特許6823823荷電粒子ビーム描画装置、その制御方法および補正描画データ作成方法

発明の名称　荷電粒子ビーム描画装置、その制御方法および補正描画データ作成方法

出願人　大日本印刷株式会社　（識別番号 2897）

　　　　特許公開件数ランキング 24 位（737件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（767件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6823823

公報発行日　2021年2月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6823823

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6823823「荷電粒子ビーム描画装置、その制御方法および補正描画データ作成方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録