特許第6809008号(P6809008)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6809008ＭＥＭＳ構造及び、ＭＥＭＳ構造を有する静電容量型センサ、圧電型センサ、音響センサ
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