(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
前記電圧オフセットを測定することに少なくとも一部は基づいて、前記第1のキャパシタおよび前記第2のキャパシタと電子通信するメモリ・セルから論理状態を読み取ること
をさらに含む、請求項9に記載の方法。
前記第1の信号が前記第1のトランジスタ上で生成された後、前記メモリ・アレイおよび前記感知構成要素と電子通信する前記第2のスイッチング構成要素を非活性化することと
をさらに含む、請求項12に記載の方法。
前記第2の信号が前記第2のトランジスタ上で生成された後、前記第1の基準電圧構成要素および前記感知構成要素と電子通信する前記第3のスイッチング構成要素を非活性化すること
をさらに含む、請求項14に記載の方法。
前記第1のスイッチング構成要素を活性化した後、第4のスイッチング構成要素および第5のスイッチング構成要素を活性化することであって、前記第4のスイッチング構成要素は第1のノードを介して前記第1のキャパシタに結合され、前記第5のスイッチング構成要素は第2のノードを介して前記第2のキャパシタに結合される、活性化することと
をさらに含む、請求項9に記載の方法。
前記第4のスイッチング構成要素および前記第5のスイッチング構成要素を活性化した後、第6のスイッチング構成要素を活性化することであって、前記第6のスイッチング構成要素は、前記感知構成要素内の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに結合される、活性化すること
をさらに含む、請求項16に記載の方法。
前記感知構成要素内の第1のトランジスタの第1の閾値電圧に依存する第1の電圧を第1のノードにおいて測定することであって、前記第1のノードは、前記第1のキャパシタを前記感知構成要素内の前記第1のトランジスタに接続し、前記第1のキャパシタと前記第2のキャパシタの両方の上の前記電圧オフセットを測定することは、前記第1の電圧を測定することに少なくとも一部は基づく、測定すること
をさらに含む、請求項9に記載の方法。
第2のトランジスタの第2の閾値電圧に依存する第2の電圧を第2のノードにおいて測定することであって、前記第2のノードは、前記第2のキャパシタを前記感知構成要素内の前記第2のトランジスタに接続し、前記第1のキャパシタと前記第2のキャパシタの両方の上で前記電圧オフセットを測定することは、前記第2の電圧を測定することに少なくとも一部は基づく、測定すること
をさらに含む、請求項9に記載の方法。
前記第1のキャパシタおよび前記第2のキャパシタを前記感知構成要素に結合することによって、前記感知構成要素の前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとの間の電圧の差異を減少させること
をさらに含む、請求項9に記載の方法。
前記電圧オフセットを測定することに少なくとも一部は基づいて、前記第1のキャパシタおよび前記第2のキャパシタと電子通信する強誘電体メモリ・セルから論理状態を読み取るための手段
をさらに備える、請求項26に記載の装置。
前記第1のトランジスタ上での前記第1の信号の生成後、前記メモリ・アレイおよび前記感知構成要素と電子通信する前記第2のスイッチング構成要素の非活性化を開始するための手段と、
前記第2のトランジスタ上での前記第2の信号の生成後、前記第1の基準電圧構成要素および前記感知構成要素と電子通信する前記第3のスイッチング構成要素の非活性化を開始するための手段と
をさらに備える、請求項29に記載の装置。
【発明を実施するための形態】
【0007】
場合によっては、感知構成要素の入力ノード間の電圧の差があることがある。したがって、感知構成要素上での電圧の差は、感知構成要素のトランジスタから取り出され(isolated)ないことがある。すなわち、感知構成要素内の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタのゲート電圧は、メモリ・セルからの異なる電流を排出することがある。場合によっては、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタが、感知構成要素の入力ノード間に実装されることがある。感知構成要素内の第1のトランジスタと第2のトランジスタの電圧が一致する場合でも、電圧が、感知構成要素に結合された外部トランジスタ間の電圧の差異により第1のキャパシタおよび第2のキャパシタの上で生成されることがある。たとえば、感知構成要素の入力ノード間の電圧の差は、感知構成要素の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタの電圧の差異に関連せず、感知構成要素に結合された外部トランジスタ間の電圧の差異に関連することがある。
【0008】
オフセット・キャンセル技法は、感知構成要素に対する電圧オフセットの影響(たとえば、電圧の差異)を減少させるためと、より正確なアクセス動作を可能にするために使用されることがある。場合によっては、オフセット・キャンセルは、メモリ・デバイスの性能に影響を与えることなく、発達(development)を知らせるために並列に実行されることがある。電圧オフセットを減少させるために、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタはそれぞれ、感知構成要素の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに結合されることがある。加えて、スイッチング構成要素は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタを電圧源に接続するために、第1のキャパシタと第2のキャパシタの間に実施されることがある。たとえば、電圧オフセットは、電圧を感知構成要素に供給するためにスイッチング構成要素を第1のキャパシタと第2のキャパシタの間に結合することによって減少することがあり、スイッチング構成要素を第1のキャパシタと第2のキャパシタの間に結合することは、場合によっては、電圧オフセットを減少させる。
【0009】
場合によっては、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタの上の電圧は、感知構成要素の第1のトランジスタと第2のトランジスタの両方の間の電圧差に比例することがある。その結果、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧は、スイッチング構成要素の不均衡な電圧(disparity voltage)による影響を受けないことがあり、これが、より正確なアクセス動作を可能にすることがある。
【0010】
オフセット・キャンセル技法は、感知構成要素内の2つのトランジスタ間の電圧オフセットを減少させるために適用されることがある。オフセット・キャンセル技法は、メモリ・デバイスの総面積および消費が、電圧の差異を引き起こすメモリ・デバイスの面積を増加させることよりも小さい場合に、有効であることがある。場合によっては、代替オフセット・キャンセル技法を使用することがあるFeRAMデバイスが、高電圧デバイスの使用により、DRAMデバイスと同じ結果または有効性を達成しないことがある。
【0011】
上記で紹介された本開示の特徴が、以下で
図1の文脈でさらに説明される。次いで、具体的な例が、
図2〜
図7に関して説明される。本開示のこれらおよび他の特徴は、メモリ・デバイス内でのラッチングのためのオフセット・キャンセルに関連する装置図、システム図、およびフローチャートによってさらに図示され、これらを参照しながら説明される。
【0012】
図1は、本開示のさまざまな実施形態によるメモリ・デバイス内のオフセット・キャンセルをサポートする例示的なメモリ・アレイ100を図示する。メモリ・アレイ100は、電子的メモリ装置と呼ばれることもある。メモリ・アレイ100は、異なる状態を記憶するようにプログラム可能であるメモリ・セル105を含む。各メモリ・セル105は、論理0および論理1と示される2つの状態を記憶するようにプログラム可能であってよい。場合によっては、メモリ・セル105は、3つ以上の論理状態を記憶するように構成される。メモリ・セル105は、キャパシタ内のプログラム可能な状態を表す電荷を蓄えることがある。たとえば、充電されたキャパシタおよび充電されていないキャパシタはそれぞれ、2つの論理状態を表す。DRAMアーキテクチャは、通例、そのような設計を使用してよく、用いられるキャパシタは、絶縁体として線形電気分極性または常誘電性電気分極性をもつ誘電材料を含むことがある。対照的に、強誘電体メモリ・セルは、絶縁材料として強誘電体をもつキャパシタを含むことがある。強誘電体キャパシタの電荷の異なるレベルは、異なる論理状態を表し得る。強誘電材料は、非線形分極性を有する。強誘電体メモリ・セル105のいくつかの詳細および利点は、以下で説明される。
【0013】
読み取りおよび書き込みなどの動作は、アクセス線110およびディジット線115を活性化または選択することによって、メモリ・セル105上で実行されてよい。アクセス線110は、ワード線110としても知られることがあり、ビット線115は、ディジット線115としても知られることがある。ワード線およびビット線、またはそれらの類似物への言及は、理解または動作の損失なしに交換可能である。ワード線110またはディジット線115を活性化または選択することは、電圧をそれぞれの線に印加することを含むことがある。ワード線110およびディジット線115は、金属(たとえば、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、金(Au)、タングステン(W)など)、金属合金、炭素、導電的にドープされた半導体、または他の導電材料、合金、化合物などの導電材料から作製されてよい。
【0014】
図1の例によれば、メモリ・セル105の各行は単一のワード線110に接続され、メモリ・セル105の各列は単一のディジット線115に接続される。1つのワード線110および1つのディジット線115を活性化する(たとえば、ワード線110またはディジット線115に電圧を印加すること)ことによって、単一のメモリ・セル105は、それらの交差点においてアクセスされ得る。メモリ・セル105にアクセスすることは、メモリ・セル105を読み取るまたは書き込むことを含むことがある。ワード線110とディジット線115の交差点は、メモリ・セルのアドレスと呼ばれることがある。いくつかの例では、論理状態は、1つまたは複数の他の構成要素と電子通信するメモリ・セル105から読み取られることがある。いくつかの例では、論理状態は、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定したことに基づいて第1のキャパシタおよび第2のキャパシタ(
図1には示されていない)と電子通信するメモリ・セルから読み取られることがある。
【0015】
いくつかのアーキテクチャでは、セルの論理記憶デバイス、たとえば、キャパシタは、選択構成要素によってディジット線から電気的に絶縁されることがある。ワード線110は、選択構成要素に接続されることがあり、これを制御することがある。たとえば、選択構成要素はトランジスタであってよく、ワード線110はトランジスタのゲートに接続されてよい。ワード線110を活性化すると、メモリ・セル105のキャパシタとその対応するディジット線115との間の電気接続または閉回路という結果になる。次いで、ディジット線が、メモリ・セル105を読み取るまたは書き込むのどちらかのためにアクセスされることがある。
【0016】
メモリ・セル105にアクセスすることは、行デコーダ120および列デコーダ130を通して制御され得る。たとえば、行デコーダ120は、メモリ・コントローラ140から行アドレスを受け取り、受け取った行アドレスに基づいて、適切なワード線110を活性化することがある。同様に、列デコーダ130は、メモリ・コントローラ140から列アドレスを受け取り、適切なディジット線115を活性化する。たとえば、メモリ・アレイ100は、WL_1〜WL_Mとラベルされた複数のワード線110と、DL_1〜DL_Nとラベルされた複数のディジット線115とを含むことがあり、ここで、MおよびNはアレイ・サイズに依存する。したがって、ワード線110およびディジット線115、たとえば、WL_2およびDL_3を活性化することによって、それらの交差点にあるメモリ・セル105がアクセスされ得る。
【0017】
アクセスすると、メモリ・セル105が、メモリ・セル105の記憶された状態を決定するために、感知構成要素125によって、読まれることがある、または感知されることがある。たとえば、メモリ・セル105にアクセスした後、メモリ・セル105の強誘電体キャパシタは、その対応するディジット線115の上に放電することがある。強誘電体キャパシタを放電することは、強誘電体キャパシタに電圧をバイアスまたは印加することから生じることがある。放電は、ディジット線115の電圧の変化を引き起こすことがあり、この感知構成要素125は、メモリ・セル105の記憶された状態を決定するために基準電圧(図示せず)と比較し得る。たとえば、ディジット線115が基準電圧よりも高い電圧を有する場合、感知構成要素125は、メモリ・セル105内の記憶された状態が論理1であったことと、その逆も同様であることを決定することがある。感知構成要素125は、信号の差を検出および増幅するためにさまざまなトランジスタまたは増幅器を含むことがあり、これは、ラッチングと呼ばれることがある。次いで、メモリ・セル105の検出された論理状態は、列デコーダ130を通して、出力135として出力されることがある。場合によっては、感知構成要素125は、列デコーダ130または行デコーダ120の一部であることがある。または、感知構成要素125は、列デコーダ130または行デコーダ120に接続されてもよいし、これと電子通信してもよい。いくつかの例では、感知構成要素125は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合されることがある。
