特許 6809901 撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6809901

(24)【登録日】2020年12月14日

(45)【発行日】2021年1月6日

(54)【発明の名称】撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20180101AFI20201221BHJP

   G01N 23/083 20180101ALI20201221BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

   G01N23/083

【請求項の数】8

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2016-256011(P2016-256011)

(22)【出願日】2016年12月28日

(65)【公開番号】特開2018-105839(P2018-105839A)

(43)【公開日】2018年7月5日

【審査請求日】2019年12月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】399105623

【氏名又は名称】松定プレシジョン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110788

【弁理士】

【氏名又は名称】椿 豊

(74)【代理人】

【識別番号】100124589

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 竜郎

(74)【代理人】

【識別番号】100166811

【弁理士】

【氏名又は名称】白鹿 剛

(72)【発明者】

【氏名】松田 定好

【審査官】 藤田 都志行

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−０２８８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−１４５７９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３０８４７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２８１６８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／００５１８８６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／０４

Ｇ０１Ｎ ２３／０８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、前記撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影する撮影装置であって、
前記撮影領域は、前記一の方向に沿って複数の区分領域に仮想的に区分されており、
前記複数の区分領域のうち第１の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第１の撮影手段と、
前記第１の撮影手段にて撮影した前記撮影領域の画像から前記第１の区分領域の画像である第１の区分画像を抽出する第１の抽出手段と、
前記複数の区分領域のうち前記第１の区分領域とは異なる第２の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第２の撮影手段と、
前記第２の撮影手段にて撮影した前記撮影領域の画像から前記第２の区分領域の画像である第２の区分画像を抽出する第２の抽出手段と、
少なくとも前記第１の区分画像と前記第２の区分画像とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、
前記重ね合わせ手段にて重ね合わせることで得られた出力画像を出力する出力手段とをさらに備えた、撮影装置。

【請求項2】

前記重ね合わせ手段は、前記複数の区分領域のうち前記一の方向に沿った両端部の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで撮影した前記撮影領域の画像を重ね合わせない、請求項１に記載の撮影装置。

【請求項3】

前記撮影領域からの前記電磁波を集束させる集束手段をさらに備え、
前記第１および第２の撮影手段の各々は、前記集束手段にて集束された前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する、請求項１または２に記載の撮影装置。

【請求項4】

前記電磁波は、Ｘ線、赤外線、および紫外線のうち少なくともいずれかを含み、
前記電磁波を可視光に変換する変換手段をさらに備えた、請求項１〜３のいずれかに記載の撮影装置。

【請求項5】

前記変換手段は、イメージインテンシファイアである、請求項４に記載の撮影装置。

【請求項6】

前記複数の受信素子は、受光光に応じた電子を発生し、
前記第１の区分画像の撮影に用いられる受信素子で発生した電子は、前記第２の区分画像の撮影に用いられる受信素子に移動しない、請求項１〜５のいずれかに記載の撮影装置。

【請求項7】

前記電磁波を発生する電磁波発生源と、
請求項１〜６のいずれかに記載の撮影装置とを備えた、検査装置。

【請求項8】

撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、前記撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影する撮影装置の制御プログラムであって、
前記撮影領域は、前記一の方向に沿って複数の区分領域に仮想的に区分されており、
前記複数の区分領域のうち第１の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第１の撮影ステップと、
前記第１の撮影ステップにて撮影した前記撮影領域の画像から前記第１の区分領域の画像である第１の区分画像を抽出する第１の抽出ステップと、
前記複数の区分領域のうち前記第１の区分領域とは異なる第２の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第２の撮影ステップと、
前記第２の撮影ステップにて撮影した前記撮影領域の画像から前記第２の区分領域の画像である第２の区分画像を抽出する第２の抽出ステップと、
少なくとも前記第１の区分画像と前記第２の区分画像とを重ね合わせる重ね合わせステップと、
前記重ね合わせステップにて重ね合わせることで得られた出力画像を出力する出力ステップとをコンピューターに実行させる、撮影装置の制御プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラムに関する。より特定的には、本発明は、撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

Ｘ線検査装置は、被検査物を破壊せずに検査する装置として知られている。一般的に、Ｘ線検査装置は、被検査物を搬送するベルトコンベアなどの搬送部と、搬送路を挟むように配置されたＸ線発生装置および撮影装置（Ｘ線受光装置）とを備えている。Ｘ線発生装置はＸ線を発生し、搬送部によって搬送される被検査物に照射する。被検査物に照射されたＸ線は、被検査物を透過し、撮影装置で撮影される。Ｘ線検査装置は、撮影装置で撮影した画像に基づいて被検査物の内部を検査する。

【0003】

なお、下記特許文献１には、イメージインテンシファイアと、光学レンズと、ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラよりなる検出部とを備えたＸ線受光装置が開示されている。検出部は、被検査物の搬送方向に配列した５つの受光素子を含んでいる。検出部は、被検査物における同一の部分から、１列目の受光素子、２列目の受光素子、３列目の受光素子、４列目の受光素子、および５列目の受光素子の各々での受光光量を積算することにより、受光した光の一次元方向の強度分布を検出する。これにより、Ｘ線受光装置で受光する光量を増加させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１６−１４５７９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ＴＤＩカメラでは、搬送方向の上流側の受光素子の列で発生した電子が、搬送方向の下流側の受光素子の列に順次移動することにより、受光光量が積算される。このため、特許文献１のように検出部としてＴＤＩカメラを用いることにより、受光光量を増加させることができる。一方、特許文献１のように検出器としてＴＤＩカメラを用いた場合には、積算した電子をＴＤＩカメラから信号として出力する際に、信号を電圧に変換するためにアンプが用いられる。ＴＤＩカメラがこのアンプから受ける熱などに起因するノイズ（ランダムノイズ、ホワイトノイズ）は、受光光量とともに１回積算される。その結果、ノイズが多く、撮影した画像の画質が悪いという問題があった。

【0006】

撮影した画像の画質が悪いという問題は、被検査物を透過したＸ線を受信するＸ線受光装置に限られるものではなく、撮影領域からの電磁波を受信する撮影装置全般において生じる問題であった。

