特許 6816102 発光装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6816102

(24)【登録日】2020年12月25日

(45)【発行日】2021年1月20日

(54)【発明の名称】発光装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05B 33/10 20060101AFI20210107BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20210107BHJP

【ＦＩ】

   H05B33/10

   H05B33/22 C

   H05B33/14 A

   H05B33/22 A

【請求項の数】10

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2018-502896(P2018-502896)

(86)(22)【出願日】2016年3月1日

(86)【国際出願番号】JP2016056183

(87)【国際公開番号】WO2017149636

(87)【国際公開日】20170908

【審査請求日】2018年8月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】000005016

【氏名又は名称】パイオニア株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110928

【弁理士】

【氏名又は名称】速水 進治

(74)【代理人】

【識別番号】100127236

【弁理士】

【氏名又は名称】天城 聡

(72)【発明者】

【氏名】田中 章浩

【審査官】 小久保 州洋

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−２１４４９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１７９２４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１５７２７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／１９０６３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−１８６０２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１９６１８８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｂ ３３／００ − ３３／２８

Ｈ０１Ｌ ５１／５０ − ５１／５６

Ｈ０１Ｌ ２７／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板のうち第１発光部が形成される第１領域に発光材料を含む第１溶液を塗布する第１工程と、
前記第１工程の前又は後に行われ、前記基板のうち第２発光部が形成される第２領域に塗布材料を含む第２溶液を塗布する第２工程と、
前記第１工程及び前記第２工程の後に行われ、前記第１領域の前記第１溶液及び前記第２領域の前記第２溶液を乾燥させる第３工程と、
前記第３工程の後に行われ、前記第２領域に発光材料を蒸着する第４工程と、
を備える発光装置の製造方法。

【請求項2】

請求項１に記載の発光装置の製造方法において、
前記第１工程及び前記第２工程の前に行われ、前記第１領域及び前記第２領域に第１正孔輸送性材料を塗布する第５工程を備える発光装置の製造方法。

【請求項3】

請求項２に記載の発光装置の製造方法において、
前記第２工程で用いられる前記塗布材料は第２正孔輸送性材料である発光装置の製造方法。

【請求項4】

請求項３に記載の発光装置の製造方法において、
前記第３工程と前記第４工程の間に行われ、前記第２領域に前記第２正孔輸送性材料を蒸着する第６工程を備える発光装置の製造方法。

【請求項5】

請求項４に記載の発光装置の製造方法において、
前記第１正孔輸送性材料は前記第２正孔輸送性材料よりも高分子である発光装置の製造方法。

【請求項6】

請求項２〜５のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記第５工程の前に行われ、前記第１領域及び前記第２領域に正孔注入材料を塗布する第７工程を備える発光装置の製造方法。

【請求項7】

請求項６に記載の発光装置の製造方法において、
前記正孔注入材料は前記第２工程で用いられる前記塗布材料よりも高分子である発光装置の製造方法。

【請求項8】

請求項１〜７のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記第１発光部の発光スペクトルのピーク波長は、前記第２発光部の発光スペクトルのピーク波長よりも長い発光装置の製造方法。

【請求項9】

請求項１〜８のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記第１工程及び前記第２工程において、インクジェット法が用いられる発光装置の製造方法。

【請求項10】

請求項１〜９のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記第４工程の後に行われ、電子注入材料を蒸着する第８工程を備える発光装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、発光装置の製造方法及び発光装置に関する。

【背景技術】

【0002】

照明装置や表示装置などの発光装置の光源の一つに、有機ＥＬ素子がある。有機ＥＬ素子は、第１電極と第２電極の間に有機層を配置した構成を有している。有機層は、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、及び電子注入層を積層した多層構造を有している。

【0003】

有機層を構成する各層の製造方法として、従来は真空成膜法（例えば蒸着法）が用いられてきた。これに対し、近年は有機層を塗布法で形成することが検討されている。しかし、現状では、有機層のすべての層を塗布法で形成することは難しい。例えば、特許文献１には、正孔注入層、及び正孔輸送層の一部の層を塗布法で形成し、正孔輸送層の残りの層及び発光層を蒸着法で形成することが記載されている。

【0004】

また、特許文献２にも、正孔輸送層の一部の層を塗布法で形成し、正孔輸送層の残りの層及び発光層を蒸着法で形成することが記載されている。特許文献２には、発光層の上に位置する電子輸送層も蒸着法により形成することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２−１４２３６５号公報

【特許文献2】特開２０１４−１２７３０３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

表示装置や発光色が調整可能な照明装置は、発光色が異なる複数種類の発光部を有している。発光部の発光色は、基本的に、発光層に用いられる材料によって決まる。このため、発光色が異なる複数種類の発光部を一つの基板に混載する場合、一つの基板の上に、発光層が塗布法で形成される発光部と、発光層が蒸着法で形成される発光部の双方が存在することがある。このような場合、前者の発光部は、後者の発光部に対して、塗布法で形成される層が厚くなる。このため、有機層を構成する塗布材料の乾燥状態が前者と後者とで異なってしまう。この場合、複数種類の発光部の乾燥状態をいずれも最適な状態にすることは難しく、その結果、一部の発光部の品質が低下してしまう。

【0007】

本発明が解決しようとする課題としては、発光色が異なる複数種類の発光部を一つの基板に混載させる場合において、一部の発光部の品質が低下しないようにすることが一例として挙げられる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

請求項１に記載の発明は、基板のうち第１発光部が形成される第１領域に発光材料を塗布する第１工程と、
前記第１工程の前又は後に行われ、前記基板のうち第２発光部が形成される第２領域に塗布材料を塗布する第２工程と、
前記第１工程及び前記第２工程の後に行われ、前記第１領域の前記発光材料及び前記第２領域の前記塗布材料を乾燥させる第３工程と、
前記第３工程の後に行われ、前記第２領域に発光材料を蒸着する第４工程と、
を備える発光装置の製造方法である。

