特許 6825173 分析素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6825173

(24)【登録日】2021年1月18日

(45)【発行日】2021年2月3日

(54)【発明の名称】分析素子

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/00 20060101AFI20210121BHJP

【ＦＩ】

   G01N27/00 Z

【請求項の数】11

【全頁数】25

(21)【出願番号】特願2018-48605(P2018-48605)

(22)【出願日】2018年3月15日

(65)【公開番号】特開2019-158773(P2019-158773A)

(43)【公開日】2019年9月19日

【審査請求日】2019年8月15日

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）革新的研究開発推進プログラム（ＩｍＰＡＣＴ）「半導体技術を用いた高感度・高精度化学物質検出デバイス・システムの開発」委託研究、産業技術力強化法第１９条の適用を受ける特許出願

(73)【特許権者】

【識別番号】518437671

【氏名又は名称】アイポア株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000523

【氏名又は名称】アクシス国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】濱崎 浩史

(72)【発明者】

【氏名】小林 賢太郎

(72)【発明者】

【氏名】中村 直文

【審査官】 村田 顕一郎

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１６−５３５５８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１５／０７９５１０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１６／１８１４６５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１８／００２３１３４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２７／００−２７／１０

Ｇ０１Ｎ ２７／１４−２７／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１部材と、
第１〜第３孔を含む第１膜であって、前記第１部材から前記第１膜への方向は、第１方向に沿う、前記第１膜と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第１方向と交差する第２方向に延びる第１壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる第２壁部であって、前記第２壁部から前記第１壁部への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する、前記第２壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第２壁部との間に設けられた第３壁部であって、前記第３壁部は、第１〜第７部分を含み、前記第１部分から前記第４部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第２部分は、前記第１部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３部分は、前記第２部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第５部分は、前記第３方向において前記第２部分と前記第１壁部との間、及び、前記第３方向において前記第３部分と前記第１壁部との間に設けられ、前記第５部分は、前記第２部分及び前記第３部分と接続され、前記第６部分は、前記第３方向において前記第１部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第２部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第６部分は、前記第１部分及び前記第２部分と接続され、前記第７部分は、前記第３方向において前記第３部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第４部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第７部分は、前記第３部分及び前記第４部分と接続された、前記第３壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第１〜第３電極であって、前記第１電極は、前記第２方向において前記第１部分と前記第２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第６部分との間に設けられ、前記第２電極は、前記第２方向において前記第２部分と前記第３部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第５部分との間に設けられ、前記第３電極は、前記第２方向において前記第３部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第７部分との間に設けられた、前記第１〜第３電極と、
を備え、
分析対象の粒を含む導電性の検体液に流れる電流を測定可能な、分析素子。

【請求項2】

前記第２方向における前記第１孔の位置は、前記第２方向における前記第１部分の位置と、前記第２方向における前記第２部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第１孔の位置は、前記第３方向における前記第１壁部の位置と、前記第３方向における前記第６部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第２孔の位置は、前記第２方向における前記第２部分の位置と、前記第２方向における前記第３部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第２孔の位置は、前記第３方向における前記第２壁部の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第３孔の位置は、前記第２方向における前記第３部分の位置と、前記第２方向における前記第４部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第３孔の位置は、前記第３方向における前記第１壁部の位置と、前記第３方向における前記第７部分の位置と、の間に設けられた、請求項１記載の分析素子。

【請求項3】

前記第５部分の一部は、前記第３方向において前記第６部分と前記第１壁部との間に設けられ、
前記第１電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第５部分の前記一部と前記第６部分との間に設けられた、請求項１または２に記載の分析素子。

【請求項4】

前記第６部分の一部は、前記第３方向において前記第５部分と前記第２壁部との間に設けられ、
前記第２電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第６部分の前記一部と前記第５部分との間に設けられた、請求項１〜３のいずれか１つに記載の分析素子。

【請求項5】

前記第７部分の一部は、前記第３方向において前記第５部分と前記第２壁部との間に設けられ、
前記第２電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第７部分の前記一部と前記第５部分との間に設けられた、請求項１〜４のいずれか１つに記載の分析素子。

【請求項6】

前記第５部分の一部は、前記第３方向において前記第７部分と前記第１壁部との間に設けられ、
前記第３電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第５部分の前記一部と前記第７部分との間に設けられた、請求項１〜３のいずれか１つに記載の分析素子。

【請求項7】

前記第１部材、前記第１膜、前記第１壁部及び前記第５部分による第１空間は、前記第１部材、前記第１膜、前記第１部分、前記第２部分及び前記第６部分による第２空間と繋がり、
前記第１空間は、前記第１部材、前記第１膜、前記第３部分、前記第４部分及び前記第７部分による第３空間と繋がり、
前記第１部材、前記第１膜、前記第２壁部、前記第６部分及び前記第７部分による第４空間は、前記第１部材、前記第１膜、前記第２部分、前記第３部分及び前記第５部分による第５空間と繋がる、請求項１〜６のいずれか１つに記載の分析素子。

【請求項8】

前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる第４壁部であって、前記第３方向において前記第３壁部と前記第４壁部との間に前記第２壁部が設けられた、前記第４壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第４壁部との間に設けられた第５壁部であって、前記第５壁部は、第９〜第１５部分を含み、前記第９部分から前記第１２部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第１０部分は、前記第９部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１１部分は、前記第１０部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第３方向において前記第１０部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１１部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第１０部分及び前記第１１部分と接続され、前記第１４部分は、前記第３方向において前記第９部分と前記第４壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１０部分と前記第４壁部との間に設けられ、前記第１４部分は、前記第９部分及び前記第１０部分と接続され、前記第１５部分は、前記第３方向において前記第１１部分と前記第４壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１２部分と前記第４壁部との間に設けられ、前記第１５部分は、前記第１１部分及び前記第１２部分と接続され、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第４〜第６電極であって、前記第４電極は、前記第２方向において前記第９部分と前記第１０部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１４部分との間に設けられ、前記第５電極は、前記第２方向において前記第１０部分と前記第１１部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第４壁部と前記第１３部分との間に設けられ、前記第６電極は、前記第２方向において前記第１１部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１５部分との間にある、前記第４〜第６電極と、
をさらに備え、
前記第１膜は、第４〜第６孔をさらに含み、
前記第４孔は、前記第１方向において前記第４電極と重なり、
前記第５孔は、前記第１方向において前記第５電極と重なり、
前記第６孔は、前記第１方向において前記第６電極と重なる、請求項１〜７のいずれか１つに記載の分析素子。

【請求項9】

前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる第４壁部であって、前記第３方向において前記第３壁部と前記第４壁部との間に前記第２壁部が設けられた、前記第４壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第４壁部との間に設けられた第５壁部であって、前記第５壁部は、第９〜第１５部分を含み、前記第９部分から前記第１２部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第１０部分は、前記第９部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１１部分は、前記第１０部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第３方向において前記第１０部分と前記第４壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１１部分と前記第４壁部との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第１０部分及び前記第１１部分と接続され、前記第１４部分は、前記第３方向において前記第９部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１０部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第１４部分は、前記第９部分及び前記第１０部分と接続され、前記第１５部分は、前記第３方向において前記第１１部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１２部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第１５部分は、前記第１１部分及び前記第１２部分と接続され、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第４〜第６電極であって、前記第４電極は、前記第２方向において前記第９部分と前記第１０部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第４壁部と前記第１４部分との間に設けられ、前記第５電極は、前記第２方向において前記第１０部分と前記第１１部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１３部分との間に設けられ、前記第６電極は、前記第２方向において前記第１１部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第４壁部と前記第１５部分との間にある、前記第４〜第６電極と、
をさらに備え、
前記第１膜は、第４孔〜第６孔をさらに含み、
前記第４孔は、前記第１方向において前記第４電極と重なり、
前記第５孔は、前記第１方向において前記第５電極と重なり、
前記第６孔は、前記第１方向において前記第６電極と重なる、請求項１〜７のいずれか１つに記載の分析素子。

