特許 6824862 ラビリンスシール、および、ラビリンスシール構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6824862

(24)【登録日】2021年1月15日

(45)【発行日】2021年2月3日

(54)【発明の名称】ラビリンスシール、および、ラビリンスシール構造

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/447 20060101AFI20210121BHJP

   F04D 29/10 20060101ALI20210121BHJP

【ＦＩ】

   F16J15/447

   F04D29/10 A

【請求項の数】10

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2017-206479(P2017-206479)

(22)【出願日】2017年10月25日

(65)【公開番号】特開2019-78347(P2019-78347A)

(43)【公開日】2019年5月23日

【審査請求日】2019年9月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001199

【氏名又は名称】株式会社神戸製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】森中 俊輔

【審査官】 保田 亨介

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１７−１４５８１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０７２７３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００３−５２６０６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／０４３２５４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１７−１６０８２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 英国特許出願公開第０２３１３６３５（ＧＢ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０４１９２３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ１／００−１３／１６

１７／００−１９／０２

２１／００−２５／１６

２９／００−３５／００

Ｆ１６Ｊ１５／４０−１５／４５３

１５／５４−１５／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１部材と、
前記第１部材に対向し、前記第１部材に対して回転軸を中心に回転する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材との間に形成され、前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向に直交する方向である流れ方向の高圧側から低圧側に流体が流れるように構成される隙間と、
を備える回転機械に設けられるラビリンスシールであって、
前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向を対向方向とし、
対向方向において前記第２部材から前記第１部材に向かう側を対向方向第１側とし、
対向方向において前記第１部材から前記第２部材に向かう側を対向方向第２側とし、
前記回転軸が延びる方向である回転軸方向は、流れ方向であり、
前記第１部材から前記第２部材に向かって延びる高圧側フィンと、
前記第１部材から前記第２部材に向かって延び、前記高圧側フィンよりも低圧側に配置される低圧側フィンと、
前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記高圧側フィンの先端部よりも低圧側に配置され、前記低圧側フィンの先端部よりも高圧側に配置され、低圧側ほど対向方向第１側に配置されるように回転軸方向に対して傾斜する傾斜部と、
前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記傾斜部の高圧側端部から高圧側に延びる高圧側段部と、
前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記傾斜部の低圧側端部から低圧側に延びる低圧側段部と、
を備え、
前記低圧側段部のうち、前記低圧側フィンの対向方向第２側の端部と対向方向に対向する部分は、前記高圧側段部のうち、前記高圧側フィンの対向方向第２側の端部と対向方向に対向する部分よりも、前記回転軸に近い、
ラビリンスシール。

【請求項2】

請求項１に記載のラビリンスシールであって、
前記傾斜部の対向方向第１側の端部は、前記高圧側フィンの対向方向第２側の端部および前記低圧側フィンの対向方向第２側の端部のうち対向方向第２側に配置される端部よりも、対向方向第１側に配置される、
ラビリンスシール。

【請求項3】

請求項２に記載のラビリンスシールであって、
前記傾斜部の対向方向第１側の端部は、前記高圧側フィンの対向方向第２側の端部および前記低圧側フィンの対向方向第２側の端部のうち対向方向第１側に配置される端部よりも、対向方向第２側に配置される、
ラビリンスシール。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記第２部材は、前記第１部材に対して、回転軸方向に所定範囲内で移動可能であり、
前記高圧側段部は、前記第１部材に対して前記第２部材が回転軸方向に前記所定範囲内で移動したときに、前記高圧側フィンの対向方向第２側の端部と対向する部分に配置され、前記回転軸と平行である高圧側回転軸平行部を備え、
前記低圧側段部は、前記第１部材に対して前記第２部材が回転軸方向に前記所定範囲内で移動したときに、前記低圧側フィンの対向方向第２側の端部と対向する部分に配置され、前記回転軸と平行である低圧側回転軸平行部を備える、
ラビリンスシール。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記回転軸は、前記第２部材の内側に配置され、
前記低圧側段部は、低圧側ほど対向方向第２側に配置されるように回転軸方向に対して傾斜する低圧側傾斜部を備える、
ラビリンスシール。

【請求項6】

請求項１〜５のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記回転軸は、前記第２部材の内側に配置され、
前記高圧側段部は、低圧側ほど対向方向第２側に配置されるように回転軸方向に対して傾斜する高圧側傾斜部を備える、
ラビリンスシール。

【請求項7】

請求項１〜６のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記低圧側フィンの対向方向第２側の端部は、前記低圧側フィンの対向方向第１側の端部よりも高圧側に配置される、
ラビリンスシール。

【請求項8】

請求項１〜７のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記第１部材の対向方向第２側の面のうち、前記高圧側フィンの低圧側の面から前記低圧側フィンの高圧側の面までをつなぐ面は、対向方向および流れ方向のそれぞれに直交する方向から見たとき、直線状または弧状である、
ラビリンスシール。

【請求項9】

請求項１〜８のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記第１部材は、静止体である、
ラビリンスシール。

【請求項10】

請求項１〜９のいずれか１項に記載のラビリンスシールが、流れ方向に連続して配置される、
ラビリンスシール構造。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ラビリンスシール、および、ラビリンスシール構造に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１などに、従来のラビリンスシールが記載されている。このラビリンスシールは、回転機械を構成する２つの部材（例えば回転体と静止体）の隙間での流体の漏れ量を抑制するためのものである。特許文献１の図３に記載の技術では、一方の部材にフィンが設けられ、他方の部材に階段状の段差部が設けられている。そして、フィンと、段差部が設けられた部材と、の隙間を通った流体が、フィンに当たるように構成することで、流体の漏れ量を抑制することが図られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２−７２７３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、流体の漏れ量をさらに抑制することが望まれている。

【0005】

そこで、本発明では、流体の漏れ量を抑制できる、ラビリンスシールおよびラビリンスシール構造を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のラビリンスシールは、回転機械に設けられる。前記回転機械は、第１部材と、第２部材と、隙間と、を備える。前記第２部材は、前記第１部材に対向し、前記第１部材に対して回転軸を中心に回転する。前記隙間は、前記第１部材と前記第２部材との間に形成され、前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向に直交する方向である流れ方向の高圧側から低圧側に流体が流れるように構成される。以下、前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向を「対向方向」と記載する。対向方向において前記第２部材から前記第１部材に向かう側を対向方向第１側とする。対向方向において前記第１部材から前記第２部材に向かう側を対向方向第２側とする。前記回転軸が延びる方向である回転軸方向は、対向方向または流れ方向に一致する。ラビリンスシールは、高圧側フィンと、低圧側フィンと、傾斜部と、高圧側段部と、低圧側段部と、を備える。前記高圧側フィンは、前記第１部材から前記第２部材に向かって延びる。前記低圧側フィンは、前記第１部材から前記第２部材に向かって延び、前記高圧側フィンよりも低圧側に配置される。前記傾斜部は、前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記高圧側フィンの先端部よりも低圧側に配置され、前記低圧側フィンの先端部よりも高圧側に配置され、低圧側ほど対向方向第１側に配置されるように回転軸方向に対して傾斜する。前記高圧側段部は、前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記傾斜部の高圧側端部から高圧側に延びる。前記低圧側段部は、前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記傾斜部の低圧側端部から低圧側に延びる。

