特許 6805523 固体レーザ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6805523

(24)【登録日】2020年12月8日

(45)【発行日】2020年12月23日

(54)【発明の名称】固体レーザ装置

(51)【国際特許分類】

   H01S 3/02 20060101AFI20201214BHJP

【ＦＩ】

   H01S3/02

【請求項の数】3

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2016-68368(P2016-68368)

(22)【出願日】2016年3月30日

(65)【公開番号】特開2017-183505(P2017-183505A)

(43)【公開日】2017年10月5日

【審査請求日】2019年1月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000135184

【氏名又は名称】株式会社ニデック

(74)【代理人】

【識別番号】110000291

【氏名又は名称】特許業務法人コスモス国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】小嶋 和伸

(72)【発明者】

【氏名】西内 紗衣

(72)【発明者】

【氏名】山田 毅

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 淳

【審査官】 百瀬 正之

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０４−１１６１６８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０６−２６０７０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０８４３８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭４８−０５６９７６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０８−２５０７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５９−０３３１３１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許第０５２７８８６０（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｓ ３／００−３／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の間隔を持って配置される一対のミラーが取り付けられ、前記一対のミラーとの位置関係が一定に保たれている底部を備える筐体と、
固体レーザ媒質と、前記固体レーザ媒質を励起する励起光源と、前記励起光源からの励起光を前記固体レーザ媒質に向けて反射させる反射部材と、前記反射部材を保持する保持部材と、前記固体レーザ媒質との位置関係が一定に保たれている底面とを備える励起モジュールと、を有し、
前記一対のミラーは、出力ミラーと全反射ミラーからなり、
前記出力ミラーが取り付けられる第１のミラーホルダが前記筐体の前壁に角度調整可能に取付けられ、
前記全反射ミラーが取り付けられる第２のミラーホルダが前記筐体の後壁に角度調整可能に取付けられ、
前記第１のミラーホルダと前記第２のミラーホルダが前記筐体と一体にされていることで、前記筐体の前記底部と前記一対のミラーとの位置関係が一定に保たれており、
前記筐体の前記底部に設けられた溝部に前記励起モジュールの前記底面側の端部を嵌め込んで、前記励起モジュールの前記底面と前記筐体の前記底部とを面接触させることにより、前記励起モジュールの前記底面との位置関係が一定に保たれている前記固体レーザ媒質が前記一対のミラーの間の光軸上に配置されるように位置決めされており、
前記励起モジュールに対して前記励起モジュールの前記底面側とは反対側の位置に配置され、ヒートシンクを備える蓋部材を有し、
前記蓋部材と前記励起モジュールとの間には隙間が形成されており、
円柱状に形成される前記励起光源の径方向について、内側から外側に向かって順に、前記励起光源、前記反射部材、前記保持部材、前記隙間、前記ヒートシンクを備える前記蓋部材が配置され、且つ、前記反射部材と前記保持部材は接着剤により接着されていること、
を特徴とする固体レーザ装置。

【請求項2】

請求項１の固体レーザ装置において、
前記筐体は、前記底部に対向する面が開口した箱型に形成され、
前記筐体の壁は、前記底部側から前記筐体の開口側に向かって前記励起モジュールよりも突出するように形成されていること、
を特徴とする固体レーザ装置。

【請求項3】

請求項１または２の固体レーザ装置において、
前記筐体は、前記蓋部材よりも熱膨張率の小さい材質または前記蓋部材と熱膨張率が等しい材質で形成されていること、
を特徴とする固体レーザ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、励起光源からの励起光を固体レーザ媒質に照射してレーザ光を出射する固体レーザ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

励起光源からの励起光を固体レーザ媒質に照射してレーザ光を出射する固体レーザ装置が知られている。この固体レーザ装置として、例えば、特許文献１には、出力ミラーと全反射ミラーの間にレーザ媒質ロッドを配置し、レーザ媒質ロッドと平行に励起ランプが配置されるレーザ治療装置の共振器が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平５−３１７３５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示されるレーザ治療装置の共振器においては、その組み立て時やメンテナンス時において、出力ミラーと全反射ミラーの位置や角度の調整が必要となるが、その調整には時間を要してしまう。そのため、このようなミラーの位置や角度の調整が微調整で足りるように、装置の組立性やメンテナンス性が向上することが望ましい。

