(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
圧力感応素子と選択トランジスタとをそれぞれが含み、複数行及び複数列に渡って2次元状に配された複数のセンサセルと、前記複数行のそれぞれに配された複数の第1駆動信号線と、前記複数行のうちの少なくとも一部の行に配された複数の第2駆動信号線と、前記複数の第1駆動信号線に前記選択トランジスタの駆動信号を供給する第1駆動回路と、前記複数の第2駆動信号線に前記選択トランジスタの駆動信号を供給する第2駆動回路と、を有し、前記複数の第2駆動信号線のそれぞれが、対応する行に配された前記複数のセンサセルのうちの一部のセンサセルに接続され、前記複数の第1駆動信号線のそれぞれが、対応する行に配された前記複数のセンサセルのうち、前記第2駆動信号線に接続されていないセンサセルに接続されている、圧力検出装置の駆動方法であって、
いずれかの前記センサセルの前記圧力感応素子が圧力の変化を検知したときは、前記第1駆動回路により前記第1駆動信号線を順次駆動する第1駆動モードを実行し、
前記複数のセンサセルの前記圧力感応素子が圧力の変化を検知しないときは、前記第2駆動回路により前記複数の第2駆動信号線を同時に駆動する第2駆動モードを実行し、
前記第1駆動モードにおいて、前記第1駆動回路により駆動している前記第1駆動信号線が属する行に前記第2駆動信号線が含まれる場合に、前記第1駆動信号線の駆動と同期して前記第2駆動回路を駆動する
ことを特徴とする圧力検出装置の駆動方法。
【発明を実施するための形態】
【0011】
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態による圧力検出装置及びその駆動方法について、
図1乃至
図3を用いて説明する。
図1は、本実施形態による圧力検出装置の構造を示す概略図である。
図2は、本実施形態による圧力検出装置の検出回路の一例を示す図である。
図3は、本実施形態による圧力検出装置の駆動方法を示すタイミング図である。
【0012】
はじめに、本実施形態による圧力検出装置の構造について、
図1及び
図2を用いて説明する。
本実施形態による圧力検出装置100は、
図1に示すように、センサアレイ10と、垂直走査回路20と、電圧供給回路30と、検出回路40と、制御回路50とを有する2次元圧力センサである。
【0013】
センサアレイ10は、複数行(例えばm行)及び複数列(例えばn列)に渡って2次元状に配された複数のセンサセル12を含む。それぞれのセンサセル12は、選択トランジスタMと、圧力感応素子Sとを含む。選択トランジスタMは、例えば、薄膜トランジスタからなる。圧力感応素子Sとしては、例えば、導電性ゴムなどの圧力印加に伴って電気抵抗値が変化する感圧素材を一対の電極の間に挟持してなる素子を適用することができる。
【0014】
センサアレイ10の各行には、行方向に延在して、第1駆動信号線X
1が配されている。
図1には、第1行、第2行、第3行、第4行、第5行、…、第m行に配された第1駆動信号線X
1を、それぞれ、第1駆動信号線X
11,X
12,X
13,X
14,X
15,…,X
1mと表記している。第1駆動信号線X
11,X
12,X
13,X
14,X
15,…,X
1mは、垂直走査回路20に接続されている。
【0015】
センサアレイ10の一部の行には、行方向に延在して、第2駆動信号線X
2が配されている。
図1には、センサアレイ10の第1行、第3行、第5行に第2駆動信号線X
2が配されているものとし、これらをそれぞれ第2駆動信号線X
21,X
23,X
25と表記している。なお、第2駆動信号線X
2を配する行は、複数行のうちの少なくとも一部であればよく、例えば、待機状態において必要とされる検出感度等に応じて適宜選択することができる。第2駆動信号線X
21,X
23,X
25は、電圧供給回路30に接続されている。
【0016】
センサアレイ10の各列には、列方向に延在して、出力信号線Yがそれぞれ配されている。
図1には、第1列、第2列、第3列、…、第n列に配された出力信号線Yを、出力信号線Y
1,Y
2,Y
3,…,Y
nと表記している。出力信号線Y
1,Y
2,Y
3,…,Y
nは、検出回路40に接続されている。
【0017】
センサセル12の圧力感応素子Sは、一方の端子が電源電圧線に接続されており、他方の端子が選択トランジスタMのドレインに接続されている。選択トランジスタMのソースは、対応する列の出力信号線Yに接続されている。選択トランジスタMのゲートは、対応する行の第1駆動信号線X
1又は第2駆動信号線X
2に接続されている。ここでは、第1行第1列のセンサセル12、第3行第n列のセンサセル12、第5行第3列のセンサセル12が第2駆動信号線X