【発明の効果】

【0007】

上記構成により、ラビリンスシールでの流体の漏れ量を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図2】第２実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図3】第３実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図4】第４実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図5】第５実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図6】第６実施形態のラビリンスシール構造を示す断面図である。

【図7】第７実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図8】第８実施形態のラビリンスシールを示す断面図である。

【図9】例１のラビリンスシール構造を示す断面図である。

【図10】図９に示す例１などでの流体の漏れ量を示すグラフである。

【図11】例２のラビリンスシール構造を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（第１実施形態）
図１を参照して、第１実施形態のラビリンスシール３０を有する回転機械１について説明する。

【0010】

回転機械１は、第１部材１１に対して第２部材１２が回転する機械である。回転機械１は、流体を圧縮または膨張させる機械（流体回転機械）である。回転機械１は、例えば圧縮機であり、例えばターボ圧縮機などである。回転機械１は、例えば膨張機でもよく、例えば膨張タービンなどでもよい。回転機械１は、軸流式でも遠心式でもよい。回転機械１は、第１部材１１と、第２部材１２と、隙間１５と、ラビリンスシール３０と、を備える。

【0011】

第１部材１１は、静止体または回転体である。静止体は、例えば床などに対して静止する。回転体は、静止体に対して回転する。静止体は、例えばケーシングである。静止体は、例えば、ケーシング内に配置され、ケーシングに固定される部材でもよい。回転体は、例えば、静止体に対して回転軸Ａを中心に回転する回転体である。回転体は、例えば回転軸Ａの方向に延びるものでもよく、例えばインペラでもよい。

【0012】

第２部材１２は、第１部材１１に対向する。第１部材１１が静止体の場合、第２部材１２は、回転体である。第１部材１１が回転体の場合、第２部材１２は、静止体である。

【0013】

隙間１５は、第１部材１１と第２部材１２との間に形成される。隙間１５は、第１部材１１のＹ２側（対向方向第２側）（方向の詳細は後述）部分と、第２部材１２のＹ１側（対向方向第１側）部分と、の間に形成される。隙間１５には、差圧がある。流れ方向Ｘの高圧側Ｘ１から、流れ方向Ｘの低圧側Ｘ２に、流体が隙間１５を流れるように、隙間１５が構成される。なお、流体は、流れ方向Ｘ以外の方向に流れてもよい（詳細は後述）。

【0014】

（方向）
第１部材１１と第２部材１２とが対向する方向を、対向方向Ｙとする。対向方向Ｙにおいて、第２部材１２から第１部材１１に向かう側を、Ｙ１側（対向方向第１側）とする。対向方向Ｙにおいて、第１部材１１から第２部材１２に向かう側を、Ｙ２側（対向方向第２側）とする。対向方向Ｙに直交する方向を、流れ方向Ｘとする。流れ方向Ｘにおける一方側を、高圧側Ｘ１とする。流れ方向Ｘにおける高圧側Ｘ１とは反対側を、低圧側Ｘ２とする。流れ方向Ｘおよび対向方向Ｙのそれぞれに直交する方向を直交方向Ｚとする。回転軸Ａが延びる方向（回転軸Ａ方向）は、流れ方向Ｘと一致する方向（例えば回転軸Ａｘ参照）、または、対向方向Ｙと一致する方向（例えば回転軸Ａｙ参照）である。

【0015】

ラビリンスシール３０は、隙間１５での流体の漏れを抑制する。ラビリンスシール３０は、この漏れを抑制することで、例えば回転機械１内での流体の循環などを抑制する。ラビリンスシール３０は、第１部材１１と第２部材１２とを接触させることなく（非接触で）、流体の漏れ流れの量（以下、漏れ量ともいう）を抑制する装置である。ラビリンスシール３０は、高圧側フィン３１と、低圧側フィン３２と、面４０と、傾斜部５０と、高圧側段部６０と、低圧側段部７０と、を備える。

【0016】

高圧側フィン３１は、隙間１５を仕切るフィンである（低圧側フィン３２も同様）。高圧側フィン３１は、隙間１５を完全には仕切らず、流体の流路を狭める（絞る）ように配置される（低圧側フィン３２も同様）。高圧側フィン３１は、第１部材１１のＹ２側部分（例えば表面）から、第２部材１２に（高圧側段部６０に）に向かってＹ２側に延びる（延伸する）。高圧側フィン３１は、例えば第１部材１１と一体的に設けられ、例えば第１部材１１と別体でもよい（低圧側フィン３２も同様）。回転軸Ａ方向が流れ方向Ｘの場合、高圧側フィン３１は、回転軸Ａを中心とした環状（リング状）である。回転軸Ａ方向が流れ方向Ｘの場合に、回転軸Ａを中心とした環状である点は、低圧側フィン３２、面４０、傾斜部５０、高圧側段部６０、および低圧側段部７０なども同様である。高圧側フィン３１は、高圧側フィン側面３１ｂと、高圧側フィン先端部３１ｔと、を備える。

【0017】

高圧側フィン側面３１ｂは、高圧側フィン３１を構成する面（表面）であって、低圧側Ｘ２を向いた面である。高圧側フィン側面３１ｂは、例えば対向方向Ｙと一致する方向に延びてもよく、対向方向Ｙに対して傾斜してもよい（図８などを参照）（低圧側フィン３２の側面についても同様）。直交方向Ｚから見たとき、高圧側フィン側面３１ｂは、例えば、直線状でもよく、曲線状でもよく（図７を参照）、直線と曲線とを組み合わせた形状などでもよい（低圧側フィン３２の側面についても同様）。

【0018】

高圧側フィン先端部３１ｔは、高圧側フィン３１の先端部であり、高圧側フィン３１のＹ２側（高圧側段部６０側）の端部である。高圧側フィン先端部３１ｔは、例えば、第１部材１１と高圧側段部６０との対向方向Ｙにおける中央よりも高圧側段部６０側（Ｙ２側）に配置され、例えば、高圧側段部６０の近傍に配置される。

【0019】

低圧側フィン３２は、第１部材１１のＹ２側部分（例えば表面）から、第２部材１２に（低圧側段部７０に）に向かってＹ２側に延びる。低圧側フィン３２は、高圧側フィン３１よりも低圧側Ｘ２に配置される。低圧側フィン３２は、低圧側フィン側面３２ａと、低圧側フィン基端部３２ｐと、低圧側フィン先端部３２ｔと、を備える。

【0020】

低圧側フィン側面３２ａは、低圧側フィン３２を構成する面（表面）であって、高圧側Ｘ１を向いた面である。

【0021】

低圧側フィン基端部３２ｐは、低圧側フィン３２の基端部（基部、根本部）であり、低圧側フィン３２のＹ１側の端部である。

【0022】

低圧側フィン先端部３２ｔは、低圧側フィン３２の先端部であり、低圧側フィン３２のＹ２側（低圧側段部７０側）の端部である。低圧側フィン先端部３２ｔは、例えば、第１部材１１と低圧側段部７０との対向方向Ｙにおける中央よりも低圧側段部７０側（Ｙ２側）に配置され、例えば、低圧側段部７０の近傍に配置される。低圧側フィン先端部３２ｔの対向方向Ｙにおける位置（対向方向Ｙ位置）は、高圧側フィン先端部３１ｔの対向方向Ｙ位置に対して、Ｙ１側でもよく、Ｙ２側でもよく、同じ位置（対向方向Ｙ位置が同じ）でもよい。