【0005】

そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、組立性やメンテナンス性が向上する固体レーザ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示における典型的な実施形態が提供する固体レーザ装置は、所定の間隔を持って配置される一対のミラーが取り付けられ、前記一対のミラーとの位置関係が一定に保たれている底部を備える筐体と、固体レーザ媒質と、前記固体レーザ媒質を励起する励起光源と、前記励起光源からの励起光を前記固体レーザ媒質に向けて反射させる反射部材と、前記反射部材を保持する保持部材と、前記固体レーザ媒質との位置関係が一定に保たれている底面とを備える励起モジュールと、を有し、前記一対のミラーは、出力ミラーと全反射ミラーからなり、前記出力ミラーが取り付けられる第１のミラーホルダが前記筐体の前壁に角度調整可能に取付けられ、前記全反射ミラーが取り付けられる第２のミラーホルダが前記筐体の後壁に角度調整可能に取付けられ、前記第１のミラーホルダと前記第２のミラーホルダが前記筐体と一体にされていることで、前記筐体の前記底部と前記一対のミラーとの位置関係が一定に保たれており、前記筐体の前記底部に設けられた溝部に前記励起モジュールの前記底面側の端部を嵌め込んで、前記励起モジュールの前記底面と前記筐体の前記底部とを面接触させることにより、前記励起モジュールの前記底面との位置関係が一定に保たれている前記固体レーザ媒質が前記一対のミラーの間の光軸上に配置されるように位置決めされており、前記励起モジュールに対して前記励起モジュールの前記底面側とは反対側の位置に配置され、ヒートシンクを備える蓋部材を有し、前記蓋部材と前記励起モジュールとの間には隙間が形成されており、円柱状に形成される前記励起光源の径方向について、内側から外側に向かって順に、前記励起光源、前記反射部材、前記保持部材、前記隙間、前記ヒートシンクを備える前記蓋部材が配置され、且つ、前記反射部材と前記保持部材は接着剤により接着されていること、を特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本開示の固体レーザ装置によれば、組立性やメンテナンス性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本実施形態の固体レーザ装置の断面図である。

【図2】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図3】本実施形態の固体レーザ装置の分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本実施形態の固体レーザ装置１は、図１〜図３に示すように、筐体部１１と、キャビティ部１２（励起モジュール）と、上蓋１３（蓋部材）などを有する。

【0010】

筐体部１１は、筐体２１と、ミラーホルダ２２などを備えている。

【0011】

本実施形態では、筐体２１は、六面体のうちの１面が開口した五面体の箱型（底面と、底面の上方の空間を囲むように設けられた４つの側面とを有する箱型）に形成されている。図１〜図３に示す例においては、筐体２１は、直方体形状の箱型に形成されている。そして、このような筐体２１は、その五面体を構成する各面を形成する、前壁３１と、後壁３２と、第１側壁３３と、第２側壁３４と、底部３５（筐体位置決め部）を備えている。本実施形態の筐体２１は、ステンレスにより形成されている。これにより、筐体２１は、例えば、熱により膨張し難い。

【0012】

前壁３１は、図２に示すように、筐体２１の長手方向、すなわち、出力ミラー４１と全反射ミラー４２からなる一対のミラー（以下、単に「一対のミラー」ともいう。）の光軸Ｌ方向について、レーザ光が出力される側（出力ミラー４１が配置される側）の位置に形成されている。本実施形態では、この前壁３１には、Ｑスイッチ４３が取り付けられている。このＱスイッチ４３は、光軸Ｌ上に配置されている。

【0013】

後壁３２は、図２に示すように、光軸Ｌ方向について、レーザ光が出力される側とは反対側（全反射ミラー４２が配置される側）の位置に形成されている。本実施形態では、偏光素子４４が、光軸Ｌ上に配置されながら、後壁３２から筐体２１の内側に向かって斜めに配置されている。

【0014】

このような前壁３１と後壁３２は、光軸Ｌ方向について所定の間隔を持って形成されている。

【0015】

第１側壁３３と第２側壁３４は、図１に示すように、筐体２１の短手方向、すなわち、光軸Ｌに直交する方向について、両側の位置に形成されている。本実施形態では、第１側壁３３と第２側壁３４は、前壁３１や後壁３２よりも厚く形成されている。

【0016】

以上のような前壁３１と後壁３２と第１側壁３３と第２側壁３４は、底部３５から筐体２１の開口側に向かって形成されている。また、底部３５において、溝部３６が形成されている。この溝部３６は、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７の形状（リフレクタホルダ７４の形状）に合わせて形成されている。そして、キャビティ部１２の端部９７が、溝部３６内に嵌め込まれている。

