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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6802193
(24)【登録日】2020年11月30日
(45)【発行日】2020年12月16日
(54)【発明の名称】カーボンナノチューブ糸の製造方法
(51)【国際特許分類】
D02G 3/16 20060101AFI20201207BHJP
C01B 32/158 20170101ALI20201207BHJP
【ＦＩ】
D02G3/16
C01B32/158
【請求項の数】8
【全頁数】26
(21)【出願番号】特願2017-563802(P2017-563802)
(86)(22)【出願日】2017年1月26日
(86)【国際出願番号】JP2017002627
(87)【国際公開番号】WO2017131061
(87)【国際公開日】20170803
【審査請求日】2020年1月7日
(31)【優先権主張番号】特願2016-16318(P2016-16318)
(32)【優先日】2016年1月29日
(33)【優先権主張国】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000005119
【氏名又は名称】日立造船株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100103517
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 寛之
(72)【発明者】
【氏名】井上 鉄也
【審査官】
斎藤 克也
(56)【参考文献】
【文献】
国際公開第２０１５／０１１７６８（ＷＯ，Ａ１）
【文献】
特開２０１４−１６９５２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】
国際公開第２００８／０２２１２９（ＷＯ，Ａ２）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｄ０２Ｇ １／００ − ３／４８
Ｄ０２Ｊ １／００ − １３／００
Ｃ０１Ｂ ３２／００ − ３２／３９
Ｄ０１Ｆ ９／０８ − ９／３２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板上に配置され、前記基板に対して垂直に配向される垂直配向カーボンナノチューブを準備する工程と、
周面に溝を有する回転体を準備する工程と、
前記垂直配向カーボンナノチューブから、複数のカーボンナノチューブを線状に連続するように引き出して、カーボンナノチューブ単糸を調製するとともに、前記カーボンナノチューブ単糸を複数並列配置して、カーボンナノチューブウェブを調製する工程と、
前記カーボンナノチューブウェブを前記溝に嵌るように前記回転体の周面に巻き付ける工程と、
前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体から引き出す工程と、を含むことを特徴とする、カーボンナノチューブ糸の製造方法。
周面に溝を有する回転体を準備する工程と、
前記垂直配向カーボンナノチューブから、複数のカーボンナノチューブを線状に連続するように引き出して、カーボンナノチューブ単糸を調製するとともに、前記カーボンナノチューブ単糸を複数並列配置して、カーボンナノチューブウェブを調製する工程と、
前記カーボンナノチューブウェブを前記溝に嵌るように前記回転体の周面に巻き付ける工程と、
前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体から引き出す工程と、を含むことを特徴とする、カーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項2】
前記回転体から引き出された前記カーボンナノチューブウェブに撚りをかけることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項3】
前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体の周面に巻き付ける工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、前記溝に嵌めることにより、互いに隣接する前記複数のカーボンナノチューブ単糸を前記複数のカーボンナノチューブ単糸の並列方向において集束させることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項4】
前記回転体の周面に巻き付けられる前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体の径方向の外側から加圧する工程を、さらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項5】
前記回転体の周面に巻き付けられる前記カーボンナノチューブウェブに揮発性の液体および／または樹脂材料を供給する工程を、さらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項6】
前記垂直配向カーボンナノチューブを準備する工程において、前記垂直配向カーボンナノチューブを複数準備し、
前記カーボンナノチューブウェブを調製する工程において、複数の前記垂直配向カーボンナノチューブから、複数の前記カーボンナノチューブウェブを調製し、
前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、複数の前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体の径方向に積層されるように、前記回転体の周面に巻き付けることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
前記カーボンナノチューブウェブを調製する工程において、複数の前記垂直配向カーボンナノチューブから、複数の前記カーボンナノチューブウェブを調製し、
前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、複数の前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体の径方向に積層されるように、前記回転体の周面に巻き付けることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項7】
前記カーボンナノチューブウェブを調製する工程において、前記垂直配向カーボンナノチューブから、前記カーボンナノチューブウェブを複数調製し、
前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、複数の前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体の径方向に積層されるように、前記回転体の周面に巻き付けることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、複数の前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体の径方向に積層されるように、前記回転体の周面に巻き付けることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【請求項8】
前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、前記カーボンナノチューブウェブとともに、長尺状の部材を前記回転体の周面に巻き付けることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、カーボンナノチューブ糸の製造方法に関する。【背景技術】
【0002】
カーボンナノチューブは、優れた機械強度、熱伝導性および電気伝導性を有していることが知られている。そして、複数のカーボンナノチューブを糸状に形成し、カーボンナノチューブ糸として、各種産業製品の材料とすることが検討されている。【0003】
このようなカーボンナノチューブ糸の製造方法として、例えば、基板上に成長させたナノチューブ・フォレストから、カーボンナノチューブが連続的につながるシート状のナノチューブシートを引き出し、そのナノチューブシートに撚りをかける、ナノファイバーの撚り糸の製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特表２００８−５２３２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、特許文献１に記載のナノファイバーの撚り糸の製造方法では、ナノチューブ・フォレストからナノチューブシートを引き出した状態で、そのナノチューブシートに撚りをかけるので、ナノチューブシートに撚りをかける前に、ナノチューブシートに種々の処理、例えば、高密度化処理などを実施することは困難である。そのため、ナノチューブシートの密度の向上を図ることができず、ナノファイバーの撚り糸の密度の向上を図るには限度がある。その結果、そのようなナノファイバーの撚り糸では、用途に応じた機械強度、熱伝導性および電気伝導性などを十分に確保できない場合があり、とりわけ、機械強度の向上を図るには限度がある。【0006】