【0023】

面４０は、第１部材１１のＹ２側の面（表面）のうち、高圧側フィン３１の低圧側Ｘ２の面（高圧側フィン側面３１ｂ）から低圧側フィン３２の高圧側Ｘ１の面（低圧側フィン側面３２ａ）までをつなぐ部分である。直交方向Ｚから見たとき、面４０は、直線状、または弧状である（図８参照、「弧状」については後述）。「直線」には略直線も含まれる（以下同様）。面４０は、高圧側フィン側面３１ｂから低圧側フィン側面３２ａまでを、滑らかにつなぐ。面４０には、屈曲した（折れ曲がった）部分はない。面４０は、流れ方向Ｘと一致する方向に延びてもよく、ほぼ流れ方向Ｘに延びてもよく、流れ方向Ｘに対して傾斜してもよい（図９を参照）。なお、変形例として、面４０には、屈曲した部分があってもよい。

【0024】

傾斜部５０は、流体の流れｆ５０を形成する部分である。傾斜部５０は、第２部材１２のＹ１側部分（例えば表面）に形成される。傾斜部５０は、高圧側フィン先端部３１ｔよりも低圧側Ｘ２に配置される。傾斜部５０は、高圧側フィン３１の基部（Ｙ１側端部）に対して、低圧側Ｘ２に配置されてもよく、高圧側Ｘ１に配置されてもよい。傾斜部５０は、低圧側フィン先端部３２ｔよりも高圧側Ｘ１に配置される。傾斜部５０は、低圧側フィン基端部３２ｐに対して、高圧側Ｘ１に配置されてもよく、低圧側Ｘ２に配置されてもよい。

【0025】

この傾斜部５０は、低圧側Ｘ２ほどＹ１側に配置されるように、回転軸Ａ方向に対して傾斜する。傾斜部５０は、流れ方向Ｘおよび対向方向Ｙに対して傾斜する。回転軸Ａ方向が流れ方向Ｘ、かつ、回転軸Ａが第２部材１２の内側に配置される場合（以下「回転軸Ａｘが第２部材１２の内側に配置される場合」）、低圧側Ｘ２ほど、傾斜部５０の径が大きい。上記「径」は、対向方向Ｙにおける、回転軸Ａからの距離である（以下の「径」についても同様）。例えば傾斜部５０の径は、対向方向Ｙにおける、回転軸Ａから傾斜部５０までの距離である。上記「第２部材１２の内側」は、第２部材１２のＹ１側部分（表面）よりもＹ２側（径方向内側）の部分である。図１に示す例では、回転軸Ａｘの位置に、第２部材１２を構成する物体（例えば金属など）が存在するが、存在しなくてもよい（空洞でもよい）。直交方向Ｚから見たとき、傾斜部５０は、直線状でもよく、曲線状でもよく、直線と曲線とを組み合わせた形状などでもよい。傾斜部５０は、頂点部５０ｔを備える。

【0026】

頂点部５０ｔは、傾斜部５０のＹ１側の端部である。頂点部５０ｔは、傾斜部５０の低圧側Ｘ２の端部である。頂点部５０ｔは、低圧側フィン先端部３２ｔおよび高圧側フィン先端部３１ｔのうちＹ２側に配置される端部よりも、Ｙ１側に配置される。図１に示す例では、頂点部５０ｔは、低圧側フィン先端部３２ｔおよび高圧側フィン先端部３１ｔのそれぞれよりも、Ｙ１側に配置される。なお、図１では、低圧側フィン先端部３２ｔおよび高圧側フィン先端部３１ｔの対向方向Ｙ位置が同じである。この場合は、上記「低圧側フィン先端部３２ｔおよび高圧側フィン先端部３１ｔのうちＹ２側に配置される端部」は、低圧側フィン先端部３２ｔまたは高圧側フィン先端部３１ｔのどちらでもよい。

【0027】

高圧側段部６０は、第２部材１２のＹ１側部分（例えば表面）を構成する。高圧側段部６０は、傾斜部５０の高圧側Ｘ１端部から高圧側Ｘ１に延びる。高圧側段部６０の低圧側Ｘ２端部は、傾斜部５０の高圧側Ｘ１端部につながれる（連続する）。直交方向Ｚから見たとき、高圧側段部６０は、直線状でもよく、複数の直線を組み合わせた形状（折れ線状）でもよく、曲線状でもよく、直線と曲線とを組み合わせた形状でもよい（低圧側段部７０も同様）。高圧側段部６０は、高圧側傾斜部６１と、高圧側フィン対向部６３と、を備える。

【0028】

高圧側傾斜部６１は、低圧側Ｘ２ほどＹ２側に配置されるように回転軸Ａ方向に対して傾斜する。回転軸Ａｘが第２部材１２の内側に配置される場合、高圧側傾斜部６１の径は、低圧側Ｘ２ほど小さい（低圧側傾斜部７１の径についても同様）。

【0029】

高圧側フィン対向部６３は、高圧側段部６０のうち、高圧側フィン先端部３１ｔと対向方向Ｙに対向する部分である。図１に示す例では、高圧側フィン対向部６３は、高圧側傾斜部６１の一部である。高圧側フィン対向部６３は、高圧側傾斜部６１の一部でなくてもよい（図４参照）。

【0030】

低圧側段部７０は、第２部材１２のＹ１側部分（例えば表面）を構成する。低圧側段部７０は、傾斜部５０の低圧側Ｘ２端部（頂点部５０ｔ）から低圧側Ｘ２に延びる。低圧側段部７０の高圧側Ｘ１端部は、傾斜部５０の低圧側Ｘ２端部（頂点部５０ｔ）につながれる（連続する）。低圧側段部７０の形状は、高圧側段部６０の形状と同様でもよく、高圧側段部６０の形状と相違してもよい。低圧側段部７０は、低圧側傾斜部７１と、低圧側フィン対向部７３と、を備える。

【0031】

低圧側傾斜部７１は、低圧側Ｘ２ほどＹ２側に配置されるように回転軸Ａ方向に対して傾斜する。低圧側フィン対向部７３は、低圧側段部７０のうち低圧側フィン先端部３２ｔと対向方向Ｙに対向する部分である。図１に示す例では、低圧側フィン対向部７３は、低圧側傾斜部７１の一部である。低圧側フィン対向部７３は、低圧側傾斜部７１の一部でなくてもよい（図４参照）。

【0032】

（谷部８１および山部８３）
高圧側傾斜部６１が、傾斜部５０の高圧側Ｘ１端部につながれ、かつ、低圧側傾斜部７１が、傾斜部５０の低圧側Ｘ２端部につながれる場合について説明する。この場合、ラビリンスシール３０は、いわば傾斜ステップシールを形成する。この場合、ラビリンスシール３０は、谷部８１と、山部８３と、を備える。谷部８１は、傾斜部５０と高圧側傾斜部６１とにより形成される。山部８３は、傾斜部５０と低圧側傾斜部７１とにより形成される。谷部８１および山部８３のそれぞれは、１つのラビリンスシール３０に１つずつ設けられる。山部８３は、谷部８１よりも低圧側Ｘ２に配置される。回転軸Ａｘが第２部材１２の内側に配置される場合、第２部材１２のＹ１側部分（表面）の径は、低圧側Ｘ２に向かうにしたがって、減少した後に増加し（谷部８１）、増加した後に減少する（山部８３）。