【0017】

また、本実施形態では、ミラーホルダ２２として、図２に示すように、第１ミラーホルダ２２Ａと第２ミラーホルダ２２Ｂを備えている。

【0018】

第１ミラーホルダ２２Ａは、光軸Ｌ方向についてレーザ光が出力される側の位置に配置されている。第１ミラーホルダ２２Ａは、ネジ５１により筐体２１の前壁３１に角度調整可能に取り付けられ、筐体２１と一体になっている。また、第１ミラーホルダ２２Ａは、ミラー取り付け部６１を備えている。そして、このミラー取り付け部６１において、出力ミラー４１が取り付けられている。このような第１ミラーホルダ２２Ａの位置や傾きを調整することにより、出力ミラー４１の位置や角度（あおり角度）を調整することができる。

【0019】

第２ミラーホルダ２２Ｂは、光軸Ｌ方向についてレーザ光が出力される側とは反対側の位置に配置されている。第２ミラーホルダ２２Ｂは、ネジ５１により筐体２１の後壁３２に角度調整可能に取り付けられ、筐体２１と一体になっている。また、第２ミラーホルダ２２Ｂは、ミラー取り付け部６２を備えている。そして、このミラー取り付け部６２において、全反射ミラー４２が取り付けられている。このような第２ミラーホルダ２２Ｂの位置や傾きを調整することにより、全反射ミラー４２の位置や角度（あおり角度）を調整することができる。

【0020】

このように、本実施形態では、第１ミラーホルダ２２Ａと第２ミラーホルダ２２Ｂは、光軸Ｌ方向について所定の間隔を持って形成されている前壁３１と後壁３２に取り付けられており、筐体２１と一体になっている。そのため、第１ミラーホルダ２２Ａと第２ミラーホルダ２２Ｂは、光軸Ｌ方向について所定の間隔を持って配置されている。これにより、出力ミラー４１と全反射ミラー４２は、光軸Ｌ方向について所定の間隔を持って配置されながら、第１ミラーホルダ２２Ａと第２ミラーホルダ２２Ｂを介して、筐体２１に取り付けられている。

【0021】

キャビティ部１２は、ＹＡＧロッド７１（固体レーザ媒質）と、フラッシュランプ７２（励起光源）と、リフレクタ７３（反射部材）と、リフレクタホルダ７４（保持部材）と、ロッドランプホルダ７５などを備えている。

【0022】

ＹＡＧロッド７１は、図２に示すように、ロッドランプホルダ７５により保持されており、リフレクタ７３の内側にある空間部に配置されている。ＹＡＧロッド７１は、円柱状に形成されている。ＹＡＧロッド７１は、励起されることにより、光を放出する。

【0023】

フラッシュランプ７２は、図２に示すように、ロッドランプホルダ７５により保持されており、リフレクタ７３の内側にある空間部に配置されている。フラッシュランプ７２は、円柱状に形成されている。フラッシュランプ７２は、励起光を発する光源であり、この励起光をＹＡＧロッド７１に照射して、ＹＡＧロッド７１を励起する。なお、フラッシュランプ７２のケーブルは、上蓋１３の穴を通って、外部の不図示の電源部に接続される。

【0024】

なお、図１〜図３に示す例においては、フラッシュランプ７２は、ＹＡＧロッド７１に対してキャビティ部１２の上面９６側（上蓋１３側）の位置に配置されている。しかしながら、ＹＡＧロッド７１とフラッシュランプ７２の配置関係は、図１〜図３に示すような配置関係に限定されない。例えば、ＹＡＧロッド７１とフラッシュランプ７２は、キャビティ部１２の第１側面９３と第２側面９４の配列方向（図１の左右方向）に並んで配置されていてもよい。

【0025】

リフレクタ７３は、図１と図２に示すように、ＹＡＧロッド７１やフラッシュランプ７２の径方向について、ＹＡＧロッド７１やフラッシュランプ７２の外側の位置に配置されている。本実施形態では、リフレクタ７３は、長円形状（相対向する一対の直線部と、当該直線部の両端を結ぶ一対の円弧部とを有する形状）に形成されている。リフレクタ７３は、その外周面に銀コート８１（銀の被膜）が蒸着されており、フラッシュランプ７２からの励起光をＹＡＧロッド７１に向けて反射させる。

