レギュレータ４２を介して第１ガス導入路３１に接続している。ただし、第２ガス導入路３２の接続方法としてはこれに限定されず、たとえば、第２ガス導入路３２は、第２レギュレータ４２を介して、駆動ガス供給部３０に繋がっていてもよい。

【0038】

図５は、第１レギュレータ４１、第１ガス導入路３１、第２レギュレータ４２及び第２ガス導入路４２の接続方法の一例を表す外観図である。第１レギュレータ４１等は、たとえばロードポート装置１０における固定台１２（図１参照）の下方に収納されている。図５に示すように、第１レギュレータ４１の入力側には駆動ガス供給部３０が接続され、第１レギュレータ４１の出力側には第１ガス導入路３１が接続される。第１ガス導入路３１は、複数の制御弁１９ｂ、２１ｂ、１５ｂ、１７ｂを有するマニホールド５０に接続されている。

【0039】

第２レギュレータ４２の入力側には、マニホールド５０のノズル昇降制御弁２１ｂ（図６参照）に接続する第１ガス導入路３１が接続している。また、第２レギュレータ４２の出力側には第２ガス導入路３２が接続しており、ノズル昇降圧力室２１ａへ続いている。

【0040】

図６に示すように、ロードポート装置１０では、ボトムノズル駆動部２１が有するノズル昇降圧力室２１ａ（第２圧力室）に対して、ドア駆動部１９等が有するドア開閉圧力室１９ａ等（第１圧力室）に導入される駆動ガスに比べて、低い圧力を有する駆動ガスが導入される。これにより、ボトムノズル２０を移動させるための力を、載置テーブル１４等を移動させるための力に比べて小さくなるように調整することができ、ボトムノズル２０がフープ２の底面２ｆに接触する際の衝撃を低減することができる。また、ボトムノズル２０の重量は、載置テーブル１４やドア１８に比べて軽いため、仮にノズル昇降圧力室２１ａにドア開閉圧力室１９ａ等と同じ圧力の駆動ガスを導入した場合、ボトムノズル２０が急激に動いてフープ２の底面２ｆに衝突し、フープ２の底面２ｆに損傷を与えるおそれがある。これに対して、ロードポート装置１０のボトムノズル駆動部２１は、ボトムノズル２０が第１の圧力より低い第２の圧力を受けて上昇するように駆動することにより、ボトムノズル２０の移動速度を適正化することができる。これにより、ロードポート装置１０は、フープ２の底面２ｆの損傷を防止し、ボトムノズル２０をフープ２に対して適切に接続することが可能である。

【0041】

また、ロードポート装置１０では、第１レギュレータ４１と第２レギュレータ４２とを用いることにより、共通の駆動ガス供給部３０から、圧力の異なる駆動ガスを、各駆動部の圧力室１９ａ、２１ａ、１５ａ、１７ａへ導入することができる。これにより、ロードポート装置１０は、比較的移動距離の長い載置テーブル１４、ドア１８等を素早く移動させることが可能であり、これと同時に、移動距離の短いボトムノズル２０を適切な速度で移動させることができる。また、第２レギュレータ４２を用いることにより、ボトムノズル２０をフープ２の底面２ｆに押し付ける力も、適切な範囲に調整することが可能である。

【0042】

また、ロードポート装置１０では、図６に示すノズル昇降圧力室２１ａに導入される駆動ガスの圧力（第２の圧力）は、図４に示す清浄化ガス導入流路２２からボトムノズル２０のノズル口２０ａを通って、フープ２内に導入される清浄化ガスの圧力（第３の圧力）より低くすることができる。これにより、ロードポート装置１０は、十分な圧力でフープ２内に清浄化ガスを導入して効果的なボトムガスパージを実現するとともに、ボトムノズル２０の駆動速度やフープ２の底面２ｆへの押し付け力を、適切な範囲に制御することができる。

【0043】

以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されず、他の多くの実施形態を含むことは言うまでもない。例えば、図６に示す例では、ドア駆動部１９、テーブル駆動部１５及びクランプ駆動部１７の全てが第１圧力室を有していたが、ドア駆動部１９のみ、又はテーブル駆動部１５のみが第１圧力室を有するロードポート装置も、他の実施形態に含まれる。また、本発明に係るロードポート装置は、ドア駆動部１９、テーブル駆動部１５及びクランプ駆動部１７の全てが、エアシリンダのような駆動ガスを用いて対象物を駆動する機構を採用するものに限定されず、ロードポート装置は、ドア駆動部１９、テーブル駆動部１５のうち１つまたは２つが、モータ等のように駆動ガスを用いないで対象物を駆動する機構を採用するものであっても構わない。

【符号の説明】

【0044】

１… ウエハ
２… フープ
２ｂ… 主開口
２ｄ… 第１側面
２ｆ… 底面
５… 底部底孔
７… 係合用端縁
１０… ロードポート装置
１１… 壁部材
１４… 載置テーブル
１５… テーブル駆動部
１５ａ… テーブル移動圧力室
１５ｂ… テーブル移動制御弁
１６… クランプ機構
１７… クランプ駆動部
１７ａ… クランプ移動圧力室
１７ｂ… クランプ移動制御弁
１８… ドア
１９… ドア駆動部
１９ａ… ドア開閉圧力室
１９ｂ… ドア開閉制御弁
２０… ボトムノズル
２０ａ… ノズル口
２１… ボトムノズル駆動部
２１ａ… ノズル昇降圧力室
２１ｂ… ノズル昇降制御弁
２１ｃ… ピストン流路
２１ｄ… シリンダ
２１ｅ… 排出バルブ
２１ｆ… 仕切り板
２２… 清浄化ガス導入流路
２２ａ… 空間
２３… シール部材
２４… 下方部材
３０… 駆動ガス供給部
３１… 第１ガス導入路
３２… 第２ガス導入路
４０… ガス供給源
４１… 第１レギュレータ
４２… 第２レギュレータ
５０… マニホールド
５２… ウエハ搬送室

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】