【0007】

本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、撮影した画像の画質を向上することのできる撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一の局面に従う撮影装置は、撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影する撮影装置であって、撮影領域は、一の方向に沿って複数の区分領域に仮想的に区分されており、複数の区分領域のうち第１の区分領域に対象物が存在するタイミングで、複数の受信素子を用いて受信した電磁波に基づく撮影領域の画像を撮影する第１の撮影手段と、第１の撮影手段にて撮影した撮影領域の画像から第１の区分領域の画像である第１の区分画像を抽出する第１の抽出手段と、複数の区分領域のうち第１の区分領域とは異なる第２の区分領域に対象物が存在するタイミングで、複数の受信素子を用いて受信した電磁波に基づく撮影領域の画像を撮影する第２の撮影手段と、第２の撮影手段にて撮影した撮影領域の画像から第２の区分領域の画像である第２の区分画像を抽出する第２の抽出手段と、少なくとも第１の区分画像と第２の区分画像とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、重ね合わせ手段にて重ね合わせることで得られた出力画像を出力する出力手段とをさらに備える。

【0009】

上記撮影装置において好ましくは、重ね合わせ手段は、複数の区分領域のうち一の方向に沿った両端部の区分領域に対象物が存在するタイミングで撮影した撮影領域の画像を重ね合わせない。

【0010】

上記撮影装置において好ましくは、撮影領域からの電磁波を集束させる集束手段をさらに備え、第１および第２の撮影手段の各々は、集束手段にて集束された電磁波に基づく撮影領域の画像を撮影する。

【0011】

上記撮影装置において好ましくは、電磁波は、Ｘ線、赤外線、および紫外線のうち少なくともいずれかを含み、電磁波を可視光に変換する変換手段をさらに備える。

【0012】

上記撮影装置において好ましくは、変換手段は、イメージインテンシファイアである。

【0013】

上記撮影装置において好ましくは、複数の受信素子は、受光光に応じた電子を発生し、第１の区分画像の撮影に用いられる受信素子で発生した電子は、第２の区分画像の撮影に用いられる受信素子に移動しない。

【0014】

本発明の他の局面に従う検査装置は、電磁波を発生する電磁波発生源と、上述のいずれかの撮影装置とを備える。

【0015】

本発明のさらに他の局面に従う撮影装置の制御プログラムは、撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影する撮影装置の制御プログラムであって、撮影領域は、一の方向に沿って複数の区分領域に仮想的に区分されており、複数の区分領域のうち第１の区分領域に対象物が存在するタイミングで、複数の受信素子を用いて受信した電磁波に基づく撮影領域の画像を撮影する第１の撮影ステップと、第１の撮影ステップにて撮影した撮影領域の画像から第１の区分領域の画像である第１の区分画像を抽出する第１の抽出ステップと、複数の区分領域のうち第１の区分領域とは異なる第２の区分領域に対象物が存在するタイミングで、複数の受信素子を用いて受信した電磁波に基づく撮影領域の画像を撮影する第２の撮影ステップと、第２の撮影ステップにて撮影した撮影領域の画像から第２の区分領域の画像である第２の区分画像を抽出する第２の抽出ステップと、少なくとも第１の区分画像と第２の区分画像とを重ね合わせる重ね合わせステップと、重ね合わせステップにて重ね合わせることで得られた出力画像を出力する出力ステップとをコンピューターに実行させる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、撮影した画像の画質を向上することのできる撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施の形態におけるＸ線検査装置１の構成を模式的に示す断面図である。

【図2】本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の構成を模式的に示す断面図である。

【図3】本発明の一実施の形態における検出部４０の構成を模式的に示す平面図である。

【図4】本発明の一実施の形態において検出部４０が撮影する画像を模式的に示す第１の図である。

【図5】本発明の一実施の形態において検出部４０が撮影する画像を模式的に示す第２の図である。

【図6】本発明の一実施の形態において画像生成部８３が生成するワークＷＫの出力画像ＯＩを模式的に示す図である。

【図7】本発明の一実施の形態における検出部４０の撮影条件を模式的に示す図である。

【図8】本発明の一実施の形態における制御部８０の動作を示すフローチャートである。

【図9】ＴＤＩカメラ４００の原理を模式的に示す図である。

【図10】本発明の一実施の形態の第１の変形例において画像生成部８３が生成するワークＷＫの出力画像ＯＩを模式的に示す図である。

【図11】本発明の一実施の形態の第１の変形例における制御部８０の動作を示すフローチャートである。

【図12】本発明の一実施の形態の第２の変形例における検出部４０の構成を模式的に示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施の形態について、図面に基づいて説明する。

【0019】

［Ｘ線検査装置の概略的な構成］

【0020】

始めに、本発明の一実施の形態におけるＸ線検査装置の概略的な構成について説明する。

【0021】

図１は、本発明の一実施の形態におけるＸ線検査装置１の構成を模式的に示す断面図である。なお、ｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸は互いに直交しているものとする。

【0022】

図１を参照して、本実施の形態のＸ線検査装置１（検査装置の一例）は、撮影領域ＰＡを矢印ＡＲ１で示す方向（ｘ軸方向）に移動するワークＷＫ（対象物の一例）に対してＸ線を照射し、ワークＷＫからのＸ線に基づいてワークＷＫを検査するものである。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線受光装置１０（撮影装置の一例）と、搬送部６０と、Ｘ線照射装置７０（電磁波発生源の一例）と、制御部８０などを備えている。

【0023】

Ｘ線照射装置７０は、その内部でＸ線を発生し、矢印ＡＲ２で示すように、撮影領域ＰＡに対してＸ線を照射する。Ｘ線照射装置７０は、ターゲット（Ｘ線発生源）で反射したＸ線を利用する反射型のものであってもよいし、ターゲットを透過したＸ線を利用する透過型のものであってもよい。

【0024】

搬送部６０は、テーブル６１上に配置されたワークＷＫを、矢印ＡＲ１で示す方向に搬送する。搬送部６０は、たとえばベルトコンベアなどよりなっている。

【0025】

Ｘ線受光装置１０は、撮影領域ＰＡを移動するワークＷＫを撮影する。Ｘ線受光装置１０は、矢印ＡＲ３で示すように、撮影領域ＰＡを通過したＸ線（ワークＷＫを透過したＸ線）を受光し、受光したＸ線の強度を示す信号を制御部８０に送信する。