そこで、本発明の目的は、カーボンナノチューブウェブに対して種々の処理を円滑かつ容易に実施することができ、高密度のカーボンナノチューブ糸を円滑に製造することができるカーボンナノチューブ糸の製造方法を提供することにある。【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明［１］は、基板上に配置され、前記基板に対して垂直に配向される垂直配向カーボンナノチューブを準備する工程と、周面に溝を有する回転体を準備する工程と、前記垂直配向カーボンナノチューブから、複数のカーボンナノチューブを線状に連続するように引き出して、カーボンナノチューブ単糸を調製するとともに、前記カーボンナノチューブ単糸を複数並列配置して、カーボンナノチューブウェブを調製する工程と、前記カーボンナノチューブウェブを前記溝に嵌るように前記回転体の周面に巻き付ける工程と、前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体から引き出す工程と、を含む、カーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0008】
このような方法によれば、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されるカーボンナノチューブウェブを、溝に嵌るように回転体の周面に巻き付けるので、溝に嵌ったカーボンナノチューブウェブに、種々の工程を円滑かつ容易に実施することができる。【0009】
その後、カーボンナノチューブウェブを、回転体から引き出して、カーボンナノチューブ糸を製造するので、カーボンナノチューブ糸の密度の向上を図ることができ、高密度のカーボンナノチューブ糸を円滑に製造することができる。【0010】
本発明［２］は、前記回転体から引き出された前記カーボンナノチューブウェブに撚りをかける、上記［１］に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0011】
このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを回転体から引き出して撚りをかけるので、撚りをかけたカーボンナノチューブ糸の密度の向上を図ることができる。【0012】
本発明［３］は、カーボンナノチューブウェブを前記回転体の周面に巻き付ける工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、前記溝に嵌めることにより、互いに隣接する前記複数のカーボンナノチューブ単糸を前記複数のカーボンナノチューブ単糸の並列方向において集束させる、上記［１］または［２］に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0013】
このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを、溝に嵌まるように、回転体の周面に巻き付けるという簡易な方法により、複数のカーボンナノチューブ単糸を集束させることができる。そのため、簡易な方法でありながら、カーボンナノチューブウェブの密度の向上を図ることができ、ひいては、カーボンナノチューブ糸の密度の向上を図ることができる。【0014】
本発明［４］は、前記回転体の周面に巻き付けられる前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体の径方向の外側から加圧する工程を、さらに含む、上記［１］〜［３］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0015】
このような方法によれば、回転体の周面に巻き付けられるカーボンナノチューブウェブを、回転体の径方向の外側から加圧するので、簡易な方法でありながら、カーボンナノチューブウェブの密度の向上を確実に図ることができ、ひいては、カーボンナノチューブ糸の密度の向上を確実に図ることができる。【0016】
本発明［５］は、前記回転体の周面に巻き付けられる前記カーボンナノチューブウェブに揮発性の液体および／または樹脂材料を供給する工程を、さらに含む、上記［１］〜［４］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0017】
このような方法によれば、回転体の周面に巻き付けられるカーボンナノチューブウェブに揮発性の液体および／または樹脂材料を供給するので、カーボンナノチューブウェブにおいて複数のカーボンナノチューブ単糸が互いに密集するとともに、各カーボンナノチューブ単糸において複数のカーボンナノチューブが互いに密集する。【0018】
そのため、簡易な方法でありながら、カーボンナノチューブウェブの密度の向上をより一層確実に図ることができ、ひいては、カーボンナノチューブ糸の密度の向上をより一層確実に図ることができる。【0019】
本発明［６］は、前記垂直配向カーボンナノチューブを準備する工程において、前記垂直配向カーボンナノチューブを複数準備し、前記カーボンナノチューブウェブを調製する工程において、複数の前記垂直配向カーボンナノチューブから、複数の前記カーボンナノチューブウェブを調製し、次に、前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、複数の前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体の径方向に積層されるように、前記回転体の周面に巻き付ける、上記［１］〜［５］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0020】
このような方法によれば、複数の垂直配向カーボンナノチューブから、複数のカーボンナノチューブウェブを調製し、それらカーボンナノチューブウェブを、溝に嵌るとともに回転体の径方向に積層されるように、回転体の周面に巻き付ける。【0021】
その後、積層されたカーボンナノチューブウェブを、回転体から引き出して、カーボンナノチューブ糸を製造するので、カーボンナノチューブ糸の密度の向上を図ることができながら、カーボンナノチューブ糸の大径化を図ることができる。その結果、カーボンナノチューブ糸の機械強度のさらなる向上を図ることができる。【0022】
本発明［７］は、前記カーボンナノチューブウェブを調製する工程において、前記垂直配向カーボンナノチューブから、前記カーボンナノチューブウェブを複数調製し、前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、複数の前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体の径方向に積層されるように、前記回転体の周面に巻き付ける、上記［１］〜［６］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0023】
このような方法によれば、１つの垂直配向カーボンナノチューブから、複数のカーボンナノチューブウェブを調製し、それらカーボンナノチューブウェブを、溝に嵌るとともに回転体の径方向に積層されるように、回転体の周面に巻き付ける。【0024】
そのため、１つの垂直配向カーボンナノチューブから、１つのカーボンナノチューブウェブを調製し、そのカーボンナノチューブウェブを、溝に嵌るように回転体の周面に巻き付けて、複数のカーボンナノチューブ単糸を一括して並列方向に集束させる場合と比較して、複数のカーボンナノチューブ単糸を確実に集束させることができる。その結果、カーボンナノチューブウェブの密度の向上をより一層確実に図ることができる。【0025】
本発明［８］は、前記カーボンナノチューブウェブを前記回転体に巻き付ける工程において、前記カーボンナノチューブウェブとともに、長尺状の部材を前記回転体の周面に巻き付ける、上記［１］〜［７］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ糸の製造方法を含んでいる。【0026】
このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブとともに、長尺状の部材を回転体の周面に巻き付けるので、簡易な方法でありながら、カーボンナノチューブウェブと長尺状の部材とを複合化させることができる。そして、長尺状の部材と複合化されたカーボンナノチューブウェブから、カーボンナノチューブ糸が製造されるので、カーボンナノチューブ糸に、長尺状の部材の特性を付与することができる。【0027】
本発明［９］は、周面に溝を有し、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されてなるカーボンナノチューブウェブが前記溝に嵌るように、前記カーボンナノチューブウェブが巻き付けられる回転体と、前記回転体から引き出された前記カーボンナノチューブウェブに撚りをかける撚掛部と、を備えている、カーボンナノチューブ糸の製造装置を含んでいる。【0028】
このような構成によれば、周面に溝を有する回転体を備えているので、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されてなるカーボンナノチューブウェブを、溝に嵌るように回転体の周面に巻き付けることができる。【0029】