【0033】

直交方向Ｚから見たとき、谷部８１の角度（高圧側傾斜部６１と傾斜部５０とがなす角度）は、９０°以上でもよく、９０°未満でもよい。直交方向Ｚから見たとき、山部８３の角度（傾斜部５０と低圧側傾斜部７１とが成す角度）は、９０°以上でもよく、９０°未満でもよい。

【0034】

（流体の流れ）
隙間１５を流れる流体は、例えば次のように流れる。高圧側フィン３１よりも高圧側Ｘ１の流体は、低圧側Ｘ２に流れ、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側段部６０（高圧側フィン対向部６３）との間を流れる。高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側フィン対向部６３との間を通り、高圧側フィン先端部３１ｔよりも低圧側Ｘ２に流れる（流入する）流体の流れを、流入流れｆ６３とする。流入流れｆ６３は、高圧側段部６０に沿って流れ、傾斜部５０に当たる。よって、この流体は、傾斜部５０の近傍で、傾斜部５０に沿うように、低圧側Ｘ２に流れながら、Ｙ１側に流れる。例えば、流体が、谷部８１から山部８３へ、吹き上げられる。傾斜部５０の近傍で、低圧側Ｘ２かつＹ１側に、流れ方向Ｘに対して傾いた向きに流れる流れを、流れｆ５０とする。流れｆ５０は、渦Ｖ１に合流（流入）する。この流体は、頂点部５０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れる。この流体は、渦Ｖ１と漏れ流れｆ７３とに分岐する。

【0035】

渦Ｖ１は、次のように流れる。低圧側フィン側面３２ａに向かってＸ２側に流れ、低圧側フィン側面３２ａに当たった流体は、Ｙ１側に向きを変え、面４０に当たり、高圧側Ｘ１に向きを変え、高圧側フィン側面３１ｂに当たり、Ｙ２側に向きを変える。この流体は、高圧側段部６０および傾斜部５０の近傍の、低圧側Ｘ２に向かう流れに近づき、低圧側Ｘ２に向きを変える。この流体は、傾斜部５０の頂点部５０ｔの近傍を通り、低圧側Ｘ２に流れる。

【0036】

漏れ流れｆ７３は、次のように流れる。低圧側フィン側面３２ａに向かってＸ２側に流れる流体の一部は、Ｙ２側に向きを変える。この流体は、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側段部７０（低圧側フィン対向部７３）との間を通り、低圧側フィン３２よりも低圧側Ｘ２に流れる（漏れる）。

【0037】

渦Ｖ１により、流体間摩擦が生じ、流体のエネルギー損失が生じる。上記「流体間摩擦」には、流体どうしの摩擦だけでなく、流速がゼロの流体とみなせる物と流体との摩擦も含まれる。上記「流速がゼロの流体とみなせる物」には、低圧側フィン３２、面４０、高圧側フィン３１、高圧側段部６０、傾斜部５０、および、低圧側段部７０が含まれる。

【0038】

ここで、回転軸Ａｘが第２部材１２の内側に配置される場合、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側フィン対向部７３との間の空間（漏れ流れｆ７３が通る空間）は、回転軸Ａｘを中心とするリング状である。そのため、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側フィン対向部７３との間隔が同じでも、低圧側フィン対向部７３の径が小さいほど、漏れ流れｆ７３が通る空間の面積が小さくなり、漏れ流れｆ７３を減らすことができる。ラビリンスシール３０では、低圧側傾斜部７１が設けられる。よって、低圧側フィン対向部７３の径を、頂点部５０ｔの径よりも小さくできる。よって、低圧側フィン対向部７３の径が、頂点部５０ｔの径と同じである場合に比べ、漏れ流れｆ７３を減らすことができる。

【0039】

回転軸Ａｘが第２部材１２の内側に配置される場合、高圧側傾斜部６１が設けられることで、傾斜部５０をＹ２側に配置できる。さらに詳しくは、高圧側傾斜部６１が設けられる場合は、高圧側傾斜部６１が設けられない場合に比べ、傾斜部５０の高圧側Ｘ１端部の位置を、Ｙ２側にできる。例えば、傾斜部５０および低圧側段部７０の形状が同じでも、傾斜部５０をＹ２側に配置するほど、低圧側フィン対向部７３をＹ２側に配置できる。よって、高圧側傾斜部６１が設けられることで、低圧側フィン対向部７３の径を小さくできる。その結果、漏れ流れｆ７３を減らせる。

【0040】

図１に示すラビリンスシール３０による効果は次の通りである。

【0041】

（第１の発明の効果）
［構成１−１］ラビリンスシール３０は、回転機械１に設けられる。回転機械１は、第１部材１１と、第２部材１２と、隙間１５と、を備える。第２部材１２は、第１部材１１に対向し、第１部材１１に対して回転軸Ａを中心に回転する。隙間１５は、第１部材１１と第２部材１２との間に形成され、第１部材１１と第２部材１２とが対向する方向（対向方向Ｙ）に直交する方向である流れ方向Ｘの高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に流体が流れるように構成される。第１部材１１と第２部材１２とが対向する方向を、対向方向Ｙとする。対向方向Ｙにおいて第２部材１２から第１部材１１に向かう側を、Ｙ１側（対向方向第１側）とする。対向方向Ｙにおいて第１部材１１から第２部材１２に向かう側をＹ２側（対向方向第２側）とする。回転軸Ａが延びる方向である回転軸Ａ方向は、対向方向Ｙまたは流れ方向Ｘに一致する。ラビリンスシール３０は、高圧側フィン３１と、低圧側フィン３２と、傾斜部５０と、高圧側段部６０と、低圧側段部７０と、を備える。高圧側フィン３１は、第１部材１１から第２部材１２に向かって延びる。低圧側フィン３２は、第１部材１１から第２部材１２に向かって延び、高圧側フィン３１よりも低圧側Ｘ２に配置される。

【0042】

［構成１−２］傾斜部５０は、第２部材１２のＹ１側部分を構成し、高圧側フィン３１の先端部（高圧側フィン先端部３１ｔ）よりも低圧側Ｘ２に配置され、低圧側フィン３２の先端部（低圧側フィン先端部３２ｔ）よりも高圧側Ｘ１に配置される。傾斜部５０は、低圧側Ｘ２ほどＹ１側に配置されるように回転軸Ａ方向に対して傾斜する。高圧側段部６０は、第２部材１２のＹ１側部分を構成し、傾斜部５０の高圧側Ｘ１端部から高圧側Ｘ１に延びる。低圧側段部７０は、第２部材１２のＹ１側部分を構成し、傾斜部５０の低圧側Ｘ２端部から低圧側Ｘ２に延びる。

