特許 6807199 洗濯用薬液の投入装置及び投入方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6807199

(24)【登録日】2020年12月9日

(45)【発行日】2021年1月6日

(54)【発明の名称】洗濯用薬液の投入装置及び投入方法

(51)【国際特許分類】

   D06F 39/02 20060101AFI20201221BHJP

   D06F 31/00 20060101ALI20201221BHJP

【ＦＩ】

   D06F39/02 A

   D06F31/00

【請求項の数】5

【全頁数】9

(21)【出願番号】特願2016-184535(P2016-184535)

(22)【出願日】2016年9月21日

(65)【公開番号】特開2018-47027(P2018-47027A)

(43)【公開日】2018年3月29日

【審査請求日】2019年6月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003506

【氏名又は名称】第一工業製薬株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100076314

【弁理士】

【氏名又は名称】蔦田 正人

(74)【代理人】

【識別番号】100112612

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 哲士

(74)【代理人】

【識別番号】100112623

【弁理士】

【氏名又は名称】富田 克幸

(74)【代理人】

【識別番号】100163393

【弁理士】

【氏名又は名称】有近 康臣

(74)【代理人】

【識別番号】100189393

【弁理士】

【氏名又は名称】前澤 龍

(74)【代理人】

【識別番号】100203091

【弁理士】

【氏名又は名称】水鳥 正裕

(72)【発明者】

【氏名】山田 亮二

(72)【発明者】

【氏名】山根 和浩

(72)【発明者】

【氏名】繁中 禎宜

(72)【発明者】

【氏名】扶川 陽一

【審査官】 芝井 隆

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２００４／００９８８１１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１６−１２７２４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０５９７３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２７３８７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｄ０６Ｆ １／００〜５１／０２

Ａ４７Ｌ １５／４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

リネンサプライ業又はクリーニング業の業務用洗濯機の洗濯機槽に洗濯用薬液を投入する装置であって、
洗濯用薬液を収容する薬液タンクと、
前記薬液タンクの洗濯用薬液を薬液タンク側から洗濯機槽側に送り、かつ洗濯機槽側から薬液タンク側に戻すように循環させるための循環用配管と、
前記洗濯用薬液を前記循環用配管にて循環させる循環ポンプと、
前記循環用配管から分岐して設けられ前記洗濯機槽に前記洗濯用薬液を投入するための投入用配管と、
前記投入用配管の流路を開閉する弁と、
前記投入用配管を流れる前記洗濯用薬液の流量を測定する流量計と、
を備え、
前記洗濯用薬液を前記循環ポンプにより前記循環用配管にて常時循環させ、前記投入用配管の前記弁を開いて前記流量計にて流量を測定しながら前記洗濯用薬液を前記洗濯機槽に投入する、洗濯用薬液の投入装置。

【請求項2】

前記流量計が非接触流量計である、請求項１に記載の投入装置。

【請求項3】

前記循環用配管における前記投入用配管との分岐部よりも下流側の戻し配管において、当該戻し配管内を流れる前記洗濯用薬液の圧力を検出するための圧力センサが設けられた、請求項１又は２に記載の投入装置。

【請求項4】

複数の前記洗濯機槽に対して前記洗濯用薬液を投入するように、前記投入用配管が前記循環用配管から複数分岐して設けられ、複数の前記投入用配管のそれぞれに前記弁及び前記流量計が設けられた、請求項１〜３のいずれか１項に記載の投入装置。

【請求項5】

リネンサプライ業又はクリーニング業の業務用洗濯機の洗濯機槽に投入装置を用いて洗濯用薬液を投入する方法であって、
前記投入装置は、洗濯用薬液を収容する薬液タンクと、前記薬液タンクの洗濯用薬液を薬液タンク側から洗濯機槽側に送りかつ洗濯機槽側から薬液タンク側に戻すように循環させるための循環用配管と、前記洗濯用薬液を前記循環用配管にて循環させる循環ポンプと、前記循環用配管から分岐して設けられ前記洗濯機槽に前記洗濯用薬液を投入するための投入用配管と、前記投入用配管に設けられた弁及び流量計と、を備え、
前記洗濯用薬液を前記循環ポンプにより前記循環用配管にて常時循環させ、
前記投入用配管の前記弁を開いて前記流量計にて流量を測定しながら前記洗濯用薬液を前記洗濯機槽に投入する、洗濯用薬液の投入方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、業務用洗濯機における洗濯用薬液の投入装置及び投入方法に関する。

【背景技術】

【0002】

業務用洗濯機においては、洗剤や漂白剤、仕上げ加工剤などの薬剤を水と混合して希釈してなる薬液を、洗濯機の槽内に投入するために、洗濯用薬液の投入装置が付設されている。