【0018】
メモリ・セル105は、関連のあるワード線110およびディジット線115を同様に活性化することによって設定されてもよいし、これによって書き込まれてもよい。すなわち、論理値は、メモリ・セル105内に記憶されてよい。列デコーダ130または行デコーダ120は、メモリ・セル105に書き込まれるために、データ、たとえば入力/出力135を受け入れることがある。強誘電体メモリ・セル105は、強誘電体キャパシタにわたって電圧を印加することによって書き込まれることがある。このプロセスは、以下でより詳細に説明される。
【0019】
いくつかのメモリ・アーキテクチャでは、メモリ・セル105にアクセスすると、記憶された論理状態が劣化または破壊することがあり、再書き込み動作またはリフレッシュ動作が、元の論理状態をメモリ・セル105に戻すために実行されることがある。DRAMでは、たとえば、キャパシタは、感知動作中に部分的にまたは完全に放電され、記憶された論理状態を損なうことがある。そのため、論理状態は、感知動作後に再度書き込まれることがある。加えて、単一のワード線110を活性化すると、行内のすべてのメモリ・セルの放電という結果になることがある。したがって、行内のいくつかまたはすべてのメモリ・セル105は、再度書き込まれる必要があることがある。
【0020】
DRAMを含むいくつかのメモリ・アーキテクチャは、外部電源によって周期的にリフレッシュされない限り、経時的に記憶された状態を失うことがある。たとえば、充電されたキャパシタは、漏れ電流を通して経時的に放電され、記憶された情報の消失という結果になることがある。これらのいわゆる揮発性メモリ・デバイスのリフレッシュ・レートは、比較的高くてよく、たとえば、DRAMアレイの場合は毎秒数十のリフレッシュ動作であってよく、かなりの電力消費という結果になることがある。ますます大きくなるメモリ・アレイがあれば、増加された電力消費は、特にバッテリなどの有限電源に依拠するモバイル・デバイスの場合、メモリ・アレイの展開または動作(たとえば、電力供給、熱生成、材料制限など)を阻害することがある。以下で論じられるように、強誘電体メモリ・セル105は、他のメモリ・アーキテクチャと比較して改善された性能という結果になり得る有益な性質を有することがある。
【0021】
メモリ・コントローラ140は、さまざまな構成要素、たとえば、行デコーダ120、列デコーダ130、および感知構成要素125を通して、メモリ・セル105の動作(たとえば、読み取り、書き込み、再書き込み、リフレッシュ、放電など)を制御することがある。場合によっては、行デコーダ120、列デコーダ130、および感知構成要素125のうちの1つまたは複数は、メモリ・コントローラ140と同じ場所に設置されることがある。メモリ・コントローラ140は、所望のワード線110およびディジット線115を活性化するために、行アドレス信号および列アドレス信号を生成し得る。メモリ・コントローラ140はまた、メモリ・アレイ100の動作中に使用されるさまざまな電圧または電流を生成および制御し得る。たとえば、メモリ・コントローラ140は、1つまたは複数のメモリ・セル105にアクセスした後、ワード線110またはディジット線115に放電電圧を印加することがある。一般に、本明細書において論じられる印加された電圧または電流の振幅、形状、または継続時間は、調整または変化されてよく、メモリ・アレイ100を動作させる際に論じられるさまざまな動作に対して異なってよい。そのうえ、メモリ・アレイ100内の1つの、複数の、またはすべてのメモリ・セル105は、同時にアクセスされることがある。たとえば、メモリ・アレイ100の複数またはすべてのセルは、すべてのメモリ・セル105、またはメモリ・セル105のグループが単一の論理状態に設定されるリセット動作中に、同時にアクセスされることがある。
【0022】
図2は、本開示のさまざまな実施形態によるメモリ・デバイス内のオフセット・キャンセルをサポートする例示的な回路200を図示する。回路200は、メモリ・セル105−aと、ワード線110−aと、ディジット線115−aと、感知構成要素125−aとを含み、これらはそれぞれ、
図1を参照しながら説明されるように、メモリ・セル105、ワード線110、ディジット線115、および感知構成要素125の例であってよい。メモリ・セル105−aは、第1のプレートすなわちセル・プレート230と第2のプレートすなわちセル底部215とを有するキャパシタ205などの論理記憶構成要素を含むことがある。セル・プレート230とセル底部215は、それらの間に配置された強誘電材料を通して容量的に結合されることがある。セル・プレート230およびセル底部215の方角は、メモリ・セル105−aの動作を変更することなく反転されることがある。回路200は、選択構成要素220と、基準線225も含む。セル・プレート230は、プレート線210を介してアクセスされることがあり、セル底部215は、ディジット線115−aを介してアクセスされることがある。上記で説明されたように、キャパシタ205を充電または放電することによって、さまざまな状態が記憶され得る。
【0023】
キャパシタ205の記憶された状態は、回路200内で表されたさまざまな要素を動作させることによって読み取られるまたは感知されることがある。キャパシタ205は、ディジット線115−aと電子通信し得る。たとえば、キャパシタ205は、選択構成要素220が非活性化されるとき、ディジット線115−aから絶縁可能であり、キャパシタ205は、選択構成要素220が活性化されるとき、ディジット線115−aに接続可能である。選択構成要素220を活性化することは、メモリ・セル105−aを選択することと呼ばれることがある。場合によっては、選択構成要素220はトランジスタであり、その動作は、トランジスタ・ゲートに電圧を印加することによって制御され、この電圧の大きさは、トランジスタの閾値の大きさよりも大きい。ワード線110−aは、選択構成要素220を活性化することがある。たとえば、ワード線110−aに印加された電圧がトランジスタ・ゲートに印加され、キャパシタ205をディジット線115−aと接続する。
【0024】
他の例では、選択構成要素220およびキャパシタ205の位置は、選択構成要素220がプレート線210とセル・プレート230との間に接続されるように、およびキャパシタ205がディジット線115−aと選択構成要素220の他の端子との間にあるように、交換されることがある。この実施形態では、選択構成要素220は、キャパシタ205を通してディジット線115−aと電子通信しているままであることがある。この構成は、読み取り動作および書き込み動作のための代替タイミングおよびバイアスと関連づけられることがある。
【0025】
キャパシタ205のプレート間の強誘電材料により、および以下でより詳細に論じられるように、キャパシタ205は、ディジット線115−aへの接続時に放電しないことがある。1つのスキームでは、強誘電体キャパシタ205によって記憶された論理状態を感知するために、ワード線110−aは、メモリ・セル105−aを選択するようにバイアスされることがあり、電圧は、プレート線210に印加されることがある。場合によっては、ディジット線115−aは仮想的に接地され、次いで、仮想接地から絶縁され、これは「フローティング」と呼ばれることがあり、その後、プレート線210およびワード線110−aはバイアスされる。プレート線210をバイアスすることは、キャパシタ205にわたる電圧差(たとえば、プレート線210電圧マイナスディジット線115−a電圧)引き起こすことがある。電圧差は、キャパシタ205上に記憶された電荷の変化をもたらすことがあり、この記憶された電荷の変化の大きさは、キャパシタ205の初期状態。たとえば、記憶された初期状態が論理1であるか論理0であるかに依存することがある。これは、キャパシタ205上に記憶された電荷に基づいたディジット線115−aの電圧の変化を引き起こすことがある。セル・プレート230への電圧を変化させることによるメモリ・セル105−aの動作は、「セル・プレートの移動」と呼ばれることがある。
【0026】
ディジット線115−aの電圧の変化は、その固有容量に依存することがある。すなわち、電荷がディジット線115−aを流れると、ある程度の有限電荷は、ディジット線115−a内に記憶されることがあり、結果として生じる電圧は、固有容量に依存する。固有容量は、ディジット線115−aの、寸法を含む物理的特性に依存することがある。ディジット線115−aは、多数のメモリ・セル105を接続することがあり、そのため、ディジット線115−aは、無視できない容量(たとえば、ピコファラド(pF)程度)という結果になる長さを有することがある。次いで、結果として生じるディジット線115−aの電圧は、メモリ・セル105−a内の記憶された論理状態を決定するために、感知構成要素125−aによって基準(たとえば、基準線225の電圧)と比較されることがある。他の感知プロセスも使用されてよい。
【0027】
感知構成要素125−aは、信号の差を検出および増幅するためにさまざまなトランジスタまたは増幅器を含むことがあり、これは、ラッチングと呼ばれることがある。感知構成要素125−aは、ディジット線115−aおよび基準線225の電圧を受け取って比較する感知増幅器を含むことがあり、基準線225の電圧は基準電圧であることがある。感知増幅器出力は、比較に基づいて、より高い(たとえば、正)またはより低い(たとえば、負または接地)供給電圧に駆動されることがある。たとえば、ディジット線115−aが、基準線225よりも高い電圧を有する場合、感知増幅器出力は、正の供給電圧に駆動されることがある。場合によっては、感知増幅器は、加えて、ディジット線115−aを供給電圧に駆動することがある。次いで、感知構成要素125−aが、感知増幅器の出力および/またはディジット線115−aの電圧をラッチすることがあり、これは、メモリ・セル105−a内の記憶された状態、たとえば、論理1を決定するために使用されることがある。代替的に、ディジット線115−aが、基準線225よりも低い電圧を有する場合、感知増幅器出力は、負の電圧または接地電圧に駆動されることがある。同様に、感知構成要素125−aが、メモリ・セル105−a内の記憶された状態、たとえば、論理0を決定するために、感知増幅器出力をラッチすることがある。次いで、メモリ・セル105のラッチされた論理状態は、
図1を参照すると、列デコーダ130を通して、出力135として出力されることがある。
【0028】
メモリ・セル105−aを書き込むために、電圧は、キャパシタ205にわたって印加されることがある。さまざまな方法が使用されてよい。一例では、選択構成要素220が、キャパシタ205をディジット線115−aに電気的に接続するために、ワード線110−aを通して活性化されることがある。電圧は、(プレート線210を通しての)セル・プレート230および(ディジット線115−aを通しての)セル底部215の電圧を制御することによって、キャパシタ205にわたって印加されることがある。論理0を書き込むために、セル・プレート230はハイとみなされることがある、すなわち、正の電圧がプレート線210に印加されることがあり、セル底部215は、ローとみなされることがある、たとえば、ディジット線115−aを仮想的に接地するまたは負の電圧をディジット線115−aに印加することがある。逆のプロセスは、論理1を書き込むために実行され、セル・プレート230はローとみなされ、セル底部215はハイとみなされる。
【0029】
回路200は、キャパシタ235−aと、キャパシタ235−bと、スイッチング構成要素240も含むことがある。場合によっては、感知構成要素125−aは、キャパシタ235−aおよびキャパシタ235−bに結合されることがある。キャパシタ235−aおよびキャパシタ235−bは、スイッチング構成要素240に結合されることがある。場合によっては、スイッチング構成要素240は、nMOSトランジスタであってもよいし、nMOSトランジスタを含んでもよい。たとえば、スイッチング構成要素240は、電圧を感知構成要素125−aに供給することがあり、キャパシタ235−aおよび235−bは、スイッチング構成要素240と感知構成要素125−aとの間に配置されることがある。本明細書において説明されるように、キャパシタ235−aおよび235−b内に記憶された電荷は、感知構成要素125−aの上の閾値電圧に依存することがある。場合によっては、キャパシタ235−aと235−bの両方の上の電圧は、感知構成要素125−a上の電圧差に比例することがある。場合によっては、電圧オフセットは、キャパシタ235−aと235−bの両方の上で決定されることがある。たとえば、電圧オフセットは、キャパシタ235−aと235−bの両方の上で測定されることがある。いくつかの例では、電圧オフセットは、キャパシタ235−a、キャパシタ235−b、およびスイッチング構成要素240を感知構成要素125−aに結合することによって減少することがある。たとえば、電圧オフセットは、電圧を感知構成要素125−aに供給するためにスイッチング構成要素240をキャパシタ235−aとキャパシタ235−bの間に結合することによって減少することがあり、スイッチング構成要素240をキャパシタ235−aとキャパシタ235−bの間に結合することは、場合によっては、電圧オフセットを減少させ、より正確なアクセス動作を可能にする。