2に接続されており、他のセンサセル12が第1駆動信号線X
1に接続されている場合を想定する。
【0018】
第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の数は、各列に1個以下とする。第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12が配置されていない列があってもよい(例えば、
図1において第2列)。第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12は、同じ行に複数個(1個以上)あってもよい。第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12が配置されていない行があってもよい(例えば、
図1において第2行、第4行、第m行)。
【0019】
垂直走査回路20は、デコーダやシフトレジスタで構成される。垂直走査回路20は、第1駆動信号線X
11,X
12,X
13,X
14,X
15,…,X
1mに、駆動信号PTX
11,PTX
12,PTX
13,PTX
14,PTX
15,…,PTX
1mを、それぞれ供給する。これら駆動信号PTX
1は、第1駆動信号線X
1に接続された選択トランジスタMの駆動信号である。この意味で、垂直走査回路20は、選択トランジスタMの駆動回路でもある。例えば、選択トランジスタMがN型トランジスタの場合、駆動信号PTX
1がハイレベルのとき、対応する行の選択トランジスタMはオン状態になる。また、駆動信号PTX
1がローレベルのとき、対応する行の選択トランジスタMがオフ状態になる。
【0020】
電圧供給回路30は、第2駆動信号線X
21,X
23,X
25に、駆動信号PSTBを供給する。駆動信号PSTBは、第2駆動信号線X
21,X
23,X
25に接続された選択トランジスタMの駆動信号である。この意味で、電圧供給回路30は、選択トランジスタMの駆動回路でもある。例えば、選択トランジスタMがN型トランジスタの場合、駆動信号PSTBがハイレベルのとき、選択トランジスタMはオン状態になる。また、駆動信号PSTBがローレベルのとき、選択トランジスタMがオフ状態になる。
【0021】
検出回路40は、出力信号線Y
1,Y
2,Y
3,…,Y
nの電圧を検出するための回路である。出力信号線Yの電圧を検出することで、圧力感応素子Sに圧力が加わっているかどうかを検知することができる。また、出力信号線Yの電圧の値に基づき、圧力感応素子Sに加わる応力を算出することが可能となる。また、検出回路40は、センサアレイ10に物体が接触して出力信号線Yの電圧が変化したことを検知すると、その情報を制御回路50に出力するように構成されている。
【0022】
検出回路40は、特に限定されるものではないが、例えば
図2に示すように、センサアレイ10の列毎に、A/Dコンバータ42と、抵抗Rとを有する。A/Dコンバータ42の入力端子は、出力信号線Yに接続されている。抵抗Rは、出力信号線YとA/Dコンバータ42の入力端子との間の接続ノードと、接地電圧線との間に設けられている。これにより、センサセル12の選択トランジスタMがオン状態になることによって、圧力感応素子Sと抵抗Rとが直列に接続された構成となり、圧力感応素子Sと抵抗Rとの間の接続ノードの電圧がA/Dコンバータ42に入力されるようになっている。
【0023】
制御回路50は、垂直走査回路20、電圧供給回路30及び検出回路40に接続されている。制御回路50は、垂直走査回路20、電圧供給回路30及び検出回路40の動作やそのタイミングを制御する。制御回路50は、検出回路40から出力される接触検知の情報に応じて、垂直走査回路20及び電圧供給回路30を制御することも可能である。
【0024】
第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12は、センサアレイ10に物体が接触したかどうかを判定するために用いられる。このような目的の場合、圧力の2次元分布を測定することは必ずしも必要はなく、また、センサアレイ10のどこか一部分の圧力が変化したことを検出できればよい。また、物体が接触したかどうかを検知するために必要なセンサの配置密度は、凹凸などの物質の表面状態を検知するために必要なセンサの配置密度よりも低くてよい。つまり、物体の接触判定では、高分解能の検知は不要である。
【0025】
そこで、本実施形態による圧力検出装置では、センサアレイ10の一部のセンサセル12だけに第2駆動信号線X