【0003】

例えば、特許文献１には、各洗濯用薬液を夫々収容した複数の薬液タンクと、該薬液タンクから洗濯機槽に各洗濯用薬液を送る複数のチューブ式ポンプ及び配管と、を備えた自動投入装置が開示されている。

【0004】

また、特許文献２には、各薬液タンク及び給水路と攪拌タンクとをそれぞれパイプで接続し、各パイプの途中にチェックバルブと流量計と電磁弁をそれぞれ設け、更に攪拌タンクに加圧・減圧装置を設けて、各薬液タンク内の薬液と給水路からの水を、流量計を用いて計量して攪拌タンク内で希釈混合し、この希釈した薬液を加圧エアーにより洗濯機槽内に噴霧して投入することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開昭６３−３１８９９７号公報

【特許文献2】特開２００１−１２０８８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記特許文献１のようなチューブ式ポンプを用いた洗濯用薬液の投入では、ポンプの送液部であるチューブが劣化しやすく、劣化すると計量が不正確になるので、正確な投入が困難になる。また、チューブ式ポンプのような定量送りポンプを用いて一方向の配管で投入する場合、ポンプから洗濯機槽までの配管に洗濯用薬液を完全に満たしておくことができず、薬液の投入後に配管内に部分的に空気が侵入することで定量での投入が困難になる。特に、業務用洗濯機では、一般に薬液タンクと洗濯機槽とが離れた位置にあるため、配管内に空気が入り込みやすく、定量投入を更に難しくする。

【0007】

なお、上記特許文献２には、電磁弁と流量計を用いて薬液を供給することが開示されているが、攪拌タンクに計量投入するために流量計を用いるものであり、流量計を用いて洗濯機槽に投入することについても、また洗濯用薬液を循環させながら投入することについても開示されていない。

【0008】

本発明の実施形態は、業務用洗濯機の洗濯機槽に洗濯用薬液を正確に投入することができる投入装置及び投入方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の実施形態に係る洗濯用薬液の投入装置は、リネンサプライ業又はクリーニング業の業務用洗濯機の洗濯機槽に洗濯用薬液を投入する装置であって、洗濯用薬液を収容する薬液タンクと、前記薬液タンクの洗濯用薬液を薬液タンク側から洗濯機槽側に送り、かつ洗濯機槽側から薬液タンク側に戻すように循環させるための循環用配管と、前記洗濯用薬液を前記循環用配管にて循環させる循環ポンプと、前記循環用配管から分岐して設けられ前記洗濯機槽に前記洗濯用薬液を投入するための投入用配管と、前記投入用配管の流路を開閉する弁と、前記投入用配管を流れる前記洗濯用薬液の流量を測定する流量計と、を備え、前記洗濯用薬液を前記循環ポンプにより前記循環用配管にて常時循環させ、前記投入用配管の前記弁を開いて前記流量計にて流量を測定しながら前記洗濯用薬液を前記洗濯機槽に投入するものである。

【0010】

本発明の実施形態に係る洗濯用薬液の投入方法は、リネンサプライ業又はクリーニング業の業務用洗濯機の洗濯機槽に投入装置を用いて洗濯用薬液を投入する方法であって、前記投入装置は、洗濯用薬液を収容する薬液タンクと、前記薬液タンクの洗濯用薬液を薬液タンク側から洗濯機槽側に送りかつ洗濯機槽側から薬液タンク側に戻すように循環させるための循環用配管と、前記洗濯用薬液を前記循環用配管にて循環させる循環ポンプと、前記循環用配管から分岐して設けられ前記洗濯機槽に前記洗濯用薬液を投入するための投入用配管と、前記投入用配管に設けられた弁及び流量計と、を備え、前記洗濯用薬液を前記循環ポンプにより前記循環用配管にて常時循環させ、前記投入用配管の前記弁を開いて前記流量計にて流量を測定しながら前記洗濯用薬液を前記洗濯機槽に投入するものである。

【発明の効果】

【0011】

本発明の実施形態によれば、薬液タンク側から洗濯機槽側にわたり設けられた循環用配管にて洗濯用薬液を常時循環させながら、該循環用配管から分岐した投入用配管より流量計を用いて流量を測定しつつ洗濯機槽内に洗濯用薬液を投入することができる。このように常時循環させるので、配管内への空気の入り込みを抑制することができ、流量計を用いて確実に定量での投入が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】第１実施形態に係る投入装置の模式的な構成図である。