【0030】
図3は、本開示のさまざまな実施形態により動作する強誘電体メモリ・セルのためのヒステリシス曲線300−aおよび300−bとともに、非線形電気的性質の一例を図示する。ヒステリシス曲線300−aおよび300−bはそれぞれ、例示的な強誘電体メモリ・セルの書き込みプロセスおよび読み取りプロセスを図示する。ヒステリシス曲線300−aおよび300−bは、電圧差Vの関数として強誘電体キャパシタ(たとえば、
図2のキャパシタ205)上に記憶される電荷Qを示す。
【0031】
強誘電材料は、自発電気分極によって特徴づけられる、すなわち、電界の非存在下で非ゼロ電気分極を維持する。例示的な強誘電材料としては、チタン酸バリウム(BaTiO3)、チタン酸鉛(PbTiO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、およびタンタル酸ストロンチウム・ビスマス(SBT)がある。本明細書において説明される強誘電体キャパシタは、これらまたは他の強誘電材料を含んでよい。強誘電体キャパシタ内の電気分極は、強誘電材料の表面における正味電荷という結果になり、キャパシタ端子を通して反対の電荷を引きつける。したがって、電荷は、強誘電材料とキャパシタ端子の境界面において記憶される。電気分極は、比較的長い時間にわたって、無期限でさえ、外部から印加された電界の非存在下で維持され得るので、電荷漏洩は、たとえば、DRAMアレイ内で用いられるキャパシタと比較して、著しく減少されることがある。これによって、上記でいくつかのDRAMアーキテクチャに関して説明されたリフレッシュ動作を実行する必要性が減少され得る。
【0032】
ヒステリシス曲線300−aおよび300−bは、キャパシタの単一の端子の観点から理解され得る。例として、強誘電材料が負の分極を有する場合、正の電荷が端子に蓄積する。同様に、強誘電材料が正の分極を有する場合、負の電荷が端子に蓄積する。加えて、ヒステリシス曲線300−aおよび300−bにおける電圧は、キャパシタにわたる電圧差を表し、指向性であることが理解されるべきである。たとえば、正の電圧は、正の電圧を問題の端子(たとえば、セル・プレート230)に印加し、第2の端子(たとえば、セル底部215)を接地(または約ゼロ・ボルト(0V))に維持することによって、実現され得る。負の電圧は、問題の端子を接地に維持し、正の電圧を第2の端子に印加することによって印加され得る。すなわち、正の電圧は、問題の端子を負に分極させるために印加され得る。同様に、2つの正の電圧、2つの負の電圧、または正の電圧と負の電圧の任意の組み合わせは、ヒステリシス曲線300−aおよび300−bに示される電圧差を生成するために適切なキャパシタ端子に印加され得る。
【0033】
ヒステリシス曲線300−aにおいて示されるように、強誘電材料は、電圧差ゼロで正の分極または負の分極を維持し、2つの可能な充電された状態、すなわち、電荷状態305および電荷状態310という結果になることがある。
図3の例によれば、電荷状態305は論理0を表し、電荷状態310は論理1を表す。いくつかの例では、それぞれの電荷状態の論理値は、メモリ・セルを動作させるための他のスキームに対応するために逆転されることがある。
【0034】
論理0または1は、電圧を印加することにより、強誘電材料の電気分極、したがってキャパシタ端子上の電荷を制御することによって、メモリ・セルに書き込まれることがある。たとえば、キャパシタ上に正味の正の電圧315を印加すると、電荷状態305−aが到達されるまでの電荷蓄積という結果になる。電圧315を除去すると、電荷状態305−aは、ゼロ電圧において電荷状態305に到達するまで経路320をたどる。同様に、電荷状態310は、正味の負の電圧325を印加することによって書き込まれ、これによって、電荷状態310−aという結果になる。負の電圧325を除去した後、電荷状態310−aは、ゼロ電圧において電荷状態310に到達するまで経路330をたどる。電荷状態305−aおよび310−aは、残留分極(Pr)値、すなわち、外部バイアス(たとえば、電圧)を除去するときに残留する分極(または電荷)と呼ばれることもある。抗電圧とは、電荷(または分極)がゼロである電圧である。
【0035】
強誘電体キャパシタの記憶された状態を読み取る、またはこれを感知するために、電圧が、キャパシタにわたって印加されることがある。それに応答して、記憶された電荷Qは変化し、変化の程度は、初期電荷状態に依存する。すなわち、最終的な記憶された電荷(Q)は、電荷状態305−bが最初に記憶されたか電荷状態310−bが最初に記憶されたかに依存する。たとえば、ヒステリシス曲線300−bは、2つの可能な記憶された電荷状態305−bおよび310−bを図示する。電圧335が、
図2を参照して論じられるように、キャパシタにわたって印加されることがある。他の場合では、固定電圧は、セル・プレートに印加されることがあり、正の電圧として示されているが、電圧335は負であることがある。電圧335に応答して、電荷状態305−bは、経路340をたどることがある。同様に、電荷状態310−bが最初に記憶された場合、電荷状態310−bは経路345をたどる。電荷状態305−cおよび電荷状態310−cの最終的な位置は、具体的な感知スキームおよび回路を含むいくつかの要因に依存する。
【0036】
場合によっては、最終的な電荷は、メモリ・セルに接続されたディジット線の固有容量に依存することがある。たとえば、キャパシタがディジット線に電気的に接続され、電圧335が印加された場合、ディジット線の電圧は、その固有容量により上昇することがある。そのため、感知構成要素において測定される電圧は、電圧335に等しくないことがあり、その代わりに、ディジット線の電圧に依存することがある。したがって、ヒステリシス曲線300−b上での最終的な電荷状態305−cおよび310−cの位置は、ディジット線の容量に依存することがあり、ロードライン解析を通して決定されることがある。すなわち、電荷状態305−cおよび310−cは、ディジット線容量を参照して規定されることがある。その結果、キャパシタの電圧、電圧350、または電圧355は、異なってよく、キャパシタの初期状態に依存してよい。
【0037】
ディジット線電圧を基準電圧と比較することによって、キャパシタの初期状態が決定されることがある。ディジット線電圧は、電圧335と、キャパシタにわたっての最終的な電圧、電圧350、または電圧355との差。すなわち、(電圧335−電圧350)または(電圧335−電圧355)であってよい。基準電圧は、記憶された論理状態を決定するために、すなわち、ディジット線電圧が基準電圧よりも高いまたは低い場合に、その大きさが2つの可能なディジット線電圧の2つの可能な電圧の間の差であるように生成されることがある。たとえば、基準電圧は、2つの量すなわち(電圧335−電圧350)および(電圧335−電圧355)の平均であることがある。感知構成要素による比較時、感知されるディジット線電圧は、基準電圧よりも高いまたは低いように決定されることがあり、強誘電体メモリ・セルの記憶される論理値(すなわち、論理0または1)が決定され得る。
【0038】
上記で論じられたように、強誘電体キャパシタを使用しないメモリ・セルを読み取ることは、記憶された論理状態を劣化または破壊することがある。しかしながら、強誘電体メモリ・セルは、読み取り動作の後で初期論理状態を維持することがある。たとえば、電荷状態305−bが記憶される場合、電荷状態は、読み取り動作中に電荷状態305−cへの経路340をたどることがあり、電圧335を除去した後、電荷状態は、経路340を反対方向にたどることによって、初期電荷状態305−bに戻ることがある。
【0039】
図4は、本開示のさまざまな実施形態によるメモリ・デバイス内のオフセット・キャンセルをサポートする例示的な回路400を示す。いくつかの例では、回路400は、オフセット電圧を生成するメモリ・アレイの一部であることがある。場合によっては、
図2を参照して、回路400は、回路200の部分であってもよいし、その一例であってもよい。回路400は、その状態(たとえば、それらが活性化されているか非活性化されているか)が本明細書において説明されるいくつかの構成要素を含むことがある。回路400に示される構成要素の状態は、回路400に書き込むまたはこれを読み取る前に発生する1つまたは複数の感知動作を使用して感知されることがある。
【0040】
回路400は、感知構成要素405と、キャパシタ410−aおよび410−bと、スイッチング構成要素415−a〜415−gと、基準電圧構成要素420−aおよび420−bと、電圧源425−a〜425−eとを含むことがある。感知構成要素405は、
図1を参照して説明される感知構成要素125の実施形態の一例であることがある。キャパシタ410およびスイッチング構成要素415は、
図2を参照して説明されるキャパシタ235およびスイッチング構成要素240の実施形態の一例であることがある。
【0041】
回路400は、感知構成要素405を含むことがある。感知構成要素405は、ノード430−aおよび電圧源425−a(たとえば、第1の電圧源)を介して強誘電体メモリ・アレイと電子通信する感知構成要素405を表すことがある。感知構成要素405は、トランジスタ435−a(たとえば、第1のトランジスタ)と、トランジスタ435−b(たとえば、第2のトランジスタ)と、トランジスタ435−cと、トランジスタ435−dとを含むことがある。いくつかの例では、トランジスタ435−aおよび435−bは、トランジスタnMOSの例であることがある。いくつかの例では、トランジスタ435−cおよびトランジスタ435−dは、pMOSトランジスタの例であることがある。感知構成要素405は、いくつかの例では、ノード430−c〜430−fを介して接続された交差結合nMOSトランジスタおよびpMOSトランジスタ・ペアを含むことがある。
【0042】
回路400は、いくつかのスイッチング構成要素415−a〜415−gを含むことがある。場合によっては、スイッチング構成要素415は、トランジスタの一例であってもよいし、これを含んでもよい。いくつかの例では、スイッチング構成要素415は、スイッチの一例であってもよいし、これを含んでもよい。トランジスタまたはスイッチを参照して説明されているが、本明細書において説明される技法は、他のタイプの構成要素を使用して実施されてよい。加えて、使用されるトランジスタのタイプは変化してよい。各スイッチング構成要素は、スイッチング構成要素のゲートにおいて印加される電圧を制御することによって、活性化される(たとえば、オンにされる)ことがある。たとえば、スイッチング構成要素415−a(たとえば、第1のスイッチング構成要素)は、信号をスイッチング構成要素415−aのゲートに印加し、次いで、電圧源425−b(たとえば、第2の電圧源)によって供給される電圧(場合によっては、正の電圧であることがある)をスイッチング構成要素415−aに通すことによって活性化されることがあり、スイッチング構成要素415−b(たとえば、第2のスイッチング構成要素)は、信号をスイッチング構成要素415−bのゲートに印加し、次いで、基準電圧構成要素420−a(たとえば、第1の基準電圧構成要素)によって供給される電圧(場合によっては、基準電圧であることがある)をスイッチング構成要素415−bに通すことによって活性化されることがある。電圧源によって供給される電圧は、それぞれのスイッチング構成要素をオンにする閾値電圧要件を満たすことがある。場合によっては、コントローラは、回路400内のスイッチング構成要素への電圧の印加を協調させることがある。
【0043】
スイッチング構成要素415は、ノード430−g(たとえば、第3のノード)を介して電圧源425−bとキャパシタ410−a(たとえば、第1のキャパシタ)およびキャパシタ410−b(たとえば、第2のキャパシタ)との間に結合されたスイッチング構成要素415−aを表すことがある。場合によっては、スイッチング構成要素415−aは、nMOSトランジスタであってもよいし、nMOSトランジスタを含んでもよい。場合によっては、スイッチング構成要素415−c(たとえば、第3のスイッチング構成要素)は、基準電圧構成要素420−b(たとえば、第2の基準電圧構成要素)に結合されることがある。場合によっては、スイッチング構成要素415−cは、絶縁基準デバイス構成要素であってもよいし、絶縁基準デバイス構成要素を含んでもよい。スイッチング構成要素415−d(たとえば、第4のスイッチング構成要素)は、ノード430−h(たとえば、第1のノード)を介してキャパシタ410−aに結合されることがある。場合によっては、スイッチング構成要素415−dは、nMOSトランジスタであってもよいし、nMOSトランジスタを含んでもよい。スイッチング構成要素415−e(たとえば、第5のスイッチング構成要素)は、ノード430−i(たとえば、第2のノード)を介してキャパシタ410−bに結合されることがある。場合によっては、スイッチング構成要素415−eは、nMOSトランジスタであってもよいし、nMOSトランジスタを含んでもよい。スイッチング構成要素415−f(たとえば、第6のスイッチング構成要素)は、トランジスタ435−aおよびトランジスタ435−bに結合されることがある。場合によっては、スイッチング構成要素415−fは、pMOSトランジスタであってもよいし、pMOSトランジスタを含んでもよい。