【0009】

請求項１１に記載の発明は、基板の第１領域に形成された第１発光部と、
前記基板の第２領域に形成された第２発光部と、
を備え、
前記第１発光部は、
第１正孔注入層と、
前記第１正孔注入層の上に位置している第１正孔輸送層と、
前記第１正孔輸送層の上に位置している第１発光層と、
を有し、
前記第２発光部は、
第２正孔注入層と、
前記第２正孔注入層の上に位置しており、第１正孔輸送性材料を含む第２正孔輸送層と、
前記第２正孔輸送層の上に位置しており、第２正孔輸送性材料を含む第３正孔輸送層と、
前記第３正孔輸送層の上に位置しており、前記第２正孔輸送性材料を含む第４正孔輸送層と、
前記第４正孔輸送層の上に位置している第２発光層と、
を有する発光装置である。

【0010】

請求項１６に記載の発明は、前記基板の上に形成され、複数の開口を有する絶縁層と、
前記絶縁層のうち隣り合う前記開口の間に位置する部分の上に位置している隔壁と、
第１の前記開口に位置している第１発光部と、
第２の前記開口に位置している第２発光部と、
を備え、
前記第１発光部は、
第１正孔注入層と、
前記第１正孔注入層の上に位置している第１正孔輸送層と、
前記第１正孔輸送層の上に位置している第１発光層と、
を有し、
前記第２発光部は、
第２正孔注入層と、
前記第２正孔注入層の上に位置していて前記第１正孔輸送層よりも厚い第２正孔輸送層と、
前記第２正孔輸送層の上に位置している第２発光層と、
を有し、
前記第２発光部の隣に位置する前記隔壁の上には、厚さ方向において、前記第２正孔注入層及び前記第２正孔輸送層の一部が位置しておらず、かつ前記第２正孔輸送層の残りの部分及び前記第２発光層が位置している発光装置である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。

【0012】

【図1】実施形態に係る発光装置の構成を示す断面図である。

【図2】発光装置の製造方法を示す断面図である。

【図3】発光装置の製造方法を示す断面図である。

【図4】実施例１に係る発光装置の平面図である。

【図5】図４から第２電極を取り除いた図である。

【図6】図５から有機層及び絶縁層を取り除いた図である。

【図7】図４のＡ−Ａ断面図である。

【図8】実施例２に係る発光装置の平面図である。

【図9】図８から隔壁、第２電極、有機層、及び絶縁層を取り除いた図である。

【図10】図８のＢ−Ｂ断面図である。

【図11】（ａ）は、図１０の点線αで囲んだ領域を拡大した図であり、図１１（ｂ）は、図１０の点線βで囲んだ領域を拡大した図である。

【図12】図８のＣ−Ｃ断面図である。

【図13】図８のＤ−Ｄ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。また、本実施形態において、正孔輸送層および正孔注入層などの表現はそれぞれ、正孔輸送性の材料を含む層、正孔注入性の材料を含む層の意味で用いる。

【0014】

図１は、実施形態に係る発光装置１０の構成を示す断面図である。実施形態に係る発光装置１０は、基板１００、第１発光部１４０ａ、及び第２発光部１４０ｂを備えている。第１発光部１４０ａは、基板１００の第１領域１００ａに形成されており、正孔注入層１２１（第１正孔注入層）、第１正孔輸送層１２２ａ、及び第１発光層１２３ａを有している。第２発光部１４０ｂは、基板１００の第２領域１００ｂに形成されており、正孔注入層１２１（第２正孔注入層）、第２正孔輸送層１２２ｂ、第３正孔輸送層１２２ｃ、第４正孔輸送層１２２ｄ、及び第２発光層１２３ｂを有している。第２正孔輸送層１２２ｂは正孔注入層１２１の上に形成されており、第１正孔輸送材料を含んでいる。第３正孔輸送層１２２ｃは第２正孔輸送層１２２ｂの上に形成されており、第２正孔輸送材料を含んでいる。また、第４正孔輸送層１２２ｄは第３正孔輸送層１２２ｃの上に形成されており、第３正孔輸送層１２２ｃと同じ材料すなわち第２正孔輸送材料を含んでいる。第３正孔輸送層１２２ｃは塗布法を用いて形成されており、第４正孔輸送層１２２ｄは蒸着法を用いて形成されている。このため、第３正孔輸送層１２２ｃ及び第４正孔輸送層１２２ｄの間には界面が存在する。また、第３正孔輸送層１２２ｃの屈折率は第４正孔輸送層１２２ｄの屈折率と異なる。また、第１正孔輸送層１２２ａは第２正孔輸送層１２２ｂと同じ材料すなわち第１正孔輸送材料を含んでいる。以下、詳細に説明する。

【0015】

第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂは、いずれも基板１００の一面に形成されている。第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂは、絶縁層１５０によって画定されている。絶縁層１５０は、例えばポリイミドなどの感光性の材料を用いて形成されており、露光及び現像工程を経て、所定の形状に形成される。具体的には、絶縁層１５０は、第１領域１００ａの上に位置する第１の開口１５２ａ、及び第２領域１００ｂの上に位置する第２の開口１５２ｂを有している。絶縁層１５０は、第１電極１１０が形成された後、かつ正孔注入層１２１が形成される前に形成される。ただし、絶縁層１５０は形成されていなくてもよい。