【図2】第２実施形態に係る投入装置の模式的な構成図である。

【図3】第３実施形態に係る投入装置の模式的な構成図である。

【図4】第４実施形態に係る投入装置の模式的な構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態に係る洗濯用薬液の投入装置は、業務用洗濯機の洗濯機槽に洗濯用薬液を投入するための自動投入装置である。業務用洗濯機としては、例えばリネンサプライ業やクリーニング業等の業務用洗濯機が挙げられる。一般に、業務用洗濯は、予洗、本洗、すすぎ、加工の４つの工程を経て行われる。かかる４工程を行う業務用洗濯機には、予洗、本洗、すすぎ及び加工が単独槽で行われるバッチ式洗濯機と、予洗、本洗、すすぎ及び加工用の複数の槽を並設してなり、被洗物をこれら各槽に順次移動させながら連続して洗濯を行う連続洗濯機があり、いずれの洗濯機に設けられるものであってもよい。

【0014】

洗濯用薬液は、洗濯機に投入される液体の薬剤であり、洗浄剤液とも称される。例えば、洗剤、漂白剤、アルカリ剤、酸、中和剤、柔軟剤、糊剤、抗菌剤などの薬剤を、そのまま、又は、水に溶解ないし希釈したものが挙げられる。

【0015】

図１に示す第１実施形態に係る投入装置１０Ａは、洗濯用薬液として、粉末洗剤を水に溶かしてなる洗剤溶液を、業務用洗濯機に自動投入するための洗剤投入装置である。

【0016】

投入装置１０Ａは、業務用洗濯機として、２台の連続洗濯機１，２、即ち連洗機１及び連洗機２に、洗剤溶液を投入する装置である。連続洗濯機としては、特に限定されず、例えば、特開２０１０−２１４００２号公報に開示されているように、予洗槽、本洗槽、すすぎ槽及び加工槽の各洗濯機槽を有するものが挙げられる。この例では、図１に示すように、投入装置１０Ａは、連洗機１の予洗槽１Ａ（即ち、「予洗」）と、２つの本洗槽１Ｂ，１Ｃ（即ち、「本洗１」及び「本洗２」）、並びに、連洗機２の予洗槽２Ａ（即ち、「予洗」）と、２つの本洗槽２Ｂ，２Ｃ（即ち、「本洗１」及び「本洗２」）のそれぞれについて、洗剤溶液を投入できるように構成されている。

【0017】

投入装置１０Ａは、薬液タンク１２と、循環用配管１４と、循環ポンプ１６と、投入用配管１８と、電磁弁２０と、流量計２２とを備える。

【0018】

薬液タンク１２は、洗濯用薬液として洗剤溶液を収容するタンクであり、連続洗濯機１，２の各洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃとは離れた位置に設けられている。薬液タンク１２には、粉末洗剤を溶かしかつ希釈するための水を、薬液タンク１２内に供給する給水装置２４が設けられている。給水装置２４は、給水配管２６に電磁弁２８と流量計３０を設けることにより構成されており、流量計３０による正確な希釈が可能である。

【0019】

薬液タンク１２には、粉末洗剤を水に溶解させやすくするための加熱手段３２と、洗剤溶液を攪拌する攪拌装置３４と、洗剤溶液の温度を検知する温度センサ３６が設けられている。加熱手段３２は、この例では蒸気を加熱源とした加熱パイプからなり、温度センサ３６の検知結果に基づいてバルブ３２Ａを開閉することにより、洗剤溶液の温度を所定範囲内に制御するよう構成されている。

【0020】

薬液タンク１２には、また、洗剤溶液の液量を検知する液面センサ３８が設けられている。液面センサ３８により洗剤溶液の残量を監視するとともに、洗剤溶液を補充する際、検知した残量から必要な水量を自動計算して、その水量を給水装置２４から供給するように構成されている。

【0021】

循環用配管１４は、薬液タンク１２の洗剤溶液を、薬液タンク１２側から洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃ側に送り、かつ洗濯機槽側から薬液タンク側に戻すように循環させる配管である。詳細には、循環用配管１４は、薬液タンク１２の洗剤溶液を洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃの近傍へ送るために、薬液タンク１２の底部から引き出されて洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃの設置場所まで延びる送り配管１４Ａと、洗濯機槽近傍まで送られた洗剤溶液を薬液タンク１２に戻すために、前記設置場所から薬液タンク１２まで延びる戻し配管１４Ｂとを備えてなる。

