特許6800515可動マスの電圧検出機能を備えたＭＥＭＳセンサ

発明の名称　可動マスの電圧検出機能を備えたＭＥＭＳセンサ

出願人　パナソニック株式会社　（識別番号 5821）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 188 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6800515

公報発行日　2020年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6800515

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