そのため、溝に嵌ったカーボンナノチューブウェブに、種々の工程を円滑かつ容易に実施することができる。その後、撚掛部が、回転体から引き出されたカーボンナノチューブウェブに撚りをかけることができるので、高密度のカーボンナノチューブ糸を円滑に製造することができる。【0030】
本発明［１０］は、前記回転体に巻き付けられる前記カーボンナノチューブウェブを、前記回転体との間に挟むように押圧する押圧部を備えている、上記［８］に記載のカーボンナノチューブ糸の製造装置を含んでいる。【0031】
このような構成によれば、回転体に巻き付けられるカーボンナノチューブウェブを押圧する押圧部を備えているので、カーボンナノチューブウェブの密度の向上を図ることができ、ひいては、カーボンナノチューブ糸の密度の向上を確実に図ることができる。【0032】
本発明［１１］は、前記回転体に巻き付けられる前記カーボンナノチューブウェブに、揮発性の液体を供給する供給部を備えている、上記［８］または［９］に記載のカーボンナノチューブ糸の製造装置を含んでいる。【0033】
このような構成によれば、回転体に巻き付けられるカーボンナノチューブウェブに揮発性の液体を供給する供給部を備えているので、カーボンナノチューブウェブの密度の向上を確実に図ることができ、ひいては、カーボンナノチューブ糸の密度の向上をより一層確実に図ることができる。【発明の効果】
【0034】
本発明のカーボンナノチューブ糸の製造方法では、カーボンナノチューブウェブに対して種々の処理を円滑かつ容易に実施することができ、高密度のカーボンナノチューブ糸を円滑に製造することができる。【図面の簡単な説明】
【0035】
【図1】図１Ａは、本発明のカーボンナノチューブ糸（ＣＮＴ糸）の製造方法の一実施形態に係るカーボンナノチューブウェブ（ＣＮＴウェブ）の調製工程を説明するための説明図であって、基板上に触媒層を形成する工程を示す。図１Ｂは、図１Ａに続いて、基板を加熱して、触媒層を複数の粒状体に凝集させる工程を示す。図１Ｃは、図１Ｂに続いて、複数の粒状体に原料ガスを供給して、垂直配向カーボンナノチューブ（ＶＡＣＮＴｓ）を成長させる工程を示す。図１Ｄは、図１Ｃに続いて、ＶＡＣＮＴｓからＣＮＴウェブを調製する工程を示す。
【発明を実施するための形態】
【0036】
本発明のカーボンナノチューブ糸の製造方法は、カーボンナノチューブウェブを回転体の溝に嵌るように回転体に巻き付けた後、回転体から引き出して、高密度のカーボンナノチューブ糸を円滑に製造するものである。【0037】
（第１実施形態）図１〜図３を参照して、本発明のカーボンナノチューブ糸の製造方法の第１実施形態について説明する。カーボンナノチューブ撚糸（カーボンナノチューブ糸の一形態）の製造方法の第１実施形態は、例えば、図２〜図３Ｂに示すように、基板１上に配置される垂直配向カーボンナノチューブ２（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ Ａｌｉｇｎｅｄ ｃａｒｂｏｎ ｎａｎｏｔｕｂｅｓ；以下、ＶＡＣＮＴｓ２とする。）を準備する工程と、回転体の一例としてのローラ４を準備する工程と、ＶＡＣＮＴｓ２からカーボンナノチューブウェブ３（以下、ＣＮＴウェブ３とする。）を調製する工程と、ＣＮＴウェブ３をローラ４の周面４Ａに巻き付ける工程と、ＣＮＴウェブ３をローラ４から引き出し、さらに撚りをかける工程とを含んでいる。
【0038】
このような製造方法では、例えば、図１Ａ〜図１Ｄに示すように、化学気相成長法（ＣＶＤ法）により、基板１上にＶＡＣＮＴｓ２を成長させて、基板１上に配置されるＶＡＣＮＴｓ２を準備する（ＶＡＣＮＴｓ準備工程）。【0039】
詳しくは、図１Ａに示すように、まず、基板１を準備する。基板１は、特に限定されず、例えば、ＣＶＤ法に用いられる公知の基板が挙げられ、市販品を用いることができる。【0040】
基板１として、例えば、シリコン基板や、二酸化ケイ素膜６が積層されるステンレス基板５などが挙げられ、好ましくは、二酸化ケイ素膜６が積層されるステンレス基板５が挙げられる。なお、図１Ａ〜図１Ｄおよび図２では、基板１が、二酸化ケイ素膜６が積層されるステンレス基板５である場合を示す。【0041】
そして、図１Ａに示すように、基板１上、好ましくは、二酸化ケイ素膜６上に触媒層７を形成する。基板１上に触媒層７を形成するには、金属触媒を、公知の成膜方法により、基板１（好ましくは、二酸化ケイ素膜６）上に成膜する。【0042】
金属触媒として、例えば、鉄、コバルト、ニッケルなどが挙げられ、好ましくは、鉄が挙げられる。このような金属触媒は、単独使用または２種類以上併用することができる。成膜方法として、例えば、真空蒸着およびスパッタリングが挙げられ、好ましくは、真空蒸着が挙げられる。これによって、基板１上に触媒層７が配置される。【0043】
次いで、触媒層７が配置される基板１を、図１Ｂに示すように、例えば、７００℃以上９００℃以下に加熱する。これにより、触媒層７が、凝集して、複数の粒状体７Ａとなる。【0044】
そして、加熱された基板１に、図１Ｃに示すように、原料ガスを供給する。原料ガスは、炭素数１〜４の炭化水素ガス（低級炭化水素ガス）を含んでいる。炭素数１〜４の炭化水素ガスとして、例えば、メタンガス、エタンガス、プロパンガス、ブタンガス、エチレンガス、アセチレンガスなどが挙げられ、好ましくは、アセチレンガスが挙げられる。【0045】
また、原料ガスは、必要により、水素ガスや、不活性ガス（例えば、ヘリウム、アルゴンなど）、水蒸気などを含むこともできる。【0046】
原料ガスの供給時間としては、例えば、１分以上、好ましくは、５分以上、例えば、６０分以下、好ましくは、３０分以下である。【0047】
これによって、複数の粒状体７Ａのそれぞれを起点として、複数のカーボンナノチューブ１０（以下、ＣＮＴ１０とする。）が成長する。なお、図１Ｃでは、便宜上、１つの粒状体７Ａから、１つのＣＮＴ１０が成長するように記載されているが、これに限定されず、１つの粒状体７Ａから、複数のＣＮＴ１０が成長してもよい。【0048】
複数のＣＮＴ１０のそれぞれは、単層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブのいずれであってもよく、好ましくは、多層カーボンナノチューブである。複数のＣＮＴ１０は、単層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブのいずれか１種のみを含んでいてもよく、単層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブの両方を含んでいてもよい。【0049】
ＣＮＴ１０の平均外径は、例えば、１ｎｍ以上、好ましくは、５ｎｍ以上、例えば、１００ｎｍ以下、好ましくは、５０ｎｍ以下、さらに好ましくは、２０ｎｍ以下である。【0050】
ＣＮＴ１０の平均長さ（平均軸線方向寸法）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上、さらに好ましくは、２００μｍ以上、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、５００μｍ以下、さらに好ましくは、４００μｍ以下である。なお、ＣＮＴ１０の層数、平均外径および平均長さは、例えば、ラマン分光分析や、電子顕微鏡観察などの公知の方法により測定される。【0051】
このような複数のＣＮＴ１０のそれぞれは、基板１上において、互いに略平行となるように、基板１の厚み方向に延びている。これによって、複数のＣＮＴ１０からなるＶＡＣＮＴｓ２が、基板１上に成長する。【0052】
つまり、複数のＣＮＴ１０は、基板１に対して直交するように配向（垂直に配向）されており、ＶＡＣＮＴｓ２は、基板１に対して垂直に配向されている。【0053】
以上によって、基板１上に配置されるＶＡＣＮＴｓ２が準備される。【0054】
ＶＡＣＮＴｓ２は、図２に示すように、基板１の厚み方向（上下方向）と直交する面方向（縦方向および横方向）に延びる平面視略矩形形状を有している。ＶＡＣＮＴｓ２は、複数のＣＮＴ１０が縦方向に直線的に並ぶ列２Ａを、横方向に複数備えている。ＶＡＣＮＴｓ２において、複数のＣＮＴ１０は、面方向（縦方向および横方向）に互いに密集している。【0055】
このようなＶＡＣＮＴｓ２の嵩密度は、例えば、１０ｍｇ／ｃｍ３以上、好ましくは、２０ｍｇ／ｃｍ３以上、例えば、６０ｍｇ／ｃｍ３以下、好ましくは、５０ｍｇ／ｃｍ３以下である。なお、ＶＡＣＮＴｓ２の嵩密度は、例えば、単位面積当たり質量（目付量：単位 ｍｇ／ｃｍ２）と、カーボンナノチューブの長さ（ＳＥＭ（日本電子社製）または非接触膜厚計（キーエンス社製）により測定）とから算出される。【0056】
また、ＶＡＣＮＴｓ２とは別途、ローラ４を準備する（ローラ準備工程）。【0057】
ローラ４は、円柱形状を有しており、その軸線を回転中心として回転可能である。また、ローラ４は、その周面４Ａにおいて、溝２０を有している。【0058】
溝２０は、本実施形態において、ローラ４の周面４Ａから、ローラ４の径方向（以下、単に径方向とする。）の内側に向かって凹んでおり、ローラ４の周面４Ａを複数周回するように、螺旋状に延びている。具体的には、溝２０は、ローラ４の周面４Ａを、軸線方向の一方側から見て、時計回り方向に周回しながら、周面４Ａの軸線方向一端部から他端部に向かって延びている。【0060】