【0026】

制御部８０は、Ｘ線受光装置１０、搬送部６０、およびＸ線照射装置７０の各々と電気的に接続されており、Ｘ線検査装置１全体の制御を行う。制御部８０は、たとえばＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）であり、制御プログラムに基づいて動作するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）と、制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、ＣＰＵのワークエリアであるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）とにより構成されている。制御部８０は、Ｘ線発生制御部８１と、テーブル制御部８２と、画像生成部８３と、表示部８４と、操作部８５とを含んでいる。

【0027】

Ｘ線発生制御部８１は、Ｘ線照射装置７０に印加する電圧などを制御することにより、Ｘ線照射装置７０から発生するＸ線を制御する。

【0028】

テーブル制御部８２は、搬送部６０によるテーブル６１の移動を制御する。

【0029】

画像生成部８３は、Ｘ線受光装置１０から受信した信号に基づいて画像を生成し、表示部８４に表示する。また画像生成部８３は、Ｘ線受光装置１０に印加する電圧、タイミング、クロックなどを制御する。

【0030】

表示部８４は、各種情報を表示する。

【0031】

操作部８５は、各種操作を受け付ける。

【0032】

ワークＷＫの位置は、時間経過とともに矢印ＡＲ１で示す方向に移動するので、ワークＷＫにおけるＸ線が透過する位置もまた、時間経過とともに矢印ＡＲ１で示す方向に移動する。従ってＸ線検査装置１は、時間経過とともに、ワークＷＫにおける矢印ＡＲ１に沿った異なる位置を検査することができる。

【0033】

なお、本明細書では、テーブル６１の移動方向（矢印ＡＲ１で示す方向）をｘ軸の正の方向としている。Ｘ線受光装置１０で受光するＸ線の進行方向（矢印ＡＲ３で示す方向）をｚ軸の正の方向としている。ｘ軸とｚ軸とは互いに直交している。さらに、ｘ軸およびｚ軸の各々に対して直角な方向（紙面に対して垂直な方向）をｙ軸方向としている。

【0034】

図２は、本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の構成を模式的に示す断面図である。

【0035】

図２を参照して、Ｘ線受光装置１０は、イメージインテンシファイア２０（変換手段の一例）と、光学レンズ３０（集束手段の一例）と、検出部４０とを含んでいる。イメージインテンシファイア２０、光学レンズ３０、および検出部４０の各々は、Ｘ線の進行方向に沿ってワークＷＫから離れる方向（矢印ＡＲ３で示すｚ軸の正の方向）に沿ってこの順序で配置されている。

【0036】

イメージインテンシファイア２０は、撮影領域ＰＡを通過したＸ線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する。イメージインテンシファイア２０は、入力蛍光面２１と、光電面２２と、集束電極２３と、陽極２４と、出力蛍光面２５と、筐体２６と、集束電源２７と、加速電源２８とを含んでいる。集束電極２３、陽極２４、集束電源２７、および加速電源２８は加速集束部を構成し、静電レンズ系として機能する。

【0037】

筐体２６は、減圧された中空部を有している。筐体２６の内部には、入力蛍光面２１、光電面２２、集束電極２３、陽極２４、および出力蛍光面２５が配置されている。光電面２２は、入力蛍光面２１よりもワークＷＫから離れた側（ｚ軸の正方向の側）において、入力蛍光面２１と近接して配置されている。出力蛍光面２５は、光電面２２よりもワークＷＫから離れた側（ｚ軸の正方向の側）において、光電面２２と大きな間隔を空けて配置されている。入力蛍光面２１、光電面２２、および出力蛍光面２５の各々は、ｘ軸方向に延在している。集束電極２３は、たとえば円筒形状を有しており、ｚ軸方向に延在している。集束電極２３は、光電面２２と出力蛍光面２５との間に配置されている。陽極２４は、出力蛍光面２５の近傍に配置されている。陽極２４は、たとえば円筒形状を有しており、ｚ軸方向に延在している。出力蛍光面２５は、陽極２４の内部に配置されている。集束電源２７は、光電面２２と集束電極２３との間に電圧を印加する。加速電源２８は、光電面２２と陽極２４との間に電圧を印加する。

【0038】

光学レンズ３０は、凸レンズであり、イメージインテンシファイア２０から出力された可視光線を集束させる。

【0039】

検出部４０は、制御部８０の制御の下で、光学レンズ３０で集束された可視光線を受光することにより、撮影領域ＰＡを撮影する。

【0040】

ワークＷＫを透過したＸ線は、矢印ＡＲ３で示すように、イメージインテンシファイア２０に入射する。イメージインテンシファイア２０に入射したＸ線は、入力蛍光面２１によって可視光線（蛍光）に変換される。入力蛍光面２１により変換された可視光線は、光電面２２によって光電子に変換される。光電面２２によって変換された光電子は、集束電極２３、陽極２４、集束電源２７、および加速電源２８によって加速および集束される。加速および集束された光電子は、出力蛍光面２５に衝突し、出力蛍光面２５によって可視光線（蛍光）としてイメージインテンシファイア２０の外部に放出（出力）される。イメージインテンシファイア２０から出力される可視光線は、イメージインテンシファイア２０に入射するＸ線の強度に対応した強度を有している。イメージインテンシファイア２０から出力された可視光線は、光学レンズ３０によって集束され、検出部４０に入射する。

【0041】

図３は、本発明の一実施の形態における検出部４０の構成を模式的に示す平面図である。

【0042】

図３を参照して、検出部４０は、複数の受光素子４１（受信素子の一例）と、基板４２とを含んでいる。複数の受光素子４１および基板４２は、二次元カメラ（エリアカメラ）を構成しており、可視光線の二次元の強度分布を検出可能である。複数の受光素子４１の各々は、基板４２上に配置されている。複数の受光素子４１の各々は、ｘ軸方向にｎ２個の列を構成しており、各列はｙ軸方向に配列したｎ１個の受光素子４１によって構成されている。複数の受光素子４１は、光学レンズ３０で集束された可視光線（つまり、撮影領域ＰＡからのＸ線）を受信する。