【0026】

なお、リフレクタ７３の形状は、前記のような長円形状に限定されない。リフレクタ７３の形状は、例えば、円形状（例えば、真円形状）であってもよい。また、本実施形態では、リフレクタ７３は、２つに分割されている。

【0027】

リフレクタホルダ７４は、図１と図２に示すように、ＹＡＧロッド７１とフラッシュランプ７２の径方向について、リフレクタ７３よりも外側の位置に配置されている。本実施形態では、リフレクタホルダ７４の内周面は、リフレクタ７３と同じ形状（長円形状）に形成されている。また、リフレクタホルダ７４の外形は、図３に示すように、直方体形状に形成されている。このようなリフレクタホルダ７４は、リフレクタ７３を保持している。なお、リフレクタホルダ７４は、フラッシュランプ７２での発熱を放熱させるため、例えば、アルミニウムにより形成されている。

【0028】

本実施形態では、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４は、接着剤により接着されている。また、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４の接着部分に、銀コート８１が形成されている。詳しくは、リフレクタホルダ７４は、リフレクタ７３の外周面に蒸着される銀コート８１の上に接着剤により接着されている。なお、本実施形態では、リフレクタホルダ７４は、２つに分割されている。

【0029】

また、本実施形態では、図２に示すように、ロッドランプホルダ７５として、第１ロッドランプホルダ７５Ａと第２ロッドランプホルダ７５Ｂを備えている。第１ロッドランプホルダ７５Ａは、光軸Ｌ方向についてレーザ光が出力される側の位置にて、リフレクタホルダ７４に取り付けられている。第２ロッドランプホルダ７５Ｂは、光軸Ｌ方向についてレーザ光が出力される側とは反対側の位置にて、リフレクタホルダ７４に取り付けられている。第１ロッドランプホルダ７５Ａと第２ロッドランプホルダ７５Ｂは、各々、ＹＡＧロッド７１を保持するロッド保持部８２と、フラッシュランプ７２を保持するランプ保持部８３を備えている。

【0030】

本実施形態では、キャビティ部１２は、六面体に形成されている。図１〜図３に示す例においては、キャビティ部１２は、ほぼ直方体形状に形成されている。そして、キャビティ部１２は、その六面体を形成する面として、前面９１と、後面９２と、第１側面９３と、第２側面９４と、底面９５（モジュール位置決め部）と、上面９６を備えている。

【0031】

前面９１は、図２に示すように、キャビティ部１２の長手方向、すなわち、光軸Ｌ方向について、レーザ光が出力される側の位置に形成されている。なお、前面９１は、第１ロッドランプホルダ７５Ａの面とリフレクタホルダ７４の面により形成されている。

【0032】

後面９２は、図２に示すように、光軸Ｌ方向について、レーザ光が出力される側とは反対側の位置に形成されている。なお、後面９２は、第２ロッドランプホルダ７５Ｂの面とリフレクタホルダ７４の面により形成されている。

【0033】

第１側面９３と第２側面９４は、図１に示すように、キャビティ部１２の短手方向、すなわち、光軸Ｌに直交する方向について、両側の位置に形成されている。なお、第１側面９３と第２側面９４は、リフレクタホルダ７４の面により形成されている。

【0034】

上蓋１３は、図１と図２に示すように、筐体２１の開口側（キャビティ部１２に対して底面９５側とは反対側）の位置にて、前壁３１と後壁３２と第１側壁３３と第２側壁３４に接するようにして配置されている。上蓋１３は、ヒートシンク１０１を備えている。上蓋１３は、フラッシュランプ７２での発熱を放熱させるため、例えば、アルミニウムにより形成されている。また、本実施形態では、上蓋１３は、その四隅に相当する４カ所の位置にて、筐体２１にネジ（不図示）で止められている。

【0035】

以上のような構成の固体レーザ装置１においては、フラッシュランプ７２からの励起光が照射されることによりＹＡＧロッド７１が励起されると、その誘導放出光が出力ミラー４１と全反射ミラー４２との間で共振増幅し、かつ、偏光素子４４で直線偏光とされて出力ミラー４１からレーザ光として出力される。なお、このとき、ＹＡＧロッド７１から放出されてＱスイッチ４３に入射する誘導放出光のパワーがＱスイッチ４３における吸収飽和閾値を超えてＱスイッチ４３の吸収が小さくなると、ＹＡＧロッド７１から放出された誘導放出光は、出力ミラー４１と全反射ミラー４２との間で共振増幅される。