【0016】

第１発光部１４０ａは第１電極１１０、第１有機層１２０ａ、及び第２電極１３０を有しており、第２発光部１４０ｂは第１電極１１０、第２有機層１２０ｂ、及び第２電極１３０を有している。第１有機層１２０ａ及び第２有機層１２０ｂは、いずれも第１電極１１０と第２電極１３０の間に位置している。また、第１有機層１２０ａは第１の開口１５２ａの内側に位置しており、第２有機層１２０ｂは第２の開口１５２ｂの内側に位置している。このため、第１発光部１４０ａは第１の開口１５２ａの内側に位置することになり、第２発光部１４０ｂは第２の開口１５２ｂの内側に位置することになる。第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂは、ボトムエミッション型の発光部であってもよいし、トップエミッション型の発光部であってもよい。

【0017】

第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂがボトムエミッション型である場合、基板１００は、例えばガラスや透光性の樹脂などの透光性の材料で形成されており、基板１００のうち第１電極１１０とは逆側の面が発光装置１０の光取出面になっている。一方、第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂがトップエミッション型である場合、基板１００は上述した透光性の材料で形成されていてもよいし、透光性を有さない材料で形成されていてもよい。基板１００は、例えば矩形などの多角形である。また、基板１００は可撓性を有していてもよい。基板１００が可撓性を有している場合、基板１００の厚さは、例えば１０μｍ以上１０００μｍ以下である。特に基板１００をガラス材料で可撓性を持たせる場合、基板１００の厚さは、例えば２００μｍ以下である。基板１００を樹脂材料で可撓性を持たせる場合は、基板１００の材料として、例えばＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＳ（ポリエーテルサルホン）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）、又はポリイミドを含ませて形成されている。また、基板１００が樹脂材料を含む場合、水分が基板１００を透過することを抑制するために、基板１００の少なくとも発光面（好ましくは両面）に、ＳｉＮ_ｘやＳｉＯＮなどの無機バリア膜が形成されている。

【0018】

第１電極１１０及び第２電極１３０の少なくとも一方は、光透過性を有する透明電極である。例えば第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂがボトムエミッション型である場合、少なくとも第１電極１１０は透明電極である。一方、第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂがトップエミッション型である場合、少なくとも第２電極１３０は透明電極である。なお、第１電極１１０及び第２電極１３０の双方が透明電極であってもよい。この場合、発光装置１０は両面発光型の発光装置になる。

【0019】

透明電極を構成する透明導電材料は、金属を含む材料、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＷＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｕｎｇｓｔｅｎ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ（Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）等の金属酸化物である。第１電極１１０の厚さは、例えば１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。第１電極１１０は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。なお、第１電極１１０は、カーボンナノチューブ、又はＰＥＤＯＴ／ＰＳＳなどの導電性有機材料であってもよいし、薄い金属電極であってもよい。

【0020】

第１電極１１０及び第２電極１３０のうち透光性を有していない電極は、例えば、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｚｎ、及びＩｎからなる第１群の中から選択される金属、又はこの第１群から選択される金属の合金からなる金属層を含んでいる。この電極は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。

【0021】

なお、第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂがトップエミッション型の発光装置である場合、第１電極１１０は、金属層と透明導電層をこの順に積層した構造であってもよい。

【0022】

また、第２発光部１４０ｂの第２有機層１２０ｂは、正孔注入層１２１、第２正孔輸送層１２２ｂ、第３正孔輸送層１２２ｃ、第４正孔輸送層１２２ｄ、第２発光層１２３ｂ、正孔ブロック層１２４、電子輸送層１２５、及び電子注入層１２６を有している。ただし、電子輸送層１２５及び電子注入層１２６の一方は形成されていなくてもよい。

【0023】

正孔注入層１２１は、正孔が移動する材料（正孔移動性の有機材料）を用いて形成されている。正孔注入層１２１の厚さは例えば５０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。第１有機層１２０ａの正孔注入層１２１及び第２有機層１２０ｂの正孔注入層１２１は、同一工程で形成されている。正孔注入層１２１の形成方法は、塗布法、特にインクジェット法である。正孔注入層１２１を構成する材料（正孔注入材料）は、導電性高分子材料であり、例えば、PEDOT-PSS(ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)-ポリ(スチレンスルホナート))などのポリチオフェン系材料が挙げられる。その他、アリールアミン誘導体、ポルフィリン誘導体、ポリスチレン誘導体、ポリピロール誘導体、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリアセチレン誘導体等を含む高分子の正孔注入材料が挙げられる。但し、これらに限定されない。

【0024】

第１正孔輸送層１２２ａ、第２正孔輸送層１２２ｂ、第３正孔輸送層１２２ｃ、及び第４正孔輸送層１２２ｄは、いずれも正孔移動性の有機材料を用いて形成されている。詳細には、第１正孔輸送層１２２ａの厚さは例えば３０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。第２正孔輸送層１２２ｂの厚さは例えば３０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。後述するように、第１正孔輸送層１２２ａは第２正孔輸送層１２２ｂと同一工程で形成されるため、第１正孔輸送層１２２ａの厚さは第２正孔輸送層１２２ｂの厚さとほぼ等しい。第３正孔輸送層１２２ｃの厚さは例えば１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下であり、第４正孔輸送層１２２ｄの厚さは例えば１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。第１正孔輸送層１２２ａ及び第２正孔輸送層１２２ｂは第１正孔輸送性材料を用いて形成されており、第３正孔輸送層１２２ｃ及び第４正孔輸送層１２２ｄは第２正孔輸送性材料を用いて形成されている。第１正孔輸送性材料は、第２正孔輸送性材料よりも高分子である。第１正孔輸送性材料は、高分子の正孔輸送性材料であり、例えば、TFB(ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレニル-２,7-ジイル)-co-(4,4'-(N-(4-sec-ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])等のトリフェニルアミン系材料が挙げられる。その他、アントラセン誘導体、カルバゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体等を含む高分子の正孔輸送材料が挙げられる。但し、これらに限定されない。第２正孔輸送性材料は、低分子の正孔輸送性材料であり、例えば、α-NPD(ビス(N-(1-ナフチル-N-フェニル)ベンジジン))、m-MTDATA(4,4',4''-トリス[フェニル(m-トリル)アミノ]トリフェニルアミン)、TCTA(4,4',4''-トリ(N-カルバゾール)トリフェニルアミン)、2-TNATA(4,4',4''-トリス[2-ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン)等が挙げられる。その他、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、スチリルアミン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニレン誘導体、アザトリフェニレン誘導体等を含む低分子の正孔輸送材料が挙げられる。但し、これらに限定されない。第３正孔輸送層１２２ｃのように第２正孔輸送材料を塗布法で成膜する際はこれら材料を有機溶媒に溶解して成膜する。ここで、有機溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、アニソール、シクロヘキサノン、ドデシルベンゼン、シクロヘキサノール、テトラリン、メシチレン、ブサイドクメン 、ジハイドロベンゾフラン、シクロヘキシルベンゼン、１-メチルナフタレン、p-アニシルアルコール、ジメチルナフタレン、3-メチルビフェニル、４−メチルビフェニル、３−イソプロピルビフェニル、モノイソプロピルナフタレン、テトラヒドロフラン、ジクロロエタン、クロロホルム、安息香酸エチル、安息香酸ブチル等が挙げられる。但し、これらに限定されない。また、これらは単独もしくは２種以上を混合して用いても良い。