【0044】
場合によっては、1つまたは複数の電圧源は、スイッチング構成要素のゲートにおいて印加される電圧を制御するために使用されることがある(たとえば、各スイッチング構成要素のゲートは、たとえばワイヤード接続を介して、電圧源に接続されることがある)。スイッチング構成要素は、活性化されると、2つの構成要素間の電流の流れを可能にすることがある。スイッチング構成要素は、非活性化されると、2つの構成要素間の電流の流れを防止することがある。電圧源425−aは、正の電圧(たとえば、1.6V)の電圧をスイッチング構成要素415−fに供給することがある。いくつかの例では、電圧源425−bは、正の電圧(たとえば、1.2V)をスイッチング構成要素415−aに供給することがある、または、電圧源425−cは、接地電圧(たとえば、0V)をスイッチング構成要素415−aに供給することがある。電圧源425−dおよび425−eはそれぞれ、接地電圧をスイッチング構成要素415−dおよび415−eに供給することがある。場合によっては、基準電圧構成要素420−aおよび420−bはそれぞれ、基準電圧をスイッチング構成要素415−bおよび415−cに供給することがある。ノード430−aは、メモリ・アレイからスイッチング構成要素415−gに信号を印加することがある。回路400のスイッチング構成要素のゲートに印加される電圧は、コントローラによって制御されることがあり、同じ電圧源によって供給されてもよいし、異なる電圧源によって供給されてもよい。各スイッチング構成要素の供給源は、正の電圧源(たとえば、電圧源425−b)または仮想接地基準供給源(たとえば、電圧源425−c)に接続される(たとえば、これと電子通信する、またはこれにハードワイヤードされる)ことがある。
【0045】
基準電圧構成要素420−aは、ノード430−eを介して感知構成要素405のトランジスタ435−aに結合されることがある。場合によっては、基準電圧構成要素420−aは、スイッチング構成要素415−bを含むことがある。スイッチング構成要素415−bは、等化デバイス構成要素の一例であることがある。基準電圧構成要素420−bは、430−cを介して感知構成要素405のトランジスタ435−bに結合されることがある。基準電圧構成要素420−bは、スイッチング構成要素415−cを含むことがある。スイッチング構成要素415−cは、絶縁基準デバイス構成要素の一例であることがある。
【0046】
回路400は、感知構成要素405と電子通信するキャパシタ410−aと410−b(たとえば、誘電体キャパシタ、強誘電体キャパシタ)も含むことがある。個別のキャパシタに関して説明されているが、場合によっては、メモリ・セルからの電荷は、トランジスタ435−aとトランジスタ435−bとの間の導電線の固有容量を使用してノード430−hおよび430−i(たとえば、第1のノードおよび第2のノード)において記憶されることがある。いくつかの例では、電荷は、第1のスイッチング構成要素と感知構成要素405との間の導電線の固有容量を使用してノード430−gにおいて記憶されることがある。
【0047】
キャパシタ410−aは、ノード430−hを介してトランジスタ435−aに結合されることがある。いくつかの例では、トランジスタ435−aの閾値電圧に依存することがある電圧が、ノード430−hにおいて決定されることがある。たとえば、電圧は、ノード430−hにおいて測定されることがある。キャパシタ410−bは、ノード430−iを介してトランジスタ435−bに結合されることがある。いくつかの例では、トランジスタ435−bの閾値電圧に依存することがある電圧が、ノード430−iにおいて決定されることがある。たとえば、電圧は、ノード430−iにおいて測定されることがある。場合によっては、キャパシタ410−aは、ノード430−hとノード430−gとの間に配置されることがあり、キャパシタ410−bは、ノード430−iとノード430−gとの間に配置されることがある。
【0048】
本明細書において説明されるように、回路400は、事前充電動作を経験することがある。事前充電動作中、ノード430−hおよび430−iにおける電圧は、いくつかの構成要素を活性化および非活性化することによってゼロに減少することがある。たとえば、ノード430−hは、スイッチング構成要素415−aを活性化し、スイッチング構成要素415−dを活性化して、ノード430−hを接地に接続することによって、0Vにあらかじめ充電されることがある。たとえば、スイッチング構成要素415−aは、接地電圧(たとえば、0V)を供給するために電圧源425−cに結合されることがある。いくつかの例では、ノード430−iも、スイッチング構成要素415−aを活性化し、スイッチング構成要素415−eを活性化して、ノード430−iを接地に接続することによって、0Vにあらかじめ充電されることがある。たとえば、スイッチング構成要素415−eは、接地電圧(たとえば、0V)を供給するために電圧源425−eに結合されることがある。同様に、ノード430−gは、電圧源425−bに対してスイッチング構成要素415−aを活性化することによって1.2Vにあらかじめ充電されることがある。場合によっては、ノード430−aおよび電圧源425−aは各々、スイッチング構成要素415−gおよびスイッチング構成要素415−fをそれぞれ非活性化することによって、感知構成要素405から絶縁されることがある。回路400内で示される事前充電動作は、オフセット電圧を調整するために使用可能である電圧の生成を容易にし得る。
【0049】
本明細書において説明されるように、回路400は、感知動作を経験することがある。感知動作中、ノード430−hおよびノード430−iは、スイッチング構成要素415−bおよび415−cを活性化することによって、基準電圧(たとえば、2.3V)に充電されることがある。すなわち、ノード430−hおよびノード430−iの電圧は、スイッチング構成要素415−aを活性化したことに基づいて、あらかじめ充電された電圧(たとえば、0V)から基準電圧(たとえば、2.3V)の間の電圧に増加することがある。場合によっては、ノード430−gは、電圧源425−bに結合されたスイッチング構成要素415−aを活性化することによって、正の電圧(たとえば、1.2V)に充電されることがある。
【0050】
場合によっては、ノード430−hの電圧は、トランジスタ435−aの閾値電圧に依存することがある。同様に、ノード430−iの電圧は、トランジスタ435−bの閾値電圧に依存することがある。すなわち、キャパシタ410−a内に記憶された電荷は、感知構成要素405のトランジスタ435−aの閾値電圧に依存することがある。いくつかの例では、キャパシタ410−b内に記憶された電荷は、感知構成要素405のトランジスタ435−bの閾値電圧に依存することがある。場合によっては、キャパシタ410−aと410−bの両方の上の電圧は、感知構成要素405のトランジスタ435−aと435−bの両方の間の電圧差に比例することがある。その結果、キャパシタ410−aおよび410−bの両方の上の電圧は、スイッチング構成要素415−a、415−d、および415−eの不均衡な電圧による影響を受けないことがあり、これが、より正確なアクセス動作を可能にすることがある。場合によっては、感知構成要素405のトランジスタ435−aとトランジスタ435−bとの間の電圧の差異があることがある。トランジスタ435−aとトランジスタ435−bとの間の電圧の差異を減少させるために、キャパシタ410−aおよびキャパシタ410−bは、感知構成要素405に結合されることがある。
【0051】
本明細書において説明されるように、回路400は、いくつかの例では、感知構成要素405上で信号を構築する増幅動作を経験することがある。増幅動作中、スイッチング構成要素415−gおよび415−cは、メモリ・アレイからの信号および基準電圧構成要素420−bからの基準電圧を感知構成要素405に供給するために活性化されることがある。次いで、ノード430−aおよび基準電圧構成要素420−bはそれぞれ、スイッチング構成要素415−gおよび415−cを非活性化することによって、感知構成要素405から絶縁されることがある。場合によっては、ノード430−gは、電圧源425−cに接続されたスイッチング構成要素415−aを活性化することによって、0Vに充電されることがある。たとえば、スイッチング構成要素415−aを活性化することによって、ノード430−h、430−i、および430−gの電圧が減少することがあり、電流がトランジスタ435−aおよびトランジスタ435−bを流れることが可能になることがある。次いで、増幅プロセスを完了するために、スイッチング構成要素415−dおよび415−eが活性化されることがある。場合によっては、感知構成要素405内のデータをラッチし、そのラッチにデータを記憶するために、スイッチング構成要素415−fが活性化されることがある。
【0052】
図5は、本開示のさまざまな実施形態によるメモリ・デバイス内のオフセット・キャンセルをサポートする感知動作中のタイミング
図500の一例を図示する。タイミング
図500は、軸505上に表される電圧と、軸510上に表される時間とを含み、タイミング
図500は、回路400の第1の論理状態の例示的な感知動作(たとえば、「1」を感知すること)を示す。
【0053】
回路400のさまざまな構成要素に印加される電圧は、タイミング
図500上で時間の関数として表される。たとえば、タイミング
図500は、電圧Vrefと、V1と、V2と、V0とを含む。いくつかの例では、Vrefは2.3Vであることがあり、V1は1.6Vであることがあり、V2は1.2Vであることがあり、V0は0Vであることがある。回路400のさまざまなノードの電圧は、タイミング
図500上の時間の関数としても表される。たとえば、タイミング図は、ノード430−hにおける電圧に対応し得る電圧515−aと、ノード430−i電圧における電圧に対応し得る電圧515−bと、ノード430−g電圧における電圧に対応し得る電圧515−cとを含む。タイミング
図500は、ノード430−bにおける電圧に対応し得る電圧515−dと、ノード430−cにおける電圧に対応し得る電圧515−eも含むことがある。信号電圧520は、いくつかの例では、メモリ・アレイからノード430−aを介して供給される信号の電圧の一例であることがある。基準電圧525は、感知構成要素に印加される基準電圧の一例であることがある。いくつかの例では、電圧は、理解しやすいようにタイミング
図500では互いからオフセットされて示されることがあるが、これらの電圧は、そうでない場合は、重複する、すなわち、少なくともある長さの時間中に同じであることがある。タイミング
図500は、さまざまなスイッチング構成要素の電圧も示す。いくつかの例では、信号(たとえば、SA_N1)が、スイッチング構成要素415−aのゲートに供給されることがある。いくつかの例では、信号(たとえば、ISO)が、スイッチング構成要素415−gのゲートに供給されることがある。場合によっては、信号(たとえば、SA_N2)が、スイッチング構成要素415−dおよび415−eのゲートに供給されることがある。いくつかの他の例では、信号(たとえば、SA_P)が、スイッチング構成要素415−fのゲートに供給されることがある。
【0054】
感知動作は、回路400内の1つまたは複数のスイッチング構成要素を活性化および非活性化することを含むことがある。たとえば、時間t1では、基準電圧525が、感知構成要素に印加され、Vrefが感知構成要素に印加されると増加することがある。すなわち、ノード430−bおよび430−cの電圧は、基準電圧であることがある。時間t2では、導電経路が、活性化信号SA_N1をスイッチング構成要素415−aに印加することによって、ノード430−gと電圧源425−bとの間に確立されることがある。したがって、電圧515−aおよび515−bはそれぞれ、感知構成要素405のトランジスタ435−aおよび435−bの上での電流の流れにより、減少することがある。同様に、電圧515−cは、信号SA_N1に基づいてV2に減少することがある。基準電圧525と電圧515−aとの差は、いくつかの例では、(たとえば、矢印530−aによって示されるように)トランジスタ435−aの閾値電圧に対応することがある。同様に、基準電圧525と電圧515−bとの差は、(たとえば、矢印530−bによって示されるように)トランジスタ435−bの閾値電圧に対応することがある。場合によっては、トランジスタ435−aおよび435−bのそれぞれの閾値電圧は、プロセス変動により異なることがある。加えて、時間t3では、信号SA_N1が、ノード430−gから絶縁されることがある(すなわち、スイッチング構成要素415−aが非活性化される)。感知構成要素405を通して信号を増幅するために、信号電圧520が、メモリ・アレイを感知構成要素に接続するために時間t4において信号ISOを供給することによって、導入されることがある。したがって、電圧515−dが信号電圧520に増加