【0036】

なお、「上蓋１３」、「底部３５」、「底面９５」、「上面９６」等の名称は便宜的なものであり、固体レーザ装置１の上下方向を厳密に規定するものではない。例えば、底部３５や底面９５は、固体レーザ装置１の下方に常に位置するわけではない。つまり固体レーザ装置１の上下方向は変化し得る。

【0037】

ここで、以下の説明において、便宜上、図１〜３に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸を想定する。すなわち、Ｘ軸方向は、光軸Ｌに平行な方向であると定義する。また、Ｙ軸方向は、光軸Ｌに直交する方向であって、筐体２１における第１側壁３３と第２側壁３４が配列される方向（キャビティ部１２における第１側面９３と第２側面９４が配列される方向）と定義する。さらに、Ｚ軸方向は、光軸Ｌに直交する方向であって、筐体２１における底部３５と開口部が配列される方向（キャビティ部１２における底面９５と上面９６が配列される方向）と定義する。

【0038】

本実施形態では、筐体２１の底部３５は、一対のミラー（出力ミラー４１と全反射ミラー４２）との位置関係が一定に保たれている。すなわち、底部３５と一対のミラーとは、固定された位置関係にある。詳しくは、筐体２１とミラーホルダ２２とはネジ５１を介して締結されており、筐体部１１内において、筐体２１の底部３５と、ミラーホルダ２２に保持される一対のミラーとは、一体的に形成されている。そして、このようにして、筐体部１１内において、筐体２１の底部３５と一対のミラーとは、所定の寸法で規定される位置に配置されている。

【0039】

また、キャビティ部１２の底面９５は、ＹＡＧロッド７１との位置関係が一定に保たれている。すなわち、底面９５とＹＡＧロッド７１とは、固定された位置関係にある。詳しくは、キャビティ部１２内において、底面９５を形成するリフレクタホルダ７４とＹＡＧロッド７１を保持するロッドランプホルダ７５とは、モジュール化されており、一体的に形成されている。そして、このようにして、キャビティ部１２内において、底面９５とＹＡＧロッド７１とは、所定の寸法で規定される位置に配置されている。

【0040】

さらに、筐体２１の底部３５と一対のミラーとの位置関係は、キャビティ部１２の底面９５とＹＡＧロッド７１との位置関係に対応して規定されている。すなわち、筐体２１の底部３５と一対のミラーとの間で規定される寸法は、キャビティ部１２の底面９５とＹＡＧロッド７１との間で規定される寸法に合わせて規定されている。

【0041】

そして、本実施形態では、このようにＹＡＧロッド７１と固定された位置関係にあるキャビティ部１２の底面９５と、一対のミラーと固定された位置関係にある筐体２１の底部３５（詳しくは、底部３５の内側面３５ａ（図２参照））とが面接触している。そして、これにより、本実施形態では、ＹＡＧロッド７１は、一対のミラーの間の光軸Ｌ上に配置されるように位置決めされている。

【0042】

ここで、「ＹＡＧロッド７１は、一対のミラーの間の光軸Ｌ上に配置される」とは、ＹＡＧロッド７１の中心軸と光軸Ｌとが一致している場合に限定されず、ＹＡＧロッド７１の中心軸と光軸Ｌとが一致していなくてもＹＡＧロッド７１の中心軸方向の全ての位置において光軸ＬがＹＡＧロッド７１の内部に収まっている場合も含む意味である。すなわち、ＹＡＧロッド７１の中心軸方向（Ｘ軸方向）の両端面において光軸Ｌが通過するような範囲内であれば、ＹＡＧロッド７１の径方向（Ｙ軸方向およびＺ軸方向）について、ＹＡＧロッド７１の中心軸と光軸Ｌとがずれていてもよいということである。

【0043】

このような本実施形態によれば、固体レーザ装置１の組み立てやメンテナンスを行う際において、筐体部１１の筐体２１にキャビティ部１２を取り付けるときには、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とを面接触させるだけで、容易に、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めできる。すなわち、容易に、ＹＡＧロッド７１を、光軸Ｌ上に配置できる。そのため、その後、一対のミラーの位置や角度（あおり角度）の調整を、微調整で済ませることができる。したがって、固体レーザ装置１の組立性やメンテナンス性が向上する。

【0044】

特に、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とを接触させることにより、Ｚ軸方向についてキャビティ部１２と筐体２１の位置関係が固定されるので、少なくともＺ軸方向について容易に、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めできる。