2を接続している。第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12は、物体が接触したことを認知するのに必要な間隔で配置されていればよい。配置する間隔は、圧力検出装置の使用目的等に応じて適宜設定することができる。また、感度の面内均一性を高める観点から、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12は、センサアレイ10内に2次元的に等間隔に配置されていることが望ましい。
【0026】
次に、本実施形態による圧力検出装置の駆動方法について、
図3を用いて説明する。
本実施形態による圧力検出装置は、駆動モードとして、待機モードと通常動作モードとを含む。待機モードは、第2駆動信号線X
2を間欠的に一括駆動し、物体の接触を検知するモードである。通常動作モードは、第1駆動信号線X
1を行毎に個別に駆動し、圧力の2次元分布を測定するモードである。
【0027】
待機モードでは、制御回路50の制御のもと、垂直走査回路20から第1駆動信号線X
1に供給する駆動信号PTX
1を、ローレベルに維持する。また、電圧供給回路30から第2駆動信号線X
2に供給される駆動信号PSTBは、予め定められた所定の時間間隔で間欠的にローレベルからハイレベルへと遷移する。なお、所定の時間間隔は、待機モードにおいて圧力の検知を実行する時間間隔であり、圧力検出装置の使用目的等に応じて適宜設定する。
【0028】
駆動信号PSTBがハイレベルになると、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の選択トランジスタMがオン状態となり、圧力感応素子Sが選択トランジスタMを介して出力信号線Yに接続される。このとき、圧力感応素子Sに物体が接触すると、圧力感応素子Sの抵抗値が変化し、出力信号線Yの電圧が変化する。この電圧の変化を検出回路40によって検出することで、物体が接触したことを検知することができる。
【0029】
図2の構成の検出回路40では、電源電圧が圧力感応素子Sと抵抗Rとにより抵抗分圧され、圧力感応素子Sの抵抗値に応じた圧力感応素子Sと抵抗Rとの間の接続ノードの電圧が、A/Dコンバータ42に入力される。圧力感応素子Sの抵抗値が変化することで、A/Dコンバータ42に入力される電圧が変化することになる。
【0030】
検出回路40により物体の接触が検知されないときは、圧力検出装置は、待機モードを維持する。待機モードでは、通常動作モード時の行順次駆動のように短時間でパルスを切り替える駆動は不要であり、消費電力を低減することができる。なお、待機モードにおいて、A/Dコンバータ42は、通常動作モード時と比較して、より周波数の低いクロックに基づいて動作するようにしてもよい。これにより、A/Dコンバータ42の消費電力を削減することができる。
【0031】
検出回路40が物体の接触を検知したときは、制御回路50は、待機モードから通常動作モードに移行する。通常動作モードでは、制御回路50の制御のもと、垂直走査回路20から第1駆動信号線X
1に供給する駆動信号PTX
1を、行順次でローレベルからハイレベルへと遷移する。例えば
図3に示すように、第1駆動信号線X
11,X
12,X
13,X
14,X
15,…,X
1mに供給する駆動信号PTX
11,PTX
12,PTX
13,PTX
14,PTX
15,…,PTX
1mを、順次ハイレベルにする。
【0032】
これにより、第1駆動信号線X
1に接続されたセンサセル12の選択トランジスタMが行単位で順次オン状態となり、各列の出力信号線Yには、圧力感応素子Sへの物体の接触状態に応じた電圧が出力される。この動作を第1行から第m行について順次行うことで、圧力の2次元分布を高精度で測定することができる。
【0033】
この際、第2駆動信号線X
2に供給する駆動信号PSTBは、第1駆動信号線X
1に供給する駆動信号PTX
1とは異なるタイミングで、ローレベルからハイレベルへと遷移する。例えば
図3に示すように、各行の駆動信号PTX
1を順次ローレベルからハイレベルへと遷移するよりも前のタイミングで、駆動信号PSTBをローレベルからハイレベルへと遷移する。これにより、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の選択トランジスタMがオン状態となり、出力信号線Yには、圧力感応素子Sへの物体の接触状態に応じた電圧が出力される。第2駆動信号線X
2にも駆動信号を供給することで、総てのセンサセル12を圧力測定に用いることができる。
【0034】
駆動信号PSTBをハイレベルにすると、複数の第2駆動信号線X
2(例えば、第2駆動信号線X
21,X
23,X
25)が同時にハイレベルになる。しかしながら、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の数は各列に1個以下であるため、1つの列の複数のセンサセル12において選択トランジスタMが同時にオンになることはない。
【0035】