また、溝２０は、図３Ｂに示すように、ローラ４の周面４Ａから略台形状に凹んでおり、１対の傾斜面２０Ａと、１対の直交面２０Ｂと、底面２０Ｃとを有している。【0061】
１対の傾斜面２０Ａは、ローラ４の軸線および軸線に直交する面と交差する傾斜面であって、ローラ４の周面４Ａから径方向の内側に向かうにつれて、軸線方向の内側に互いに近づくように傾斜している。また、１対の傾斜面２０Ａの径方向の内側端縁は、軸線方向に互いに間隔を空けて位置している。１対の直交面２０Ｂは、１対の傾斜面２０Ａの径方向の内側端縁から連続して、ローラ４の径方向に沿って延びている。底面２０Ｃは、１対の直交面２０Ｂの径方向内側端縁を、軸線方向に沿って連結している。【0062】
このような溝２０の径方向外側端部の軸線方向寸法Ｌ１（より具体的には、１対の傾斜面２０Ａの径方向外側端縁間の間隔Ｌ１）は、溝２０の軸線方向最大寸法であり、溝２０の径方向内側端部の軸線方向寸法Ｌ２（より具体的には、底面２０Ｃの軸線方向寸法Ｌ２）は、溝２０の軸線方向最小寸法である。【0063】
溝２０の径方向内側端部の軸線方向寸法Ｌ２は、後述するＣＮＴウェブ３の横方向寸法Ｌ３以下である。【0064】
そして、本実施形態では、ローラ４は、図２に示すように、軸線方向がＶＡＣＮＴｓ２の横方向と平行となるように、ＶＡＣＮＴｓ２に対して縦方向の一方側に間隔を空けて配置されている。つまり、ローラ４の軸線方向と、ＶＡＣＮＴｓ２の横方向とは同一方向である。【0065】
次いで、図１Ｄに示すように、ＣＮＴウェブ３をＶＡＣＮＴｓ２から調製する（調製工程）。【0066】
ＣＮＴウェブ３をＶＡＣＮＴｓ２から調製するには、図２に示すように、ＶＡＣＮＴｓ２のうち、各列２Ａの縦方向一方側端部に位置するＣＮＴ１０を、図示しない引出具により一括して保持し、基板１の厚み方向と交差する（交わる）方向、好ましくは、縦方向に沿って引っ張る。【0067】
すると、引っ張られたＣＮＴ１０は、図１Ｄに示すように、対応する粒状体７Ａから引き抜かれる。このとき、引き抜かれるＣＮＴ１０との摩擦力およびファンデルワ―ルス力などにより、引き抜かれるＣＮＴ１０に縦方向に隣接するＣＮＴ１０の一端（下端）が、引き抜かれるＣＮＴ１０の一端（下端）に付着され、対応する粒状体７Ａから引き抜かれる。【0068】
このとき、一端（下端）にＣＮＴ１０が付着されたＣＮＴ１０は、その一端（下端）が引出方向の下流に引っ張られることにより、ＣＮＴ１０の他端（上端）が引出方向の上流に向かうように傾倒し、隣接するＣＮＴ１０の他端（上端）に付着する。【0069】
次いで、他端（上端）にＣＮＴ１０が付着されたＣＮＴ１０は、その他端（上端）が引出方向の下流に引っ張られることにより、その一端（下端）が対応する粒状体７Ａから引き抜かれ、隣接するＣＮＴ１０の一端（下端）に付着する。【0070】
これによって、複数のＣＮＴ１０が、順次連続して、ＶＡＣＮＴｓ２から引き出され、複数のＣＮＴ１０が直線状に連続的に繋がるカーボンナノチューブ単糸８（以下、ＣＮＴ単糸８とする。）が調製される。【0071】
より詳しくは、ＣＮＴ単糸８において、連続するＣＮＴ１０は、それらＣＮＴ１０の一端（下端）同士または他端（上端）同士が付着されており、ＣＮＴ単糸８の延びる方向に沿うように配向されている。なお、図１Ｄでは、便宜上、ＣＮＴ１０が１本ずつ連続的に繋がり、ＣＮＴ単糸８を形成するように記載されているが、実際には、複数のＣＮＴ１０からなる束（バンドル）が連続的に繋がり、ＣＮＴ単糸８を形成している。【0072】
このようなＣＮＴ単糸８は、撚り合わされていない無撚糸であって、撚り角度は、略０°である。ＣＮＴ単糸８の外径は、例えば、５ｎｍ以上、好ましくは、８ｎｍ以上、例えば、１００ｎｍ以下、好ましくは、８０ｎｍ以下、さらに好ましくは、５０ｎｍ以下である。【0073】
このようなＣＮＴ単糸８は、図２の拡大図に示すように、各列２ＡのＣＮＴ１０が、同時かつ平行に一括して引き出されるため、ＣＮＴ単糸８の延びる方向と交差する（交わる）方向に複数並列配置されている。【0074】
本実施形態では、複数のＣＮＴ単糸８は、縦方向に沿って延びており、横方向に並列配置されている。つまり、複数のＣＮＴ単糸８の並列方向は、ＶＡＣＮＴｓ２の横方向と同一方向である。【0075】
これによって、並列配置される複数のＣＮＴ単糸８は、略シート形状を有しており、ＣＮＴウェブ３として調製される。つまり、ＶＡＣＮＴｓ２から複数のＣＮＴ１０を線状に連続するように引き出して、ＣＮＴ単糸８を調製するとともに、ＣＮＴ単糸８を複数並列配置して、ＣＮＴウェブ３を調製する。【0076】
ＣＮＴウェブ３の横方向寸法Ｌ３は、例えば、０．１ｃｍ以上、好ましくは、０．５ｃｍ以上、例えば、５ｃｍ以下、好ましくは、３ｃｍ以下である。【0077】
次いで、図２に示すように、ＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付ける（巻付工程）。【0078】
具体的には、ＣＮＴウェブ３を、螺旋状の溝２０に嵌るように、ローラ４の周面４Ａに螺旋状に巻き付ける。なお、本実施形態では、ＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌めることにより、互いに隣接するＣＮＴ単糸８を並列方向において集束させる態様について詳述する。つまり、溝２０の径方向内側端部の軸線方向寸法Ｌ２は、ＣＮＴウェブ３の横方向寸法Ｌ３未満である。【0079】
より具体的には、図３Ｂに示すように、ＣＮＴウェブ３において、互いに隣接する複数のＣＮＴ単糸８は、溝２０の１対の傾斜面２０Ａの傾斜により、並列方向の内側に向かって集束した後、溝２０の底面２０Ｃ上に到達する。【0080】
その後、図２に示すように、ローラ４を回転させるとともに、複数のＣＮＴ単糸８が集束されたＣＮＴウェブ３（以下、集束ＣＮＴウェブ３Ａとする。）が螺旋状の溝２０を通過するように、集束ＣＮＴウェブ３Ａの遊端部をローラ４から引き出す。【0081】
これによって、集束ＣＮＴウェブ３Ａが移動方向の下流に向かって引っ張られ、それに伴なって、ＶＡＣＮＴｓ２から調製されるＣＮＴウェブ３が、ローラ４に向かって引っ張られ、ＶＡＣＮＴｓ２から複数のＣＮＴ１０が連続的に引き出される。【0082】
このとき、ＣＮＴウェブ３の移動速度は、例えば、０．０１ｍ／ｍｉｎ以上、好ましくは、０．１ｍ／ｍｉｎ以上、例えば、２００ｍ／ｍｉｎ以下、好ましくは、１００ｍ／ｍｉｎ以下である。【0083】
そして、ＣＮＴウェブ３が、ローラ４に順次到達して溝２０に進入すると、上記と同様に、互いに隣接する複数のＣＮＴ単糸８が、１対の傾斜面２０Ａの傾斜により集束される。その後、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、螺旋状の溝２０を順次連続して通過するように進行して、ローラ４の周面４Ａに巻き付けられる。【0084】
このような集束ＣＮＴウェブ３Ａは、図３Ｂに示すように、ＣＮＴ撚糸２５（後述）の性能向上および生産効率向上の観点から、好ましくは、ローラ４の周面４Ａ上において、高密度化処理される。【0085】
高密度化処理としては、例えば、集束ＣＮＴウェブ３Ａを加圧する方法や、集束ＣＮＴウェブ３Ａに揮発性の液体を供給する方法が挙げられる。このような高密度化処理は、１回のみ実施してもよいが、好ましくは、複数回実施される。【0086】
本実施形態では、集束ＣＮＴウェブ３Ａが、ローラ４に巻き付けられた状態で、一次加圧された後、揮発性の液体が供給され、続いて、二次加圧される態様について詳述する。つまり、本実施形態のカーボンナノチューブ撚糸の製造方法は、集束ＣＮＴウェブ３Ａを加圧する工程（加圧工程）と、集束ＣＮＴウェブ３Ａに揮発性の液体を供給する工程（液体供給工程）とを含んでいる。【0087】
本実施形態の高密度化処理では、まず、ローラ４の周面に巻き付けられた集束ＣＮＴウェブ３Ａを、押圧部の一例としての押圧軸３８により一次加圧する。【0088】
押圧軸３８は、ローラ４の溝２０に対応しており、ローラ４の溝２０と径方向に向かい合うように配置される。押圧軸３８は、ローラ４の径方向に沿って延びる角柱形状を有している。また、押圧軸３８は、ローラ４の径方向に沿って進退可能である。【0089】
なお、本実施形態では、後述するが、二次加圧においても押圧軸３８が使用される。そのため、一次加圧に使用される押圧軸３８を第１押圧軸３８Ａとし、二次加圧に使用される押圧軸３８を第２押圧軸３８Ｂとして区別する。【0090】
そして、ローラ４を回転させながら、第１押圧軸３８Ａをローラ４側に進出させて、押圧軸３８のローラ４側の端部を対応する溝２０内に挿入する。【0091】
これによって、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、第１押圧軸３８Ａのローラ４側の端部と、溝２０の底面２０Ｃとの間に挟み込まれ、ローラ４の径方向の外側から加圧される。そのため、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度が向上する。【0092】
一次加圧における集束ＣＮＴウェブ３Ａに対する圧力は、例えば、１０ｋｇ／ｃｍ２以上、好ましくは、５０ｋｇ／ｃｍ２以上、例えば、１０００ｋｇ／ｃｍ２以下、好ましくは、５００ｋｇ／ｃｍ２以下である。【0093】