【0025】

第１正孔輸送層１２２ａ及び第２正孔輸送層１２２ｂは第１正孔輸送性材料を塗布することにより形成されている。また、第３正孔輸送層１２２ｃは、第２正孔輸送性材料を塗布することにより形成されている。詳細には、第３正孔輸送層１２２ｃとなる第２正孔輸送性材料は、第１正孔輸送層１２２ａ及び第２正孔輸送層１２２ｂとなる第１正孔輸送性材料が塗布され、かつ乾燥された後に、塗布される。このため、第２正孔輸送層１２２ｂと第３正孔輸送層１２２ｃの間には界面が存在する。第１正孔輸送層１２２ａ及び第２正孔輸送層１２２ｂ、並びに第３正孔輸送層１２２ｃは、例えばスピンコーティング法を用いて形成されているが、他の塗布法（例えばインクジェット法）を用いて形成されていてもよい。

【0026】

また、第４正孔輸送層１２２ｄは、蒸着法を用いて形成されている。このように、第３正孔輸送層１２２ｃと第４正孔輸送層１２２ｄは、互いに異なる成膜方法を用いて形成されている。このため、第３正孔輸送層１２２ｃと第４正孔輸送層１２２ｄがいずれも第２正孔輸送性材料を用いて形成されているにも関わらず、第３正孔輸送層１２２ｃと第４正孔輸送層１２２ｄの間には界面が存在する。また、第３正孔輸送層１２２ｃと第４正孔輸送層１２２ｄの屈折率は、互いに異なる。例えば、第３正孔輸送層１２２ｃの屈折率は、第４正孔輸送層１２２ｄの屈折率よりも小さい。

【0027】

第１発光層１２３ａ及び第２発光層１２３ｂは、いずれも電子と正孔の再結合に伴って発光する材料を用いて形成されている。ただし、第１発光層１２３ａの発光色は第２発光層１２３ｂの発光色とは異なる。例えば、第１発光層１２３ａ（すなわち第１発光部１４０ａ）の発光スペクトルのピーク波長は、第２発光層１２３ｂ（すなわち第２発光部１４０ｂ）の発光スペクトルのピーク波長よりも長い。第１発光層１２３ａの発光色は、例えば緑色（ピーク波長が５００ｎｍ以上５５０ｎｍ以下）又は赤色（ピーク波長が６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下）であり、第２発光層１２３ｂの発光色は、例えば、青色（ピーク波長が４３０ｎｍ以上４８０ｎｍ以下）である。

【0028】

第１有機層１２０ａの正孔ブロック層１２４は、第１発光層１２３ａのうち第１正孔輸送層１２２ａとは逆側の面に接しており、正孔が第１発光層１２３ａを突き抜けて第１有機層１２０ａの電子輸送層１２５又は電子注入層１２６に到達することを抑制する。第２有機層１２０ｂの正孔ブロック層１２４も同様である。正孔ブロック層１２４は、例えば電子が移動することができる材料（電子移動性の有機材料）を用いて形成される。正孔ブロック層１２４の厚さは、例えば５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。なお、第１有機層１２０ａ及び第２有機層１２０ｂは、正孔ブロック層１２４を有していなくてもよい。

【0029】

第１有機層１２０ａの電子輸送層１２５及び第２有機層１２０ｂの電子輸送層１２５は、いずれも電子が移動する材料（電子移動性の有機材料）を用いて形成されている。このような材料としては、例えば、含窒素芳香族複素環誘導体、芳香族炭化水素環誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、シロール誘導体が挙げられる。第１有機層１２０ａの電子輸送層１２５及び第２有機層１２０ｂの電子輸送層１２５は、互いに同一の工程で形成されているため、ほぼ同じ厚さを有している。電子輸送層１２５の厚さは、例えば５ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。

【0030】

第１有機層１２０ａの電子注入層１２６及び第２有機層１２０ｂの電子注入層１２６は、いずれも例えばＬｉＦなどのアルカリ土類金属化合物、酸化アルミニウムに代表される金属酸化物、又はリチウム８−ヒドロキシキノレート（Ｌｉｑ）等に代表される金属錯体を用いて形成される。第１有機層１２０ａの電子注入層１２６及び第２有機層１２０ｂの電子注入層１２６は、互いに同一の工程で形成されているため、ほぼ同じ厚さを有している。電子注入層１２６の厚さは、例えば０．１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。