【請求項10】

第１部材と、
第１〜第３孔を含む第１膜であって、前記第１部材から前記第１膜への方向は、第１方向に沿う、前記第１膜と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第１壁部であって、前記第１壁部は、第１〜第５部分を含み、前記第５部分は、前記第１方向と交差する第２方向に沿い、前記第１部分から前記第４部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第２部分は、前記第１部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３部分は、前記第２部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第１〜第４部分は、前記第５部分とそれぞれ接続された、前記第１壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第２壁部であって、前記第２壁部は、第６〜第１０部分を含み、前記第１０部分は前記第２方向に沿い、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第５部分と前記第１０部分との間に前記第１〜第４部分及び前記第５〜前記第９部分が設けられ、前記第６部分から前記第９部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第７部分は、前記第６部分と前記第９部分との間に設けられ、前記第８部分は、前記第７部分と前記第９部分との間に設けられ、前記第２方向において、前記第１部分と前記第２部分との間に、前記第６部分及び前記７部分が設けられ、前記第２方向において、前記第３部分と前記第４部分との間に、前記第８部分及び前記第９部分が設けられ、前記第６〜第９部分は、前記第１０部分と接続された、前記第２壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第１〜第３電極であって、前記第１電極は、前記第２方向において前記第６部分と前記第７部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第２電極は、前記第２方向において前記第２部分と前記第３部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第３電極は、前記第２方向において前記第８部分と前記第９部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられた、前記第１〜第３電極と、
を備え、
分析対象の粒を含む導電性の検体液に流れる電流を測定可能な、分析素子。

【請求項11】

前記第２方向における前記第１孔の位置は、前記第２方向における前記第６部分の位置と、前記第２方向における前記第７部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第１孔の位置は、前記第２方向における前記第１０部分の位置と、前記第２方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第２孔の位置は、前記第２方向における前記第２部分の位置と、前記第２方向における前記第３部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第２孔の位置は、前記第３方向における前記第１０部分の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第３孔の位置は、前記第２方向における前記第８部分の位置と、前記第２方向における前記第９部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第３孔の位置は、前記第３方向における前記第１０部分の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられた、請求項１０記載の分析素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、分析素子に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、分析対象の粒（分子など）を含む液体（検体液）に流れる電流を測定することで、分析対象を分析する分析素子がある。分析素子において、分析精度の向上が望まれる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特表２０１７−５１５１３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の実施形態は、分析精度を向上できる分析素子を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の実施形態によれば、分析素子は、第１部材、第１膜、第１〜第３壁部、及び、第１〜第３電極を含む。前記第１部材から前記第１膜への方向は、第１方向に沿う。前記第１膜は、第１〜第３孔を含む。前記第１壁部は、前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第１方向と交差する第２方向に延びる。前記第２壁部は、前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる。前記第２壁部から前記第１壁部への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する。前記第３壁部は、前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第２壁部との間に設けられる。前記第３壁部は、第１〜第７部分を含む。前記第１部分から前記第４部分への方向は、前記第２方向に沿う。前記第２部分は、前記第１部分と前記第４部分との間に設けられる。前記第３部分は、前記第２部分と前記第４部分との間に設けられる。前記第５部分は、前記第３方向において前記第２部分と前記第１壁部との間、及び、前記第３方向において前記第３部分と前記第１壁部との間に設けられる。前記第５部分は、前記第２部分及び前記第３部分と接続される。前記第６部分は、前記第３方向において前記第１部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第２部分と前記第２壁部との間に設けられる。前記第６部分は、前記第１部分及び前記第２部分と接続される。前記第７部分は、前記第３方向において前記第３部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第４部分と前記第２壁部との間に設けられる。前記第７部分は、前記第３部分及び前記第４部分と接続される。前記第１〜第３電極は、前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられる。前記第１電極は、前記第２方向において前記第１部分と前記第２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第６部分との間に設けられる。前記第２電極は、前記第２方向において前記第２部分と前記第３部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第５部分との間に設けられる。前記第３電極は、前記第２方向において前記第３部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第７部分との間に設けられる。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的斜視図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的断面図である。

【図4】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。

【図5】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第２実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。

【図6】図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第２実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0008】

（第１実施形態）
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的斜視図である。
図３は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的断面図である。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、図２の矢印ＡＲからみた平面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）において、図を見やすくするために、一部の要素が省略されている。図３は、図２のＡ１−Ａ２線断面図である。

【0009】

図３に示すように、実施形態に係る分析素子１１０は、第１部材５１、第１膜２１、複数の壁部１０ｓ及び複数の電極３０Ｅを含む。

【0010】

図２及び図３に示すように、例えば、第１部材５１に第１膜２１が設けられる。この例では、第１部材５１に溝部５１Ｔが設けられている。第１部材５１の溝部５１Ｔを除く部分が、凸部５１ｐとなる。凸部５１ｐの一部の上に、枠部５２が設けられている。凸部５１ｐと枠部５２との間に、第１膜２１が設けられる。第１膜２１は、複数の孔２１ｈを有する。第１膜２１は、第１部材５１の溝部５１Ｔ（底部）から離れている。第１部材５１と第１膜２１との間に、複数の壁部１０ｓが設けられている。複数の壁部１０ｓは、例えば、第１部材５１及び第１膜２１と接する。

【0011】

複数の壁部１０ｓの間に、複数の電極３０Ｅが設けられる。一方、別の電極（検出用電極３０Ｆ）が設けられる。この例では、検出用電極３０Ｆは、枠部５２に設けられている。枠部５２の内部に、検体液８１が導入（例えば滴下）される。検体液８１は、複数の孔２１ｈを介して、第１膜２１と、第１部材５１（溝部５１Ｔまたは凹部）と、の間に導入される。複数の電極３０Ｅ、及び、検出用電極３０Ｆと、検出部７０が電気的に接続される。検出部７０に含まれる回路の少なくとも一部は、分析素子１１０と集積されてもよい。検体液８１は、導電性を有する。導電性は、例えば、溶解したイオンに基づく。

【0012】

検体液８１に含まれる粒（例えば、分子または細胞など）は、孔２１ｈに向かって移動する。移動は、拡散または電気泳動に基づく。粒の特性（例えばサイズ及び形状）に応じて、粒は、孔２１ｈを通過する。粒の孔２１ｈの通過応じた電気的な信号が、検出部７０により検出される。例えば、電気的な信号（パルス）の強度及び時間幅の少なくともいずれかは、粒の特性（例えば、サイズ、形状及び電荷など）に依存する。分析素子１１０は、例えば、マイクロ分析チップである。

【0013】

図２に示すように、この例では、溝部５１Ｔの上方に、枠部５３及び枠部５４が設けられる。枠部５３及び枠部５４の間に、上記の枠部５２が設けられる。既に説明したように、枠部５２に検体液８１が導入される。一方、枠部５３に、例えば、電解液８２が導入される。枠部５４は、例えば、インレットまたはアウトレットドレインとして機能する。

【0014】

例えば、第１部材５１から第１膜２１への方向は、第１方向に沿う（図３参照）。

【0015】

第１方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。

【0016】

以下、複数の壁部１０ｓ、複数の電極３０Ｅ、及び、第１膜２１の複数の孔２１ｈの配置の例について説明する。
図１（ａ）では、第１膜２１が省略されている。図１（ｂ）は、第１膜２１の孔２１ｈの位置の例を示している。図１（ａ）及び図１（ｂ）は、３×３のマトリクス状の複数の電極３０Ｅに対応する部分を例示している。

【0017】

図１（ａ）に示すように、複数の壁部１０ｓは、第１〜第３壁部１１〜１３を含む。この例では、さらに、第４壁部１４及び第５壁部１５などが設けられている。複数の壁部１０ｓの数は、任意である。既に説明したように、複数の壁部１０ｓ（第１〜第５壁部１１〜１５など）は、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる。

【0018】

図１（ａ）に示すように、第１壁部１１は、例えば、第２方向に延びる。第２方向は、第１方向（Ｚ軸方向）と交差する。第２方向は、例えば、Ｘ軸方向である。

【0019】

第２壁部１２も、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に延びる。第２壁部１２から第１壁部１１への第３方向は、第１方向（Ｚ軸方向）及び第２方向（例えば、Ｘ軸方向）を含む平面（Ｚ−Ｘ平面）と交差する。第３方向は、例えば、Ｙ軸方向である。