総てのセンサセル12からの出力電圧が、物体が接触していないときの所定値に戻ったときは、制御回路50は、通常動作モードから待機モードに移行し、上述の動作を繰り返し実行する。
【0036】
なお、通常動作モードでは、第2駆動信号線X
2は、必ずしも駆動する必要はない。この場合、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12では圧力検知をできないが、例えば、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の数が全体のセンサセル12の数よりも十分に少ないような場合には、検出精度への影響は小さい。
【0037】
また、上記実施形態では、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12からの出力を通常動作モードにおいても利用する観点から、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の数を各列に1個以下にしている。通常動作モードにおいて第2駆動信号線X
2を駆動しない場合には、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の数を各列に2個以上としてもよい。
【0038】
第2駆動信号線X
2や電圧供給回路30を備えていない
図6に示すような圧力検出装置200において物体の接触を検知するためには、上述の通常動作モードと同様の行順次駆動を行い、センサアレイ10内の圧力分布を測定することが必要である。このため、物体の接触判定には、センサアレイ10の行数に応じた読み出し時間が必要であり、また、要する消費電力も大きくなる。
【0039】
本実施形態による圧力検出装置100では、1度のパルス駆動でセンサアレイ10内における物体の接触判定を行うことができる。このため、物体の接触判定を行うための消費電力は、センサアレイ10を構成するセンサセル12の行数をmとすると、
図6の圧力検出装置200の場合と比較して、およそ1/mに低減することができる。また、物体の接触判定に必要な処理速度も、
図6の圧力検出装置200の場合と比較して、およそ1/mに低減することができる。
【0040】
例えば、本実施形態による圧力検出装置をロボットの指に搭載した場合、待機モードでの動作によって、ロボットの指が物体に触れたことをいち早く検知することができ、その情報に応じて動力部分の制御を迅速に行うことができる。また、通常動作モードでは、検出した圧力の2次元分布から、ロボットが触れた物体の表面の凹凸などを正確に読み取ることができる。
【0041】
このように、本実施形態によれば、通常動作時における検出精度を損なうことなく、圧力の加わっていない状態における消費電力を低減することができる。
【0042】
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態による圧力検出装置及びその駆動方法について、
図4及び
図5を用いて説明する。
図4は、本実施形態による圧力検出装置の構造を示す概略図である。
図5は、本実施形態による圧力検出装置の駆動方法を示すタイミング図である。
図1及び
図2に示す第1実施形態による圧力検出装置と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
【0043】
はじめに、本実施形態による圧力検出装置の構造について、
図4を用いて説明する。
本実施形態による圧力検出装置100は、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル12の構成が異なるほかは、
図1に示す第1実施形態による圧力検出装置と同様である。
【0044】
本実施形態による圧力検出装置100は、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル14が、2つの選択トランジスタM1,M2と1つの圧力感応素子Sとにより構成されている。その他のセンサセル12は、第1実施形態による圧力検出装置のセンサセル12と同様である。
【0045】
センサセル14の圧力感応素子Sは、一方の端子が電源電圧線に接続されており、他方の端子が選択トランジスタM1のドレイン及び選択トランジスタM2のドレインに接続されている。選択トランジスタM1のソース及び選択トランジスタM2のソースは、対応する列の出力信号線Yに接続されている。選択トランジスタM1のゲートは、対応する行の第1駆動信号線X
1に接続されている。選択トランジスタM2のゲートは、対応する行の第2駆動信号線X
2に接続されている。
【0046】