【0045】

また、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とを面接触させるので、キャビティ部１２と筐体２１の位置関係が安定する。そのため、筐体２１にキャビティ部１２を取り付けた後においても、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めした状態を維持できる。

【0046】

また、本実施形態では、図１と図２に示すように、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７が、筐体２１の溝部３６に嵌め込まれている。これにより、キャビティ部１２は、溝部３６により、Ｙ軸方向およびＸ軸方向について、筐体２１に対して位置決めされている。そして、これにより、Ｙ軸方向およびＸ軸方向についてキャビティ部１２と筐体２１の位置関係が固定されるので、Ｙ軸方向およびＸ軸方向について容易に、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めできる。

【0047】

そのため、筐体部１１の筐体２１にキャビティ部１２を取り付けるときに、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７を筐体２１の溝部３６に嵌め込むだけで、容易に、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めできる。したがって、その後、一対のミラーの位置や角度（あおり角度）の調整を、微調整で済ませることができる。ゆえに、固体レーザ装置１の組立性やメンテナンス性が向上する。

【0048】

なお、変形例として、Ｘ軸方向について、筐体２１の溝部３６を、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７よりも長く形成することにより、キャビティ部１２は、溝部３６により、Ｙ軸方向についてのみ、筐体２１に対して位置決めされるとしてもよい。

【0049】

また、本実施形態では、図１と図２に示すように、キャビティ部１２と筐体２１は、ネジ５２により締結されている。これにより、Ｘ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向について、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めした状態を維持できる。

【0050】

以上のように、固体レーザ装置１の組み立てやメンテナンスを行う際に、筐体部１１の筐体２１にキャビティ部１２を取り付けるときには、まず、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とを面接触させて、筐体２１の内部にキャビティ部１２を配置させる。これにより、少なくともＺ軸方向について、ＹＡＧロッド７１を一対のミラーの光軸Ｌ上に配置されるように位置決めさせることができる。

【0051】

また、このとき、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７を、筐体２１の溝部３６に嵌め込むことにより、Ｘ軸方向とＹ軸方向について、ＹＡＧロッド７１を一対のミラーの光軸Ｌ上に配置されるように位置決めさせることができる。

【0052】

そして、その後、キャビティ部１２と筐体２１とをネジ５２により締結させることにより、Ｘ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向について、さらに、ＹＡＧロッド７１を一対のミラーの光軸Ｌ上に配置されるように位置決めできる。

【0053】

そのため、その後、一対のミラーの位置や角度（あおり角度）の調整を、微調整で済ませることができる。したがって、固体レーザ装置１の組立性やメンテナンス性が向上する。

【0054】

また、本実施形態では、筐体２１は、箱型に形成されている。そして、筐体２１の前壁３１と後壁３２と第１側壁３３と第２側壁３４は、底部３５側から筐体２１の開口側に向かってキャビティ部１２の上面９６よりも突出するように形成されている。

【0055】

このようにして、筐体２１は、高い壁部を備える箱型に形成されているので、強度が向上している。そのため、上蓋１３が膨張または収縮（例えば、熱による膨張または収縮）して変形したとしても、筐体２１は、上蓋１３に引き摺られて変形し難い。また、固体レーザ装置１を他の装置（例えば、手術装置）に取り付けたときにひずみ難い。したがって、ミラーホルダ２２を介して筐体２１に取り付けられている一対のミラーの位置や角度が安定する。

【0056】

また、筐体２１は、高い壁部を備える箱型に形成されており、筐体２１の底部３５は、上蓋１３から離れた位置に配置されている。そのため、上蓋１３が膨張または収縮して変形したとしても、筐体２１の底部３５は、その影響を受け難く、変形し難い。したがって、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とが面接触した状態が維持されるので、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとが位置決めされた状態が維持される。

【0057】

また、キャビティ部１２と筐体２１とを面接触させるので、キャビティ部１２内のフラッシュランプ７２からの発熱を筐体２１を介して放出し易くなる。そのため、放熱性が向上する。

【0058】

ここで、フラッシュランプからの発熱を水により冷却する水冷式の装置の場合には、筒状の筐体の中心軸方向の端面においてＯリングなどでシールしながら蓋で密閉して水密性を保ちながら、筐体の中心軸方向の位置に一対のミラーを配置することが考えられる。そうすると、例えばＹＡＧロッドやフラッシュランプを筐体に脱着させるときには、ミラーと蓋を外して、筐体の軸方向（一対のミラーの光軸方向）からＹＡＧロッドやフラッシュランプを脱着させる必要がある。そのため、一対のミラーの位置や角度（あおり角度）の調整に手間がかかってしまう。