【0020】

第３壁部１３は、第３方向（Ｙ軸方向）において、第１壁部１１と第２壁部１２との間に設けられる。第３壁部１３は、第１〜第７部分ｐ０１〜ｐ０７を含む。

【0021】

第１部分ｐ０１から第４部分ｐ０４への方向は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿う。第２部分ｐ０２は、第２方向において、第１部分ｐ０１と第４部分ｐ０４との間に設けられる。第３部分ｐ０３は、第２方向において、第２部分ｐ０２と第４部分ｐ０４との間に設けられる。

【0022】

第５部分ｐ０５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第２部分ｐ０２と第１壁部１１との間、及び、第３方向において、第３部分ｐ０３と第１壁部１１との間に設けられる。第５部分ｐ０５は、第２部分ｐ０２及び第３部分ｐ０３と接続されている。

【0023】

第６部分ｐ０６は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１部分ｐ０１と第２壁部１２との間、及び、第３方向において、第２部分ｐ０２と第２壁部１２との間に設けられる。第６部分ｐ０６は、第１部分ｐ０１及び第２部分ｐ０２と接続されている。

【0024】

第７部分ｐ０７は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第３部分ｐ０３と第２壁部１２との間、及び、第３方向において、第４部分ｐ０４と第２壁部１２との間に設けられる。第７部分ｐ０７は、第３部分ｐ０３及び第４部分ｐ０４と接続されている。

【0025】

例えば、第１〜第４部分ｐ０１〜ｐ０４は、Ｙ軸方向に延びる部分である。第５〜第７部分ｐ０５〜ｐ０７は、Ｘ軸方向に延びる部分である。

【0026】

複数の電極３０Ｅは、例えば、第１〜第３電極３１〜３３を含む。複数の電極３０Ｅは、例えば、第４〜第６電極３４〜３６をさらに含んでも良い。複数の電極３０Ｅの数は、任意である。

【0027】

既に説明したように、複数の電極３０Ｅ（第１〜第６電極３１〜３６など）は、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる（図３参照）。

【0028】

第１電極３１は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第１部分ｐ０１と第２部分ｐ０２との間に設けられる。第１電極３１は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１壁部１１と第６部分ｐ０６との間に設けられる。

【0029】

第２電極３２は、第２方向において、第２部分ｐ０２と第３部分ｐ０３との間に設けられる。第２電極３２は、第３方向において、第２壁部１２と第５部分ｐ０５との間に設けられる。

【0030】

第３電極３３は、第２方向において、第３部分ｐ０３と第４部分ｐ０４との間に設けられる。第３電極３３は、第３方向において、第１壁部１１と第７部分ｐ０７との間に設けられる。

【0031】

既に説明したように、第１膜２１は、複数の孔２１ｈを有する。図３に示すように、複数の孔２１ｈは、例えば、第１〜第３孔２１ａ〜２１ｃを含む。複数の孔２１ｈは、例えば、第４〜第６孔２１ｄ〜２１ｆをさらに含んでも良い。複数の孔２１ｈの数は、任意である。複数の第１孔２１ａが設けられても良い。複数の第２孔２１ｂが設けられても良い。複数の第３孔２１ｃが設けられても良い。複数の第４孔２１ｄが設けられても良い。複数の第５孔２１ｅが設けられても良い。複数の第６孔２１ｆが設けられても良い。

【0032】

例えば、第２方向における第１孔２１ａの位置は、第２方向における第１部分ｐ０１の位置と、第２方向における第２部分ｐ０２の位置と、の間に設けられる。第３方向における第１孔２１ａの位置は、第３方向における第１壁部１１の位置と、第３方向における第６部分ｐ０６の位置と、の間に設けられる。

【0033】

例えば、第２方向における第２孔２１ｂの位置は、第２方向における第２部分ｐ０２の位置と、第２方向における第３部分ｐ０３の位置と、の間に設けられる。第３方向における第２孔２１ｂの位置は、第３方向における第２壁部１２の位置と、第３方向における第５部分ｐ０５の位置と、の間に設けられる。

【0034】

例えば、第２方向における第３孔２１ｃの位置は、第２方向における第３部分ｐ０３の位置と、第２方向における第４部分ｐ０４の位置と、の間に設けられる。第３方向における第３孔２１ｃの位置は、第３方向における第１壁部１１の位置と、第３方向における第７部分ｐ０７の位置と、間に設けらる。

【0035】

例えば、図３に示すように、第１孔２１ａは、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１電極３１と重なる。第２孔２１ｂは、第１方向において、第２電極３２と重なる。第３孔２１ｃは、第１方向において、第３電極３３と重なる。

【0036】

実施形態に係る分析素子１１０によれば、分析精度を向上できる。例えば、以下に説明するように、複数の電極３０Ｅの間のクロスークを抑制することができる。

【0037】

例えば、分析素子１１０において、第１部材５１、第１膜２１、第１壁部１１及び第５部分ｐ０５により、第１空間ｓｐ１が形成される。第１部材５１、第１膜２１、第１部分ｐ０１、第２部分ｐ０２及び第６部分ｐ０６により第２空間ｓｐ２が形成される。第１部材５１、第１膜２１、第３部分ｐ０３、第４部分ｐ０４及び第７部分ｐ０７により、第３空間ｓｐ３が形成される。第１空間ｓｐ１は、第２空間ｓｐ２と繋がる。第１空間ｓｐ１は、第３空間ｓｐ３と繋がる。

【0038】

一方、第１部材５１、第１膜２１、第２壁部１２、第６部分ｐ０６及び第７部分ｐ０７により第４空間ｓｐ４が形成される。第１部材５１、第１膜２１、第２部分ｐ０２、第３部分ｐ０３及び第５部分ｐ０５により、第５空間ｓｐ５が形成される。第４空間ｓｐ４は、第５空間ｓｐ５と繋がる。

【0039】

例えば、第１空間ｓｐ１により、第１経路１８ａが形成される。第１経路１８ａは、第２空間ｓｐ２と繋がり、第３空間ｓｐ３と繋がる。第２空間ｓｐ２に第１電極３１が設けられる。第３空間ｓｐ３に第３電極３３が設けられる。一方、第４空間ｓｐ４により、第２経路１８ｂが形成される。第２経路１８ｂは、第５空間ｓｐ５と接続される。第５空間ｓｐ５に第３電極３３が設けられる。第１経路１８ａは、第２経路１８ｂと分離されている。このため、第１電極３１と第２電極３２との間のクロストークが抑制される。第３電極３１と第３電極３３との間のクロストークが抑制される。さらに、第２空間ｓｐ２と第３空間ｓｐ３とは第１経路１８ａにより繋がっているものの、第２空間ｓｐ２と第３空間ｓｐ３との間の経路に沿った距離は長い。この例では、第２空間ｓｐ２と第３空間ｓｐ３との間に、第５空間ｓｐ５が設けられている。このため、第２空間ｓｐ２の中の第１電極３１と、第３空間ｓｐ３の中の第３電極３１と、の間のクロストークも抑制できる。

【0040】

このように、実施形態においては、複数の電極３０Ｅの間のクロスークが抑制される。例えば、分析精度を向上できる。

【0041】

図１（ａ）に示すように、この例では、第５部分ｐ０５の一部ｐｐ０５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第６部分ｐ０６と第１壁部１１との間に設けられている。例えば、上記の一部ｐｐ０５は、突出部である。第１電極３１の少なくとも一部は、第３方向において、第５部分ｐ０５の上記の一部ｐｐ０５と、第６部分ｐ０６と、の間に設けられる。これにより、第２空間ｓｐ２の開口部３１ｏを小さくできる。これにより、クロストークがより抑制できる。