【0022】

循環ポンプ１６は、洗剤溶液を循環用配管１４にて循環させるためのポンプであり、循環用配管１４（より詳細には、送り配管１４Ａにおける薬液タンク１２近傍の上流部）に設けられている。循環ポンプ１６は、薬液タンク１２から洗剤溶液を吸引して、循環用配管１４の送り配管１４Ａに流し、更に戻し配管１４Ｂを通って薬液タンク１２に戻すように循環させる。循環パイプ１６としては、例えばインペラを持つポンプのような汎用の非定量送りポンプを用いることができ、劣化しにくいステンレス製ポンプが好ましく用いられる。なお、循環ポンプ１６の上流には図示しないストレーナーを設けてもよい。

【0023】

投入用配管１８は、洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに洗剤溶液を投入するための配管であり、循環用配管１４から分岐して設けられている。この例では、連続洗濯機１，２の複数の洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに対してそれぞれ洗剤溶液を投入するように、投入用配管１８は、循環用配管１４から複数分岐して、即ち各洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに対しそれぞれ分岐して、設けられている。より詳細には、投入用配管１８は、各洗濯槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃの上方を通る送り配管１４Ａから下方に分岐して延び、各洗濯槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃ内に引き込まれている。

【0024】

電磁弁２０は、洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに洗剤溶液を投入するために投入用配管１８の流路を開閉する弁であり、投入用配管１８に設けられている。電磁弁２０は、複数の投入用配管１８のそれぞれに設けられている。

【0025】

流量計２２は、投入用配管１８を流れる洗剤溶液の流量を測定する計測器であり、投入用配管１８において、電磁弁２０の上流側、即ち循環用配管１４からの分岐部と電磁弁２０との間に設けられている。流量計２２は、複数の投入用配管１８のそれぞれに設けられている。流量計２２としては、例えば超音波流量計や電磁流量計等の非接触流量計を用いることが好ましく、この例では超音波流量計を用いている。

【0026】

循環用配管１４には、配管内を流れる洗剤溶液の圧力を常時監視する圧力センサ４０が設けられている。圧力センサ４０は、投入用配管１８との分岐部よりも下流側の戻し配管１４Ｂにおいて、当該戻し配管１４Ｂ内を流れる洗剤溶液の圧力を検出する。

【0027】

第１実施形態の投入装置１０Ａを用いて洗剤溶液を投入する際には、まず、薬液タンク１２に洗剤を投入するとともに、給水装置２４を用いて所定量の水を自動投入し、加熱手段３２を用いて加熱しつつ、攪拌装置３４により攪拌して、洗剤を水に溶解させて洗剤溶液を調製する。次いで、循環ポンプ１６を用いて、洗剤溶液を循環用配管１４に循環させる。このようにして洗剤溶液を循環用配管１４にて常時循環させながら、投入用配管１８の電磁弁２０を開いて流量計２２にて流量を測定しながら洗剤溶液を洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに投入する。詳細には、洗剤溶液を投入すべき洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに対して、不図示の制御部からの信号に基づいて、当該洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに対応する投入用配管１８の電磁弁２０を開く。これにより、循環用配管１４Ａを流れる洗剤溶液が、分岐部から当該投入用配管１８に流れ、対応する洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃ内に洗剤溶液が投入される。この投入用配管１８を流れる洗剤溶液の流量を流量計２２により計測しながら、流量が指定値になったときに、電磁弁２０を閉じる。これにより、所定量の洗剤溶液が洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃ内に投入される。

【0028】

このように本実施形態によれば、薬液タンク１２から洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃ側まで延びる循環用配管１４を設けて洗剤溶液を常時循環させるので、薬液タンク１２と洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃとの距離が遠くても、配管内への空気の入り込みを抑制することができ、定量での投入を容易にすることができる。また、常時循環させることで、ポンプや配管の閉止による洗剤溶液の投入ミスを回避することができる。

【0029】

また、流量計２２を設けたことにより、気温の変化により洗剤溶液の粘度が変化した場合でも、定量での投入が可能である。

【0030】

更に、常時循環させるものにおいて流量計２２を設けたことにより、仮に複数の投入用配管１８の電磁弁２０が同時に開状態になった場合でも、流量を実測しているため、定量での投入が可能である。そのため、定量での投入のために高出力の循環ポンプを用いる必要がなく、循環ポンプ１６の低出力化が可能である。すなわち、循環ポンプ１６が高出力の場合、複数の電磁弁２０が開かれたときでも、一定時間の電磁弁２０の開閉により一定量の洗剤溶液を投入することができるが、循環ポンプ１６が低出力の場合に、このような電磁弁２０の時間管理での開閉では、洗剤溶液の投入量のバラツキが大きい。これに対し、定量投入可能な流量計２２を設けたことにより、循環ポンプ１６の出力によらずに、複数の洗濯機槽１Ａ〜Ｃ，２Ａ〜Ｃに一定量投入することができる。そのため、低出力の循環ポンプ１６の利用が可能となる。