次いで、一次加圧された集束ＣＮＴウェブ３Ａに、供給部３９により揮発性の液体を供給する。【0094】
供給部３９は、溝２０のうち、第１押圧軸３８Ａが対応する部分よりも、集束ＣＮＴウェブ３Ａの移動方向下流側部分に対応しており、第１押圧軸３８Ａに対して、ローラ４の軸線方向の他方側に間隔を空けて配置されている。また、供給部３９は、揮発性の液体を集束ＣＮＴウェブ３Ａに供給（噴霧または滴下）可能である。さらには、供給部３９は、樹脂材料を集束ＣＮＴウェブ３Ａに供給（噴霧または滴下）可能である。【0095】
揮発性の液体として、例えば、水、有機溶媒などが挙げられ、好ましくは、有機溶媒が挙げられる。有機溶媒として、例えば、低級（Ｃ１〜３）アルコール類（例えば、メタノール、エタノール、プロパノールなど）、ケトン類（例えば、アセトンなど）、エーテル類（例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなど）、アルキルエステル類（例えば、酢酸エチルなど）、ハロゲン化脂肪族炭化水素類（例えば、クロロホルム、ジクロロメタンなど）、極性非プロトン類（例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミドなど）などが挙げられる。【0096】
このような揮発性の液体のなかでは、好ましくは、低級アルコール類、さらに好ましくは、エタノールが挙げられる。このような揮発性の液体は、単独使用または２種類以上併用することができる。また、揮発性の液体には、微粒子を分散でき、また、金属塩および／または樹脂材料を溶解することもできる。【0097】
樹脂材料として、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂が挙げられる。熱硬化性樹脂は、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂は、単独使用または２種類以上併用することができる。熱硬化性樹脂のなかでは、好ましくは、ポリイミド樹脂が挙げられる。【0098】
熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレートなど）、ポリオレフィン（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）、ポリアミド、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリ塩化ビニリデン、ポリアクリロニトリル、ポリウレタン、芳香族ポリエーテルケトン（例えば、ポリエーテルエーテルケトンなど）、ポリオキサジアゾール、フッ素系ポリマー（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデンなど）などが挙げられる。【0099】
樹脂材料は、上記のように揮発性の液体に溶解して、揮発性の液体とともに集束ＣＮＴウェブ３Ａに供給することができる。また、樹脂材料が熱可塑性樹脂である場合、溶融状態の熱可塑性樹脂のみを集束ＣＮＴウェブ３Ａに供給でき、樹脂材料が熱硬化性樹脂である場合、液状（Ａステージ）状態の熱硬化性樹脂を集束ＣＮＴウェブ３Ａに供給できる。【0100】
そして、供給部３９は、一次加圧された集束ＣＮＴウェブ３Ａに揮発性の液体を供給する。これによって、ローラ４の周面４Ａに巻き付けられる集束ＣＮＴウェブ３Ａに揮発性の液体が均一に付着する。なお、揮発性の液体に樹脂材料が溶解されている場合、揮発性の液体および樹脂材料が集束ＣＮＴウェブ３Ａに供給される。【0101】
次いで、揮発性の液体が供給された集束ＣＮＴウェブ３Ａを、第２押圧軸３８Ｂ（押圧軸３８）により二次加圧する。【0102】
第２押圧軸３８Ｂは、溝２０のうち、供給部３９が対応する部分よりも、集束ＣＮＴウェブ３Ａの移動方向下流側部分に対応しており、供給部３９に対して、ローラ４の軸線方向の他方側に間隔を空けて配置されている。そして、上記の一次加圧と同様に、第２押圧軸３８Ｂをローラ４側に進出させて、集束ＣＮＴウェブ３Ａを、第２押圧軸３８Ｂのローラ４側の端部と、溝２０の底面２０Ｃとの間に挟み込み、ローラ４の径方向の外側から加圧する。これによって、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度が確実に向上する。【0103】
二次加圧における集束ＣＮＴウェブ３Ａに対する圧力は、上記の一次加圧の圧力と同一であってもよく、互いに異なっていてもよいが、好ましくは、一次加圧の圧力よりも大きい。【0104】
二次加圧における集束ＣＮＴウェブ３Ａに対する圧力は、例えば、１０ｋｇ／ｃｍ２以上、好ましくは、５０ｋｇ／ｃｍ２以上、例えば、１０００ｋｇ／ｃｍ２以下、好ましくは、５００ｋｇ／ｃｍ２以下である。【0105】
その後、必要により、二次加圧された集束ＣＮＴウェブ３Ａを、乾燥部４０により乾燥させる。【0106】
乾燥部４０は、公知の乾燥装置であって、溝２０のうち、第２押圧軸３８Ｂが対応する部分よりも、集束ＣＮＴウェブ３Ａの移動方向下流側部分に対応しており、第２押圧軸３８Ｂに対して、ローラ４の軸線方向の他方側に間隔を空けて配置されている。そして、乾燥部４０は、二次加圧された集束ＣＮＴウェブ３Ａを加熱する。【0107】
このとき、揮発性の液体が気化して、複数のＣＮＴ単糸８が互いに密集するとともに、各ＣＮＴ単糸８において、複数のＣＮＴ１０が互いに密集する。そのため、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度がより一層確実に向上する。また、集束ＣＮＴウェブ３Ａに熱硬化性樹脂が供給されている場合、乾燥部４０の加熱により熱硬化性樹脂が硬化する。【0108】
以上によって、ローラ４に巻き付けられた集束ＣＮＴウェブ３Ａは、一次加圧された後、揮発性の液体が供給され、続いて、二次加圧され、必要により乾燥されて、高密度化される。【0109】
次いで、図２に示すように、ローラ４の溝２０を通過した集束ＣＮＴウェブ３Ａを、ローラ４から引き出して、撚りをかけて、カーボンナノチューブ撚糸２５（以下、ＣＮＴ撚糸２５とする。）を製造する（撚掛工程）。【0110】
集束ＣＮＴウェブ３Ａに撚りをかけるには、引き出された集束ＣＮＴウェブ３Ａの移動方向下流側端部を、集束ＣＮＴウェブ３Ａの延びる方向に沿う仮想線を回転中心として回転させる。【0111】
これによって、集束ＣＮＴウェブ３Ａが撚りかけられ、複数のＣＮＴ単糸８が互いに撚り合わされて、ＣＮＴ撚糸２５が製造される。【0112】
ＣＮＴ撚糸２５の撚り数は、例えば、５００Ｔ／ｍ以上、好ましくは、１０００Ｔ／ｍ以上、例えば、１００００Ｔ／ｍ以下、好ましくは、５０００Ｔ／ｍ以下である。【0113】
ＣＮＴ撚糸２５の嵩密度は、例えば、０．５ｇ／ｃｍ３以上、好ましくは、０．７ｇ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは、１ｇ／ｃｍ３以上である。【0114】
以上によって、ＶＡＣＮＴｓ２からのＣＮＴウェブ３の調製（調製工程）、ＣＮＴウェブ３のローラ４への巻き付け（巻付工程）、集束ＣＮＴウェブ３Ａの高密度化（加圧工程および液体供給工程）、および、集束ＣＮＴウェブ３Ａの撚りかけ（撚掛工程）が順次連続して実施され、ＣＮＴ撚糸２５が連続的に製造される。【0115】
このようなＣＮＴ撚糸２５は、例えば、炭素繊維が用いられる織物（シート）、電気機器（例えば、モータ、トランス、センサーなど）の導電線材など各種産業製品に利用される。【0116】
このＣＮＴ撚糸２５の製造方法は、例えば、カーボンナノチューブ撚糸の製造装置の一例としての撚糸製造装置３０により連続的に実施される。撚糸製造装置３０は、ウェブ調製部３１と、集束部３２と、撚掛部３３とを備えている。なお、撚糸製造装置３０の説明において、上記した部材と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。【0117】
ウェブ調製部３１は、ＣＮＴウェブ３を調製し、集束部３２に供給するように構成されている。ウェブ調製部３１は、基板１上に配置されるＶＡＣＮＴｓ２と、図示しない引出具とを備えている。【0118】
集束部３２は、ウェブ調製部３１に対して、ＶＡＣＮＴｓ２の縦方向の一方側に間隔を空けて配置されている。集束部３２は、ガイド部３５と、ローラ４と、押圧軸３８（第１押圧軸３８Ａおよび第２押圧軸３８Ｂ）と、供給部３９と、乾燥部４０とを備えている。【0119】
ガイド部３５は、１対のガイド軸３６と、支持板３７とを備えている。１対のガイド軸３６のそれぞれは、上下方向に延びる円柱形状を有している。１対のガイド軸３６は、横方向に互いに間隔を空けて配置されている。１対のガイド軸３６の間の間隔は、ＣＮＴウェブ３の横方向寸法Ｌ３よりも小さく、図３Ｂに示すように、溝２０の径方向外側端部の軸線方向寸法Ｌ１よりも大きい。【0120】
支持板３７は、図２に示すように、１対のガイド軸３６の下側に配置されており、１対のガイド軸３６を回転可能に支持している。【0121】
ローラ４は、ローラ４の軸線方向（横方向）の一方側端部がガイド部３５と向かい合うように、ガイド部３５に対して縦方向の一方側に間隔を空けて配置されている。【0122】