【0042】

図１（ａ）に示すように、この例では、第６部分ｐ０６の一部ｐｐ０６は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第５部分ｐ０５と第２壁部１２との間に設けられる。上記の一部ｐｐ０６は、第６部分ｐ０６の突出部である。第２電極３２の少なくとも一部は、第３方向において、第６部分ｐ０６の上記の一部ｐｐ０６と、第５部分ｐ０５と、の間に設けられる。これにより、第５空間ｓｐ５の開口部３２ｏを小さくできる。例えば、Ｘ軸方向に沿って、４つ以上の電極が並ぶ構成が考えられる。このような構成においても、クロストークがより抑制できる。

【0043】

図１（ａ）に示すように、この例では、第７部分ｐ０７の一部ｐｐ０７は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第５部分ｐ０５と第２壁部１２との間に設けられる。上記の一部ｐｐ０７は、第７部分ｐ０７の突出部である。第２電極３２の少なくとも一部は、第３方向において、第７部分ｐ０７の上記の一部ｐｐ０７と、第５部分ｐ０５と、の間に設けられる。これにより、第３空間ｓｐ３の開口部３３ｏを小さくできる。これにより、クロストークがより抑制できる。

【0044】

図１（ａ）に示すように、この例では、第５部分ｐ０５の別の一部ｐｑ０５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第７部分ｐ０７と第１壁部１１との間に設けられる。上記の一部ｐｑ０５は、第５部分ｐ０５の別の一部である。第３電極３３の少なくとも一部は、第３方向において、第５部分ｐ０５の上記の別の一部ｐｑ０５と、第７部分ｐ０５と、の間に設けられる。第２空間ｓｐ２の開口部３１ｏを小さくできる。これにより、クロストークがより抑制できる。

【0045】

図１（ａ）に示すように、第５部分ｐ０５は、第１端部ｐｅ０１及び第２端部ｐｅ０２を含む。第１端部ｐｅ０１から第２端部ｐｅ０２への方向は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿う。第１端部ｐｅ０１は、第１部分ｐ０１から離れている。第２端部ｐｅ０２は、第４部分ｐ０４から離れている。第１端部ｐｅ０１により、開口部３１ｏが形成される。第２端部ｐｅ０２により、開口部３３ｏが形成される。開口部３１ｏが第２空間ｓｐ２（第１電極３１）の経路となる。開口部３３ｏが第３空間ｓｐ３（第３電極３３）の経路となる。

【0046】

図１（ａ）に示すように、この例では、第３壁部１３は、第８部分ｐ０８をさらに含む。第８部分ｐ０８は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第６部分ｐ０６と第１壁部１１との間に設けられる。第８部分ｐ０８は、例えば、Ｘ軸方向に延びる。第１電極３１の一部は、第３方向（Ｙ軸方向）において、第８部分ｐ０８と第６部分ｐ０６との間に設けられる。第８部分ｐ０８は、例えば、第１端部ｐｅ０１から離れる。第８部分ｐ０８と第１端部ｐｅ０１との間が、開口部３１ｏとなる。

【0047】

図１（ａ）に示すように、この例では、第６部分ｐ０６は第３端部ｐｅ０３を含む。第２電極３２の一部は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第３端部ｐｅ０３と第５部分ｐ０５との間に設けられる。例えば、第３端部ｐｅ０３と第３部分ｐ０３との間のＸ軸方向に沿った距離は、第２部分ｐ０２と第３部分ｐ０３との間のＸ軸方向に沿った距離よりも短い。例えば、開口部３２ｏが小さくできる。

【0048】

図１（ａ）に示すように、この例では、第７部分ｐ０７は第４端部ｐｅ０４を含む。第２電極３２の一部は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第４端部ｐｅ０４と第５部分ｐ０５との間に設けられたる。例えば、第４端部ｐｅ０４と第２部分ｐ０２との間のＸ軸方向に沿った距離は、第２部分ｐ０２と第３部分ｐ０３との間のＸ軸方向に沿った距離よりも短い。例えば、開口部３２ｏが小さくできる。

【0049】

実施形態において、開口部３１ｏと開口部３３ｏとの間の経路における距離（開口部距離）は、第１〜第３電極３１〜３３のピッチ（Ｘ軸方向におけるピッチ）よりも長い。例えば、開口部距離は、ピッチの１．５倍以上である。開口部距離は、ピッチの１．８倍以上でも良い。

【0050】

図１（ａ）に示すように、分析素子１１０において、第４〜第６電極３４〜３６、第４壁部１４及び第５壁部１５がさらに設けられる。以下、これらの配置の例について説明する。第４、第５壁部１４及び１５（複数の壁部１０ｓ）も、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる（図３参照）。

【0051】

図１（ａ）に示すように、第４壁部１４は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に延びる。第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第３壁部１３と第４壁部１４の間に、第２壁部１２が設けられる。

【0052】

第５壁部１５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第２壁部１２と第４壁部１４との間に設けられる。第５壁部１５は、第９〜第１５部分ｐ０９〜ｐ１５を含む。

【0053】

第９部分ｐ０９から第１２部分ｐ１２への方向は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿う。第１０部分ｐ１０は、第２方向において、第９部分ｐ０９と第１２部分ｐ１２との間に設けられる。第１１部分ｐ１１は、第２方向において、第１０部分ｐ１０と第１２部分ｐ１２との間に設けられる。

【0054】

第１３部分ｐ１３は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第２壁部１２との間、及び、第３方向において、第１１部分ｐ１１と第２壁部１２との間に設けられる。第１３部分ｐ１３は、第１０部分ｐ１０及び第１１部分ｐ１１と接続される。

【0055】

第１４部分ｐ１４は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第９部分ｐ０９と第４壁部１４との間、及び、第３方向において、第１０部分ｐ１０と第４壁部１４との間に設けられる。第１４部分ｐ１４は、第９部分ｐ０９及び第１０部分ｐ１０と接続される。

【0056】

第１５部分ｐ１５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１１部分ｐ１１と第４壁部１４との間、及び、第３方向において、第１２部分ｐ１２と第４壁部１４との間に設けられる。第１５部分ｐ１５は、第１１部分ｐ１１及び第１２部分ｐ１２と接続される。

【0057】

既に説明したように、第４〜第５電極３４〜３６（複数の電極３０Ｅ）は、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる（図３参照）。

【0058】

図１（ａ）に示すように、第４電極３４は、第２方向（例えばＸ軸方向）において、第９部分ｐ０９と第１０部分ｐ１０との間に設けられる。第４電極３４は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第２壁部１２と第１４部分ｐ１４との間に設けられる。

【0059】

第５電極３５は、第２方向（例えばＸ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第１１部分ｐ１１との間に設けられる。第５電極３５は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第４壁部１４と第１３部分ｐ１３との間に設けられる。

【0060】

第６電極３６は、第２方向（例えばＸ軸方向）において、第１１部分ｐ１１と第１２部分ｐ１２との間に設けられる。第６電極３６は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第２壁部１２と第１５部分ｐ１５との間に設けられる。

【0061】

既に説明したように、第１膜２１は、第４〜第６孔２１ｄ〜２１ｆをさらに含む。図１（ｂ）に示すように、第４孔２１ｄは、第１方向（Ｚ軸方向）において、第４電極３４と重なる。第５孔２１ｅは、第１方向において第５電極３５と重なる。第６孔２１ｆは、第１方向において第６電極３６と重なる。

【0062】

第１部材５１、第１膜２１、第２壁部１２及び第１３部分ｐ１３により、第３経路１８ｃが形成される。第３経路１８ｃは、開口部３４ｏを介して、第４電極３４が設けられる空間と繋がる。第３経路１８ｃは、開口部３６ｏを介して、第６電極３６が設けられる空間と繋がる。

【0063】

一方、第１部材５１、第１膜２１、第４壁部１４、第１４部分ｐ１４及び第１５部分ｐ１５により、第４経路１８ｄが形成される。第４経路１８ｄは、開口部３６ｏを介して、第５電極３５が設けられる空間と繋がる。

【0064】

第３経路１８ｃと第４経路１８ｄとは、分離されている。さらに、開口部３４ｏと開口部３６ｏとの間の経路に沿った距離が長い。第４〜第６電極３４〜３６においても、クロストークが抑制される。