【0043】

上記［構成１−１］のラビリンスシール３０では、高圧側フィン３１と低圧側フィン３２との間、かつ、第１部材１１と第２部材１２との間の空間に、渦Ｖ１ができる。渦Ｖ１のＹ２側部分は、低圧側Ｘ２に流れる。ここで、ラビリンスシール３０は、上記［構成１−２］を備える。よって、高圧側段部６０に沿うように流れる流体は、傾斜部５０の近傍で、傾斜部５０に沿うような流れｆ５０を形成する。よって、この流れｆ５０は、低圧側Ｘ２に流れながら、Ｙ１側に流れる。そして、この流れｆ５０（低圧側Ｘ２の成分を有する流れ）が、渦Ｖ１のＹ２側部分（低圧側Ｘ２への流れ）に流入する。よって、傾斜部５０が設けられない場合に比べ、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失（摩擦損失）を増やすことができる。よって、ラビリンスシール３０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0044】

（第２の発明の効果）
［構成２］傾斜部５０のＹ１側の端部は、高圧側フィン３１のＹ２側の端部（高圧側フィン先端部３１ｔ）および低圧側フィン３２のＹ２側の端部（低圧側フィン先端部３２ｔ）のうちＹ２側に配置される端部よりも、Ｙ１側に配置される。

【0045】

上記［構成２］により、高圧側フィン先端部３１ｔと第２部材１２との間から、低圧側フィン先端部３２ｔと第２部材１２との間へ、流体が直線状に流れる（吹き抜ける）ことを防げる。よって、ラビリンスシール３０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0046】

（第５の発明の効果）
［構成５］回転軸Ａ方向は、流れ方向Ｘである。回転軸Ａは、第２部材１２の内側に配置される（回転軸Ａｘ参照）。低圧側段部７０は、低圧側傾斜部７１を備える。低圧側傾斜部７１は、低圧側Ｘ２ほどＹ２側に配置されるように回転軸Ａ方向に対して傾斜する。

【0047】

上記［構成５］により、簡易な構成で、低圧側段部７０の径を、低圧側Ｘ２ほど小さくできる。その結果、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側段部７０との間の空間（漏れ流れｆ７３が通る空間）の面積を小さくできる。よって、簡易な構成で、ラビリンスシール３０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0048】

（第６の発明の効果）
［構成６］回転軸Ａ方向は、流れ方向Ｘである。回転軸Ａは、第２部材１２の内側に配置される（回転軸Ａｘ参照）。高圧側段部６０は、高圧側傾斜部６１を備える。高圧側傾斜部６１は、低圧側Ｘ２ほどＹ２側に配置されるように回転軸Ａ方向に対して傾斜する。

【0049】

上記［構成６］により、簡易な構成で、高圧側段部６０の径を、低圧側Ｘ２ほど小さくできる。その結果、傾斜部５０をＹ２側に配置しやすい。その結果、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側段部７０との間の空間（漏れ流れｆ７３が通る空間）の面積を小さくできる。よって、簡易な構成で、ラビリンスシール３０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0050】

（第９の発明の効果）
［構成９］面４０は、次のように構成される。面４０は、第１部材１１のＹ２側の面のうち、高圧側フィン３１の低圧側Ｘ２の面（高圧側フィン側面３１ｂ）から低圧側フィン３２の高圧側Ｘ１の面（低圧側フィン側面３２ａ）までをつなぐ。面４０は、対向方向Ｙおよび流れ方向Ｘのそれぞれに直交する方向（直交方向Ｚ）から見たとき、直線状または弧状である。

【0051】

上記［構成９］により、直交方向Ｚから見たときに面４０が屈曲している場合などに比べ、渦Ｖ１が、面４０に沿うように流れやすい。よって、渦Ｖ１の流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失（摩擦損失）を増やすことができる。よって、ラビリンスシール３０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0052】

（第１０の発明の効果）
［構成１０］第１部材１１は、静止体である。

【0053】

第１部材１１の、高圧側フィン３１および低圧側フィン３２が設けられる部分は、第２部材１２の、傾斜部５０などが設けられる部分よりも、複雑な形状になりやすい。そこで、上記［構成１０］では、複雑な形状になりやすい第１部材１１を静止させ、第２部材１２を回転させることができる。

【0054】

（第２実施形態）
図２を参照して、第２実施形態のラビリンスシール２３０について、第１実施形態との相違点を説明する。なお、第２実施形態のラビリンスシール２３０のうち、第１実施形態との共通点については、第１実施形態と同一の符号を付すなどして、説明を省略した。共通点の説明を省略する点については他の実施形態の説明も同様である。第１実施形態との主な相違点は、高圧側フィン先端部３１ｔ、低圧側フィン先端部３２ｔ、および頂点部５０ｔの配置である。

【0055】

本実施形態では、回転軸Ａ方向は、流れ方向Ｘである。回転軸Ａは、第２部材１２の内側に配置されてもよく（回転軸Ａｘ参照）、第１部材１１の内側に配置されてもよい。例えば、第１部材１１が円筒状の部材であり、第２部材１２が第１部材１１よりも小径の小径部材（例えば円柱など）である。また、例えば、第２部材１２が円筒状の部材であり、第１部材１１が第２部材１２よりも小径の小径部材（例えば円柱など）でもよい。

【0056】

高圧側フィン先端部３１ｔおよび低圧側フィン先端部３２ｔは、次のように配置される。高圧側フィン先端部３１ｔの対向方向Ｙ位置と、低圧側フィン先端部３２ｔの対向方向Ｙ位置とは、図１に示す例では同じ位置（対向方向Ｙ位置が同じ）であるが、図２に示すように、本実施形態では異なる位置である。図２に示す例では、低圧側フィン先端部３２ｔは、高圧側フィン先端部３１ｔよりもＹ２側に配置される。

【0057】

頂点部５０ｔは、第１実施形態と同様に、低圧側フィン先端部３２ｔおよび高圧側フィン先端部３１ｔのうちＹ２側に配置される端部（図２では低圧側フィン先端部３２ｔ）よりも、Ｙ１側に配置される。また、頂点部５０ｔは、第１部材１１と第２部材１２との組み立てが容易になるように配置される。具体的には、頂点部５０ｔは、低圧側フィン先端部３２ｔおよび高圧側フィン先端部３１ｔのうちＹ１側に配置される端部（図２では高圧側フィン先端部３１ｔ）よりも、Ｙ２側に配置される。図２に示す例では、頂点部５０ｔは、高圧側フィン先端部３１ｔよりもＹ２側に配置され、低圧側フィン先端部３２ｔよりもＹ１側に配置される。

【0058】

（組み立て）
図２に示す例では、第１部材１１と第２部材１２との組み立て（組み付け）は、次のように行われる。第１部材１１に高圧側フィン３１および低圧側フィン３２が設けられた状態、かつ、第２部材１２に傾斜部５０、高圧側段部６０、および低圧側段部７０が設けられた状態とされる。その後、第１部材１１に対して第２部材１２を、流れ方向Ｘ（回転軸Ａ方向）に移動（相対移動）させる。このとき、円筒状の部材（例えば第１部材１１）に、小径部材（例えば第２部材１２）が差し込まれる。すなわち、円筒状の部材が、小径部材の径方向外側に送り込まれる。すると、頂点部５０ｔは、高圧側フィン３１よりも高圧側Ｘ１から、高圧側フィン３１よりも低圧側Ｘ２に、高圧側フィン３１よりもＹ２側の位置（径方向内側または径方向外側の位置）で移動する。そして、頂点部５０ｔが、高圧側フィン３１と低圧側フィン３２との流れ方向Ｘにおける間の所定位置に配置される。この組み立てでは、第１部材１１を分割する必要がなく、第２部材１２を分割する必要がない。よって、第１部材１１と第２部材１２とを容易に組み立てできる。