【0043】

［ワークの撮影方法］

【0044】

次に、本実施の形態における検出部４０によるワークＷＫの撮影方法について説明する。

【0045】

図４および図５は、本発明の一実施の形態において検出部４０が撮影する画像を模式的に示す図である。なお図４および図５においては、「Ｍ」というアルファベットの平面形状を有するワークＷＫが検出の対象である場合について説明する。図４および図５における左側の図は、撮影領域ＰＡを通過するワークＷＫの位置を示している。右側の図の点線は、撮影した画像を示しており、右側の図の実線は、撮影した画像から抽出される区分画像を示している。ここでは、ワークＷＫの撮影の積算回数Ｍが６回である場合について示している。

【0046】

以降、ワークＷＫにおける搬送方向の上流側（図４中下部）の部分をワーク下部ｅ１と記し、ワークＷＫにおける搬送方向の下流側（図４中上部）の部分をワーク上部ｅ３と記し、ワーク下部ｅ１とワーク上部ｅ３との間の部分をワーク中央部ｅ２と記すことがある。

【0047】

図４（ａ）を参照して、撮影領域ＰＡは、矢印ＡＲ１で示す搬送方向に沿って複数（ここでは６つ）の区分領域ｓ１〜ｓ６に仮想的に区分されている。区分領域ｓ１〜ｓ６の各々は、矢印ＡＲ１で示す方向に沿ってこの順序で配置されている。

【0048】

時刻Ｔ＝ｔ０において、ワークＷＫの搬送が開始される。時刻Ｔ＝ｔ１となると、ワーク下部ｅ１は撮影領域ＰＡに進入し、区分領域ｓ１に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク下部ｅ１が区分領域ｓ１に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ１を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ１を画像生成部８３に送信する。

【0049】

画像生成部８３は、画像ＩＭ１を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ１１〜ＩＭ１６の各々に画像ＩＭ１を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ１に対応する区分画像ＩＭ１１を画像ＩＭ１から抽出する。

【0050】

図４（ｂ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ１から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ２となると、ワーク下部ｅ１は区分領域ｓ２に到達する。ワーク中央部ｅ２は撮影領域ＰＡに進入し、区分領域ｓ１に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク下部ｅ１が区分領域ｓ２に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ２を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ２を画像生成部８３に送信する。

【0051】

画像生成部８３は、画像ＩＭ２を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ２１〜ＩＭ２６の各々に画像ＩＭ２を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ１に対応する区分画像ＩＭ２１と、区分領域ｓ２に対応する区分画像ＩＭ２２とを画像ＩＭ２から抽出する。

【0052】

図４（ｃ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ２から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ３となると、ワーク下部ｅ１は区分領域ｓ３に到達し、ワーク中央部ｅ２は区分領域ｓ２に到達する。ワーク上部ｅ３は撮影領域ＰＡに進入し、区分領域ｓ１に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク下部ｅ１が区分領域ｓ３に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ３を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ３を画像生成部８３に送信する。

【0053】

画像生成部８３は、画像ＩＭ３を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ３１〜ＩＭ３６の各々に画像ＩＭ３を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ１に対応する区分画像ＩＭ３１と、区分領域ｓ２に対応する区分画像ＩＭ３２と、区分領域ｓ３に対応する区分画像ＩＭ３３とを画像ＩＭ３から抽出する。

【0054】

図４（ｄ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ３から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ４となると、ワーク下部ｅ１は区分領域ｓ４に到達し、ワーク中央部ｅ２は区分領域ｓ３に到達し、ワーク上部ｅ３は区分領域ｓ２に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク下部ｅ１が区分領域ｓ４に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ４を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ４を画像生成部８３に送信する。

【0055】

画像生成部８３は、画像ＩＭ４を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ４１〜ＩＭ４６の各々に画像ＩＭ４を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ２に対応する区分画像ＩＭ４２と、区分領域ｓ３に対応する区分画像ＩＭ４３と、区分領域ｓ４に対応する区分画像ＩＭ４４とを画像ＩＭ４から抽出する。

【0056】

図５（ａ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ４から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ５となると、ワーク下部ｅ１は区分領域ｓ５に到達し、ワーク中央部ｅ２は区分領域ｓ４に到達し、ワーク上部ｅ３は区分領域ｓ３に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク下部ｅ１が区分領域ｓ５に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ５を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ５を画像生成部８３に送信する。

【0057】

画像生成部８３は、画像ＩＭ５を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ５１〜ＩＭ５６の各々に画像ＩＭ５を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ３に対応する区分画像ＩＭ５３と、区分領域ｓ４に対応する区分画像ＩＭ５４と、区分領域ｓ５に対応する区分画像ＩＭ５５とを画像ＩＭ５から抽出する。

【0058】

図５（ｂ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ５から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ６となると、ワーク下部ｅ１は区分領域ｓ６に到達し、ワーク中央部ｅ２は区分領域ｓ５に到達し、ワーク上部ｅ３は区分領域ｓ４に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク下部ｅ１が区分領域ｓ６に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ６を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ６を画像生成部８３に送信する。

【0059】

画像生成部８３は、画像ＩＭ６を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ６１〜ＩＭ６６の各々に画像ＩＭ６を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ４に対応する区分画像ＩＭ６４と、区分領域ｓ５に対応する区分画像ＩＭ６５と、区分領域ｓ６に対応する区分画像ＩＭ６６とを画像ＩＭ６から抽出する。

【0060】

図５（ｃ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ６から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ７となると、ワーク下部ｅ１は撮影領域ＰＡを外れ、ワーク中央部ｅ２は区分領域ｓ６に到達し、ワーク上部ｅ３は区分領域ｓ５に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク中央部ｅ２が区分領域ｓ６に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ７を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ７を画像生成部８３に送信する。

【0061】

画像生成部８３は、画像ＩＭ７を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ７１〜ＩＭ７６の各々に画像ＩＭ７を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ５に対応する区分画像ＩＭ７５と、区分領域ｓ６に対応する区分画像ＩＭ７６とを画像ＩＭ７から抽出する。

【0062】

図５（ｄ）を参照して、時刻Ｔ＝ｔ７から時間Δｔ（ｓ）後の時刻Ｔ＝ｔ８となると、ワーク中央部ｅ２は撮影領域ＰＡを外れ、ワーク上部ｅ３は区分領域ｓ６に到達する。検出部４０は、制御部８０の制御の下で、ワーク上部ｅ３が区分領域ｓ６に存在するタイミングで、複数の受光素子４１を用いて受信した光に基づいて、撮影領域ＰＡ全体の画像ＩＭ８を撮影する。検出部４０は、撮影した画像ＩＭ８を画像生成部８３に送信する。