【0031】

また、流量計２２が非接触流量計であることにより、流量計２２での詰まりや腐食を抑制することができる。

【0032】

また、循環用配管１４の戻し配管１４Ｂに圧力センサ４０を設けたことにより、循環用配管１４の圧力を監視することができ、循環ポンプ１６やストレーナーでの不具合を検出し、事前警報することもできる。圧力センサ４０は、複数の電磁弁２０が全て閉じている段階での圧力をみることで、電磁弁２０の不具合を検出することもできる。そのため、圧力センサ４０は、投入用配管１８の分岐部よりも下流側の戻し配管１４Ｂに設けられていることが好ましい。

【0033】

図２は、第２実施形態に係る投入装置１０Ｂを示した図である。この投入装置１０Ｂは、洗濯用薬液として、漂白剤を水で希釈した漂白剤溶液を、業務用洗濯機に自動投入するための漂白剤投入装置である。漂白剤は液体であるため、投入装置１０Ｂには、加熱手段と温度センサと攪拌装置が設けられておらず、その点で第１実施形態の投入装置１０Ａとは異なる。

【0034】

また、第２実施形態の投入装置１０Ｂは、上記２台の連続洗濯機１，２の各洗濯機槽のうち、連洗機１の本洗槽１Ｂ（即ち、「本洗１」）と、連洗機２の本洗槽２Ｂ（即ち、「本洗１」）に、漂白剤溶液を投入するものであり、この点でも第１実施形態の投入装置１０Ａと異なる。

【0035】

また、第２実施形態の投入装置１０Ｂでは、各投入用配管１８に設ける流量計として、非接触流量計である電磁流量計２２Ａを用いている。電磁流量計２２Ａを用いることにより、腐食性液体の漂白剤溶液でも安定して流量を計測することができる。

【0036】

第２実施形態について、その他の構成及び作用効果については第１実施形態と同様であり、対応する要素には同じ符号を付して、説明は省略する。

【0037】

図３は、第３実施形態に係る投入装置１０Ｃを示した図である。この投入装置１０Ｃは、洗濯用薬液として、液体洗剤などの洗濯助剤を水で希釈した洗濯助剤溶液を、業務用洗濯機に自動投入するための洗濯助剤投入装置である。投入装置１０Ｃには、加熱手段と温度センサと攪拌装置が設けられておらず、その点で第１実施形態の投入装置１０Ａとは異なる。第３実施形態について、その他の構成及び作用効果については第１実施形態と同様であり、対応する要素には同じ符号を付して、説明は省略する。

【0038】

図４は、第４実施形態に係る投入装置１０Ｄを示した図である。この投入装置１０Ｄは、洗濯用薬液として、柔軟剤、中和剤、糊剤、抗菌剤などの加工助剤を水で希釈した加工助剤溶液を、業務用洗濯機に自動投入するための加工助剤投入装置である。投入装置１０Ｄには、加熱手段と温度センサと攪拌装置が設けられておらず、その点で第１実施形態の投入装置１０Ａとは異なる。

【0039】

また、第４実施形態の投入装置１０Ｄは、上記２台の連続洗濯機１，２の各洗濯機槽のうち、連洗機１の加工槽１Ｄ（即ち、「加工」）と、連洗機２の加工槽２Ｄ（即ち、「加工」）に、加工助剤溶液を投入するものであり、この点でも第１実施形態の投入装置１０Ａと異なる。第４実施形態について、その他の構成及び作用効果については第１実施形態と同様であり、対応する要素には同じ符号を付して、説明は省略する。

【0040】

以上の第１〜第４実施形態の投入装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、業務用洗濯機に対して、いずれか１つ付設してもよいが、２つ以上組み合わせて適用してもよく、これら４つの投入装置を全て組み合わせて適用してもよい。すなわち、例えば、上記２台の連続洗濯機１，２に対して、これら４つの投入装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを全て付設してもよく、様々な洗濯用薬液の安定した定量投入が可能となる。

【0041】

また、上記実施形態の投入装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、２台の業務用洗濯機に対して洗濯用薬液を投入するものであるが、１台の業務用洗濯機に投入するものでもよく、３台以上の業務用洗濯機に投入するものでもよい。

【0042】

以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。

【符号の説明】

【0043】

１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ…投入装置、１２…薬液タンク、１４…循環用配管、１４Ａ…送り配管、１４Ｂ…戻し配管、１６…循環ポンプ、１８…投入用配管、２０…電磁弁、２２…流量計、２２Ａ…電磁流量計、４０…圧力センサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】