特許第6823230号(P6823230)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6823230スパッタリング装置、膜の製造方法、ＳｒＲｕＯ３−δ膜、強誘電体セラミックス及びその製造方法
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