【0063】

画像生成部８３は、画像ＩＭ８を受信すると、区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像ＩＭ８１〜ＩＭ８６の各々に画像ＩＭ８を分割する。そして画像生成部８３は、区分領域ｓ６に対応する区分画像ＩＭ８６を画像ＩＭ８から抽出する。

【0064】

図６は、本発明の一実施の形態において画像生成部８３が生成するワークＷＫの出力画像ＯＩを模式的に示す図である。

【0065】

図６を参照して、画像生成部８３は、抽出した区分画像を、その次のタイミングで撮影した画像から抽出した区分画像のうち１つ下流側の区分画像と順次重ね合わせ、合計６枚分の区分画像を重ね合わせる。そして画像生成部８３は、ワーク下部ｅ１、ワーク中央部ｅ２、およびワーク上部ｅ３の各々の重ね合わせた画像を、ワークＷＫの搬送方向に結合する。これにより、出力画像が生成される。

【0066】

具体的には、画像生成部８３は、区分画像ＩＭ１１（Ｔ＝ｔ１で撮影）と、区分画像ＩＭ２２（Ｔ＝ｔ２で撮影）と、区分画像ＩＭ３３（Ｔ＝ｔ３で撮影）と、区分画像ＩＭ４４（Ｔ＝ｔ４で撮影）と、区分画像ＩＭ５５（Ｔ＝ｔ５で撮影）と、区分画像ＩＭ６６（Ｔ＝ｔ６で撮影）とを重ね合わせることにより、ワーク下部ｅ１の出力画像ＯＩを生成する。

【0067】

同様に、画像生成部８３は、区分画像ＩＭ２１（Ｔ＝ｔ２で撮影）と、区分画像ＩＭ３２（Ｔ＝ｔ３で撮影）と、区分画像ＩＭ４３（Ｔ＝ｔ４で撮影）と、区分画像ＩＭ５４（Ｔ＝ｔ５で撮影）と、区分画像ＩＭ６５（Ｔ＝ｔ６で撮影）と、区分画像ＩＭ７６（Ｔ＝ｔ７で撮影）とを重ね合わせることにより、ワーク中央部ｅ２の出力画像ＯＩを生成する。

【0068】

同様に、画像生成部８３は、区分画像ＩＭ３１（Ｔ＝ｔ３で撮影）と、区分画像ＩＭ４２（Ｔ＝ｔ４で撮影）と、区分画像ＩＭ５３（Ｔ＝ｔ５で撮影）と、区分画像ＩＭ６４（Ｔ＝ｔ６で撮影）と、区分画像ＩＭ７５（Ｔ＝ｔ７で撮影）と、区分画像ＩＭ８６（Ｔ＝ｔ８で撮影）とを重ね合わせることにより、ワーク上部ｅ３の出力画像ＯＩを生成する。画像生成部８３は、生成した出力画像ＯＩを表示部８４に表示（出力）する。

【0069】

図７は、本発明の一実施の形態における検出部４０の撮影条件を模式的に示す図である。図７（ａ）は、撮影領域ＰＡを示す図であり、図７（ｂ）は検出部４０を示す図である。

【0070】

図７を参照して、受光素子４１上を通過するワークＷＫの画像の速度Ｖ（ｍｍ／ｓ）、撮影領域ＰＡのｙ軸方向の長さＬ１（ｍｍ）、撮影領域ＰＡのｘ軸方向の長さＬ２（ｍｍ）、ｙ軸方向に配列した受光素子４１の個数ｎ１（個）、ｘ軸方向に配列した受光素子４１の個数ｎ２（個）、および検出部４０の単位時間当たりの撮影回数（フレームレート）Ｃ（回／ｓ）などは、変数であり、自由に設定することができる。またこれらの変数を適切に設定することにより、積算回数Ｍを以下のように任意の値に設定することができる。なお、ワークＷＫの画像の速度Ｖ（ｍｍ／ｓ）は、テーブル６１によるワークＷＫの搬送速度（ｍｍ／ｓ）と、光学レンズ３０の拡大率との積として規定される値である。

【0071】

１フレーム当たりのワークＷＫの移動量は、「Ｖ／Ｃ（＝Ｖ×Δｔ）（ｍｍ）」と表されるので、ワークＷＫの撮影の積算回数Ｍは、「Ｍ＝Ｌ２／（Ｖ／Ｃ）＝（Ｌ２×Ｃ）／Ｖ（回）」と表される。

【0072】

上記の式から、出力画像ＯＩの積算回数ＭとワークＷＫの画像の速度Ｖとはトレードオフの関係になることが分かる。すなわち、ワークＷＫの画像の速度Ｖを低下させれば、積算回数Ｍを増加することで出力画像ＯＩの光量を増加し、高品質な出力画像を得ることができる。一方、積算回数Ｍを低下させれば、ワークＷＫの画像の速度Ｖを増加することで撮影速度を速くすることができる。また、フレームレートＣを増加させると、積算回数Ｍを増加することで、高品質な出力画像ＯＩを得ることができる。

【0073】

また、ワークＷＫの搬送方向１ｍｍ当たりに存在する受光素子の数は、「ｎ２／Ｌ２（個）」と表されるので、１つの区分画像を撮影する受光素子における搬送方向に配列した受光素子の数Ｎ（個）は、「Ｎ＝（Ｖ／Ｃ）×（ｎ２／Ｌ２）＝（Ｖ×ｎ２）／（Ｃ×Ｌ２）（個）」と表される。

【0074】

図８は、本発明の一実施の形態における制御部８０の動作を示すフローチャートである。なお図８では、１つの区分領域についての出力画像を生成する場合の動作を示している。

【0075】

図８を参照して、制御部８０は、ワークＷＫの搬送を開始すると、撮影回数ｋを１に設定し（Ｓ１０１）、前回の撮影から時間Δｔが経過したか否かを判別する（Ｓ１０３）。時間Δｔが経過したと判別するまで、制御部８０は、ステップＳ１０３の処理を繰り返す。

