特許6804181IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

電力用半導体モジュール及びその実装方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

大電流を扱う電力用半導体モジュールにおいては、内蔵する電力用半導体チップとその他の部品は、小型化ならびにモジュール内部のインピーダンス低減のため、なるべく配線は短く、また部品同士は近接して配置することが望まれる。そのためには、配線をもつ2枚の絶縁基板の間に、半導体チップやその他の電気部品を一緒に挟み込む構成が有効である。しかしながら、各部品の厚みは全て同一であるとは限らず、また工業的に必ず厚みにばらつきをもつので、2枚の絶縁基板の間に電力用半導体チップやその他の電気部品を歩留まりよく電気的に接続することは困難であるという問題点があった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

問題点を解決するために本発明は、第1の主面に複数の導体箔を有する第1の絶縁基板と第2の絶縁基板の主面を互いに対向させた間に、電力用半導体チップ並びに電気装置をそれぞれ介在させた電力用半導体モジュールの実装方法である。電力用半導体チップは、第1の主面に第1の電極、第2の主面に第2の電極を有する。電気装置は、第1の主面に第1の電極、第2の主面に第2の電極を有する。
【発明の効果】
構成により本発明は、電力用半導体チップと電気装置との高さを揃えることができるので、電力用半導体チップと電気装置との厚みが異なっている場合でも確実な配線接続が可能となり、信頼性の高い電力用半導体モジュールを形成できるという効果がある。なぜなら、加圧により塑性変形する第1種の接合材を構成する金もしくはアルミニウムは、バンプ程度の小塊であれば少しの加熱や超音波印加によって容易に、かつ大幅に塑性変形させることができるからである。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の第1実施形態による電力用半導体モジュールを示す断面図である。

【図2】図1の電力用半導体モジュールの実装方法における工程順断面図である。

【図3】図1の電力用半導体モジュールの実装方法における工程順断面図である。

【図4】図1の電力用半導体モジュールの実装方法における工程順断面図である。

【図5】本発明の第1実施形態の第1変形例における電力用半導体モジュールを示す断面図である。

【図6】本発明の第1実施形態の第2変形例における電力用半導体モジュールを示す断面図である。

【図7】本発明の第2実施形態における電力用半導体モジュールを示す断面図である。

【図8】図7の電力用半導体モジュールの実装方法における工程順断面図である。

【図9】図7の電力用半導体モジュールの実装方法における工程順断面図である。

【図10】本発明の第3実施形態による電力用半導体モジュールを示す断面図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 電力用半導体モジュール   2 絶縁基板   3 絶縁基板   4 電力用トランジスタチップ(電力用半導体チップ)   5 還流ダイオードチップ(電気装置)   7 ハンダ(第2種の接合材)   21、22、23、24 導体箔   31、32、33、34 導体箔   41 ソース電極   42 ドレイン電極   43 ゲート電極   51 アノード電極   52 カソード電極   8、8a 金属板   61、62、63、64、65 バンプ(第1種の接合材)   66、67、68 金属多孔質体(第1種の接合材)   66a、67a、68a ペースト領域   66b、67b、68b 前駆体層   8、8a 金属板(電気装置)   9 チップ抵抗(電気装置)   91、92 チップ抵抗の電極

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