【0065】

以下、本実施形態に係る分析素子の別の例にいて説明する。
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。
図４（ａ）及ぶ図４（ｂ）は、図２の矢印ＡＲからみた平面図に対応する。図４（ａ）及び図４（ｂ）において、一部の要素が省略されている。

【0066】

これらの図に例示される分析素子１１１も、第１部材５１、第１膜２１、複数の壁部１０ｓ（例えば、第１〜第５壁部１１〜１５など）及び複数の電極３０Ｅ（例えば、第１〜第６電極３１〜３６など）を含む。分析素子１１１における第１〜第３壁部１１〜１３及び第１〜第３電極３１〜３３の構成は、例えば、分析素子１１０と同様である。以下、分析素子１１１における第４、第５壁部１４及び１５、及び、第４〜第６電極３４〜３６の例について説明する。

【0067】

図４（ａ）に示すように、第４壁部１４は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に延びる。第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第３壁部１３と第４壁部１４との間に、第２壁部１２が設けられる。

【0068】

第５壁部１５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第２壁部１２と第４壁部１４との間に設けられる。第５壁部１５は、第９〜第１５部分ｐ０９〜ｐ１５を含む。

【0069】

第９部分ｐ０９から第１２部分ｐ１２への方向は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿う。第１０部分ｐ１０は、第２方向において、第９部分ｐ０９と第１２部分ｐ１２との間に設けられる。第１１部分ｐ１１は、第２方向において、第１０部分ｐ１０と第１２部分ｐ１２との間に設けられる。

【0070】

第１３部分ｐ１３は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第４壁部１４との間、及び、第３方向において、第１１部分ｐ１１と第４壁部１４との間に設けられる。第１３部分ｐ１３は、第１０部分ｐ１０及び第１１部分ｐ１１と接続される。

【0071】

第１４部分ｐ１４は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第９部分ｐ０９と第２壁部１２との間、及び、第３方向において、第１０部分ｐ１０と第２壁部１２との間に設けられる。第１４部分ｐ１４は、第９部分ｐ０９及び第１０部分ｐ１０と接続される。

【0072】

第１５部分ｐ１５は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１１部分ｐ１１と第２壁部１２との間、及び、第３方向において、第１２部分ｐ１２と第２壁部１２との間に設けられる。第１５部分ｐ１５は、第１１部分ｐ１１及び第１２部分ｐ１２と接続される。

【0073】

第４〜第６電極３４〜３６（複数の電極３０Ｅ）は、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる。図４（ａ）に示すように、第４電極３４は、第２方向（例えばＸ軸方向）において、第９部分ｐ０９と第１０部分ｐ１０との間に設けられる。第４電極３４は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第４壁部１４と第１４部分ｐ１４との間に設けられる。

【0074】

第５電極３５は、第２方向（例えばＸ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第１１部分ｐ１１との間に設けられる。第５電極３５は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第２壁部１２と第１３部分ｐ１３との間に設けられる。

【0075】

第６電極３６は、第２方向（例えばＸ軸方向）において、第１１部分ｐ１１と第１２部分ｐ１２との間に設けられる。第６電極３６は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第４壁部１４と第１５部分ｐ１５との間に設けられる。

【0076】

図４（ｂ）に示すように、第４孔２１ｄは、第１方向（Ｚ軸方向）において、第４電極３４と重なる。第５孔２１ｅは、第１方向において第５電極３５と重なる。第６孔２１ｆは、第１方向において第６電極３６と重なる。

【0077】

分析素子１１１において、第１部材５１、第１膜２１、第２壁部１２、第１４部分ｐ１４及び第１５部分ｐ１５により、第３経路１８ｃが形成される。第３経路１８ｃは、開口部３５ｏを介して、第５電極３５が設けられる空間と繋がる。

【0078】

一方、第１部材５１、第１膜２１、第４壁部１４及び第１３部分ｐ１３により、第４経路１８ｄが形成される。第４経路１８ｄは、開口部３４ｏを介して、第４電極３４が設けられる空間と繋がる。第４経路１８ｄは、開口部３６ｏを介して、第６電極３６が設けられる空間と繋がる。

【0079】

第３経路１８ｃと第４経路１８ｄとは、分離されている。さらに、開口部３４ｏと開口部３６ｏとの間の経路に沿った距離が長い。第４〜第６電極３４〜３６においても、クロストークが抑制される。

【0080】

分析素子１１０及び１１１において、例えば、第１孔２１ａの第２方向における位置は、第１部分ｐ０１の第２方向における位置と、第２部分ｐ０２の第２方向における位置との間にあっても良い。第２孔２１ｂの第２方向における位置は、第２部分ｐ０２の第２方向における位置と、第３部分ｐ０３の第２方向における位置との間にあっても良い。第３孔２１ｃの第２方向における位置は、第３部分ｐ０３の第２方向における位置と、第４部分ｐ０４の第２方向における位置との間にあっても良い。

【0081】

分析素子１１０及び１１１において、例えば、第１孔２１ａの第３方向における位置は、第１壁部１１の第３方向における位置と、第６部分ｐ０６の第３方向における位置との間にあっても良い。第２孔２１ｂの第３方向における位置は、第５部分ｐ０５の第３方向における位置と、第２壁部１２の第３方向における位置との間にあっても良い。第３孔２１ｃの第３方向における位置は、第１壁部１１の第３方向における位置と、第７部分ｐ０７の第３方向における位置との間にあっても良い。

【0082】

分析素子１１０及び１１１において、例えば、第４孔２１ｄの第２方向における位置は、第９部分ｐ０９の第２方向における位置と、第１０部分ｐ１０の第２方向における位置との間にあっても良い。第５孔２１ｅの第２方向における位置は、第１０部分ｐ１０の第２方向における位置と、第１１部分ｐ１１の第２方向における位置との間にあっても良い。第６孔２１ｆの第２方向における位置は、第１１部分ｐ１１の第２方向における位置と、第１２部分ｐ１２の第２方向における位置との間にあっても良い。

【0083】

分析素子１１０及び１１１において、例えば、第４孔２１ｄの第３方向における位置は、第２壁部１２の第３方向における位置と、第１４部分ｐ１４の第３方向における位置との間にあっても良い。第５孔２１ｅの第３方向における位置は、第１３部分ｐ１３の第３方向における位置と、第４壁部１４の第３方向における位置との間にあっても良い。第６孔２１ｆの第３方向における位置は、第２壁部１２の第３方向における位置と、第１５部分ｐ１５の第３方向における位置との間にあっても良い。

【0084】

（第２実施形態）
以下において、第１実施形態と同様の構成については、適宜説明が省略される。
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第２実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。
図５（ａ）及ぶ図５（ｂ）は、図２の矢印ＡＲからみた平面図に対応する。図５（ａ）及び図５（ｂ）において、一部の要素が省略されている。

【0085】

これらの図に例示される分析素子１２０も、第１部材５１、第１膜２１、複数の壁部１０ｓ（例えば、第１〜第５壁部１１〜１５など）及び複数の電極３０Ｅ（例えば、第１〜第６電極３１〜３６など）を含む。分析素子１２０における複数の壁部１０ｓの構成が、第１実施形態における構成とは異なる。

【0086】

分析素子１２０においても、第１壁部１１及び第２壁部１２（複数の壁部１０ｓ）は、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる（図３参照）。例えば、第１壁部１１及び第２壁部１２（複数の壁部１０ｓ）は、第１部材５１及び第１膜２１と接する。第１〜第６電極３１〜３６（複数の電極３０Ｅ）は、第１方向（Ｚ軸方向）において、第１部材５１と第１膜２１との間に設けられる（図３参照）。

【0087】

図５（ａ）に示すように、第１壁部１１は、第１〜第５部分ｐ０１〜ｐ０５を含む。第５部分ｐ０５は、第１方向と交差する第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿う。