することがある。
【0055】
増幅動作は、いくつかの例では、活性化信号および非活性化信号SA_N1およびSA_N2を供給することを含むことがある。場合によっては、時間t6において、信号SA_N1が、スイッチング構成要素415−aに供給されることがある。すなわち、V0は、ノード430−gに供給されることがある。したがって、電圧515−a、515−b、および515−cが減少することがある。信号の増幅を完了するために、時間t7において、信号SA_N2が、V0をノード430−hおよびノード430−iに供給することがある。したがって、電圧515−a、515−b、および515−cは、V0に減少することがある。場合によっては、矢印530−c、530−d、および530−eが、感知構成要素405上での信号の増幅に対応することがある。したがって、矢印530−c、530−d、および530−eは、感知構成要素405が高信号を含むことがあるとき、増幅信号に対応することがある。場合によっては、感知構成要素405上の信号が、電圧の差異を克服するのに十分なほど大きいことがあるので、ノード430−hとノード430−iとの間の電圧の差異は、オフセット電圧にあまり寄与しないことがある。
【0056】
図6は、本開示のさまざまな実施形態によるメモリ・デバイス内のオフセット・キャンセルをサポートする感知動作中のタイミング
図600の一例を図示する。タイミング
図600は、軸605上に表される電圧と、軸610上に表される時間とを含み、タイミング
図600は、回路400の第2の論理状態の例示的な感知動作(たとえば、「0」を感知すること)を示す。
【0057】
回路400のさまざまな構成要素に印加される電圧は、タイミング
図600上で時間の関数として表される。たとえば、タイミング
図600は、電圧Vrefと、V1と、V2と、V0とを含む。電圧Vref、V1、V2、およびV0は各々、
図5を参照して説明されるように、電圧Vref、V1、V2、およびV0の実施形態の一例であることがある。回路400のさまざまなノードの電圧は、タイミング
図600上の時間の関数としてとしても表される。たとえば、タイミング図は、ノード430−hにおける電圧に対応し得る電圧615−aと、ノード430−iにおける電圧に対応し得る電圧615−bと、ノード430−gにおける電圧に対応し得る電圧615−cとを含む。タイミング
図600は、ノード430−bにおける電圧に対応し得る電圧615−dと、430−cにおける電圧ノードに対応し得る電圧615−eも含むことがある。信号電圧620は、いくつかの例では、メモリ・アレイからノード430−aを介して供給される信号の電圧の一例であることがある。基準電圧625は、感知構成要素に印加される基準電圧の一例であることがある。いくつかの例では、電圧は、理解しやすいようにタイミング
図600では互いからオフセットされて示されることがあるが、これらの電圧は、そうでない場合は、重複する、すなわち、少なくともある長さの時間中に同じであることがある。タイミング
図600は、さまざまなスイッチング構成要素の電圧も示す。いくつかの例では、信号(たとえば、SA_N1)が、スイッチング構成要素415−aのゲートに供給されることがある。いくつかの例では、信号(たとえば、ISO)が、スイッチング構成要素415−gのゲートに供給されることがある。場合によっては、信号(たとえば、SA_N2)が、スイッチング構成要素415−dおよび415−eのゲートに供給されることがある。いくつかの他の例では、信号(たとえば、SA_P)が、スイッチング構成要素415−fのゲートに供給されることがある。
【0058】
感知動作は、回路400内の1つまたは複数のスイッチング構成要素を活性化および非活性化することを含むことがある。たとえば、時間t1では、基準電圧625は、Vrefが感知構成要素に印加されるとき、増加することがある。すなわち、ノード430−bおよび430−cの電圧は、基準電圧であることがある。活性化信号SA_N1は、時間t2において、ノード430−gと電圧源425−bとの間に導電経路を確立するために供給されることがある。したがって、電圧615−aおよび615−bはそれぞれ、感知構成要素405のトランジスタ435−aおよび435−bの上での電流の流れにより、減少することがある。同様に、電圧615−cは、信号SA_N1に基づいてV2に減少することがある。基準電圧625と電圧615−aとの差は、いくつかの例では、(たとえば、矢印630−aによって示されるように)トランジスタ435−aの閾値電圧に対応することがある。同様に、基準電圧625と電圧615−bとの差は、(たとえば、矢印630−bによって示されるように)トランジスタ435−bの閾値電圧に対応することがある。加えて、時間t3では、スイッチング構成要素415−aが、ノード430−gを絶縁するために非活性化されることがある。感知構成要素405を通して信号を増幅するために、信号電圧620が、メモリ・アレイからの信号を感知構成要素に接続するために時間t4において信号ISOによって、供給されることがある。したがって、電圧615−dが信号電圧620に減少することがある。
【0059】
増幅動作は、いくつかの例では、1つまたは複数のスイッチング構成要素(たとえば、回路400内のスイッチング構成要素415−a、415−d、および415−e)を活性化および非活性化することを含むことがある。場合によっては、時間t6において、活性化信号SA_N1が、スイッチング構成要素415−aに供給されることがある。すなわち、電圧V0が、ノード430−gに供給されることがある。したがって、電圧615−a、615−b、および615−cが減少することがある。信号の増幅を完了するために、活性化信号SA_N2が、時間t7において、V0をノード430−hおよびノード430−iに供給するために供給されることがある。したがって、電圧615−a、615−b、および615−cは、V0に減少することがある。場合によっては、矢印630−c、630−d、および630−eが、感知構成要素405上での信号の逆増幅に対応することがある。
【0060】
場合によっては、2つのキャパシタ・オフセット補正を用いた入力オフセットは、本開示および技法に沿って、1つのキャパシタ・オフセットを用いた入力オフセットの、または入力オフセットなしの、電圧の差異の10倍よりも大きい、電圧の差異減少という結果になることがある。たとえば、感知構成要素の第1のトランジスタと第2のトランジスタとの間の電圧の差異は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタを感知構成要素に結合することによって、減少することがある。すなわち、電圧の差異減少は、感知構成要素のための100倍の面積増加に等しいことがある。たとえば、「0」を読み取るために感知構成要素に印加される電圧は、基準電圧構成要素によって供給される電圧とメモリ・アレイに供給される電圧との間の電圧差であることがある。印加される電圧は、あらゆる感知構成要素が「0」を正しく読み取るという結果になることがある。場合によっては、同じ電圧が、オフセット補正なしで感知構成要素に印加されることがあるとき、感知構成要素の半分未満が「0」を正しく読み取ることがあり、感知構成要素の半分よりも多くが「0」を誤って読み取ることがある(たとえば、感知構成要素の半分よりも多くが「1」)を読み取る)。すなわち、2つのキャパシタ・オフセット補正を用いた入力オフセットが、電圧の差異を減少させ得、メモリ・セルの論理状態を不正確に読み取ることがある感知構成要素の数を減少させ得る。
【0061】
図7は、本開示の実施形態によるメモリ・デバイス内のオフセット・キャンセルをサポートするメモリ・アレイ705のブロック
図700を示す。メモリ・アレイ705は、電子的メモリ装置と呼ばれることがあり、
図1を参照して説明されたメモリ・アレイ100の構成要素の一例であることがある。
【0062】
メモリ・アレイ705は、1つまたは複数のメモリ・セル710と、メモリ・コントローラ715と、ワード線720と、プレート線725と、基準構成要素730と、感知構成要素735と、ディジット線740と、ラッチ745とを含むことがある。これらの構成要素は、互いと電子通信することがあり、本明細書において説明される機能のうちの1つまたは複数を実行することがある。場合によっては、メモリ・コントローラ715は、バイアス構成要素750と、タイミング構成要素755とを含むことがある。
【0063】
メモリ・コントローラ715は、ワード線720、ディジット線740、感知構成要素735、およびプレート線725と電子通信することがあり、これらは、
図1および
図2を参照して説明されたワード線110、ディジット線115、感知構成要素125、およびプレート線210の例であることがある。メモリ・アレイ705は、基準構成要素730と、ラッチ745も含むことがある。メモリ・アレイ705の構成要素は、互いと電子通信することがあり、
図1から
図6を参照して説明された機能の実施形態を実行することがある。場合によっては、基準構成要素730、感知構成要素735、およびラッチ745は、メモリ・コントローラ715の構成要素であることがある。
【0064】
いくつかの例では、ディジット線740は、感知構成要素735および強誘電体メモリ・セル710の強誘電体キャパシタと電子通信する。強誘電体メモリ・セル710は、論理状態(たとえば、第1の論理状態または第2の論理状態)を用いて書き込み可能であってよい。ワード線720は、メモリ・コントローラ715および強誘電体メモリ・セル710の選択構成要素と電子通信することがある。プレート線725は、メモリ・コントローラ715および強誘電体メモリ・セル710の強誘電体キャパシタのプレートと電子通信することがある。感知構成要素735は、メモリ・コントローラ715、ディジット線740、およびラッチ745と電子通信することがある。基準構成要素730は、メモリ・コントローラ715と電子通信することがある。これらの構成要素は、他の構成要素、接続、またはバスを介して、上記で列挙されていない構成要素に加えて、メモリ・アレイ705の内部と外部の両方にある他の構成要素とも電子通信することがある。
【0065】
メモリ・コントローラ715は、電圧をそれらのさまざまなノードに印加することによって、ワード線720、プレート線725、またはディジット線740を活性化するように構成されることがある。たとえば、バイアス構成要素750は、上記で説明されたように、メモリ・セル710を読み取るまたはこれに書き込むようにメモリ・セル710を動作させるために、電圧を印加するように構成されることがある。場合によっては、メモリ・コントローラ715は、
図1を参照して説明されるように、行デコーダ、列デコーダ、または両方を含むことがある。これによって、メモリ・コントローラ715が、1つまたは複数のメモリ・セル710にアクセスすることが可能になることがある。バイアス構成要素750はまた、感知構成要素735のための基準信号を生成するために基準構成要素730に電位を提供することがある。加えて、バイアス構成要素750は、感知構成要素735の動作のための電位を提供することがある。
【0066】
場合によっては、メモリ・コントローラ715は、その動作を、タイミング構成要素755を使用して実行することがある。たとえば、タイミング構成要素755は、本明細書において論じられる、読み取りおよび書き込みなどのメモリ機能を実行するために、スイッチングおよび電圧印加のためのタイミングを含む、さまざまなワード線選択またはプレートバイアスのタイミングを制御する。場合によっては、タイミング構成要素755は、バイアス構成要素750の動作を制御することがある。
【0067】
基準構成要素730は、感知構成要素735のための基準信号を生成するためにさまざまな構成要素を含むことがある。基準構成要素730は、基準信号を生み出すように構成された回路を含むことがある。場合によっては、基準構成要素730は、他の強誘電体メモリ・セル710を使用して実施されることがある。感知構成要素735は、メモリ・セル710からの(ディジット線740を通しての)信号を基準構成要素730からの基準信号と比較することがある。論理状態を決定すると、次いで、感知構成要素は、ラッチ745内の出力を記憶することがあり、それは、メモリ・アレイ705が一部である電子デバイスの動作に従って使用されることがある。感知構成要素735は、ラッチおよび強誘電体メモリ・セルと電子通信する感知増幅器を含むことがある。
【0068】
メモリ・コントローラ715は、
図9を参照して説明されるメモリ・アレイ915の実施形態の一例であることがある。
【0069】