【0031】

なお、第１有機層１２０ａ及び第２有機層１２０ｂは、さらに電子阻害層を有していてもよい。電子阻害層は、正孔輸送層と発光層の間に位置し、発光層を突き抜けた電子が正孔輸送層や正孔注入層に到達することを抑制する。電子阻害層は、例えば、正孔が移動する材料（正孔移動性の有機材料）の少なくとも一つを用いて形成することができる。電子阻害層の厚さは、例えば５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。

【0032】

また、図１に示す例において、第１有機層１２０ａの各層は第１の開口１５２ａの内側に位置しており、第２有機層１２０ｂの各層は第２の開口１５２ｂの内側に位置している。ただし、正孔注入層１２１、第１正孔輸送層１２２ａ、及び第２正孔輸送層１２２ｂは、絶縁層１５０の上に形成されていてもよい。この場合、第１有機層１２０ａの正孔注入層１２１と第２有機層１２０ｂの正孔注入層１２１は互いに繋がっていてもよいし、第１正孔輸送層１２２ａと第２正孔輸送層１２２ｂも互いに繋がっていてもよい。

【0033】

図２の各図及び図３の各図は、発光装置１０の製造方法を示す断面図である。発光装置１０の製造方法は、以下の工程を有している。まず、基板１００の第１領域１００ａに、発光材料（具体的には第１発光層１２３ａとなる材料）を塗布する（第１工程）。また、この第１工程の前又は後に、基板１００の第２領域１００ｂに、塗布材料（具体的には第３正孔輸送層１２２ｃとなる第２正孔輸送性材料）を塗布する（第２工程）。そして、第１工程及び第２工程の後において、第１領域１００ａの発光材料及び第２領域１００ｂの塗布材料を乾燥させる（第３工程）。その後、第２領域１００ｂに発光材料を蒸着する（第４工程）。以下、詳細に説明する。

【0034】

まず、図２（ａ）に示すように、基板１００の第１領域１００ａ及び第２領域１００ｂに、第１電極１１０を、例えば蒸着法又はスパッタリング法を用いて形成する。次いで、基板１００の上に絶縁層１５０、第１の開口１５２ａ、及び第２の開口１５２ｂを形成する。次いで、基板１００の第１領域１００ａ及び第２領域１００ｂに、正孔注入材料を、例えばインクジェット法を用いて塗布し、その後乾燥させる。これにより、第１発光部１４０ａの正孔注入層１２１及び第２発光部１４０ｂの正孔注入層１２１が形成される（第７工程）。

【0035】

次いで、基板１００の第１領域１００ａ及び第２領域１００ｂに、第１正孔輸送材料を、例えばインクジェット法を用いて塗布し、その後乾燥させる。これにより、第１発光部１４０ａの第１正孔輸送層１２２ａ及び第２発光部１４０ｂの第２正孔輸送層１２２ｂが形成される（第５工程）。

【0036】

次いで、図２（ｂ）に示すように、基板１００の第２領域１００ｂに、第２正孔輸送材料を、例えばインクジェット法を用いて塗布する（第２工程）。次いで、基板１００の第１領域１００ａに、第１発光層１２３ａとなる発光材料を、例えばインクジェット法を用いて塗布する（第１工程）。なお、第１工程が行われた後に第２工程が行われてもよい。

【0037】

次いで、第１工程で塗布した塗布材料及び第２工程で塗布した塗布材料を乾燥させる（第３工程）。これにより、第１発光部１４０ａの第１発光層１２３ａ及び第２発光部１４０ｂの第３正孔輸送層１２２ｃが形成される。

【0038】

次いで、図３（ａ）に示すように、基板１００の第２領域１００ｂに、第２正孔輸送性材料を蒸着する（第６工程）。これにより、第４正孔輸送層１２２ｄが形成される。次いで、基板１００の第２領域１００ｂに、発光材料を蒸着する（第４工程）。これにより、第２発光層１２３ｂが形成される。

【0039】

その後、図３（ｂ）に示すように、第１有機層１２０ａの正孔ブロック層１２４及び第２有機層１２０ｂの正孔ブロック層１２４を、真空蒸着法を用いて形成する。次いで、第１有機層１２０ａの電子輸送層１２５及び第２有機層１２０ｂの電子輸送層１２５を、真空蒸着法を用いて形成する。さらに、電子輸送層１２５の上に、電子注入材料を真空蒸着する（第８工程）。これにより、第１有機層１２０ａの電子注入層１２６及び第２有機層１２０ｂの電子注入層１２６が形成される。このようにして、第１有機層１２０ａ及び第２有機層１２０ｂが形成される。

【0040】

そして、第１有機層１２０ａ及び第２有機層１２０ｂのそれぞれの上に、第２電極１３０を形成する。第２電極１３０は、例えば蒸着法又はスパッタリング法を用いて形成される。

【0041】

本実施形態において、第１発光部１４０ａの第１発光層１２３ａは塗布法を用いて形成されており、第２発光部１４０ｂの第２発光層１２３ｂは蒸着法を用いて形成されている。このような構成は、第１発光部１４０ａの塗布工程の回数と第２発光部１４０ｂの塗布工程の回数に差がある構成である。塗布で形成した有機層は溶媒を乾燥させる工程が必要であるが、ここで、乾燥工程は第１発光部１４０ａと第２発光部１４０ｂとのそれぞれの領域にのみでできるものではなく、基板１００で一括して行われることが多い。ここで、各有機層の濡れの状況に差があると乾燥工程で成膜不良が起こりやすい。つまり、第１発光部１４０ａは塗布法で形成しているため、溶媒を含むいわゆるウエットな状態にある。他方で、第２発光部１４０ｂは蒸着法で形成されるため乾燥状態にある。このため、発光装置１０を乾燥工程にかけると、乾燥している（ウエットでない）第２発光部１４０ｂ側の絶縁層１５０の上に第１発光部１４０ａの乾燥工程中の有機層が引き寄せられる。いわゆる引き寄せが起こる。この現象が発生すると第１発光層１４０ａの有機層１２０の膜厚が第１発光層１４０ａ内で不均一となり、発光装置１０の品質の劣化につながる。

