特許6800022基板を操作するためのツール、操作方法およびエピタキシャル反応器

発明の名称　基板を操作するためのツール、操作方法およびエピタキシャル反応器

出願人　エルピーイー　ソシエタ　ペル　アチオニ　（識別番号 501372765）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2725 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6800022

公報発行日　2020年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6800022

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