特許6799393ヒータ付きウェハ載置機構及び成膜装置

発明の名称　ヒータ付きウェハ載置機構及び成膜装置

出願人　三星電子株式会社　（識別番号 390019839）

　　　　特許公開件数ランキング 102 位（295件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 113 位（233件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6799393

公報発行日　2020年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6799393

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6799393「ヒータ付きウェハ載置機構及び成膜装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録