【0059】

なお、頂点部５０ｔが高圧側フィン先端部３１ｔよりもＹ１側に配置される場合（図１参照）など、上記の組み立てができない場合がある。この場合は、第１部材１１および第２部材１２の少なくともいずれかが、複数に分割される。そして、第１部材１１と第２部材１２とが組み合わされた（はめ込まれた）後、分割された部分が結合（固定）される。

【0060】

（漏れ流れｆ７３が通る空間）
低圧側フィン対向部７３は、高圧側フィン対向部６３よりも回転軸Ａに近い。すなわち、低圧側フィン対向部７３の径は、高圧側フィン対向部６３の径よりも小さい。よって、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側フィン対向部７３との間の空間（漏れ流れｆ７３が通る空間）の面積は、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側フィン対向部６３との間の空間（流入流れｆ６３が通る空間）の面積よりも小さい。よって、漏れ流れｆ７３を減らすことができる。ここで、図２に示す例では、回転軸Ａ（回転軸Ａｘ）は、第２部材１２の内側に配置され、低圧側フィン対向部７３は、高圧側フィン対向部６３よりもＹ２側に配置される。一方、回転軸Ａが、流れ方向Ｘであり、かつ、第１部材１１の内側に配置される場合には、低圧側フィン対向部７３は、高圧側フィン対向部６３よりもＹ１側に配置されてもよい。この場合も、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側フィン対向部７３との間の空間の面積を、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側フィン対向部６３との間の空間の面積よりも小さくできる。

【0061】

図２に示すラビリンスシール２３０による効果は次の通りである。

【0062】

（第３の発明の効果）
［構成３］傾斜部５０のＹ１側の端部（頂点部５０ｔ）は、高圧側フィン３１のＹ２側の端部（高圧側フィン先端部３１ｔ）および低圧側フィン３２のＹ２側の端部（低圧側フィン先端部３２ｔ）のうちＹ１側に配置される端部よりも、Ｙ２側に配置される。

【0063】

ラビリンスシール２３０は、上記［構成３］を備える。よって、第１部材１１と第２部材１２とを組み立てるときに、次の効果が得られる。高圧側フィン先端部３１ｔおよび低圧側フィン先端部３２ｔのうちＹ１側に配置される端部が、高圧側フィン先端部３１ｔの場合は、次の作用が得られる。第１部材１１に対して第２部材１２を流れ方向Ｘ（回転軸Ａの方向）に移動させると、頂点部５０ｔを、高圧側フィン３１よりも高圧側Ｘ１から、高圧側フィン３１よりも低圧側Ｘ２に、高圧側フィン３１よりもＹ２側の位置で、移動させることができる。また、高圧側フィン先端部３１ｔおよび低圧側フィン先端部３２ｔのうちＹ１側に配置される端部が、低圧側フィン先端部３２ｔの場合は、次の作用が得られる。第１部材１１に対して第２部材１２を流れ方向Ｘ（回転軸Ａの方向）に移動させると、頂点部５０ｔを、低圧側フィン３２よりも低圧側Ｘ２から、低圧側フィン３２よりも高圧側Ｘ１に、低圧側フィン３２よりもＹ２側の位置で、移動させることができる。よって、第１部材１１と第２部材１２との組み立てを行う際に、第１部材１１を分割する必要がなく、第２部材１２を分割する必要がない。よって、第１部材１１と第２部材１２との組み立てを容易に行える。

【0064】

ここで、傾斜部５０を設けない場合や、上記［構成２］の条件を満たさない場合は、第１部材１１と第２部材１２とを容易に組み立て得る。しかし、高圧側フィン先端部３１ｔと第２部材１２との間から、低圧側フィン先端部３２ｔと第２部材１２との間へ、流体が直線状に流れ（吹き抜け）、流体の漏れ量が多くなるおそれがある。一方、ラビリンスシール２３０は、上記［構成２］および［構成３］を備える。よって、傾斜部５０によって流体の漏れ量を抑制でき、かつ、第１部材１１と第２部材１２とを容易に組み立てできる。

【0065】

（第７の発明の効果）
［構成７］回転軸Ａ方向は、流れ方向Ｘである。低圧側段部７０のうち、低圧側フィン３２のＹ２側の端部と対向方向Ｙに対向する部分（低圧側フィン対向部７３）は、高圧側段部６０のうち、高圧側フィン３１のＹ２側の端部と対向する部分（高圧側フィン対向部６３）よりも、回転軸Ａに近い。

【0066】

上記［構成７］により、高圧側フィン３１と高圧側フィン対向部６３との間の空間の面積に比べ、低圧側フィン３２と低圧側フィン対向部７３との間の空間（漏れ流れｆ７３が通る空間）の面積を、小さくできる。よって、ラビリンスシール３０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0067】

（第３実施形態）
図３を参照して、第３実施形態のラビリンスシール３３０について、主に第２実施形態（図２参照）との相違点を説明する。主な相違点は、高圧側回転軸平行部３６５および低圧側回転軸平行部３７５を備える点である。

【0068】

第２部材１２は、第１部材１１に対して、回転軸Ａ方向（流れ方向Ｘ）に所定範囲内で移動（変位）可能である。第２部材１２は、第１部材１１に対して回転している時（稼働中）に、回転軸Ａ方向に移動する。上記の所定範囲は、第１部材１１に対して第２部材１２を回転可能に支持する軸受（図示なし）の、回転軸Ａ方向のクリアランス（隙間）の範囲である。高圧側段部６０は、高圧側回転軸平行部３６５を備える。低圧側段部７０は、低圧側回転軸平行部３７５を備える。

【0069】

高圧側回転軸平行部３６５は、第１部材１１に対して第２部材１２が回転軸Ａ方向に所定範囲内で移動したとき（以下「第２部材１２の変位時」）に、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側段部６０との間隔を一定（略一定を含む）に保つための部分である。高圧側回転軸平行部３６５は、第１部材１１に対して第２部材１２が最もＸ１側に配置された状態から、最もＸ２側に配置された状態まで、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側回転軸平行部３６５との間隔が一定に保たれるように構成される。高圧側回転軸平行部３６５は、高圧側段部６０のうち、第２部材１２の変位時に高圧側フィン先端部３１ｔと対向する部分（高圧側フィン対向部６３）に配置される。高圧側回転軸平行部３６５の回転軸Ａ方向における長さは、第１部材１１に対して第２部材１２が回転軸Ａ方向に移動可能な長さ（所定範囲の長さ）よりも長くてもよい。高圧側回転軸平行部３６５は、高圧側段部６０の少なくとも一部（図３では全体）に設けられる。高圧側回転軸平行部３６５は、回転軸Ａと平行である（平行に延びる）。直交方向Ｚから見たとき、高圧側回転軸平行部３６５は、回転軸Ａと平行な直線状であり、いわば平坦である（低圧側回転軸平行部３７５も同様）。高圧側回転軸平行部３６５は、第１部材１１に対する第２部材１２の移動方向ベクトルと平行に延びる（低圧側回転軸平行部３７５も同様）。