メモリ・コントローラ715および/またはそのさまざまな副構成要素のうちの少なくともいくつかは、ハードウェア内で実施されてもよいし、プロセッサによって実行されるソフトウェア内で実施されてもよいし、ファームウェア内で実施されてもよいし、それらの任意の組み合わせで実施されてよい。プロセッサによって実行されるソフトウェア内で実施される場合、メモリ・コントローラ715および/またはそのさまざまな副構成要素のうちの少なくともいくつかの機能は、汎用プロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、特定用途向け集積回路(ASIC)、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ(FPGA)もしくは他のプログラム可能論理デバイス、個別のゲートもしくはトランジスタ論理、個別のハードウェア構成要素、または本開示において説明される機能を実行するように設計されたそれらの任意の組み合わせによって実行されてよい。メモリ・コントローラ715および/またはそのさまざまな副構成要素のうちの少なくともいくつかは、1つまたは複数の物理デバイスによって異なる物理的な場所において機能の部分が実施されるように分散されることを含めて、さまざまな位置に物理的に設置されてよい。いくつかの例では、メモリ・コントローラ715および/またはそのさまざまな副構成要素のうちの少なくともいくつかは、本開示のさまざまな実施形態による別個の異なる構成要素であってよい。他の例では、メモリ・コントローラ715および/またはそのさまざまな副構成要素のうちの少なくともいくつかは、限定されるものではないが、I/O構成要素、トランシーバ、ネットワーク・サーバ、別のコンピューティング・デバイス、本開示において説明される1つもしくは複数の他の構成要素、または本開示のさまざまな実施形態によるそれらの組み合わせを含む、1つまたは複数の他のハードウェア構成要素と組み合わされてよい。
【0070】
メモリ・コントローラ715は、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を活性化させ、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合された感知構成要素に基準電圧を印加し、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素を不活性化し、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定することがある。
【0071】
図8は、本開示の実施形態によるメモリ・デバイス内でのラッチングのためのオフセット・キャンセルをサポートするメモリ・アレイ815のブロック
図800を示す。メモリ・アレイ815は、
図7および
図9を参照して説明されるメモリ・アレイ915の実施形態の一例であることがある。メモリ・アレイ815は、バイアス構成要素820と、タイミング構成要素825と、活性化構成要素830と、電圧構成要素835と、非活性化構成要素840と、電圧オフセット構成要素845とを含むことがある。これらのモジュールの各々は、互いと(たとえば、1つまたは複数のバスを介して)直接的または間接的に通信することがある。
【0072】
活性化構成要素830は、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を活性化することがある。場合によっては、活性化構成要素830は、第1のスイッチング構成要素が活性化された後で、感知動作を開始することがある。活性化構成要素830は、強誘電体メモリ・アレイと電子通信する第2のスイッチング構成要素も活性化し、第2のスイッチング構成要素を活性化したことに応答して、第1のトランジスタの上で第1の信号を生成することがある。場合によっては、活性化構成要素830は、第1の基準電圧構成要素および感知構成要素と電子通信する第3のスイッチング構成要素を活性化し、第3のスイッチング構成要素を活性化したことに応答して、第2のトランジスタ上で第2の信号を生成することがある。場合によっては、活性化構成要素830は、第1のスイッチング構成要素を活性化した後、第4のスイッチング構成要素および第5のスイッチング構成要素を活性化することがあり、第4のスイッチング構成要素は、第1のノードを介して第1のキャパシタに結合され、第5のスイッチング構成要素は、第2のノードを介して第2のキャパシタに結合される。いくつかの例では、活性化構成要素830は、第4のスイッチング構成要素および第5のスイッチング構成要素を活性化した後、第6のスイッチング構成要素を活性化することがあり、この第6のスイッチング構成要素は、感知構成要素内の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに結合される。
【0073】
電圧構成要素835は、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、基準電圧を感知構成要素に印加することがあり、この感知構成要素は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合される。場合によっては、電圧構成要素835は、感知構成要素内の第1のトランジスタの第1の閾値電圧に依存している第1の電圧を第1のノードにおいて測定することがあり、第1のノードは、第1のキャパシタを感知構成要素内の第1のトランジスタに接続し、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定することは、第1の電圧を測定したことに基づく。場合によっては、電圧構成要素835は、第2のトランジスタの第2の閾値電圧に依存する第2の電圧を第2のノードにおいて測定することがあり、第2のノードは、第2のキャパシタを感知構成要素内の第2のトランジスタに接続し、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定することは、第2の電圧を測定することに基づく。
【0074】
非活性化構成要素840は、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素を非活性化することがある。場合によっては、非活性化構成要素840は、第1の信号が第1のトランジスタ上で生成された後、強誘電体メモリ・アレイおよび感知構成要素と電子通信する第2のスイッチング構成要素を非活性化することがある。場合によっては、非活性化構成要素840は、第2の信号が第2のトランジスタ上で生成された後、第1の基準電圧構成要素および感知構成要素と電子通信する第3のスイッチング構成要素を非活性化することがある。
【0075】
電圧オフセット構成要素845は、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定し、電圧オフセットを測定することに基づいて、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタと電子通信するメモリ・セルから論理状態を読み取ることがある。
【0076】
図9は、本開示の実施形態によるメモリ・デバイス内でのラッチングのためのオフセット・キャンセルをサポートするデバイス905を含むシステム900の図を示す。デバイス905は、上記でたとえば
図1を参照して説明されたメモリ・アレイ100の構成要素の一例であってもよいし、これを含んでもよい。デバイス905は、メモリ・アレイ915と、メモリ・セル920と、基本入力/出力システム(BIOS)構成要素925と、プロセッサ930と、I/Oコントローラ935と、周辺構成要素940とを含む、通信を送信および受信するための構成要素を含む、双方向音声およびデータ通信のための構成要素を含むことがある。これらの構成要素は、1つまたは複数のバス(たとえば、バス910)を介して電子通信することがある。
【0077】
メモリ・セル920は、本明細書において説明されるように、情報を(すなわち、論理的な状態の形で)記憶することがある。
【0078】
BIOS構成要素925は、さまざまなハードウェア構成要素を初期化して走らせ得る、ファームウェアとして動作されるBIOSを含むソフトウェア構成要素であってよい。BIOS構成要素925はまた、プロセッサとさまざまな他の構成要素、たとえば、周辺構成要素、入力/出力制御構成要素などとの間のデータ・フローを管理することがある。BIOS構成要素925は、読み出し専用メモリ(ROM)、フラッシュ・メモリ、または他の任意の不揮発性メモリ内に記憶されたプログラムまたはソフトウェアを含むことがある。
【0079】
プロセッサ930は、インテリジェント・ハードウェア・デバイス(たとえば、汎用プロセッサ、DSP、中央処理装置(CPU)、マイクロコントローラ、ASIC、FPGA、プログラム可能論理デバイス、個別のゲートもしくはトランジスタ論理構成要素、個別のハードウェア構成要素、またはそれらの任意の組み合わせ)を含むことがある。場合によっては、プロセッサ930は、メモリ・コントローラを使用してメモリ・アレイを動作させるように構成されることがある。他の場合には、メモリ・コントローラは、プロセッサ930に統合されることがある。プロセッサ930は、さまざまな機能(たとえば、メモリ・デバイス内でのラッチングのためのオフセット・キャンセルをサポートする機能またはタスク)を実行するために、メモリ内に記憶されたコンピュータ可読命令を実行するように構成されることがある。
【0080】
I/Oコントローラ935は、デバイス905のための入力信号および出力信号を管理し得る。I/Oコントローラ935は、デバイス905に統合されていない周辺機器も管理し得る。場合によっては、I/Oコントローラ935は、外部周辺機器への物理的接続またはポートを表すことがある。場合によっては、I/Oコントローラ935は、iOS(登録商標)、ANDROID(登録商標)、MS−DOS(登録商標)、MS−WINDOWS(登録商標)、OS/2(登録商標)、UNIX(登録商標)、LINUX(登録商標)、または別の既知のオペレーティング・システムなどのオペレーティング・システムを利用することがある。他の場合には、I/Oコントローラ935は、モデム、キーボード、マウス、タッチスクリーン、または類似のデバイスを表す、またはこれと相互作用することがある。場合によっては、I/Oコントローラ935は、プロセッサの一部として実施されることがある。場合によっては、ユーザは、I/Oコントローラ935を介して、またはI/Oコントローラ935によって制御されるハードウェア構成要素を介して、デバイス905と対話することがある。
【0081】
周辺構成要素940は、任意の入力デバイスもしくは出力デバイス、またはそのようなデバイスのためのインタフェースを含んでよい。例としては、ディスク・コントローラ、サウンド・コントローラ、グラフィックス・コントローラ、イーサネット・コントローラ、モデム、ユニバーサル・シリアル・バス(USB)コントローラ、シリアル・ポートもしくはパラレル・ポート、または周辺構成要素相互接続(PCI)スロットまたはアクセラレーテッド・グラフィックス・ポート(AGP)スロットなどの周辺カード・スロットがあり得る。
【0082】
入力945は、デバイス905またはその構成要素に入力を提供する、デバイス905の外部にあるデバイスまたは信号を表すことがある。これは、ユーザ・インタフェースを含んでもよいし、他のデバイスとの、またはこれとの間の、インタフェースを含んでもよい。場合によっては、入力945は、I/Oコントローラ935によって管理されることがあり、周辺構成要素940を介してデバイス905と相互作用することがある。
【0083】
出力950は、デバイス905またはその構成要素のいずれかから出力を受信するように構成された、デバイス905の外部にあるデバイスまたは信号を表すこともある。出力950の例としては、ディスプレイ、オーディオ・スピーカ、印刷デバイス、別のプロセッサ、またはプリント回路基板などがあり得る。場合によっては、出力950は、周辺構成要素940を介してデバイス905とインタフェースする周辺要素であることがある。場合によっては、出力950は、I/Oコントローラ935によって管理されることがある。
【0084】
デバイス905の構成要素は、機能を行うように設計された回路を含んでよい。これには、本明細書において説明される機能を行うように構成されたさまざまな回路要素、たとえば、導電線、トランジスタ、キャパシタ、インダクタ、抵抗、増幅器、または他の活性要素もしくは不活性要素があり得る。デバイス905は、コンピュータ、サーバ、ラップトップ・コンピュータ、ノートブック・コンピュータ、タブレット・コンピュータ、携帯電話、ウェアラブル電子デバイス、パーソナル電子デバイスなどであってよい。または、デバイス905は、そのようなデバイスの一部分または一実施形態であってよい。
【0085】
図10は、本開示の実施形態によるメモリ・デバイス内でのラッチングのためのオフセット・キャンセルのための方法1000を示すフローチャートを示す。方法1000の動作は、本明細書において説明されるメモリ・アレイ100またはその構成要素によって実施されることがある。たとえば、方法1000の動作は、
図7から
図9を参照して説明されるメモリ・アレイによって実行されることがある。いくつかの例では、メモリ・アレイ100は、以下で説明される機能を実行するようにデバイスの機能要素を制御するためにコードのセットを実行することがある。加えて、または代替的に、メモリ・アレイ100は、特殊目的ハードウェアを使用して、以下で説明される機能の実施形態を実行することがある。
【0086】
ブロック1005では、メモリ・アレイ100が、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を活性化することがある。ブロック1005の動作は、
図4から
図6を参照して説明される方法により実行され得る。いくつかの例では、ブロック1005の動作の実施形態は、
