特許6821897物理的アラインメントマークと仮想的アラインメントマークによるアラインメント

発明の名称　物理的アラインメントマークと仮想的アラインメントマークによるアラインメント

出願人　エーティーアンドエス　オーストリア　テクノロジー　アンド　システムテクニック　アクツィエンゲゼルシャフト　（識別番号 519063934）

　　　　特許公開件数ランキング 7168 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3357 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6821897

公報発行日　2021年1月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6821897

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