【0070】

低圧側回転軸平行部３７５は、第２部材１２の変位時に、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側段部７０との間隔を一定（略一定を含む）に保つための部分である。低圧側回転軸平行部３７５は、第１部材１１に対して第２部材１２が最もＸ１側に配置された状態から、最もＸ２側に配置された状態まで、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側回転軸平行部３７５との間隔が一定に保たれるように構成される。低圧側回転軸平行部３７５は、低圧側段部７０のうち、第２部材１２の変位時に低圧側フィン先端部３２ｔと対向する部分（低圧側フィン対向部７３）に配置される。低圧側回転軸平行部３７５の回転軸Ａ方向における長さは、第１部材１１に対して第２部材１２が回転軸Ａ方向に移動可能な長さ（所定範囲の長さ）よりも長くてもよい。低圧側回転軸平行部３７５は、低圧側段部７０の少なくとも一部（図３では一部）に配置される。低圧側回転軸平行部３７５は、回転軸Ａと平行である（平行に延びる）。

【0071】

（第４の発明の効果）
図３に示すラビリンスシール３３０による効果は次の通りである。回転軸Ａ方向は、流れ方向Ｘである。第２部材１２は、第１部材１１に対して、回転軸Ａ方向に所定範囲内で移動可能である。

【0072】

［構成４］高圧側段部６０は、高圧側回転軸平行部３６５を備える。高圧側回転軸平行部３６５は、第１部材１１に対して第２部材１２が回転軸Ａ方向に所定範囲内で移動したときに、高圧側フィン３１のＹ２側の端部（高圧側フィン先端部３１ｔ）と対向する部分（高圧側フィン対向部６３）に配置される。高圧側回転軸平行部３６５は、回転軸Ａと平行である。低圧側段部７０は、低圧側回転軸平行部３７５を備える。低圧側回転軸平行部３７５は、第１部材１１に対して第２部材１２が回転軸Ａ方向に所定範囲内で移動したときに、低圧側フィン３２のＹ２側の端部（低圧側フィン先端部３２ｔ）と対向する部分（低圧側フィン対向部７３）に配置される。低圧側回転軸平行部３７５は、回転軸Ａと平行である。

【0073】

上記［構成４］により、第１部材１１に対して第２部材１２が回転軸Ａ方向に所定範囲内で移動したとき（第２部材１２の変位時）に、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側回転軸平行部３６５との対向方向Ｙにおける間隔を一定にできる。また、第２部材１２の変位時に、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側回転軸平行部３７５との対向方向Ｙにおける間隔を一定にできる。よって、第２部材１２の変位時に、高圧側フィン先端部３１ｔと高圧側回転軸平行部３６５との間を通る流入流れｆ６３、および、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側回転軸平行部３７５との間を通る漏れ流れｆ７３の量を一定にしやすい。

【0074】

（第４実施形態）
図４を参照して、第４実施形態のラビリンスシール４３０について、主に第３実施形態（図３参照）との相違点を説明する。図３に示す例では、高圧側段部６０は、高圧側回転軸平行部３６５を備えるが、図４に示す高圧側傾斜部６１を備えなかった。一方、本実施形態では、高圧側段部６０は、高圧側回転軸平行部３６５および高圧側傾斜部６１を備える。高圧側傾斜部６１は、高圧側回転軸平行部３６５よりも低圧側Ｘ２に配置され、傾斜部５０よりも高圧側Ｘ１に配置される。

【0075】

（第５実施形態）
図５を参照して、第５実施形態のラビリンスシール５３０について、主に第３実施形態（図３参照）との相違点を説明する。相違点は、低圧側フィン５３２の構成である。

【0076】

低圧側フィン５３２では、低圧側フィン先端部３２ｔは、低圧側フィン基端部３２ｐよりも高圧側Ｘ１に配置される。低圧側フィン５３２の低圧側フィン側面５３２ａのＹ２側端部は、低圧側フィン側面５３２ａのＹ１側端部よりも、高圧側Ｘ１に配置される。例えば、低圧側フィン側面５３２ａは、Ｙ２側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜する。低圧側フィン側面５３２ａのうち、傾斜部５０の頂点部５０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れる流体が当たる部分は、上記のように対向方向Ｙに対して傾斜する。例えば、低圧側フィン側面５３２ａの全体が、上記のように対向方向Ｙに対して傾斜してもよい。

【0077】

（流体の流れ）
第３実施形態（図３参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。傾斜部５０の頂点部５０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れる流体は、低圧側フィン側面５３２ａに当たる。このとき、低圧側フィン先端部３２ｔは、低圧側フィン基端部３２ｐよりも高圧側Ｘ１に配置されるので、この流体は、Ｙ２側よりもＹ１側に流れやすい。また、低圧側フィン側面５３２ａは、Ｙ２側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜しているので、この流体は、Ｙ２側よりもＹ１側に流れやすい。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができ、また、渦Ｖ１から漏れ流れｆ７３に分岐する流体の流量を減らせる。

【0078】

図５に示すラビリンスシール５３０による効果は次の通りである。

【0079】

（第８の発明の効果）
［構成８］低圧側フィン５３２のＹ２側の端部（低圧側フィン先端部３２ｔ）は、低圧側フィン５３２のＹ１側の端部（低圧側フィン基端部３２ｐ）よりも高圧側Ｘ１に配置される。

【0080】

上記［構成８］により、低圧側フィン５３２に向かって低圧側Ｘ２に流れる流体が、Ｙ１側に流れやすい。よって、渦Ｖ１の流量および流速をより増やすことができ、渦Ｖ１による流体間摩擦をより増やすことができ、流体のエネルギー損失をより増やすことができる。よって、ラビリンスシール５３０での流体の漏れ量をより抑制できる。また、低圧側フィン５３２に向かって低圧側Ｘ２に流れる流体が、Ｙ２側に流れにくい。よって、低圧側フィン先端部３２ｔと低圧側段部７０との間から流体が漏れにくい（漏れ流れｆ７３を減らせる）。よって、ラビリンスシール５３０での流体の漏れ量をより抑制できる。

【0081】

（第６実施形態）
図６を参照して、第６実施形態のラビリンスシール構造６２０について、上記の各実施形態との相違点を説明する。ラビリンスシール構造６２０は、ラビリンスシール６３０が、流れ方向Ｘに連続して配置されたものである。

【0082】

複数のラビリンスシール６３０のそれぞれは、第１〜第５実施形態、および、後述する第７〜第８実施形態のいずれかのラビリンスシールである。例えば、図６に示す例では、４つのラビリンスシール６３０のそれぞれの構造は、図５に示す第５実施形態のラビリンスシール５３０の構造とほぼ同じである。