図7から
図9を参照して説明される活性化構成要素によって実行され得る。
【0087】
ブロック1010では、メモリ・アレイ100が、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、基準電圧を感知構成要素に印加することがあり、この感知構成要素は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合される。ブロック1010の動作は、
図4から
図6を参照して説明される方法により実行され得る。いくつかの例では、ブロック1010の動作の実施形態は、
図7から
図9を参照して説明される電圧構成要素によって実行されることがある。
【0088】
ブロック1015では、メモリ・アレイ100は、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素を非活性化することがある。ブロック1015の動作は、
図4から
図6を参照して説明される方法により実行され得る。いくつかの例では、ブロック1015の動作の実施形態は、
図7から
図9を参照して説明される非活性化構成要素によって実行され得る。
【0089】
ブロック1020では、メモリ・アレイ100は、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定することがある。ブロック1020の動作は、
図4から
図6を参照して説明される方法により実行され得る。いくつかの例では、ブロック1020の動作の例は、
図7から
図9を参照して説明される電圧オフセット構成要素によって実行され得る。
【0090】
上記で説明された方法は可能な実施例について説明するものであり、動作およびステップは、並べ替えられてもよいし、他の方法で修正されてもよく、他の実施例も可能であることが留意されるべきである。そのうえ、方法のうちの2つ以上からの実施形態が組み合わされてよい。
【0091】
一実施形態では、メモリ・アレイは、メモリ・アレイおよび第1の電圧源と電子通信する感知構成要素であって、第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを備える、感知構成要素と、第1のノードを介して第1のトランジスタに結合された第1のキャパシタと、第2のノードを介して第2のトランジスタに結合された第2のキャパシタと、第3のノードを介して第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素とを含むことがある。
【0092】
一実施形態では、システムは、メモリ・アレイおよび第1の電圧源と電子通信する感知構成要素であって、第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを備える、感知構成要素と、第1のノードを介して第1のトランジスタに結合された第1のキャパシタと、第2のノードを介して第2のトランジスタに結合された第2のキャパシタと、第3のノードを介して第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素とを含むことがある。
【0093】
メモリ・アレイを動作させるための方法について説明する。この方法は、メモリ・アレイおよび第1の電圧源と電子通信する感知構成要素を形成することであって、この感知構成要素は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを備える、形成することと、第1のノードを介して第1のトランジスタに結合された第1のキャパシタを形成することと、第2のノードを介して第2のトランジスタに結合された第2のキャパシタを形成することと、第3のノードを介して第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を形成することとを含むことがある。
【0094】
上記で説明されたメモリ・アレイのいくつかの例では、第1のキャパシタは、第1のノードと第3のノードとの間に配置されることがあり、第2のキャパシタは、第2のノードと第3のノードとの間に配置されることがある。
【0095】
上記で説明されたメモリ・アレイのいくつかの例は、感知構成要素の第1のトランジスタに結合された第1の基準電圧構成要素であって、第2のスイッチング構成要素を備える第1の基準電圧構成要素も含むことがある。上記で説明されたメモリ・アレイのいくつかの例は、感知構成要素の第2のトランジスタに結合された第2の基準電圧構成要素であって、第3のスイッチング構成要素を備える第2の基準電圧構成要素も含むことがある。
【0096】
上記で説明されたメモリ・アレイのいくつかの例は、第1のノードを介して第1のキャパシタに結合された第4のスイッチング構成要素であって、nMOSトランジスタを備える第4のスイッチング構成要素も含むことがある。上記で説明されたメモリ・アレイのいくつかの例は、第2のノードを介して第2のキャパシタに結合された第5のスイッチング構成要素であって、nMOSトランジスタを備える第5のスイッチング構成要素も含むことがある。
【0097】
上記で説明されたメモリ・アレイのいくつかの例は、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに結合された第6のスイッチング構成要素であって、pMOSトランジスタを備える第6のスイッチング構成要素も含むことがある。
【0098】
メモリ・アレイを動作させるための方法について説明する。この方法は、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を活性化させることと、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、基準電圧を感知構成要素に印加することであって、この感知構成要素は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合される、印加することと、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素を不活性化することと、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定することとを含むことがある。
【0099】
メモリ・アレイを動作させるための装置について説明する。この装置は、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を活性化させるための手段と、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、基準電圧を感知構成要素に印加するための手段であって、この感知構成要素は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合される、印加するための手段と、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素を不活性化するための手段と、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定するための手段とを含むことがある。
【0100】
メモリ・アレイを動作させるための別の装置について説明する。この装置は、メモリ・セルと、このメモリ・セルと電子通信するメモリ・コントローラであって、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素を活性化させ、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合された感知構成要素に基準電圧を印加し、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素を不活性化し、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定するように動作可能であるメモリ・コントローラとを含むことがある。
【0101】
メモリ・アレイを動作させるための別の装置について説明する。この装置は、第2の電圧源と第1のキャパシタおよび第2のキャパシタとの間に結合された第1のスイッチング構成要素の活性化を開始するための手段と、第1のスイッチング構成要素が活性化された後、感知構成要素に対する基準電圧の印加を開始するための手段であって、感知構成要素は第1のキャパシタおよび第2のキャパシタに結合される、開始するための手段と、基準電圧が感知構成要素に印加された後、第1のスイッチング構成要素の非活性化を開始するための手段と、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットの測定を開始するための手段とを含むことがある。
【0102】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、電圧オフセットを測定したことに少なくとも一部は基づいて、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタと電子通信するメモリ・セルから論理状態を読み取るためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0103】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第1のスイッチング構成要素が活性化され得る後、感知動作を開始するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0104】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、強誘電体メモリ・アレイと電子通信する第2のスイッチング構成要素を活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令と、第2のスイッチング構成要素を活性化したことに応答して、第1のトランジスタ上で第1の信号を生成するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0105】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第1の信号が第1のトランジスタ上で生成され得る後、強誘電体メモリ・アレイおよび感知構成要素と電子通信する第2のスイッチング構成要素を非活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0106】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第1の基準電圧構成要素および感知構成要素と電子通信する第3のスイッチング構成要素を活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令と、第3のスイッチング構成要素を活性化したことに応答して、第2のトランジスタ上で第2の信号を生成するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0107】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第2の信号が第2のトランジスタ上で生成され得る後、第1の基準電圧構成要素および感知構成要素と電子通信する第3のスイッチング構成要素を非活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0108】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第1のスイッチング構成要素を活性化した後、第4のスイッチング構成要素および第5のスイッチング構成要素を活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令であって、第4のスイッチング構成要素が第1のノードを介して第1のキャパシタに結合されることがあり、第5のスイッチング構成要素が第2のノードを介して第2のキャパシタに結合されることがある、活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0109】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第4のスイッチング構成要素および第5のスイッチング構成要素を活性化した後、第6のスイッチング構成要素を活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令であって、この第6のスイッチング構成要素は、感知構成要素内の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに結合され得る、活性化するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0110】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、感知構成要素内の第1のトランジスタの第1の閾値電圧に比例することがある第1の電圧を第1のノードにおいて測定するためのプロセス、特徴、手段、または命令であって、第1のノードは、第1のキャパシタを感知構成要素内の第1のトランジスタに接続し、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上の電圧オフセットを測定することは、第1の電圧を測定することに少なくとも一部は基づくことがある、測定するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0111】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第2のトランジスタの第2の閾値電圧に比例することがある第2の電圧を第2のノードにおいて測定するためのプロセス、特徴、手段、または命令であって、第2のノードは、第2のキャパシタを感知構成要素内の第2のトランジスタに接続し、第1のキャパシタと第2のキャパシタの両方の上で電圧オフセットを測定することは、第2の電圧を測定することに少なくとも一部は基づくことがある、測定するためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0112】
