特許6804155基板浮上搬送装置

発明の名称　基板浮上搬送装置

出願人　東レエンジニアリング株式会社　（識別番号 219314）

　　　　特許公開件数ランキング 359 位（27件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 724 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6804155

公報発行日　2020年12月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6804155

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