【0088】

第１部分ｐ０１から第４部分ｐ０４への方向は、第２方向に沿う。第２部分ｐ０２は、第２方向において、第１部分ｐ０１と第４部分ｐ０４との間に設けられる。第３部分ｐ０３は、第２方向において、第２部分ｐ０２と第４部分ｐ０４との間に設けられる。第１〜第４部分ｐ１１〜ｐ１４は、第５部分ｐ０５とそれぞれ接続される。

【0089】

第２壁部１２は、第６〜第１０部分ｐ０６〜ｐ１０を含む。第１０部分ｐ１０は第２方向（例えばＸ軸方向）に沿う。第３方向において、第５部分ｐ０５と第１０部分ｐ１０との間に、第１〜第４部分ｐ０１〜ｐ０４及び第５〜第９部分ｐ０５〜ｐ０９が設けられる。第３方向は、第１方向及び第２方向を含む平面（例えばＺ−Ｘ平面）と交差する。第３方向は、例えば、Ｙ軸方向である。

【0090】

第６部分ｐ０６から第９部分ｐ０９への方向は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿う。第７部分ｐ０７は、第２方向において、第６部分ｐ０６と第９部分ｐ０９との間に設けられる。第８部分ｐ０８は、第７部分ｐ０７と第９部分ｐ０９との間に設けられる。第２方向において、第１部分ｐ０１と第２部分ｐ０２との間に、第６部分ｐ０６及び第７部分ｐ０７が設けられる。第２方向において、第３部分ｐ０３と第４部分ｐ０４との間に、第８部分ｐ０８及び第９部分ｐ０９が設けられる。第６〜第９部分ｐ０６〜ｐ０９は、第１０部分ｐ１０と接続される。

【0091】

第１電極３１は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第６部分ｐ０６と第７部分ｐ０７との間に設けられる。第１電極３１は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。

【0092】

第２電極３２は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第２部分ｐ０２と第３部分ｐ０３との間に設けられる。第２電極３２は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。

【0093】

第３電極３３は、第２方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第８部分ｐ０８と第９部分ｐ０８との間に設けられる。第３電極３３は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。

【0094】

例えば、第２方向における第１孔２１ａの位置は、第２方向における第６部分ｐ０６の位置と、第２方向における第７部分ｐ０７の位置と、の間に設けられる。第３方向における第１孔１２ａの位置は、第３方向における第１０部分ｐ１０の位置と、第３方向における第５部分ｐ０５の位置と、の間に設けられる。

【0095】

例えば、第２方向における第２孔２１ｂの位置は、第２方向における第２部分ｐ０２の位置と、第２方向における第３部分ｐ０３の位置と、の間に設けられる。第３方向における第２孔２１ｂの位置は、第３方向における第１０部分ｐ１０の位置と、第３方向における第５部分ｐ０５の位置と、の間に設けられる。

【0096】

例えば、第２方向における第３孔２１ｃの位置は、第２方向における第８部分ｐ０８の位置と、第２方向における第９部分ｐ０９の位置と、の間に設けられる。第３方向における第３孔２１ｃの位置は、第３方向における第１０部分ｐ１０の位置と、第３方向における第５部分ｐ０５の位置と、の間に設けられる。

【0097】

図５（ｂ）に示すように、第１方向において、第１孔２１ａは、第１電極３１と重なる。第１方向において、第２孔２１ｂは、第２電極３２と重なる。第１方向において、第３孔２１ｃは、第３電極３３と重なる。

【0098】

分析素子１２０においては、第１部材５１、第１膜２１、第１壁部１１及び第２壁部１２により、第１経路１８ａが形成される。第１経路１８ａと、第１電極３１が設けられる空間と、が、開口部３１ｏにより接続される。第１経路１８ａと、第２電極３２が設けられる空間と、が、開口部３２ｏにより接続される。第１経路１８ａと、第３電極３３が設けられる空間と、が、開口部３３ｏにより接続される。開口部３１ｏは、第１電極３１と第５部分ｐ０５との間に位置する。開口部３２ｏは、第２電極３２と第１０部分ｐ１０との間に位置する。開口部３３ｏは、第３電極３３と第５部分ｐ０５との間に位置する。

【0099】

開口部３１ｏと開口部３２ｏとの間の、第１経路１８ａに沿った距離は長い。開口部３２ｏと開口部３３ｏとの間の、第１経路１８ａに沿った距離は長い。

【0100】

本実施形態において、開口部３１ｏと開口部３２ｏとの間の経路における距離（開口部距離）は、第１〜第３電極３１〜３３のピッチ（Ｘ軸方向におけるピッチ）よりも長い。例えば、開口部距離は、ピッチの１．５倍以上である。

【0101】

これにより、複数の電極３０Ｅの間のクロストークが抑制できる。例えば、分析精度を向上できる分析素子が提供できる。

【0102】

図５（ａ）に示すように、第１壁部１１は、第１１部分ｐ１１を含んでも良い。第１１部分ｐ１１は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第１１部分ｐ１１は、第２部分ｐ０２または第３部分ｐ０３と接続される。この例では、第１１部分ｐ１１は、第２部分ｐ０２と接続される。この例では、第１壁部１１は、第１４部分ｐ１４を含む。第１４部分ｐ１４は、第３方向において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第１４部分ｐ１４は、第３部分ｐ０３と接続される。第１４部分ｐ１４を第１１部分ｐ１１とみなしても良い。

【0103】

第２電極３２の少なくとも一部は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１１部分ｐ１１と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第２電極３２の少なくとも一部は、第３方向において第１４部分ｐ１４と第５部分ｐ０５との間に設けられても良い。

【0104】

図５（ａ）に示すように、第２壁部１２は、第１２部分ｐ１２を含んでもよい。第１２部分ｐ１２は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第１２部分ｐ１２は、第６部分ｐ０６または第７部分ｐ０７と接続される。この例では、第１２部分ｐ１２は、第７部分ｐ０７と接続される。この例では、第２壁部１２は、第１５部分ｐ１５を含む。第１５部分ｐ１５は、第３方向において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第１５部分ｐ１５は、第６部分ｐ０６と接続される。第１５部分ｐ１５を第１２部分ｐ１２とみなしても良い。

【0105】

第１電極３１の少なくとも一部は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１２部分ｐ１２と第１０部分ｐ１０との間に設けられる。第２電極３２の少なくとも一部は、第３方向において第１５部分ｐ１５と第１０部分ｐ１０との間に設けられても良い。

【0106】

図５（ａ）に示すように、第２壁部１２は、第１３部分ｐ１３を含んでも良い。第１３部分ｐ１３は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第１３部分ｐ１３は、第８部分ｐ０８または第９部分ｐ０９と接続される。この例では、第１３部分ｐ１３は、第８部分ｐ０８と接続される。この例では、第２壁部１２は、第１６部分ｐ１６を含む。第１６部分ｐ１６は、第３方向において、第１０部分ｐ１０と第５部分ｐ０５との間に設けられる。第１６部分ｐ１６は、第９部分ｐ０９と接続される。第１６部分ｐ１６を第１３部分ｐ１３とみなしても良い。

【0107】

第３電極３３の少なくとも一部は、第３方向（例えば、Ｙ軸方向）において、第１３部分ｐ１３と第１０部分ｐ１０との間に設けられる。第３電極３３の少なくとも一部は、第３方向において第１６部分ｐ１６と第１０部分ｐ１０との間に設けられても良い。

【0108】

図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、分析素子１２０において、第１壁部１１、第２壁部１２、及び、第１〜第３電極３１〜３３が１つの組みになる。複数の組みが、Ｙ軸方向に並んでも良い。

【0109】

図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第２実施形態に係る分析素子を例示する模式的平面図である。
図６（ａ）及ぶ図６（ｂ）は、図２の矢印ＡＲからみた平面図に対応する。図５（ａ）及び図５（ｂ）において、一部の要素が省略されている。

【0110】

これらの図に例示される分析素子１２１も、第１部材５１、第１膜２１、複数の壁部１０ｓ（例えば、第１〜第５壁部１１〜１５など）及び複数の電極３０Ｅ（例えば、第１〜第６電極３１〜３６など）を含む。