なお、本実施形態による圧力検出装置では、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル14は、各列に複数個(1個以上)接続されていてもよい。
【0047】
次に、本実施形態による圧力検出装置の駆動方法について、
図5を用いて説明する。
本実施形態による圧力検出装置の駆動方法は、第1実施形態と同様、駆動モードとして、待機モードと通常動作モードとを含む。
【0048】
待機モードでは、制御回路50の制御のもと、垂直走査回路20から第1駆動信号線X
1に供給する駆動信号PTX
1を、ローレベルに維持する。また、電圧供給回路30から第2駆動信号線X
2に供給される駆動信号PSTBは、所定の時間間隔で間欠的にローレベルからハイレベルへと遷移する。
【0049】
駆動信号PSTBがハイレベルになると、第2駆動信号線X
2に接続されたセンサセル14の選択トランジスタM2がオン状態となり、圧力感応素子Sが選択トランジスタM2を介して出力信号線Yに接続される。このとき、圧力感応素子Sに物体が接触すると、圧力感応素子Sの抵抗値が変化し、出力信号線Yの電圧が変化する。この電圧の変化を検出回路40によって検出することで、物体が接触したことを検知することができる。
【0050】
なお、出力信号線Yに複数のセンサセル14が接続されている場合、出力信号線Yの電圧は必ずしも圧力感応素子Sに加わる圧力に応じた値とはならないが、待機モードでは物体が接触したことを検知できれば十分である。
【0051】
検出回路40により物体の接触が検知されないときは、圧力検出装置は、待機モードを維持する。待機モードでは、通常動作モード時の行順次駆動のように短時間でパルスを切り替える駆動は不要であり、消費電力を低減することができる。
【0052】
検出回路40が物体の接触を検知したときは、制御回路50は、待機モードから通常動作モードに移行する。通常動作モードでは、制御回路50の制御のもと、垂直走査回路20から第1駆動信号線X
1に供給する駆動信号PTX
1を、行順次でローレベルからハイレベルへと遷移する。例えば
図5に示すように、第1駆動信号線X
11,X
12,X
13,X
14,X
15,…,X
1mに供給する駆動信号PTX
11,PTX
12,PTX
13,PTX
14,PTX
15,…,PTX
1mを、順次ハイレベルにする。なお、本実施形態では、通常動作モードにおける第2駆動信号線X
2の駆動は行わない。
【0053】
これにより、センサセル12の選択トランジスタM及びセンサセル14の選択トランジスタM1が行単位で順次オン状態となり、各列の出力信号線Yには、圧力感応素子Sへの物体の接触状態に応じた電圧が出力される。この動作を第1行から第m行について順次行うことで、圧力の2次元分布を高精度で測定することができる。
【0054】
本実施形態の圧力検出装置では、待機モードと通常動作モードとにおいて、センサセル14で駆動する選択トランジスタM1,M2が異なっている。このため、1列に複数のセンサセル14が設けられていても、通常動作モードにおいて1つの列の複数のセンサセル14において選択トランジスタM1が同時にオンになることはない。
【0055】
総てのセンサセル12からの出力電圧が、物体が接触していないときの所定値に戻ったときは、制御回路50は、通常動作モードから待機モードに移行し、上述の動作を繰り返し実行する。
【0056】
本実施形態による圧力検出装置100では、1度のパルス駆動でセンサアレイ10内における物体の接触判定を行うことができる。このため、物体の接触判定を行うための消費電力は、センサアレイ10を構成するセンサセル12の行数をmとすると、
図6の圧力検出装置200の場合と比較して、およそ1/mに低減することができる。また、物体の接触判定に必要な処理速度も、
図6の圧力検出装置200の場合と比較して、およそ1/mに低減することができる。
【0057】
このように、本実施形態によれば、通常動作時における検出精度を損なうことなく、圧力の加わっていない状態における消費電力を低減することができる。
【0058】
[変形実施形態]
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
【0059】
例えば、上記実施形態では、通常動作モードにおいて、総ての行の第1駆動信号線X
1を行順次で駆動したが、必ずしも総ての行を駆動する必要はない。
【0060】
また、上記実施形態では、本発明の圧力検出装置をロボットの指に搭載する例を示したが、本発明の圧力検出装置は、圧力の2次元分布測定やタッチセンシングの機能が求められる種々の装置に搭載可能である。例えば、本発明の圧力検出装置を、タッチセンサ一体型表示装置のタッチパネルに適用することも可能である。
【0061】
なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。