上記で説明された方法および装置のいくつかの例は、第1のキャパシタおよび第2のキャパシタを感知構成要素に結合することによって、感知構成要素の第1のトランジスタと第2のトランジスタとの間の電圧の差異を減少させるためのプロセス、特徴、手段、または命令をさらに含むことがある。
【0113】
本明細書において説明される情報および信号は、さまざまな異なる技術および技法のいずれかを使用して表されてよい。たとえば、上記の説明全体を通じて言及され得るデータ、命令、コマンド、情報、信号、ビット、シンボル、およびチップは、電圧、電流、電磁波、磁界もしくは磁性粒子、光場もしくは光学粒子、またはそれらの任意の組み合わせによって表されることがある。いくつかの図面は、信号を単一の信号として図示することがある。しかしながら、信号が信号のバスを表すことがあり、バスはさまざまなビット幅を有することがあることは、当業者によって理解されよう。
【0114】
本明細書で使用されるとき、「仮想接地」という用語は、約ゼロ・ボルト(0V)の電圧に保たれるが接地と直接的に接続されていない電気回路のノードを指す。したがって、仮想接地の電圧は、一時的に変動し、定常状態で約0Vに戻ることがある。仮想接地は、演算増幅器および抵抗器からなる電圧分割器などのさまざまな電子回路要素を使用して実施され得る。他の実施例も可能である。「仮想接地すること」または「仮想的に接地される」は、約0Vに接続されることを意味する。
【0115】
「電子通信」および「結合される」という用語は、構成要素間の電子流をサポートする構成要素間の関係を指す。これは、構成要素間の直接接続を含んでもよいし、中間構成要素を含んでもよい。互いと電子通信するまたは互いに結合された構成要素は、電子もしくは信号を(たとえば、通電された回路内で)能動的に交換することがあり、または、電子もしくは信号を(たとえば、遮断された回路内で)能動的に交換しないことがあるが、回路が通電されると電子もしく信号を交換するように構成および動作可能であることがある。例として、スイッチ(たとえば、トランジスタ)を介して物理的に接続された2つの構成要素は、電子通信をし、または、スイッチの状態(すなわち、開いているまたは閉じられている)にかかわらず結合されることがある。
【0116】
本明細書で使用されるとき、「実質的に」という用語は、修飾された特性(たとえば、実質的にという用語によって修飾された動詞または形容詞)は、絶対的である必要はないが、特性の利点を達成するとなるように十分に近いことを意味する。
【0117】
「絶縁された」という用語は、電子がそれらの間を流れることが現在不可能である構成要素間の関係を指す。構成要素は、それらの間に開回路がある場合、互いから絶縁される。たとえば、スイッチによって物理的に接続された2つの構成要素は、スイッチが開いているとき、互いから絶縁されることがある。
【0118】
本明細書で使用されるとき、「短絡」という用語は、問題の2つの構成要素間の単一の中間構成要素の活性化を介して構成要素間に導電性経路が確立される構成要素間の関係を指す。たとえば、第2の構成要素に短絡された第1の構成要素は、2つの構成要素間のスイッチが閉じられているとき、第2の構成要素と電子を交換し得る。したがって、短絡は、電子通信する構成要素(または線)間の電荷の流れを可能にする動的な動作であることがある。
【0119】
メモリ・アレイ100を含む、本明細書において論じられるデバイスは、シリコン、ゲルマニウム、シリコン−ゲルマニウム合金、ガリウム砒素、窒化ガリウムなどの半導体基板上に形成されてよい。場合によっては、基板は、半導体ウェハである。他の場合には、基板は、シリコン・オン・ガラス(SOG)またはシリコン・オン・サファイア(SOP)などのシリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板であってもよいし、別の基板上の半導体材料のエピタキシャル層であってもよい。基板または基板の副領域の導電性は、限定するものではないが、リン、ホウ素、またはヒ素を含むさまざまな化学種を使用したドーピングを通して制御されることがある。ドーピングは、基板の初期形成または成長中に、イオン注入によって、または他の任意のドーピング手段によって、実行されてよい。
【0120】
本明細書において論じられる1つまたは複数のトランジスタは、電界効果トランジスタ(FET)を表し、ソース、ドレイン、およびゲートを含む3つの端子デバイスを備えることがある。端子は、導電材料、たとえば金属を通して、他の電子要素に接続されることがある。ソースおよびドレインは、導電性であってよく、多量にドーピングされた、たとえば縮退した、半導体領域を備えることがある。ソースとドレインは、軽度にドーピングされた半導体領域またはチャネルによって分離されることがある。チャネルがn形(すなわち、多数キャリアが電子である)場合、FETは、n形FETと呼ばれることがある。チャネルがp形(すなわち、多数キャリアが正孔である)場合、FETは、p形FETと呼ばれることがある。チャネルは、絶縁性ゲート酸化物によってキャップされることがある。チャネル導電性は、ゲートに電圧を印加することによって制御されることがある。たとえば、n形FETまたはp−タイプ形に正の電圧または負の電圧をそれぞれ印加すると、チャネルが導電性になるという結果になることがある。トランジスタは、トランジスタの閾値電圧よりも大きいまたはこれに等しい電圧がトランジスタ・ゲートに印加されるとき、「オン」であるまたは「活性化される」ことがある。トランジスタは、トランジスタの閾値電圧よりも小さい電圧がトランジスタ・ゲートに印加されるとき、「オフ」であるまたは「非活性化される」ことがある。
【0121】
本明細書において、添付の図面に関連して記載される説明は、例示的な構成について説明し、実施され得るまたは特許請求の範囲内にあるすべての例を表すとは限らない。本明細書において使用される「例示的」という用語は、「一例、事例、または例示として役立つ」ことを意味し、「好ましい」または「他の例よりも有利である」ことを意味しない。詳細な説明は、説明される技法の理解を提供する目的で具体的な詳細を含む。しかしながら、これらの技法は、これらの具体的な詳細なしに実施され得る。いくつかの事例では、よく知られている構造およびデバイスは、説明される例の概念を不明瞭にすることを避けるためにブロック図形式で示される。
【0122】
添付の図では、類似の構成要素または特徴は、同じ参照ラベルを有することがある。さらに、同じタイプのさまざまな構成要素は、ダッシュおよび類似の構成要素を区別する第2のラベルによって参照ラベルを追跡することによって、区別され得る。ただ第1の参照ラベルが本明細書において使用される場合、説明は、第2の参照ラベルには関係なく、同じ第1の参照ラベルを有する類似の構成要素のいずれか1つに適用可能である。
【0123】
本明細書において説明される情報および信号は、さまざまな異なる技術および技法のいずれかを使用して表されてよい。たとえば、上記の説明全体を通じて言及され得るデータ、命令、コマンド、情報、信号、ビット、シンボル、およびチップは、電圧、電流、電磁波、磁界もしくは磁性粒子、光場もしくは光学粒子、またはそれらの任意の組み合わせによって表されることがある。
【0124】
本明細書における開示に関連して説明されるさまざまな例示的なブロックおよびモジュールは、汎用プロセッサ、DSP、ASIC、FPGAもしくは他のプログラム可能論理デバイス、個別のゲートもしくはトランジスタ論理、個別のハードウェア構成要素、または本明細書において説明される機能を実行するように設計されたそれらの任意の組み合わせを用いて、実施または実行され得る。汎用プロセッサはマイクロプロセッサであってよいが、代替形態では、プロセッサは、任意の従来のプロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ、または状態機械であってよい。プロセッサは、コンピューティング・デバイスの組み合わせ(たとえば、デジタル信号プロセッサ(DSP)とマイクロプロセッサの組み合わせ、複数のマイクロプロセッサ、DSPコアに関連した1つもしくは複数のマイクロプロセッサ、または他の任意のそのような構成)として実施されてもよい。
【0125】
本明細書において説明される機能は、ハードウェア、プロセッサによって実行されるソフトウェア、ファームウェア、またはそれらの任意の組み合わせにおいて実施されてよい。プロセッサによって実行されるソフトウェアにおいて実施される場合、機能は、1つまたは複数の命令またはコードとしてコンピュータ可読媒体上に記憶されてもよいし、送信されてもよい。他の例および実施例は、本開示および添付の特許請求の範囲内にある。たとえば、ソフトウェアの性質により、上記で説明された機能は、プロセッサによって実行されるソフトウェア、ハードウェア、ファームウェア、ハードワイヤリング、またはこれらのいずれかの組み合わせを使用して実施可能である。機能を実施する特徴はまた、機能の部分が異なる物理的な場所において実施されるように分散されることを含めて、さまざまな位置に物理的に設置されてよい。また、特許請求の範囲内を含めて本明細書で使用されるとき、項目のリスト(たとえば、「のうちの少なくとも1つ」または「のうちの1つまたは複数」などの句が前に置かれる項目のリスト)内で使用される「または」は包括的なリストを示し、したがって、たとえば、A、B、またはCのうちの少なくとも1つというリストは、AまたはBまたはCまたはABまたはACまたはBCまたはABC(すなわち、AおよびBおよびC)を意味する。また、本明細書で使用されるとき、「〜に基づく」という句は、条件の閉集合への言及として解釈されるべきでない。たとえば、「A条件に基づく」として説明される例示的なステップは、本開示の範囲から逸脱することなく、条件Aと条件Bの両方に基づいてよい。言い換えれば、本明細書で使用されるとき、「〜に基づく」という句は、「〜に少なくとも一部は基づく」という句と同じ様式で解釈されるべきでない。
【0126】
コンピュータ可読媒体は、ある場所から別の場所へのコンピュータ・プログラムの転送を容易にする任意の媒体を含む、非一時的なコンピュータ記憶媒体と通信媒体の両方を含む。非一時的な記憶媒体は、汎用コンピュータまたは特殊目的コンピュータによってアクセス可能である任意の利用可能な媒体であってよい。限定ではなく、例として、非一時的なコンピュータ可読媒体は、RAM、ROM、電気的に消去可能なプログラマブル読み出し専用メモリ(EEPROM)、コンパクト・ディスク(CD)ROMもしくは他の光ディスク記憶装置、磁気ディスク記憶装置もしくは他の磁気記憶デバイス、または命令もしくはデータ構造の形で所望のプログラム・コード手段を搬送もしくは記憶するために使用可能であり、汎用コンピュータもしくは特殊目的コンピュータ、または汎用プロセッサもしくは特殊目的プロセッサによってアクセス可能である他の任意の非一時的な媒体を含むことができる。また、あらゆる接続は、コンピュータ可読媒体と呼ばれるのが適切である。たとえば、ソフトウェアが、同軸ケーブル、光ファイバ・ケーブル、ツイスト・ペア、デジタル加入者線(DSL)、または赤外線、無線、およびマイクロ波などのワイヤレス技術を使用してウェブサイト、サーバ、または他のリモート・ソースから送信される場合、同軸ケーブル、光ファイバ・ケーブル、ツイスト・ペア、デジタル加入者線(DSL)、または赤外線、無線、およびマイクロ波などのワイヤレス技術は、媒体の定義に含まれる。ディスク(disk)およびディスク(disc)は、本明細書で使用されるとき、CD、レーザ・ディスク、光ディスク、デジタル多用途ディスク(DVD)、フロッピー・ディスク、およびBlu−rayディスクを含み、ディスク(disk)は、通常、データを磁気的に再生し、ディスク(disc)は、レーザを用いて光学的にデータを再生する。上記の組み合わせも、コンピュータ可読媒体の範囲内に含まれる。
【0127】
本明細書における説明は、当業者が開示を作製または使用することを可能にするために提供される。本開示のさまざまな修正形態は、当業者には容易に明らかであろう。本明細書において定義される一般的原理は、本開示の範囲から逸脱することなく、他の変形形態に適用され得る。したがって、本開示は、本明細書において説明される例および設計に限定されず、本明細書で開示される原理および新規な特徴に合致する最も幅広い範囲が与えられるべきである。