【0042】

これに対して本実施形態では、第２発光部１４０ｂの第２正孔輸送層１２２ｂの上に、第３正孔輸送層１２２ｃを形成している。第３正孔輸送層１２２ｃは塗布法で形成されており、また、第１発光層１２３ａと同一工程で乾燥されている。従って、乾燥工程を行う段階において第１発光部１４０ａおよび第２発光部１４０ｂの双方に形成される有機層が塗布法によって成膜されている。このため、第１発光部１４０ａの乾燥状態と第２発光部１４０ｂの乾燥状態を揃えることができる。その結果、前述の引き寄せの発生を抑えることができるため、第１発光部１４０ａの品質を高めることができる。

【0043】

また、第２発光部１４０ｂにおいて、正孔注入層１２１及び第２正孔輸送層１２２ｂは塗布法を用いて形成されており、第３正孔輸送層１２２ｃ及び第４正孔輸送層１２２ｄは蒸着法を用いて形成されている。この場合、第２発光部１４０ｂの正孔輸送層の一部の層は塗布法で形成されることになり、正孔輸送層の残りの層は蒸着法で形成されることになる。このため、第２発光部１４０ｂの正孔輸送層のうち塗布法で形成された層と蒸着法で形成された層の界面で、正孔の移動度が低下する可能性がある。これに対して本実施形態では、第２正孔輸送層１２２ｂと第４正孔輸送層１２２ｄの間に、第３正孔輸送層１２２ｃを有している。第３正孔輸送層１２２ｃは第４正孔輸送層１２２ｄと同じ材料で構成されており、かつ、塗布法により形成されている。従って、上記した正孔の移動度の低下を抑制できる。従って、第２発光部１４０ｂの発光効率の低下を抑制できる。

【0044】

（実施例１）
図４は、実施例１に係る発光装置１０の平面図である。図５は図４から第２電極１３０を取り除いた図である。図６は図５から有機層１２０及び絶縁層１５０を取り除いた図である。図７は、図４のＡ−Ａ断面図である。本実施例に係る発光装置１０は照明装置であり、基板１００のほぼ全面に発光領域が形成されている。この発光領域には、第１発光部１４０ａ、第２発光部１４０ｂ、及び第３発光部１４０ｃが繰り返し形成されている。第１発光部１４０ａ、第２発光部１４０ｂ、及び第３発光部１４０ｃは、いずれもストライプ状（線状）に延在している。

【0045】

第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂの構成は、実施形態に示したとおりである。第３発光部１４０ｃは、第１発光層１２３ａの代わりに第３発光層１２３ｃを有している点を除いて、第１発光部１４０ａと同様の構成を有している。第３発光層１２３ｃの材料は、第１発光層１２３ａの材料と異なる。言い換えると、第３発光部１４０ｃの第３有機層１２０ｃは、発光層を除いて、第１発光部１４０ａの第１有機層１２０ａと同様の構成を有している。第１発光部１４０ａ及び第３発光部１４０ｃの一方の発光色は赤色であり、他方は緑色である。一方、第２発光部１４０ｂの発光色は青色である。

【0046】

第１発光部１４０ａ、第２発光部１４０ｂ、及び第３発光部１４０ｃは、いずれも、第１電極１１０、第１端子１１２、第２電極１３０、及び第２端子１３２を有している。本実施形態において、発光装置１０は、調光可能な照明装置である。このため、第１電極１１０、第１端子１１２、第２電極１３０、及び第２端子１３２は、発光部毎に独立している。ただし、第２端子１３２はすべての発光部に対して共通の端子であってもよい。この場合、第２電極１３０も、全ての発光部に共通の電極（いわゆるベタ電極）であってもよい。また、発光装置１０が調光機能を有していない場合（例えば発光装置１０が白色の照明装置である場合）、第１端子１１２はすべての発光部に対して共通の端子であってもよい。この場合、第１電極１１０も、全ての発光部に共通の電極（いわゆるベタ電極）であってもよい。

【0047】

第１端子１１２及び第２端子１３２は、第１電極１１０と同じ材料を用いて形成された層を有している。この層は、第１電極１１０と同一の工程で形成される。また、第１端子１１２のうち第１電極１１０と同様の材料で形成されている層は、第１電極１１０と一体になっている。一方、第２端子１３２は第１電極１１０から分離している。

【0048】

また、第１端子１１２及び第２端子１３２は、第１電極１１０を挟んで互いに逆側に位置している。本図に示す例では基板１００は矩形である。そして、第１端子１１２は基板１００の一辺に沿って形成されており、第２端子１３２は、基板１００の４辺のうち第１端子１１２とは逆側の辺に沿って形成されている。

【0049】

絶縁層１５０は、第１の開口１５２ａ、第２の開口１５２ｂ、及び第３の開口１５２ｃを有している。第１の開口１５２ａは第１発光部１４０ａが形成されるべき領域に位置しており、第２の開口１５２ｂは第２発光部１４０ｂが形成されるべき領域に位置しており、第３の開口１５２ｃは第３発光部１４０ｃが形成されるべき領域に位置している。そして、第２電極１３０の一部は、絶縁層１５０をまたいで第２端子１３２の上まで延在している。