【0059】

これに対し、本実施形態の固体レーザ装置１は、フラッシュランプ７２からの発熱を空気により冷却する空冷式の装置である。そのため、水冷式の装置のように水密性を保つ必要はないので、筐体２１は、その形状の自由度が高く、一対のミラーの光軸Ｌに直交する方向に開口した形状にすることができる。したがって、ＹＡＧロッド７１やフラッシュランプ７２を備えるキャビティ部１２を筐体２１に脱着させるときには、ミラーを外さずに、光軸Ｌに直交する方向からキャビティ部１２を脱着させることができる。ゆえに、一対のミラーの位置や角度の調整を、微調整で済ませることができる。

【0060】

そこで、本実施形態では、前記のように、筐体２１は開口した箱型に形成されているので、筐体２１に対してキャビティ部１２を脱着させるときに、筐体２１の開口側からキャビティ部１２を脱着させることできる。そのため、一対のミラーが保持されているミラーホルダ２２や、Ｑスイッチ４３や、偏光素子４４などを筐体２１から外さなくても、筐体２１に対してキャビティ部１２を脱着させることができる。したがって、筐体２１に対してキャビティ部１２を脱着させたときに、一対のミラーの光軸Ｌのズレを抑制でき、ミラーホルダ２２の位置や傾きの調整、すなわち、一対のミラーの位置や角度の調整を、微調整で済ませることができる。

【0061】

また、本実施形態の固体レーザ装置１は、空冷式の装置であって、比較的に小型化された装置となっている。しかしながら、本実施形態では、前記のように、筐体２１の開口側からキャビティ部１２を脱着させることできるので、小型化された固体レーザ装置１であっても、筐体２１に対してキャビティ部１２を脱着させ易い。したがって、固体レーザ装置１の組立性やメンテナンス性が向上する。

【0062】

また、本実施形態では、図１と図２に示すように、上蓋１３とキャビティ部１２の上面９６との間には隙間δが形成されている。すなわち、ヒートシンク１０１を備える上蓋１３と、フラッシュランプ７２の近くに配置されるリフレクタホルダ７４とが、接触していない。これにより、キャビティ部１２のフラッシュランプ７２からの発熱は上蓋１３のヒートシンク１０１から放熱されるが、キャビティ部１２の上面９６とヒートシンク１０１とが分離されているので、隙間δが形成されている空間部分が空気の断熱層となって、ヒートシンク１０１からの過度の放熱が抑制される。

【0063】

ここで、上蓋１３とキャビティ部１２の上面９６との間に隙間δが形成されておらず、上蓋１３とキャビティ部１２の上面９６とが接した比較例を想定する。すると、この比較例においては、フラッシュランプ７２からの発熱は、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４を介して上蓋１３に伝達して、ヒートシンク１０１から過度に放熱され易いと考えられる。そうすると、固体レーザ装置１におけるレーザ光の出射時において、光量が変化するフラッシュランプ７２からの発熱量の変化により、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４との間の接着部分における接着剤の膨張と収縮が繰り返され易いと考えられる。そのため、フラッシュランプ７２に近い側のリフレクタ７３に蒸着される銀コート８１が接着剤により引っ張られ、リフレクタ７３への銀コート８１の蒸着状態が不安定になり易いと考えられる。したがって、銀コート８１における励起光の反射機能が低下するおそれがある。

【0064】

しかしながら、本実施形態では、前記のように、上蓋１３とキャビティ部１２の上面９６との間には隙間δが形成されており、隙間δが形成されている空間部分が空気の断熱層となって、ヒートシンク１０１からの過度の放熱が抑制されている。そのため、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４との間の接着部分の接着剤が保温され易いと考えられる。したがって、固体レーザ装置１におけるレーザ光の出射時において、光量が変化するフラッシュランプ７２からの発熱量の変化により、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４との間の接着部分の接着剤の膨張と収縮が繰り返され難いと考えられる。したがって、フラッシュランプ７２に近い側のリフレクタ７３に蒸着される銀コート８１が接着剤により引っ張られ難くなり、リフレクタ７３への銀コート８１の蒸着状態が安定し易いと考えられる。ゆえに、銀コート８１が保護されて、銀コート８１における励起光の反射機能が維持され易いと考えられる。

【0065】

以上のように、本実施形態では、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とを面接触させることにより、ＹＡＧロッド７１が一対のミラーの間の光軸Ｌ上に配置されるように位置決めされている。