【0076】

ステップＳ１０３において、前回の撮影から時間Δｔが経過したと判別した場合（Ｓ１０３でＹＥＳ）、制御部８０は、撮影領域の画像を撮影し（Ｓ１０５）、撮影した画像を区分画像に分割する（Ｓ１０７）。続いて制御部８０は、分割した区分画像の中から搬送方向の上流側からｋ番目の区分領域に対応する区分画像を抽出し（Ｓ１０９）、重ね合わせ画像があるか否かを判別する（Ｓ１１１）。

【0077】

ステップＳ１１１において、重ね合わせ画像が無いと判別した場合（Ｓ１１１でＮＯ）、制御部８０は、抽出した区分画像を重ね合わせ画像に設定し（Ｓ１１３）、ステップＳ１１７の処理へ進む。

【0078】

ステップＳ１１１において、重ね合わせ画像があると判別した場合（Ｓ１１１でＹＥＳ）、制御部８０は、抽出した区分画像を重ね合わせ画像に対して重ね合わせ（Ｓ１１５）、ステップＳ１１７の処理へ進む。

【0079】

ステップＳ１１７において、制御部８０は、撮影回数ｋが積算回数Ｍに到達したか否かを判別する（Ｓ１１７）。

【0080】

ステップＳ１１７において、撮影回数ｋが積算回数Ｍに到達しないと判別した場合（Ｓ１１７でＮＯ）、制御部８０は、撮影回数ｋをインクリメントし（Ｓ１１９）、ステップＳ１０３の処理へ進む。

【0081】

ステップＳ１１７において、撮影回数ｋが積算回数Ｍに到達したと判別した場合（Ｓ１１７でＹＥＳ）、制御部８０は、重ね合わせ画像を出力画像として出力し（Ｓ１２１）、処理を終了する。

【0082】

次に、本実施の形態の効果について説明する。

【0083】

図９は、ＴＤＩカメラ４００の原理を模式的に示す図である。

【0084】

図９を参照して、ＴＤＩカメラ４００は、矢印ＡＲ１１で示すワークの搬送方向に沿って配列したｎ個の受光素子の列ＬＮ１〜ＬＮｎを備えている。搬送方向の最上流側に配置された列ＬＮ１は、対応する検知領域をワークが通過した場合に、ワークからの光を受光し、列ＬＮ１には光量に応じた電子が発生する。列ＬＮ１に存在する電子は、隣接する下流側の列ＬＮ２に移動される。

【0085】

列ＬＮ２は、対応する検知領域をワークが通過した場合に、ワークからの光を受光し、列ＬＮ２には光量に応じた電子が発生する。列ＬＮ２に存在する電子は、隣接する下流側の列ＬＮ３に移動される。

【0086】

このようにして、列ＬＮ１〜ＬＮｎで発生した電子は、搬送方向の下流側に向かってＬＮ１〜ＬＮｎを順次移動し、最終的に列ＬＮｎに蓄積する。列ＬＮｎに蓄積した電子は、図示しないアンプにて増幅され、検出器で検出される。

【0087】

ＴＤＩカメラ４００では、受光素子の列ＬＮ１〜ＬＮｎの各々で発生する電子は、受光素子の列ＬＮ１〜ＬＮｎの各々で受光した光に含まれるノイズを反映したものとなるため、列ＬＮｎ内に存在する電子が示す画像は、受光素子の各列で発生した、ＴＤＩカメラ４００がアンプから受ける熱などに起因するノイズが積算されたものとなる。その結果、ノイズが多く、撮影した画像の画質が悪いという問題がある。

【0088】

本実施の形態において、複数の受光素子４１は、ＴＤＩカメラの受光素子と同様に、受光光に応じた電子を発生するものである。また各区分画像には、アンプやＸ線の揺らぎ、シンチレータの変換効率、または受光した光に含まれる揺らぎなどに起因する様々なノイズが含まれている。しかし、本実施の形態では、１つの区分画像の撮影に用いられる受光素子４１で発生した電子は、他の区分画像の撮影に用いられる受光素子に移動しない。このため、各区分画像のノイズは積算されない。本実施の形態では、複数の区分画像を重ね合わせることで、それぞれの区分画像で発生したノイズが相殺されるので、出力画像のＳ／Ｎ比を向上することができる。その結果、撮影した画像の画質を向上することができる。また、複数の区分画像を重ね合わせることで、出力画像の光量を増加し、撮影した画像を明るくすることができる。

【0089】

加えて、本実施の形態における区分画像を重ね合わせる使用方法と、区分画像を重ね合わせず撮影した画像をそのまま使用する通常の使用方法との間でＸ線受光装置１０の使用方法を切り替えることで、区分画像を重ね合わせて生成した出力画像と、通常の方法で撮影した画像（静止画）との両方を用いてワークＷＫの状態を検査することが可能である。

【0090】

さらに、従来のラインカメラと比較して、高速で移動するワークを撮影した場合でも、残像の発生を抑止しつつ光量を増加することができ、撮影した画像の画質を向上することができる。

【0091】

［変形例］

【0092】

図１０は、本発明の一実施の形態の第１の変形例において画像生成部８３が生成するワークＷＫの出力画像ＯＩを模式的に示す図である。

【0093】

図４、図５、および図１０を参照して、区分領域ｓ１およびｓ６は、撮影領域ＰＡにおいて、矢印ＡＲ１で示す搬送方向に沿った両端部に位置している。本変形例において、画像生成部８３は、複数の区分領域ｓ１〜ｓ６のうち区分領域ｓ１およびｓ６に存在するタイミングで撮影した撮影領域ＰＡの画像を重ね合わせない。

【0094】

具体的には、画像生成部８３は、ワーク下部ｅ１の出力画像を生成する際に、画像ＩＭ１の区分画像ＩＭ１１（Ｔ＝ｔ１で撮影）および画像ＩＭ６（Ｔ＝ｔ６で撮影）の区分画像ＩＭ６６を抽出しない。画像生成部８３は、区分画像ＩＭ２２（Ｔ＝ｔ２で撮影）と、区分画像ＩＭ３３（Ｔ＝ｔ３で撮影）と、区分画像ＩＭ４４（Ｔ＝ｔ４で撮影）と、区分画像ＩＭ５５（Ｔ＝ｔ５で撮影）とを重ね合わせることにより、ワーク下部ｅ１の出力画像ＯＩを生成する。