第１押圧軸３８Ａおよび第２押圧軸３８Ｂは、図３Ｂに示すように、ローラ４と径方向に向かい合うように配置されており、ローラ４の軸線方向（横方向）に互いに間隔を空けて配置されている。供給部３９は、第１押圧軸３８Ａと第２押圧軸３８Ｂとの間において、ローラ４と径方向に向かい合うように配置されている。乾燥部４０は、第２押圧軸３８Ｂに対して、ローラ４の軸線方向の他方側に間隔を空けて配置され、ローラ４と径方向に向かい合っている。【0123】
撚掛部３３は、図２に示すように、ローラ４の軸線方向（横方向）の他方側端部に対して、縦方向の一方側に間隔を空けて配置され、ローラ４と径方向に向かい合っている。【0124】
撚掛部３３は、回転部４６と、巻取軸４５と、回転軸４７とを備えている。【0125】
回転部４６は、ローラ４に向かって開放される略コ字状を有している。巻取軸４５は、円柱形状を有し、回転部４６の両側壁に回転可能に支持されている。回転軸４７は、回転部４６に対して、縦方向の一方側に配置されている。回転軸４７は、縦方向に延びる略円柱形状を有しており、回転部４６の横方向中央に固定されている。これによって、回転部４６は、回転軸４７を回転中心として回転可能である。【0126】
このような撚糸製造装置３０では、図示しない引出具が、ＶＡＣＮＴｓ２の各列２ＡのＣＮＴ１０を同時かつ平行に、縦方向一方側に向かって引き出す。これにより、複数のＣＮＴ単糸８が横方向に並列配置される略シート形状のＣＮＴウェブ３が、ＶＡＣＮＴｓ２から調製される。【0127】
次いで、ＣＮＴウェブ３を、１対のガイド軸３６の間を通過させた後、螺旋状の溝２０に嵌るように、ローラ４の周面４Ａに螺旋状に巻き付ける。【0128】
そして、ＣＮＴウェブ３の遊端部を、ローラ４から引き出し、巻取軸４５の周面に固定する。次いで、ローラ４、巻取軸４５および回転軸４７に駆動力を入力して、ローラ４および巻取軸４５を、軸線方向（横方向）の一方側から見て時計回り方向に回転させるとともに、回転部４６を、縦方向の一方側から見て時計回り方向に回転させる。【0129】
これによって、ＣＮＴウェブ３が、ローラ４および巻取軸４５の回転により引っ張られて、ＶＡＣＮＴｓ２から連続して調製されるとともに、上記の移動速度でローラ４に向かって移動し、ローラ４の溝２０に進入する。つまり、複数のＣＮＴ単糸８が並列配置されてなるＣＮＴウェブ３が、ＣＮＴウェブ３の溝２０に嵌る。【0130】
このとき、互いに隣接する複数のＣＮＴ単糸８が、１対の傾斜面２０Ａの傾斜により、並列方向の内側に向かって集束されて、集束ＣＮＴウェブ３Ａが形成される。【0131】
次いで、図３Ｂに示すように、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、ローラ４および巻取軸４５の回転により、螺旋状の溝２０を通過するように進行し、ローラ４に巻き付けられる。【0132】
このとき、第１押圧軸３８Ａが、ローラ４に巻き付けられる集束ＣＮＴウェブ３Ａを、溝２０の底面２０Ｃとの間に挟むように、上記の圧力で一次加圧した後、供給部３９が、その集束ＣＮＴウェブ３Ａに上記の揮発性の液体を供給する。次いで、第２押圧軸３８Ｂが、揮発性の液体が供給された集束ＣＮＴウェブ３Ａを、溝２０の底面２０Ｃとの間に挟むように、上記の圧力で二次加圧した後、乾燥部４０が集束ＣＮＴウェブ３Ａを乾燥させる。【0133】
次いで、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、螺旋状の溝２０を通過し、巻取軸４５の回転により、ローラ４から引き出される。そして、引き出された集束ＣＮＴウェブ３Ａは、図２に示すように、回転部４６の回転により、複数のＣＮＴ単糸８が互いに撚り合わされるように、撚りかけられると同時に、巻取軸４５の回転により、巻取軸４５に巻き取られる。つまり、引き出された集束ＣＮＴウェブ３Ａは、撚掛部３３により撚りかけられる。【0134】
以上によって、ＣＮＴ撚糸２５が、撚糸製造装置３０により製造される。【0135】
（作用効果）本実施形態では、図２に示すように、複数のＣＮＴ単糸８が並列配置されるＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付けて、互いに隣接する複数のＣＮＴ単糸８を並列方向に集束させた後、そのＣＮＴウェブ３を、ローラ４から引き出し撚りをかけて、ＣＮＴ撚糸２５を製造する。
【0136】
そのため、ＣＮＴウェブ３をローラ４の周面４Ａに巻き付けるという簡易な方法により、複数のＣＮＴ単糸８を集束させることができ、その後、複数のＣＮＴ単糸８が集束したＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）を、ローラ４から引き出して撚りをかけるので、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上を図ることができ、高密度のＣＮＴ撚糸２５を円滑に製造することができる。【0137】
また、図３Ｂに示すように、ローラ４の周面４Ａに巻き付けられるＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）を、ローラ４の径方向の外側から加圧する。【0138】
そのため、簡易な方法でありながら、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度の向上を図ることができ、ひいては、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上を確実に図ることができる。【0139】
また、図３Ｂに示すように、ローラ４の周面４Ａに巻き付けられるＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）に、揮発性の液体を供給する。そのため、その揮発性の液体が気化することにより、集束ＣＮＴウェブ３Ａにおいて複数のＣＮＴ単糸８が互いに密集するとともに、各ＣＮＴ単糸８において複数のＣＮＴ１０が互いに密集する。【0140】
その結果、簡易な方法でありながら、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度の向上を確実に図ることができ、ひいては、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上をより一層確実に図ることができる。【0141】
また、図２に示すように、撚糸製造装置３０は、ローラ４と、撚掛部３３とを備えている。そして、複数のＣＮＴ単糸８が並列配置されてなるＣＮＴウェブ３が、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付けられるので、互いに隣接する複数のＣＮＴ単糸８が並列方向において集束させることができる。その後、撚掛部３３が、ローラ４から引き出されたＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）に撚りをかけることができるので、高密度のＣＮＴ撚糸２５を円滑に製造することができる。【0142】
また、図３Ｂに示すように、撚糸製造装置３０は、ローラ４に巻き付けられるＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）を押圧する押圧軸３８を備えている。そのため、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度の向上を図ることができ、ひいては、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上を確実に図ることができる。【0143】
また、図３Ｂに示すように、撚糸製造装置３０は、ローラ４に巻き付けられるＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）に揮発性の液体を供給する供給部３９を備えている。そのため、集束ＣＮＴウェブ３Ａの密度の向上を確実に図ることができ、ひいては、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上をより一層確実に図ることができる。【0145】
第１実施形態では、図３Ｂに示すように、集束ＣＮＴウェブ３Ａが、高密度化処理として、ローラ４に巻き付けられた状態で、一次加圧された後、揮発性の液体が供給され、続いて、二次加圧されるが、これに限定されない。【0146】
第２実施形態では、図４Ａに示すように、集束ＣＮＴウェブ３Ａが、ローラ４に巻き付けられた状態で、揮発性の液体が供給されることなく、第１実施形態と同様に、一次加圧および二次加圧される。【0147】
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。【0148】
また、高密度化処理として、一次加圧および二次加圧のいずれか一方のみが実施されてもよい。【0149】
また、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、ローラ４に巻き付けられた状態で、加圧されることなく、揮発性の液体が供給されてもよい。【0150】
つまり、高密度化処理の種類および回数は特に制限されず、高密度化処理の順序、高密度化処理に係る部材（押圧軸３８、供給部３９および乾燥部４０）の配置も特に制限されない。【0152】
第１実施形態では、図３Ｂに示すように、押圧軸３８が押圧部の一例として対応し、押圧軸３８が、ローラ４の周面に巻き付けられた集束ＣＮＴウェブ３Ａを加圧するが、押圧部は、これに限定されない。【0153】