【0050】

本実施例において、第１発光部１４０ａ及び第２発光部１４０ｂの製造方法は、実施形態に示したとおりである。また、第３発光部１４０ｃは、第３発光層１２３ｃを第１発光層１２３ａとは別の塗布材料を用いて形成される点を除いて、第１発光部１４０ａと同一の工程で形成される。このため、第３発光層１２３ｃとなる塗布材料は、第１発光層１２３ａとなる塗布材料及び第３正孔輸送層１２２ｃとなる塗布材料の同一の工程で乾燥される。

【0051】

本実施例においても、第２発光部１４０ｂの第２正孔輸送層１２２ｂの上に、第３正孔輸送層１２２ｃを形成している。第３正孔輸送層１２２ｃは塗布法で形成されており、また、第１発光層１２３ａ及び第３発光層１２３ｃと同一工程で乾燥されている。このため、第１有機層１２０ａのうち塗布法で形成される層の乾燥状態、第２有機層１２０ｂのうち塗布法で形成される層の乾燥状態、及び第３有機層１２０ｃのうち塗布法で形成される層の乾燥状態のそれぞれを適切な状態にすることができる。その結果、第１発光部１４０ａの品質、第２発光部１４０ｂの品質、及び第３発光部１４０ｃの品質は、いずれも高くなる。

【0052】

また、実施形態と同様に、第２発光部１４０ｂの正孔輸送層における正孔の移動度の低下を抑制できる。従って、第２発光部１４０ｂの発光効率の低下を抑制できる。

【0053】

（実施例２）
図８は、実施例２に係る発光装置１０の平面図である。図９は、図８から隔壁１７０、第２電極１３０、有機層１２０、及び絶縁層１５０を取り除いた図である。図１０は図８のＢ−Ｂ断面図である。図１１（ａ）は、図１０の点線αで囲んだ領域を拡大した図であり、図１１（ｂ）は、図１０の点線βで囲んだ領域を拡大した図である。図１２は図８のＣ−Ｃ断面図であり、図１３は図８のＤ−Ｄ断面図である。

【0054】

実施例２に係る発光装置１０はディスプレイであり、基板１００、第１電極１１０、複数の第１発光部１４０ａ、複数の第２発光部１４０ｂ、複数の第３発光部１４０ｃ、発光部１４０、絶縁層１５０、複数の第１の開口１５２ａ、複数の第２の開口１５２ｂ、複数の第３の開口１５２ｃ、複数の開口１５４、複数の引出配線１１４、有機層１２０、第２電極１３０、複数の引出配線１３４、及び複数の隔壁１７０を有している。

【0055】

第１電極１１０は、第１方向（図８におけるＹ方向）にライン状に延在している。そして第１電極１１０の端部は、引出配線１１４に接続している。

【0056】

引出配線１１４は、第１電極１１０を第１端子１１２に接続する配線である。本図に示す例では、引出配線１１４の一端側は第１電極１１０に接続しており、引出配線１１４の他端側は第１端子１１２となっている。本図に示す例において、第１電極１１０及び引出配線１１４は一体になっている。そして第１端子１１２の上及び引出配線１１４の上には、導体層１８０が形成されている。導体層１８０は、第１電極１１０よりも抵抗の低い金属、例えばＡｌ又はＡｇを用いて形成されている。なお、引出配線１１４の一部は絶縁層１５０によって覆われている。

【0057】

絶縁層１５０は、図８、及び図１０〜図１３に示すように、複数の第１電極１１０上及びその間の領域に形成されている。絶縁層１５０には、複数の第１の開口１５２ａ、複数の第２の開口１５２ｂ、複数の第３の開口１５２ｃ、及び複数の開口１５４が形成されている。複数の第２電極１３０は、第１電極１１０と交差する方向（例えば直交する方向：図８におけるＸ方向）に互いに平行に延在している。そして、複数の第２電極１３０の間には、詳細を後述する隔壁１７０が延在している。第１の開口１５２ａ、第２の開口１５２ｂ、及び第３の開口１５２ｃは、いずれも平面視で第１電極１１０と第２電極１３０の交点に位置している。そして、第１の開口１５２ａ、第２の開口１５２ｂ、及び第３の開口１５２ｃは、マトリクスを構成するように配置されている。

【0058】

開口１５４は、平面視で複数の第２電極１３０のそれぞれの一端側と重なる領域に位置している。また開口１５４は、開口１５２が構成するマトリクスの一辺に沿って配置されている。そしてこの一辺に沿う方向（例えば図８におけるＹ方向、すなわち第１電極１１０に沿う方向）で見た場合、開口１５４は、所定の間隔で配置されている。開口１５４からは、引出配線１３４の一部分が露出している。そして、引出配線１３４は、開口１５４を介して第２電極１３０に接続している。

【0059】

引出配線１３４は、第２電極１３０を第２端子１３２に接続する配線であり、第１電極１１０と同一の材料からなる層を有している。引出配線１３４の一端側は開口１５４の下に位置しており、引出配線１３４の他端側は、絶縁層１５０の外部に引き出されている。そして本図に示す例では、引出配線１３４の他端側が第２端子１３２となっている。そして、第２端子１３２の上及び引出配線１３４の上にも、導体層１８０が形成されている。なお、引出配線１３４の一部は絶縁層１５０によって覆われている。

【0060】

第１の開口１５２ａの内側には第１有機層１２０ａが形成されており、第２の開口１５２ｂの内側には第２有機層１２０ｂが形成されており、第３の開口１５２ｃの内側には第３有機層１２０ｃが形成されている。第１有機層１２０ａの構成、第２有機層１２０ｂの構成、及び第３有機層１２０ｃの構成は、いずれも実施例１に示した通りである。なお、各有機層の少なくとも一部の層は、各開口の外側に食み出していてもよい。ただし、図１３に示すように、いずれの有機層も、開口１５４には形成されていない。