【0111】

分析素子１２１においても、第１壁部１１、第２壁部１２、及び、第１〜第３電極３１〜３３が１つの組みになる。複数の組みが、Ｙ軸方向に並んでも良い。分析素子１２１においては、Ｙ軸方向に並ぶ複数の組みは、交互に反転（ミラー反転）している。分析素子１２１においても、分析精度を向上できる分析素子が提供できる。

【0112】

上記の実施形態に係る分析素子に含まれる要素の例について、説明する。第１部材５１は、例えば、シリコン基板に設けられた酸化シリコンなどを含む。第１膜２１は、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン及び酸窒化シリコンよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。複数の電極３０Ｅは、例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｃｌ、Ｃｕ、Ｗ及びＭｏよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。複数の電極３０Ｅは、Ａｇ膜及びＡｇＣｌ膜を含む膜（例えば積層膜）を含んでも良い。複数の壁部１０ｓは、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、及び、酸窒化シリコンよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。複数の壁部１０ｓは、第１領域と、第２領域（薄膜）と、を含んでも良い。第１領域は、酸化シリコン、窒化シリコン、及び、酸窒化シリコンよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。第２領域は、第１領域の少なくとも一部の周りに設けられる。第２領域は、例えば、酸化アルミニウム及び酸化チタン（二酸化チタン）の少なくともいずれかを含む。例えば、表面親水性が向上する。例えば、表面電荷がコントロールされる。

【0113】

複数の壁部１０ｓの１つのＺ軸方向に沿う長さ（高さ）は、例えば、０．５μｍ以上１００μｍ以下である。複数の壁部１０ｓの１つの幅（延びる方向と直交する方向の長さ）は、例えば、１μｍ以上５μｍ以下である。複数の壁部１０ｓの１つの幅（延びる方向と直交する方向の長さ）は、例えば、複数の壁部１０ｓの１つと、複数の壁部１０ｓの別の１つと、の間の間隔の０．００５倍以上０．５倍以下である。これにより、複数の壁部１０ｓの適正な強度、適正な経路のサイズ（断面積）、及び、経路における適正な電気抵抗と、が得られる。

【0114】

例えば、第１実施形態において、第１壁部１１の第３方向（Ｙ軸方向）に沿う幅は、第１壁部１１と第５部分ｐ０５との間の第３方向に沿う距離（間隔）の０．００５倍以上０．１倍以下である。例えば、第２実施形態において、第１部分ｐ０１の第２方向（Ｙ軸方向）に沿う幅は、第１部分ｐ０１と第６部分ｐ０６との間の第２方向に沿う距離の０．００５倍以上０．５倍以下である。