【0083】

図６に示すように、流れ方向Ｘに隣り合うラビリンスシール６３０のうち、高圧側Ｘ１に配置されるものをラビリンスシール６３０−１、低圧側Ｘ２に配置されるものをラビリンスシール６３０−２とする。高圧側Ｘ１のラビリンスシール６３０−１の低圧側フィン５３２は、低圧側Ｘ２のラビリンスシール６３０−２の高圧側フィン３１と兼用される。高圧側Ｘ１のラビリンスシール６３０−１の低圧側段部７０（図では低圧側回転軸平行部３７５）は、低圧側Ｘ２のラビリンスシール６３０−２の高圧側段部６０（図では高圧側回転軸平行部３６５）と連続する。高圧側Ｘ１のラビリンスシール６３０−１の面４０は、低圧側Ｘ２のラビリンスシール６３０の面４０に対してＹ１側に配置される。その結果、第１部材１１のＹ２側部分は、階段状である。なお、第１部材１１は、階段状でなくてもよい。各ラビリンスシール６３０において、低圧側段部７０の大部分は、高圧側段部６０よりもＹ２側に配置される。その結果、第２部材１２のＹ１側部分は、略階段状である。回転軸Ａｘ（図５参照）が第２部材１２の内側に配置される場合、低圧側フィン対向部７３の径は、低圧側Ｘ２ほど小さい。よって、低圧側Ｘ２ほど、漏れ流れｆ７３（図５参照）が通る空間の面積が小さくなり、漏れ流れｆ７３を減らすことができる。

【0084】

図６に示すラビリンスシール構造６２０による効果は次の通りである。

【0085】

（第１１の発明の効果）
［構成１１］ラビリンスシール構造６２０は、ラビリンスシール６３０が流れ方向Ｘに連続して配置されたものである。

【0086】

上記［構成１１］により、ラビリンスシール６３０が１つのみ設けられる場合に比べ、ラビリンスシール構造６２０での流体の流路を長くできる。よって、流体のエネルギー損失（摩擦損失）を増やすことができる。よって、ラビリンスシール構造６２０での流体の漏れ量を抑制できる。

【0087】

（第７実施形態）
図７を参照して、第７実施形態のラビリンスシール７３０について、主に第５実施形態（図５参照）との相違点を説明する。相違点は、低圧側フィン７３２などの形状である。

【0088】

低圧側フィン７３２の低圧側フィン側面７３２ａは、直交方向Ｚから見たとき、低圧側Ｘ２およびＹ２側に凸の弧状である。上記「弧状」は、円弧状でもよく、略円弧状でもよく、楕円弧状でもよく、略楕円弧状でもよい（他の「弧状」についても同様）。直交方向Ｚから見たとき、低圧側フィン側面７３２ａの、一部が弧状でもよく、全体が弧状でもよい。直交方向Ｚから見たとき、低圧側フィン７３２は、低圧側Ｘ２およびＹ２側に凸の弧状である。

【0089】

なお、図７では、ラビリンスシール７３０が流れ方向Ｘに連続する場合を図示した。その結果、高圧側フィン３１は、低圧側フィン７３２と同じ形状（弧状）である。高圧側フィン３１の形状は、低圧側フィン７３２の形状と相違してもよい（以下の実施形態も同様）。

【0090】

（流体の流れ）
第５実施形態（図５参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。渦Ｖ１は、低圧側フィン側面７３２ａに沿って流れる。直交方向Ｚから見たとき、図５に示すように低圧側フィン側面５３２ａが直線状の場合に比べ、図７に示す低圧側フィン側面７３２ａは、渦Ｖ１の流れに沿った形状である。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール７３０での流体の漏れ量をより抑制できる。

【0091】

（第８実施形態）
図８を参照して、第８実施形態のラビリンスシール８３０について、主に第５実施形態との相違点を説明する。相違点は、第１部材１１の面８４０の形状である。

【0092】

面８４０は、直交方向Ｚから見たとき、弧状である（「弧状」の詳細は第７実施形態の説明を参照）。面８４０は、Ｙ１側に凸の弧状である。

【0093】

（流体の流れ）
第５実施形態（図５参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。渦Ｖ１は、面８４０に沿って流れる。直交方向Ｚから見たとき、図５に示すように面４０が直線状の場合に比べ、図５に示す面８４０は、渦Ｖ１の流れに沿った形状である。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール８３０での流体の漏れ量をより抑制できる。

【0094】

なお、直交方向Ｚから見たとき、面８４０は、Ｙ２側に凸の弧状でもよい。

【0095】

（漏れ量の比較）
図９に示す例１のラビリンスシール構造９２０、および、図１１に示す例２について、流体の漏れ量を比較した。例１および例２では、回転軸Ａ（図４などを参照）の方向は、流れ方向Ｘである。

【0096】

図９に示すように、例１のラビリンスシール構造９２０は、ラビリンスシール９３０が流れ方向Ｘに連続して配置されたものである。図４に示す第４実施形態のラビリンスシール４３０に対する、図９に示すラビリンスシール９３０の相違点は次の通りである。高圧側フィン９３１および低圧側フィン９３２のそれぞれは、Ｙ２側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように対向方向Ｙに対して傾斜する。高圧側フィン９３１および低圧側フィン９３２のそれぞれの厚さは、先端側（Ｙ２側）ほど薄くなる。面４０は、低圧側Ｘ２ほどＹ２側に配置されるように、流れ方向Ｘに対して傾斜する。

【0097】

図１１に示すように、例２（比較例）の構造Ｂ２０は、構造Ｂ３０が流れ方向Ｘに連続して配置されたものである。構造Ｂ３０の、図３に示すラビリンスシール３３０との相違点は次の通りである。構造Ｂ３０は、傾斜部５０を備えず、段差部１０５０を備える。構造Ｂ３０では、高圧側段部１０６０および低圧側段部１０７０のそれぞれは、流れ方向Ｘに平行である。低圧側段部１０７０は、高圧側段部１０６０よりもＹ２側に配置される。

【0098】

図１０に結果を示す。図１０に示すグラフでは、漏れ量（質量流量）を無次元化した。具体的には、例２（図１１参照）における漏れ量を１とした。例２に比べ、例１（図９参照）では、漏れ量を１３％低減できた。

【0099】

（変形例）
上記実施形態は様々に変形されてもよい。例えば、互いに異なる実施形態の構成要素どうしが組み合わされてもよい。例えば、各構成要素の配置や形状が変更されてもよい。例えば、構成要素の数が変更されてもよく、構成要素の一部が設けられなくてもよい。

【0100】

例えば、図８に示す第８実施形態の、直交方向Ｚから見て弧状の面８４０が、第１〜第４、第６、および第７実施形態に適用されてもよい。例えば、図６に示す、ラビリンスシール構造６２０を構成する、複数のラビリンスシール６３０の構造は、相違してもよい。

【符号の説明】

【0101】

１ 回転機械
１１ 第１部材
１２ 第２部材
１５ 隙間
３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、６３０−１、６３０−２、７３０、８３０、９３０ ラビリンスシール
３１、９３１ 高圧側フィン
３２、５３２、７３２、９３２ 低圧側フィン
４０、８４０ 面
５０ 傾斜部
６０ 高圧側段部
６１ 高圧側傾斜部
７０ 低圧側段部
７１ 低圧側傾斜部
３６５ 高圧側回転軸平行部
３７５ 低圧側回転軸平行部
６２０、９２０ ラビリンスシール構造
Ａ、Ａｘ、Ａｙ 回転軸
Ｘ 流れ方向
Ｙ 対向方向
Ｙ１ 対向方向第１側
Ｙ２ 対向方向第２側

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】