【0095】

同様に、画像生成部８３は、ワーク中央部ｅ２の出力画像を生成する際に、画像ＩＭ２の区分画像ＩＭ２１（Ｔ＝ｔ２で撮影）および画像ＩＭ７の区分画像ＩＭ７６（Ｔ＝ｔ７で撮影）を抽出しない。画像生成部８３は、区分画像ＩＭ３２（Ｔ＝ｔ３で撮影）と、区分画像ＩＭ４３（Ｔ＝ｔ４で撮影）と、区分画像ＩＭ５４（Ｔ＝ｔ５で撮影）と、区分画像ＩＭ６５（Ｔ＝ｔ６で撮影）とを重ね合わせることにより、ワーク中央部ｅ２の出力画像ＯＩを生成する。

【0096】

同様に、画像生成部８３は、ワーク上部ｅ３の出力画像を生成する際に、画像ＩＭ３の区分画像ＩＭ３１（Ｔ＝ｔ３で撮影）および画像ＩＭ８（Ｔ＝ｔ８で撮影）の区分画像ＩＭ８６を抽出しない。画像生成部８３は、区分画像ＩＭ４２（Ｔ＝ｔ４で撮影）と、区分画像ＩＭ５３（Ｔ＝ｔ５で撮影）と、区分画像ＩＭ６４（Ｔ＝ｔ６で撮影）と、区分画像ＩＭ７５（Ｔ＝ｔ７で撮影）とを重ね合わせることにより、ワーク上部ｅ３の出力画像ＯＩを生成する。

【0097】

図１１は、本発明の一実施の形態の第１の変形例における制御部８０の動作を示すフローチャートである。なお図１１では、１つの区分領域についての出力画像を生成する場合の動作を示している。

【0098】

図１１を参照して、本変形例において、制御部８０は、図８に示すフローチャートのステップＳ１０１〜Ｓ１０７の処理を行う。ステップＳ１０７において、撮影した画像を区分画像に分割した後、制御部８０は、撮影回数ｋが１またはＭであるか否かを判別する（Ｓ２０１）。

【0099】

ステップＳ２０１において、撮影回数ｋが１またはＭであると判別した場合（Ｓ２０１でＹＥＳ）、制御部８０は、対象物がワークＷＫの搬送方向に沿った両端部の区分領域に位置するタイミングであると判断する。制御部８０は、ｋ番目の区分画像を抽出せず（Ｓ２０３）、ステップＳ１１７の処理へ進む。

【0100】

ステップＳ２０１において、撮影回数ｋが１およびＭではないと判別した場合（Ｓ２０１でＮＯ）、制御部８０は、対象物がワークＷＫの搬送方向に沿った両端部の区分領域に位置するタイミングではないと判断する。制御部８０は、ｋ番目の区分画像を抽出し（Ｓ１０９）、ステップＳ１１１の処理へ進む。

【0101】

図２に示すように、撮影領域ＰＡからの光は、通常、光学レンズ３０などの集光手段によって集束されて検出部４０に入射する。これにより、より多くの光が検出部４０で受光できるようにされている。一方、検出部４０で受光する光は、光学レンズ３０などによって集束されるため、検出部４０で受光する光が形成する像には歪みが生じる。この歪みは特に撮影領域ＰＡの端部において顕著になる。

【0102】

本変形例によれば、撮影領域ＰＡにおけるワークＷＫの搬送方向に沿った両端部の区分領域ｓ１およびｓ６に存在するタイミングで撮影した撮影領域ＰＡの画像を重ね合わせないので、光学レンズ３０などによる像の歪みが出力画像ＯＩに及ぼす影響を低くすることができる。その結果、撮影した画像の画質を向上することができる。

【0103】

図１２は、本発明の一実施の形態の第２の変形例における検出部４０の構成を模式的に示す平面図である。

【0104】

図１２を参照して、本変形例では、検出部４０は複数の区分画像を撮影して画像生成部８３に送信し、画像生成部８３は検出部４０から受信した複数の区分画像を重ね合わせる。

【0105】

本変形例における検出部４０は、走査回路４３と、複数のアンプ４４ａ〜４４ｌとをさらに含んでいる。複数の受光素子４１は、ｘ軸方向に配列したｎ２列（ここでは１２列）の受光素子列４０ａ〜４０ｌを含んでいる。複数の受光素子列４０ａ〜４０ｌの各々は、ｙ軸方向に配列したｎ１個の受光素子４１によって構成されている。複数の受光素子列４０ａ〜４０ｌの各々は、ｘ軸方向の走査回路４３と、複数のアンプ４４ａ〜４４ｌの各々とを介して画像生成部８３に接続されている。走査回路４３は、たとえばＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ−Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）よりなっている。

【0106】

複数の受光素子列４０ａ〜４０ｌは、撮影領域ＰＡの画像を撮影し、撮影した画像のデータを走査回路４３に送信する。走査回路４３は、複数の受光素子列４０ａ〜４０ｌから受信した画像のデータに基づいて、図４に示す区分領域ｓ１〜ｓ６の各々に対応する区分画像を作成する。

【0107】

具体的には、走査回路４３は、受光素子列４０ａおよび４０ｂから受信した画像のデータに基づいて区分領域ｓ１に対応する区分画像を作成し、受光素子列４０ｃおよび４０ｄから受信した画像のデータに基づいて区分領域ｓ２に対応する区分画像を作成し、受光素子列４０ｅおよび４０ｆから受信した画像のデータに基づいて区分領域ｓ３に対応する区分画像を作成し、受光素子列４０ｇおよび４０ｈから受信した画像のデータに基づいて区分領域ｓ４に対応する区分画像を作成し、受光素子列４０ｉおよび４０ｊから受信した画像のデータに基づいて区分領域ｓ５に対応する区分画像を作成し、受光素子列４０ｋおよび４０ｌから受信した画像のデータに基づいて区分領域ｓ６に対応する区分画像を作成する。