第３実施形態では、図４Ｂに示すように、ローラ４の周面に巻き付けられた集束ＣＮＴウェブ３Ａを、押圧部の一例としての回転冶具５０により加圧する。【0154】
回転冶具５０は、円板形状を有しており、その軸線がローラ４の軸線と平行となるように配置されている。また、回転冶具５０は、ローラ４の周面に巻き付けられた集束ＣＮＴウェブ３Ａを、回転冶具５０の周面と溝２０の底面２０Ｃとの間に挟むように配置されている。回転冶具５０は、軸線方向の一方側から見て、反時計回り方向に回転可能である。【0155】
そして、ローラ４および回転冶具５０を回転させると、集束ＣＮＴウェブ３Ａが、溝２０内を進行して、回転冶具５０の周面と溝２０の底面２０Ｃとの間に順次挟み込まれ、ローラ４の径方向の外側から加圧される。【0156】
このような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。【0157】
（第４実施形態および第５実施形態）次に、図５Ａを参照して、本発明の第４実施形態および第５実施形態について説明する。なお、第４実施形態および第５実施形態では、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
【0159】
第４実施形態では、図５Ａに示すように、ＶＡＣＮＴｓ２を複数準備して、複数のＶＡＣＮＴｓ２から複数のＣＮＴウェブ３を調製し、複数のＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るとともにローラ４の径方向に積層されるように、ローラ４の周面４Ａに巻き付ける。【0160】
なお、準備するＶＡＣＮＴｓ２の個数は、特に制限されないが、例えば、２つ以上である。図５Ａでは、２つのＶＡＣＮＴｓ２が準備される態様について示す。【0161】
より具体的には、複数（２つ）の基板１を準備して、２つの基板１のそれぞれに、第１実施形態と同様にして、ＶＡＣＮＴｓ２を成長させる。これによって、基板１上に配置されるＶＡＣＮＴｓ２が、２つ準備される。【0162】
そして、２つのＶＡＣＮＴｓ２のそれぞれから、第１実施形態と同様にして、１つずつＣＮＴウェブ３を調製する。【0163】
次いで、２つのＣＮＴウェブ３のうち、一方のＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付けた後、他方のＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付ける。これによって、２つのＣＮＴウェブ３が、溝２０に嵌るとともに、ローラ４の径方向に積層されて、ローラ４の周面４Ａに巻き付けられる。【0164】
また、ローラ４に巻き付けられたＣＮＴウェブ３は、溝２０により、複数のＣＮＴ単糸８が集束されており、集束ＣＮＴウェブ３Ａとして調製される。【0165】
そして、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、第１実施形態と同様に、必要により高密度処理されながら、溝２０を通過して、ローラ４から連続的に引き出され、撚りがかけられる。これにより、ＣＮＴ撚糸２５が製造される。【0166】
このような第４実施形態によれば、複数のＶＡＣＮＴｓ２から、複数のＣＮＴウェブ３を調製し、それらＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るとともにローラ４の径方向に積層されるように、ローラ４の周面４Ａに巻き付ける。【0167】
その後、積層されたＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）を、ローラ４から引き出して撚りをかけ、ＣＮＴ撚糸２５を製造するので、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上を図ることができながら、ＣＮＴ撚糸２５の大径化を図ることができる。その結果、ＣＮＴ撚糸２５の機械強度のさらなる向上を図ることができる。【0168】
また、第４実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。【0170】
長尺部材５１は、所定方向に延びる線状または平帯状を有しており、可撓性を有している。長尺部材５１の材料は、ＣＮＴ撚糸２５の用途により適宜選択されるが、例えば、ガラス繊維、炭素繊維、化学繊維、天然繊維、金属（例えば、アルミニウム、チタン、銅、銀、金、および、それらを含む合金など）、高分子材料（例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂など）などが挙げられる。【0171】
ＣＮＴウェブ３とともに長尺部材５１をローラ４の周面４Ａに巻き付けるには、例えば、ＶＡＣＮＴｓ２から調製したＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付けた後、長尺部材５１を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付ける。これによって、溝２０内に配置されるＣＮＴウェブ３（集束ＣＮＴウェブ３Ａ）上に、長尺部材５１が配置される。【0172】
なお、第５実施形態では、長尺部材５１が２つのＣＮＴウェブ３の間に挟まれるように配置されている。この場合、長尺部材５１を、集束ＣＮＴウェブ３Ａ上に配置されるように、ローラ４の周面４Ａに巻き付けた後、別途準備したＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付ける。これによって、長尺部材５１が２つのＣＮＴウェブ３の間に挟まれて、複合化される。【0173】
そして、長尺部材５１と複合化された集束ＣＮＴウェブ３Ａは、第１実施形態と同様に、必要により高密度処理されながら、溝２０を通過して、ローラ４から引き出され、撚りがかけられる。これにより、ＣＮＴ撚糸２５が製造される。【0174】
このような第５実施形態によれば、簡易な方法でありながら、ＣＮＴウェブ３と長尺部材５１とを複合化させることができる。そして、長尺部材５１と複合化されたＣＮＴウェブ３から、ＣＮＴ撚糸２５が製造されるので、ＣＮＴ撚糸２５に、長尺部材５１の特性を付与することができる。【0175】
また、第５実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。【0176】
上記では、１つの長尺部材５１が複数（２つ）のＣＮＴウェブ３と複合化されているが、これに限定されず、複数の長尺部材５１を複数のＣＮＴウェブ３と複合化することもでき、１つの長尺部材５１を１つのＣＮＴウェブ３と複合化することもできる。【0177】
また、上記では、長尺部材５１が２つのＣＮＴウェブ３の間に挟まれているが、長尺部材５１の配置は特に限定されない。しかし、長尺部材５１を２つのＣＮＴウェブ３の間に配置することが、ＣＮＴ撚糸２５における長尺部材５１のバランスのよい配置の観点から好ましい。【0179】
第１実施形態では、図２に示すように、１つのＶＡＣＮＴｓ２から１つのＣＮＴウェブ３が調製されて、そのＣＮＴウェブ３をローラ４に巻き付けるが、これに限定されない。【0180】
第６実施形態では、図５Ｂに示すように、１つのＶＡＣＮＴｓ２から、複数（３つ）のＣＮＴウェブ３を調製し、それらＣＮＴウェブ３を、ローラ４の径方向に積層されるように、ローラ４の周面４Ａに巻き付ける。【0181】
より具体的には、第１実施形態と同様にして、基板１上に配置されるＶＡＣＮＴｓ２を準備する。そして、そのＶＡＣＮＴｓ２から、複数（３つ）のＣＮＴウェブ３を、横方向に間隔を空けて配置されるように調製する。【0182】
そして、複数（３つ）のＣＮＴウェブ３を１つずつ、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに順次巻き付ける。これによって、複数（３つ）のＣＮＴウェブ３が、溝２０に嵌るとともに、ローラ４の径方向に積層されて、ローラ４の周面４Ａに巻き付けられる。【0183】
また、ローラ４に巻き付けられたＣＮＴウェブ３は、溝２０により、複数のＣＮＴ単糸８が集束されており、集束ＣＮＴウェブ３Ａとして調製される。【0184】
そして、集束ＣＮＴウェブ３Ａは、第１実施形態と同様に、必要により高密度処理されながら、溝２０を通過して、ローラ４から連続的に引き出され、撚りがかけられる。これにより、ＣＮＴ撚糸２５が製造される。【0185】
このような第６実施形態によれば、１つのＶＡＣＮＴｓ２から、複数のＣＮＴウェブ３を調製し、それらＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るとともにローラ４の径方向に積層されるように、ローラ４の周面に巻き付ける。【0186】
そのため、１つのＶＡＣＮＴｓ２から、１つのＣＮＴウェブ３を調製し、そのＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面に巻き付けて、複数のＣＮＴ単糸８を一括して並列方向に集束させる場合と比較して、複数のＣＮＴ単糸８を確実に集束させることができる。その結果、ＣＮＴウェブ３の密度の向上をより一層確実に図ることができる。【0187】
また、第６実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。【0189】