【0066】

これにより、筐体２１にキャビティ部１２を取り付けるときには、キャビティ部１２の底面９５と筐体２１の底部３５とを面接触させるだけで、容易に、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めできる。すなわち、容易に、ＹＡＧロッド７１を、光軸Ｌ上に配置できる。そのため、固体レーザ装置１の組み立て性やメンテナンス性が向上する。

【0067】

また、本実施形態では、筐体２１は、１つの面が開口した箱型に形成され、筐体２１の壁はキャビティ部１２の上面９６よりも突出するように形成されている。これにより、筐体２１の強度が向上するので、筐体２１は変形し難い。そのため、ミラーホルダ２２を介して筐体２１に取り付けられている一対のミラーの位置や角度が安定する。

【0068】

また、本実施形態では、筐体２１は１つの面が開口した箱型に形成されているので、筐体２１の開口側からキャビティ部１２を脱着させることできる。そのため、ミラーホルダ２２などを筐体２１から外さなくても、筐体２１に対してキャビティ部１２を脱着させることができる。したがって、筐体２１に対してキャビティ部１２を脱着させたときに、一対のミラーの位置や角度の調整を、微調整で済ませることができる。

【0069】

また、本実施形態では、筐体２１は、底部３５にて、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７が嵌め込まれる溝部３６を備えている。これにより、筐体２１にキャビティ部１２を取り付けるときには、キャビティ部１２における底面９５側の端部９７を筐体２１の溝部３６に嵌め込むだけで、容易に、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとを位置決めできる。したがって、固体レーザ装置１の組み立て性やメンテナンス性が向上する。

【0070】

また、本実施形態では、上蓋１３とキャビティ部１２の上面９６との間には隙間δが形成されている。これにより、隙間δが形成されている空間部分が空気の断熱層となって、リフレクタ７３とリフレクタホルダ７４との間の接着部分の接着剤が保温されるので、接着剤の膨張と収縮が繰り返されることが抑制される。そのため、リフレクタ７３への銀コート８１の蒸着状態が安定する。したがって、銀コート８１が保護される。

【0071】

また、本実施形態では、筐体２１は、上蓋１３を形成する材質（例えば、アルミニウム）よりも熱膨張率の小さい材質（例えば、ステンレス）で形成されている。これにより、筐体２１の強度が向上するので、筐体２１の底部３５と一対のミラーとの位置関係は、一定に保たれた状態が維持される。そのため、ＹＡＧロッド７１と光軸Ｌとが位置決めされた状態が維持される。

【0072】

本開示の固体レーザ装置１は、眼科用レーザ治療装置のレーザ光源部に使用できる。なお、レーザ光源部に本実施形態の固体レーザ装置１を用いた眼科用レーザ治療装置は、ヤグレーザ手術装置と呼ばれることがある。ヤグレーザ手術装置は、例えば、後発白内障の手術等に用いることができる。なお、上蓋１３は、筐体２１と熱膨張率が等しい材質で形成されていてもよく、例えば、ステンレスにより形成されていてもよい。また、筐体２１は、溝部３６の代わりに、または、溝部３６とともに、キャビティ部１２の位置決めが可能なピンを備えていてもよい。

【0073】

なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本開示を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。

【符号の説明】

【0074】

１ 固体レーザ装置
１１ 筐体部
１２ キャビティ部
１３ 上蓋
２１ 筐体
２２ ミラーホルダ
２２Ａ 第１ミラーホルダ
２２Ｂ 第２ミラーホルダ
３１ 前壁
３２ 後壁
３３ 第１側壁
３４ 第２側壁
３５ 底部
３５ａ 内側面
３６ 溝部
４１ 出力ミラー
４２ 全反射ミラー
４３ Ｑスイッチ
４４ 偏光素子
５２ ネジ
６１ ミラー取り付け部
６２ ミラー取り付け部
７１ ＹＡＧロッド
７２ フラッシュランプ
７３ リフレクタ
７４ リフレクタホルダ
７５ ロッドランプホルダ
７５Ａ 第１ロッドランプホルダ
７５Ｂ 第２ロッドランプホルダ
８１ 銀コート
９１ 前面
９２ 後面
９３ 第１側面
９４ 第２側面
９５ 底面
９６ 上面
９７ 端部
１０１ ヒートシンク
Ｌ 光軸
δ 隙間

【図1】

【図2】

【図3】