【0108】

走査回路４３は、作成した区分画像のデータを画像生成部８３に送信する。区分画像のデータの各々はアンプ４４ａ〜４４ｌのうちいずれかによって増幅される。

【0109】

画像生成部８３は、たとえばワーク下部ｅ１の出力画像を生成する場合には、時刻Ｔ＝ｔ１で受光素子列４０ａおよび４０ｂが撮影した区分画像ＩＭ１１と、時刻Ｔ＝ｔ２で受光素子列４０ｃおよび４０ｄが撮影した区分画像ＩＭ２２と、時刻Ｔ＝ｔ３で受光素子列４０ｅおよび４０ｆが撮影した区分画像ＩＭ３３と、時刻Ｔ＝ｔ４で受光素子列４０ｇおよび４０ｈが撮影した区分画像ＩＭ４４と、時刻Ｔ＝ｔ５で受光素子列４０ｉおよび４０ｊが撮影した区分画像ＩＭ５５と、時刻Ｔ＝ｔ６で受光素子列４０ｋおよび４０ｌが撮影した区分画像ＩＭ６６とを重ね合わせることにより、ワーク下部ｅ１の出力画像ＯＩを生成する。ワーク中央部ｅ２およびワーク上部ｅ３の出力画像ＯＩも、同様の方法で出力される。

【0110】

撮影領域ＰＡにおける区分領域の数（言い換えれば、１つの撮影領域ＰＡの画像に基づいて走査回路４３が作成する区分画像の数）は、画像生成部８３が走査回路４３に対して行う設定により変更することが可能である。

【0111】

本変形例によれば、検出器４０のクロック周波数を下げることができる。

【0112】

すなわち、検出器４０全体におけるｙ軸方向に配列した受光素子４１の個数をｎ１（個）とし、ｘ軸方向に配列した受光素子４１の個数（言い換えれば、受光素子列の数）をｎ２（個）とし、検出部４０の単位時間当たりの撮影回数（フレームレート）をＣ（回／ｓ）とした場合、検出器４０全体の（検出部４０が複数の受光素子列に区分されていない場合の）ピクセルクロック（１秒間に描画されるピクセル数）は、「ｎ１×ｎ２×Ｃ（Ｈｚ）」と表される。

【0113】

一方、本変形例のように撮影領域ＰＡがｋ（個）の区分領域に区分されている場合のピクセルクロックは、「ｎ１×ｎ２×Ｃ／ｋ（Ｈｚ）」と表される。したがって、区分領域の数が増加するに従ってクロック周波数は低下する。なお、一例としてｎ１は１０００（個）であり、ｎ２は５００（個）であり、Ｃは２８０（回／ｓ）である。

【0114】

上述のように、検出器４０のクロック周波数を下げることができるので、高周波ノイズの発生や受光素子４１の発熱を抑えることができる。その結果、出力画像に含まれるノイズを低減することができ、検出部４０の高寿命化を図ることができる。

【0115】

［その他］

【0116】

本発明の撮影装置は、撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影するものであればよい。撮影領域から受信する電磁波は、Ｘ線のみならず、可視光線、赤外線、または紫外線などであってもよい。特に撮影装置が撮影領域から受信する電磁波が可視光などである場合、撮影装置は、対象物を透過した光ではなく対象物で反射した光を受光するものであってもよい。

【0117】

本発明において、撮影領域から受信する電磁波がＸ線、赤外線、および紫外線のうち少なくともいずれかを含んでいる場合に、撮影装置は、電磁波を可視光に変換する変換手段（上述の実施の形態ではイメージインテンシファイア）を備えていることが好ましい。また、撮影装置は、イメージインテンシファイアを備える代わりに、放射線の入射により蛍光を発するシンチレータ、波長を選択的に透過させる光学フィルタ、または入射光の波長を別の波長に変換して出射光とする波長変換器などを備えていてもよい。さらに、これらをレンズに固定することにより、電磁波を集束する機能と電磁波の波長を調整する機能との両方を有する構造を、撮影装置は備えていてもよい。

【0118】

上述の実施の形態では、ワークＷＫの画像の速度Ｖと出力画像ＯＩの積算回数Ｍとが所定の関係を満たす場合について説明したが、本発明の撮影装置は、ワークＷＫが任意の速度Ｖで撮影領域ＰＡを通過する際に任意の積算回数Ｍだけ撮影を行い、撮影した複数の画像の各々から特徴抽出などの技術を用いてワークＷＫの区分画像を抽出し、抽出した複数の区分画像を重ね合わせてもよい。

【0119】

上述の実施の形態および変形例は適宜組み合わせることが可能である。

【0120】

上述の実施の形態における処理は、ソフトウェアにより行っても、ハードウェア回路を用いて行ってもよい。また、上述の実施の形態における処理を実行するプログラムを提供することもできるし、そのプログラムをＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、ハードディスク、ＲＯＭ、ＲＡＭ、メモリカードなどの記録媒体に記録してユーザーに提供することにしてもよい。プログラムは、ＣＰＵなどのコンピューターにより実行される。また、プログラムはインターネットなどの通信回線を介して、装置にダウンロードするようにしてもよい。

【0121】

上述の実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0122】

１ Ｘ線検査装置
１０ Ｘ線受光装置
２０ イメージインテンシファイア
２１ 入力蛍光面
２２ 光電面
２３ 集束電極
２４ 陽極
２５ 出力蛍光面
２６ 筐体
２７ 集束電源
２８ 加速電源
３０ 光学レンズ
４０ 検出部
４０ａ〜４０ｌ 画像素子列
４１ 受光素子
４２ 基板
４３ 走査回路
４４ａ〜４４ｌ アンプ
６０ 搬送部
６１ テーブル
７０ Ｘ線照射装置
８０ 制御部
８１ Ｘ線発生制御部
８２ テーブル制御部
８３ 画像生成部
８４ 表示部
８５ 操作部
４００ ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラ
ｅ１ ワーク下部
ｅ２ ワーク中央部
ｅ３ ワーク上部
ＩＭ１〜ＩＭ８ 画像
ＩＭ１１〜ＩＭ１６，ＩＭ２１〜ＩＭ２６，ＩＭ３１〜ＩＭ３６，ＩＭ４１〜ＩＭ４６，ＩＭ５１〜ＩＭ５６，ＩＭ６１〜ＩＭ６６，ＩＭ７１〜ＩＭ７６，ＩＭ８１〜ＩＭ８６ 区分画像
ＬＮ１〜ＬＮｎ 受光素子の列
ＯＩ 出力画像
ＰＡ 撮影領域
ｓ１〜ｓ６ 区分領域
ＷＫ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】