第１実施形態〜第６実施形態では、図５Ｂに示すように、溝２０の径方向内側端部の軸線方向寸法Ｌ２は、ＣＮＴウェブ３の横方向寸法Ｌ３未満であるが、これに限定されない。【0190】
第７実施形態では、図５Ｃに示すように、溝２０の径方向内側端部の軸線方向寸法Ｌ２が、ＣＮＴウェブ３の横方向寸法Ｌ３と同一である。【0191】
このような第７実施形態によっても、第６実施形態と同様に、複数のＣＮＴウェブ３が溝２０に嵌るとともにローラ４の径方向に積層されるように、ローラ４の周面に巻き付けられる。そのため、溝２０に嵌ったＣＮＴウェブ３に、種々の工程を円滑かつ容易に実施することができる。【0192】
その後、ＣＮＴウェブ３を、ローラ４から引き出し撚りをかけて、ＣＮＴ撚糸２５を製造するので、ＣＮＴ撚糸２５の密度の向上を図ることができ、高密度のＣＮＴ撚糸２５を円滑に製造することができる。【0194】
第１実施形態では、図２に示すように、溝２０が、ローラ４の周面４Ａを複数周回するように螺旋状に延びているが、これに限定されず、第８実施形態では、溝２０は、ローラ４の周面４Ａを、ローラ４の周方向に沿って１周するように延びている。【0195】
このような第８実施形態によっても、ＶＡＣＮＴｓ２から調製されるＣＮＴウェブ３を、溝２０に嵌るようにローラ４の周面４Ａに巻き付けることにより、互いに隣接する複数のＣＮＴ単糸８を並列方向に集束させることができる。そのため、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。【0197】
例えば、溝２０は、図７Ａに示すように、ローラ４の周面４Ａから略Ｖ字状に凹み、１対の傾斜面２０Ｄを有していてもよい。１対の傾斜面２０Ｄは、ローラ４の周面４Ａから径方向の内側に向かうにつれて、軸線方向の内側に互いに近づくように傾斜している。そして、１対の傾斜面２０Ｄの径方向内側端部は、互いに接続されている。【0198】
また、溝２０は、図７Ｂに示すように、ローラ４の周面４Ａから略Ｖ字状に凹み、直交面２０Ｅと、傾斜面２０Ｆとを有していてもよい。直交面２０Ｅは、ローラ４の周面４Ａから、ローラ４の径方向に沿って延び、傾斜面２０Ｆは、ローラ４の周面４Ａから径方向の内側に向かうにつれて、直交面２０Ｅに近づくように傾斜している。そして、直交面２０Ｅおよび傾斜面２０Ｆの径方向内側端部は、互いに接続されている。【0199】
また、溝２０は、図７Ｃに示すように、ローラ４の周面４Ａから略Ｕ字状に凹み、１対の直交面２０Ｇと、１対の傾斜面２０Ｈとを有していてもよい。１対の直交面２０Ｇは、ローラ４の軸線方向に互いに間隔を空けて配置され、互いに略平行となるように、ローラ４の周面４Ａから、ローラ４の径方向に沿って延びている。１対の傾斜面２０Ｈは、１対の直交面２０Ｇの径方向内側端部から連続して、径方向の内側に向かうにつれて、軸線方向の内側に互いに近づくように傾斜している。そして、１対の直交面２０Ｇの径方向内側端部は、互いに接続されている。【0200】
また、溝２０は、図７Ｄに示すように、ローラ４の周面４Ａから略凹状に凹み、１対の直交面２０Ｉと、底面２０Ｊとを有していてもよい。１対の直交面２０Ｉは、ローラ４の軸線方向に互いに間隔を空けて配置され、互いに略平行となるように、ローラ４の周面４Ａから、ローラ４の径方向に沿って延びている。底面２０Ｊは、１対の直交面２０Ｇの径方向内側端部を、軸線方向に沿って連結している。【0201】
なお、上記の実施形態では、ローラ４の溝２０を通過した集束ＣＮＴウェブを、ローラ４から引き出して、撚りをかけて、カーボンナノチューブ撚糸２５の状態で巻取軸４５に回収したが、ローラ４の溝２０を通過した集束ＣＮＴウェブを、ローラ４から引き出して、撚りをかけずに、カーボンナノチューブ無撚糸（カーボンナノチューブ糸の一形態）の状態で巻取軸４５に回収してもよい。【0202】
これら変形例によっても、上記の第１実施形態〜第８実施形態と同様の作用効果を奏することができる。これら上記の第１実施形態〜第８実施形態および変形例は、適宜組み合わせることができる。【実施例】
【0203】
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、それらに限定されない。以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限値(「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。【0204】
（実施例１）ステンレス製の基板（ステンレス基板）の表面に二酸化ケイ素膜を積層した後、二酸化ケイ素膜上に、触媒層として鉄を蒸着した。
【0205】
次いで、基板を所定の温度に加熱して、触媒層に原料ガス（アセチレンガス）を供給した。これにより、基板上において、平面視略矩形形状のＶＡＣＮＴｓを形成した。【0206】
ＶＡＣＮＴｓにおいて、複数のＣＮＴは、互いに略平行となるように延び、基板に対して直交するように配向（垂直配向）されていた。ＣＮＴは、多層カーボンナノチューブであり、ＣＮＴの平均外径は、１０ｎｍ、ＣＮＴの平均長さは、約３００μｍ、ＶＡＣＮＴｓの嵩密度は、４０〜５０ｍｇ／ｃｍ３であった。【0207】
また、周面に螺旋状の溝を有するローラを準備した。ローラの外径は、１０ｃｍであった。螺旋状の溝の周回数は、３回であり、溝は、ローラの周面から略台形状に凹んでいた。また、溝の径方向外側端部の軸線方向寸法は、１ｃｍであり、溝の径方向内側端部の軸線方向寸法は、０．１ｃｍであり、溝の径方向寸法は、１．５ｃｍであった。【0208】
そして、ローラを、軸線方向がＶＡＣＮＴｓの横方向と平行となるように、ＶＡＣＮＴｓに対して縦方向の一方側に間隔を空けて配置した。【0209】
次いで、ＶＡＣＮＴｓから、引出具により、複数のＣＮＴを線状に連続するように引き出して、ＣＮＴ単糸を調製するとともに、ＣＮＴ単糸を複数並列配置して、ＣＮＴウェブを調製した。ＣＮＴウェブの横方向（幅方向）寸法は、２ｃｍであった。【0210】
次いで、ＣＮＴウェブを、螺旋状の溝に嵌るように、ローラの周面に螺旋状に巻き付けた。その後、ローラを回転させるとともに、ＣＮＴウェブを、螺旋状の溝を通過するように、ローラから引き出した。なお、ローラの回転速度は、２０ｒｐｍであった。【0211】
これによって、ＣＮＴウェブが、１つのＶＡＣＮＴｓから連続的に調製され、ローラに巻き付けられるとともに、ローラから、溝を通過したＣＮＴウェブが連続して引き出された。【0212】
そして、引き出されたＣＮＴウェブを４０００Ｔ／ｍとなるように撚糸化した。これにより、ＣＮＴ撚糸を得た。ＣＮＴ撚糸の直径は、２９〜３２μｍであり、ＣＮＴ撚糸の嵩密度は、０．７〜０．８ｇ／ｃｍ３であった。【0213】
なお、実施例１〜５および比較例１における、ＣＮＴ撚糸の直径および嵩密度と、高密度化処理の有無について、表１に示す。【0214】
（実施例２）ローラに巻き付けられたＣＮＴウェブに、エタノール（揮発性の液体）を供給したこと以外は、実施例１と同様にして、ＣＮＴ撚糸を得た。
【0215】
（実施例３）ローラに巻き付けられたＣＮＴウェブを、押圧軸により、ローラの径方向外側から押圧したこと以外は、実施例１と同様にして、ＣＮＴ撚糸を得た。なお、ＣＮＴウェブに対する圧力は、１００ｋｇ／ｃｍ２であった。
【0216】
（実施例４）ローラに巻き付けられたＣＮＴウェブを、押圧軸（第１押圧軸）により、ローラの径方向外側から押圧した後（一次加圧）、ＣＮＴウェブの移動方向の下流側で、再度、押圧軸（第２押圧軸）により、ローラの径方向外側から押圧したこと以外は（二次次加圧）、実施例１と同様にして、ＣＮＴ撚糸を得た。なお、一次加圧におけるＣＮＴウェブに対する圧力は、１００ｋｇ／ｃｍ２であり、二次加圧におけるＣＮＴウェブに対する圧力は、２００ｋｇ／ｃｍ２であった。
【0217】
（実施例５）一次加圧と二次加圧との間において、ローラに巻き付けられたＣＮＴウェブに、エタノールを供給したこと以外は、実施例１と同様にして、ＣＮＴ撚糸を得た。
【0218】
（比較例１）実施例１と同様にして、平面視略矩形形状のＶＡＣＮＴｓを形成し、ＶＡＣＮＴｓからＣＮＴウェブを調製した。次いで、ＣＮＴウェブを、ＶＡＣＮＴｓから連続的に調製するとともに、５０００Ｔ／ｍとなるように撚糸化した。これにより、ＣＮＴ撚糸を得た。
【0219】
評価：（１）引張強度
各実施例および比較例で得られたＣＮＴ撚糸の破断強度を、下記のように測定した。その結果を表１に示す。
【0220】
ＣＮＴ撚糸の一端を固定し、ＣＮＴ撚糸の他端をフォースゲージへ固定して、０．２ｍｍ／ｓｅｃで引き上げて断裂した負荷を破断強度とした。【0221】
なお、破断強度をＣＮＴ撚糸の断面積で除して、引張強度を算出した。【0222】
【表1】
【0223】
なお、上記発明は、本発明の例示の実施形態として提供したが、これは単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。当該技術分野の当業者によって明らかな本発明の変形例は、後記請求の範囲に含まれる。【産業上の利用可能性】
【0224】
本発明のカーボンナノチューブ糸の製造方法は、各種産業製品に用いられるカーボンナノチューブ糸の製造に好適に用いることができる。【符号の説明】
【0225】
１ 基板２ ＶＡＣＮＴｓ
３ ＣＮＴウェブ
４ ローラ
１０ ＣＮＴ
２０ 溝
３０ 撚糸製造装置
３３ 撚掛部
３８ 押圧軸
３９ 供給部
５０ 回転冶具
５１ 長尺部材