【0061】

第２電極１３０は、図８、図１０〜図１３に示すように、第１方向と交わる第２方向（図８におけるＸ方向）に延在している。そして隣り合う第２電極１３０の間には、隔壁１７０が形成されている。隔壁１７０は、第２電極１３０と平行すなわち第２方向に延在している。隔壁１７０の下地は、例えば絶縁層１５０である。隔壁１７０は、例えばポリイミド系樹脂などの感光性の樹脂であり、露光及び現像されることによって、所望のパターンに形成されている。なお、隔壁１７０はポリイミド系樹脂以外の樹脂、例えばエポキシ系樹脂やアクリル系樹脂、二酸化珪素等の無機材料で構成されていても良い。

【0062】

隔壁１７０は、断面が台形の上下を逆にした形状（逆台形）になっている。すなわち隔壁１７０の上面の幅は、隔壁１７０の下面の幅よりも大きい。このため、隔壁１７０を第２電極１３０より前に形成しておくと、蒸着法やスパッタリング法を用いて第２電極１３０を基板１００の一面側に形成することで、複数の第２電極１３０を一括で形成することができる。

【0063】

また、隔壁１７０は、有機層１２０を分断する機能も有している。例えば有機層１２０を構成する各層のうち塗布法で形成される層（例えば、正孔注入層１２１、第１正孔輸送層１２２ａ、第２正孔輸送層１２２ｂ、第３正孔輸送層１２２ｃ、第１発光層１２３ａ、及び第３発光層１２３ｃ）は、隔壁１７０の間に位置する領域に塗布材料を塗布することにより、形成される。一方、有機層１２０のうち蒸着法で形成される層（例えば第４正孔輸送層１２２ｄ、第２発光層１２３ｂ、正孔ブロック層１２４、電子輸送層１２５、及び電子注入層１２６）は、隔壁１７０の側面には形成されないため、隔壁１７０によって分断される。

【0064】

そして、図１１（ａ）に示すように、隔壁１７０のうち第１発光部１４０ａの隣に位置する領域の上面には、第１有機層１２０ａのうち蒸着法で形成される層、具体的には、正孔ブロック層１２４、電子輸送層１２５、及び電子注入層１２６のみが形成されており、正孔注入層１２１、第１正孔輸送層１２２ａ、及び第１発光層１２３ａは形成されていない。このため、第１発光部１４０ａの近くにおいて、隔壁１７０の上に位置する有機層は、第１の開口１５２ａ内に位置する第１有機層１２０ａよりも薄い。

【0065】

同様に、図１１（ｂ）に示すように、隔壁１７０のうち第３発光部１４０ｃの隣に位置する領域の上面には、第３有機層１２０ｃのうち蒸着法で形成される層、具体的には、正孔ブロック層１２４、電子輸送層１２５、及び電子注入層１２６のみが形成されており、正孔注入層１２１、第１正孔輸送層１２２ａ、及び第３発光層１２３ｃは形成されていない。このため、第３発光部１４０ｃの近くにおいて、隔壁１７０の上に位置する有機層は、第３の開口１５２ｃ内に位置する第３有機層１２０ｃよりも薄い。

【0066】

また、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、隔壁１７０のうち第２発光部１４０ｂの隣に位置する領域の上面には、第２有機層１２０ｂのうち蒸着法で形成される層、具体的には、第４正孔輸送層１２２ｄ、第２発光層１２３ｂ、正孔ブロック層１２４、電子輸送層１２５、及び電子注入層１２６のみが形成されており、正孔注入層１２１、第２正孔輸送層１２２ｂ、及び第３正孔輸送層１２２ｃは形成されていない。言い換えると、第２発光部１４０ｂの隣に位置する隔壁１７０の上面には、厚さ方向において、第２発光部１４０ｂの正孔注入層１２１及び正孔輸送層の一部が形成されており、かつ、第２発光部１４０ｂの正孔輸送層の残りの部分及び第２発光層１２３ｂが形成されている。そして、第２発光部１４０ｂの近くにおいて、隔壁１７０の上に位置する有機層は、第２発光部１４０ｂ内に位置する第２有機層１２０ｂよりも薄い。

【0067】

ただし、図１０、及び図１１の各図に示すように、隔壁１７０のうち第２発光部１４０ｂの隣の領域の上に位置する有機層は、隔壁１７０のうち第１発光部１４０ａの隣の領域の上に位置する有機層、及び隔壁１７０のうち第３発光部１４０ｃの隣の領域の上に位置する有機層のいずれよりも厚い。これは、第２有機層１２０ｂが第４正孔輸送層１２２ｄを有しており、かつ第２発光層１２３ｂが蒸着法を用いて形成されているためである。

【0068】

次に、本実施例における発光装置１０の製造方法を説明する。まず、基板１００上に第１電極１１０、引出配線１１４，１３４を形成する。これらの形成方法は、実施形態において第１電極１１０を形成する方法と同様である。

【0069】

次いで、引出配線１１４の上、第１端子１１２の上、引出配線１３４の上、及び第２端子１３２の上に、導体層１８０を形成する。次いで、絶縁層１５０、第１の開口１５２ａ、第２の開口１５２ｂ、及び第３の開口１５２ｃを形成し、さらに隔壁１７０を形成する。次いで第１有機層１２０ａの各層、第２有機層１２０ｂの各層、及び第３有機層１２０ｃの各層を形成する。これら各層の形成方法は、実施例１に示したとおりである。次いで、第２電極１３０を形成する。

【0070】

本実施例においても、実施例１と同様に、第１発光部１４０ａの品質、第２発光部１４０ｂの品質、及び第３発光部１４０ｃの品質は、いずれも高くなる。また、実施形態と同様に、第２発光部１４０ｂの正孔輸送層における正孔の移動度の低下を抑制できる。従って、第２発光部１４０ｂの発光効率の低下を抑制できる。

【0071】

以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】