【0115】

第１膜２１の複数の孔２１ｈの１つの径は、例えば、０．１μｍ以上１０μｍ以下である。

【0116】

検体液８１に含まれる粒は、例えば、細菌、ウイルス、細胞及び無機高分子化合物よりなる群から選択された少なくとも１つを含む。

【0117】

実施形態は、以下の構成（技術案）を含んでも良い。
（構成１）
第１部材と、
第１〜第３孔を含む第１膜であって、前記第１部材から前記第１膜への方向は、第１方向に沿う、前記第１膜と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第１方向と交差する第２方向に延びる第１壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる第２壁部であって、前記第２壁部から前記第１壁部への第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する、前記第２壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第２壁部との間に設けられた第３壁部であって、前記第３壁部は、第１〜第７部分を含み、前記第１部分から前記第４部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第２部分は、前記第１部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３部分は、前記第２部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第５部分は、前記第３方向において前記第２部分と前記第１壁部との間、及び、前記第３方向において前記第３部分と前記第１壁部との間に設けられ、前記第５部分は、前記第２部分及び前記第３部分と接続され、前記第６部分は、前記第３方向において前記第１部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第２部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第６部分は、前記第１部分及び前記第２部分と接続され、前記第７部分は、前記第３方向において前記第３部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第４部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第７部分は、前記第３部分及び前記第４部分と接続された、前記第３壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第１〜第３電極であって、前記第１電極は、前記第２方向において前記第１部分と前記第２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第６部分との間に設けられ、前記第２電極は、前記第２方向において前記第２部分と前記第３部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第５部分との間に設けられ、前記第３電極は、前記第２方向において前記第３部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１壁部と前記第７部分との間に設けられた、前記第１〜第３電極と、
を備えた分析素子。
（構成２）
前記第２方向における前記第１孔の位置は、前記第２方向における前記第１部分の位置と、前記第２方向における前記第２部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第１孔の位置は、前記第３方向における前記第１壁部の位置と、前記第３方向における前記第６部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第２孔の位置は、前記第２方向における前記第２部分の位置と、前記第２方向における前記第３部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第２孔の位置は、前記第３方向における前記第２壁部の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第３孔の位置は、前記第２方向における前記第３部分の位置と、前記第２方向における前記第４部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第３孔の位置は、前記第３方向における前記第１壁部の位置と、前記第３方向における前記第７部分の位置と、の間に設けられた、構成１記載の分析素子。
（構成３）
前記第１方向において前記第１孔は前記第１電極と重なり、
前記第１方向において前記第２孔は前記第２電極と重なり、
前記第１方向において前記第３孔は前記第３電極と重なる、構成１記載の分析素子。
（構成４）
前記第５部分の一部は、前記第３方向において前記第６部分と前記第１壁部との間に設けられ、
前記第１電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第５部分の前記一部と前記第６部分との間に設けられた、構成１〜３のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成５）
前記第６部分の一部は、前記第３方向において前記第５部分と前記第２壁部との間に設けられ、
前記第２電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第６部分の前記一部と前記第５部分との間に設けられた、構成１〜４のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成６）
前記第７部分の一部は、前記第３方向において前記第５部分と前記第２壁部との間に設けられ、
前記第２電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第７部分の前記一部と前記第５部分との間に設けられた、構成１〜５のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成７）
前記第５部分の一部は、前記第３方向において前記第７部分と前記第１壁部との間に設けられ、
前記第３電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第５部分の前記一部と前記第７部分との間に設けられた、構成１〜３のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成８）
前記第５部分は、第１端部及び第２端部を含み、前記第１端部から前記第２端部への方向は、前記第２方向に沿い、
前記第１端部は、前記第１部分から離れ、前記第２端部は、前記第４部分から離れた、構成１〜７のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成９）
前記第３壁部は、第８部分をさらに含み、
前記第８部分は、前記第３方向において前記第６部分と前記第１壁部との間に設けられ、
前記第１電極の一部は、前記第３方向において、前記第８部分と前記第６部分との間に設けられ、
前記第８部分は、前記第１端部から離れた、構成８記載の分析素子。
（構成１０）
前記第６部分は第３端部を含み、
前記第２電極の一部は、前記第３方向において、前記第３端部と前記第５部分との間に設けられた、構成１〜９のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成１１）
前記第７部分は第４端部を含み、
前記第２電極の一部は、前記第３方向において、前記第４端部と前記第５部分との間に設けられた、構成１〜９のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成１２）
前記第１部材、前記第１膜、前記第１壁部及び前記第５部分による第１空間は、前記第１部材、前記第１膜、前記第１部分、前記第２部分及び前記第６部分による第２空間と繋がり、
前記第１空間は、前記第１部材、前記第１膜、前記第３部分、前記第４部分及び前記第７部分による第３空間と繋がり、
前記第１部材、前記第１膜、前記第２壁部、前記第６部分及び前記第７部分による第４空間は、前記第１部材、前記第１膜、前記第２部分、前記第３部分及び前記第５部分による第５空間と繋がる、構成１〜１１のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成１３）
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる第４壁部であって、前記第３方向において前記第３壁部と前記第４壁部との間に前記第２壁部が設けられた、前記第４壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第４壁部との間に設けられた第５壁部であって、前記第５壁部は、第９〜第１５部分を含み、前記第９部分から前記第１２部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第１０部分は、前記第９部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１１部分は、前記第１０部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第３方向において前記第１０部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１１部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第１０部分及び前記第１１部分と接続され、前記第１４部分は、前記第３方向において前記第９部分と前記第４壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１０部分と前記第４壁部との間に設けられ、前記第１４部分は、前記第９部分及び前記第１０部分と接続され、前記第１５部分は、前記第３方向において前記第１１部分と前記第４壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１２部分と前記第４壁部との間に設けられ、前記第１５部分は、前記第１１部分及び前記第１２部分と接続され、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第４〜第６電極であって、前記第４電極は、前記第２方向において前記第９部分と前記第１０部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１４部分との間に設けられ、前記第５電極は、前記第２方向において前記第１０部分と前記第１１部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第４壁部と前記第１３部分との間に設けられ、前記第６電極は、前記第２方向において前記第１１部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１５部分との間にある、前記第４〜第６電極と、
をさらに備え、
前記第１膜は、第４〜第６孔をさらに含み、
前記第４孔は、前記第１方向において前記第４電極と重なり、
前記第５孔は、前記第１方向において前記第５電極と重なり、
前記第６孔は、前記第１方向において前記第６電極と重なる、構成１〜１２のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成１４）
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ前記第２方向に延びる第４壁部であって、前記第３方向において前記第３壁部と前記第４壁部との間に前記第２壁部が設けられた、前記第４壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第４壁部との間に設けられた第５壁部であって、前記第５壁部は、第９〜第１５部分を含み、前記第９部分から前記第１２部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第１０部分は、前記第１部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１１部分は、前記第１０部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第３方向において前記第１０部分と前記第４壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１１部分と前記第４壁部との間に設けられ、前記第１３部分は、前記第１０部分及び前記第１１部分と接続され、前記第１４部分は、前記第３方向において前記第９部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１０部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第１４部分は、前記第９部分及び前記第１０部分と接続され、前記第１５部分は、前記第３方向において前記第１１部分と前記第２壁部との間、及び、前記第３方向において前記第１２部分と前記第２壁部との間に設けられ、前記第１５部分は、前記第１１部分及び前記第１２部分と接続され、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第４〜第５電極であって、前記第４電極は、前記第２方向において前記第９部分と前記第１０部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１４部分との間に設けられ、前記第５電極は、前記第２方向において前記第１０部分と前記第１１部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第４壁部と前記第１３部分との間に設けられ、前記第５電極は、前記第２方向において前記第１１部分と前記第１２部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第２壁部と前記第１５部分との間にある、、前記第４〜第５電極と、
をさらに備え、
前記第１膜は、第４孔〜前記第６孔をさらに含み、
前記第４孔は、前記第１方向において前記第４電極と重なり、
前記第５孔は、前記第１方向において前記第５電極と重なり、
前記第６孔は、前記第１方向において前記第６電極と重なる、構成１〜１２のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成１５）
前記第１壁部の前記第３方向に沿う幅は、前記第１壁部と前記第５部分との間の前記第３方向に沿う距離の０．００倍以上０．５倍以下である、構成１〜１４のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成１６）
第１部材と、
第１〜第３孔を含む第１膜であって、前記第１部材から前記第１膜への方向は、第１方向に沿う、前記第１膜と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第１壁部であって、前記第１壁部は、第１〜第５部分を含み、前記第５部分は、前記第１方向と交差する第２方向に沿い、前記第１部分から前記第４部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第２部分は、前記第１部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第３部分は、前記第２部分と前記第４部分との間に設けられ、前記第１〜第４部分は、前記第５部分とそれぞれ接続された、前記第１壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第２壁部であって、前記第２壁部は、第６〜第１０部分を含み、前記第１０部分は前記第２方向に沿い、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第５部分と前記第１０部分との間に前記第１〜第４部分及び前記第５〜前記第９部分が設けられ、前記第６部分から前記第９部分への方向は、前記第２方向に沿い、前記第７部分は、前記第６部分と前記第９部分との間に設けられ、前記第８部分は、前記第７部分と前記第９部分との間に設けられ、前記第２方向において、前記第１部分と前記第２部分との間に、前記第６部分及び前記７部分が設けられ、前記第２方向において、前記第３部分と前記第４部分との間に、前記第８部分及び前記第９部分が設けられ、前記第６〜第９部分は、前記第１０部分と接続された、前記第２壁部と、
前記第１方向において前記第１部材と前記第１膜との間に設けられた第１〜第３電極であって、前記第１電極は、前記第２方向において前記第６部分と前記第７部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第２電極は、前記第２方向において前記第２部分と前記第３部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第３電極は、前記第２方向において前記第８部分と前記第９部分との間に設けられ、前記第３方向において前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられた、前記第１〜第３電極と、
を備えた分析素子。
（構成１７）
前記第２方向における前記第１孔の位置は、前記第２方向における前記第６部分の位置と、前記第２方向における前記第７部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第１孔の位置は、前記第３方向における前記第１０部分の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第２孔の位置は、前記第２方向における前記第２部分の位置と、前記第２方向における前記第３部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第２孔の位置は、前記第３方向における前記第１０部分の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられ、
前記第２方向における前記第３孔の位置は、前記第２方向における前記第８部分の位置と、前記第２方向における前記第９部分の位置と、の間に設けられ、
前記第３方向における前記第３孔の位置は、前記第３方向における前記第１０部分の位置と、前記第３方向における前記第５部分の位置と、の間に設けられた、構成１記載の分析素子。
（構成１８）
前記第１方向において前記第１孔は前記第１電極と重なり、
前記第１方向において前記第２孔は前記第２電極と重なり、
前記第１方向において前記第３孔は前記第３電極と重なる、構成１６記載の分析素子。
（構成１９）
前記第１壁部は、第１１部分を含み、前記第１１部分は、前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第２部分または前記第３部分と接続され、
前記第２電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第１１部分と前記第５部分との間に設けられた、構成１６〜１８のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成２０）
前記第２壁部は、第１２部分を含み、前記第１２部分は、前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第６部分または前記第７部分と接続され、
前記第１電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第１２部分と前記第１０部分との間に設けられた、構成１６〜１９のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成２１）
前記第２壁部は、第１３部分を含み、前記第１３部分は、前記第１０部分と前記第５部分との間に設けられ、前記第８部分または前記第９部分と接続され、
前記第３電極の少なくとも一部は、前記第３方向において、前記第１３部分と前記第１０部分との間に設けられた、構成１６〜２０のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成２２）
前記第１部分の前記第２方向に沿う幅は、前記第１部分と前記第６部分との間の前記第２方向に沿う距離の０．５倍以上５０倍以下である、構成１６〜２１のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成２３）
前記第１壁部及び前記第２壁部は、前記第１部材と接し、前記第１膜と接した、構成１〜２２のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成２４）
検出用電極をさらに備えた、構成１〜２３のいずれか１つに記載の分析素子。
（構成２５）
前記第１〜第３電極、及び、前記検出用電極と電気的に接続された検出部をさらに備えた、構成２３記載の分析素子。

【0118】

実施形態によれば、分析精度を向上できる分析素子が提供できる。

【0119】

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、分析素子に含まれる第１部材、第１膜、壁部、電極、及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

【0120】

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

【0121】

その他、本発明の実施の形態として上述した分析素子を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての分析素子も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

【0122】

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

【0123】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0124】

１０ｓ…壁部、 １１〜１５…第１〜第５壁部、 １８ａ〜１８ｄ…第１〜第４経路、 ２１…第１膜、 ２１ａ〜２１ｆ…第１〜第６孔、 ２１ｈ…孔、 ３０Ｅ…電極、 ３０Ｆ…検出用電極、 ３１〜３６…第１〜第６電極、 ３１ｏ〜３６ｏ…開口部、 ５１…第１部材、 ５１Ｔ…溝部、 ５１ｐ…凸部、 ５２〜５４…枠部、 ７０…検出部、 ８１…検体液、 ８２…電解液、 １１０、１１１、１２０、１２１…分析素子、 ＡＲ…矢印、 ｐ０１〜ｐ１６…第１〜第１６部分、 ｐｅ０１〜ｐｅ０４…第１〜第４端部、 ｐｐ０５、ｐｐ０６、ｐｐ０７、ｐｑ０５…一部、 ｓｐ１〜ｓｐ５…第１〜第５空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】