発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

試料室外部から照射窓を通じて試料室内を照射する場合、汚染物が付着していない部分にも紫外線を照射することにより、紫外光が減衰して汚染物除去昨日が低下する。また、試料表面の照射対象領域外や汚染物が付着していない部分にも、紫外光を照射することになり、不要なガス発生、試料損傷などが生じる。さらに、試料室内に設置された試料台などの部品に対しても紫外線が照射することとなり、不要なガス放出や部品劣化を生じさせる。 したがって、紫外線照射による試料汚染物の除去処理において、汚染物除去機能の低下なく、試料損傷、不要ガス発生などを抑えることが求められる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、試料の観察、分析などにおいて、試料汚染物を効果的に除去することができる。