特許 6825387 振動センサシステム、振動計測方法および振動計測プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6825387

(24)【登録日】2021年1月18日

(45)【発行日】2021年2月3日

(54)【発明の名称】振動センサシステム、振動計測方法および振動計測プログラム

(51)【国際特許分類】

   G01H 17/00 20060101AFI20210121BHJP

   G01M 99/00 20110101ALI20210121BHJP

【ＦＩ】

   G01H17/00 Z

   G01M99/00 A

【請求項の数】12

【全頁数】32

(21)【出願番号】特願2017-12827(P2017-12827)

(22)【出願日】2017年1月27日

(65)【公開番号】特開2018-119903(P2018-119903A)

(43)【公開日】2018年8月2日

【審査請求日】2019年9月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000682

【氏名又は名称】特許業務法人ワンディーＩＰパートナーズ

(72)【発明者】

【氏名】狄 靖

(72)【発明者】

【氏名】田中 義三

(72)【発明者】

【氏名】秋田 勝史

【審査官】 森口 正治

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０１−２１４７２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１７２５９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０１９２２３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｈ １／００−１７／００

Ｇ０１Ｍ １３／００−９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、
所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部とを備え、
前記補正値決定部は、前記期間において前記取得部によって取得された前記計測結果を示す振動データである対象振動データの平均値を算出し、前記対象振動データから前記平均値を差し引いた後、ゼロ以上の値を有する前記対象振動データの実効値である正側実効値、およびゼロより小さい値を有する前記対象振動データの実効値である負側実効値を前記補正値として算出し、
前記補正部は、前記対象計測結果から前記補正部決定部によって算出された前記平均値を差し引いた後、前記対象計測結果がゼロ以上の値である場合、前記対象計測結果から前記正側実効値を差し引き、前記対象計測結果がゼロより小さい場合、前記対象計測結果に前記負側実効値を加える、振動センサシステム。

【請求項2】

前記補正値は、一定の変動幅である、請求項１に記載の振動センサシステム。

【請求項3】

前記補正値は、正方向の変動幅と負方向の変動幅とを含む、請求項２に記載の振動センサシステム。

【請求項4】

前記補正部による補正は、前記対象計測結果の示す前記振動から前記補正値の示す振動分を除去することである、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の振動センサシステム。

【請求項5】

前記所定条件は、ユーザにより所定の操作がなされたことを含む、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の振動センサシステム。

【請求項6】

前記振動センサシステムは、さらに、
前記所定の操作を受け付ける操作部を備え、
前記所定条件は、前記操作部が前記所定の操作を受け付けたことを含む、請求項５に記載の振動センサシステム。

【請求項7】

前記所定条件は、前記計測結果に基づく情報を処理する管理装置から指示を受けたことである、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の振動センサシステム。

【請求項8】

前記所定条件は、前記振動センサシステムの電源がオンされたことである、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の振動センサシステム。

【請求項9】

前記振動センサシステムは、さらに、
前記補正値決定部による前記補正値の決定完了を認識可能に出力する出力部を備える、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の振動センサシステム。

【請求項10】

前記取得部は、前記計測対象の温度を計測する温度センサの計測結果をさらに取得し、
前記振動センサシステムは、さらに、
前記計測対象の温度と前記補正値の正常範囲を決定するための値との対応関係を示す対応情報を保持する保持部と、
前記取得部によって取得された前記温度センサの計測結果および前記対応情報に基づいて、前記補正値決定部によって決定された前記補正値が正常であるか否かを判定する判定部とを備える、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の振動センサシステム。

【請求項11】

振動を計測する振動センサを、計測対象を含むエリアに設置するステップと、
前記計測対象が稼働していない状態における前記振動センサの計測結果を取得するステップと、
取得した前記計測結果に基づいて補正値を決定するステップと、
前記計測対象を稼働するステップと、
前記計測対象が稼働している状態における前記計測結果である対象計測結果を取得するステップと、
取得した前記対象計測結果を、前記補正値を用いて補正するステップとを含み、
前記補正値を決定するステップでは、取得した前記計測結果を示す振動データである対象振動データの平均値を算出し、前記対象振動データから前記平均値を差し引いた後、ゼロ以上の値を有する前記対象振動データの実効値である正側実効値、およびゼロより小さい値を有する前記対象振動データの実効値である負側実効値を前記補正値として算出し、
前記補正値を用いて補正するステップでは、前記対象計測結果から算出した前記平均値を差し引いた後、前記対象計測結果がゼロ以上の値である場合、前記対象計測結果から前記正側実効値を差し引き、前記対象計測結果がゼロより小さい場合、前記対象計測結果に前記負側実効値を加える、振動計測方法。

【請求項12】

振動センサシステムにおいて用いられる振動計測プログラムであって、
コンピュータを、
計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、
所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部、
として機能させるためのプログラムであって、
前記補正値決定部は、前記期間において前記取得部によって取得された前記計測結果を示す振動データである対象振動データの平均値を算出し、前記対象振動データから前記平均値を差し引いた後、ゼロ以上の値を有する前記対象振動データの実効値である正側実効値、およびゼロより小さい値を有する前記対象振動データの実効値である負側実効値を前記補正値として算出し、
前記補正部は、前記対象計測結果から前記補正部決定部によって算出された前記平均値を差し引いた後、前記対象計測結果がゼロ以上の値である場合、前記対象計測結果から前記正側実効値を差し引き、前記対象計測結果がゼロより小さい場合、前記対象計測結果に前記負側実効値を加える、振動計測プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動センサシステム、振動計測方法および振動計測プログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、計測対象の振動を検出するための技術が開発されている。たとえば、特許文献１（特開２００６−３１３３８５号公報）には、以下のような振動データ収集装置が開示されている。すなわち、振動検出装置では、振動ジャイロ２１の振動検出信号Ｖｏは、ローパスフィルタ回路２２、加算器および増幅器からなる回路２３を通じＭＣＵ２５に入力する。ＭＣＵ２５は、回路２３の出力信号Ｖｏｕｔが所定レベル範囲を越えているかおよび基準レベルに対して偏っているか判断する。所定レベル範囲を越えているときまたは基準レベルに対して偏っているときには、操作信号発生部２５ｂの操作信号Ｓに基づいて、Ｄ／Ａ変換器２７は、出力信号レベル可変出力部２７ａにより可変した出力信号ＶＤＡを出力する。回路２３は、この出力信号ＶＤＡおよび振動検出信号Ｖｏに基づいて、出力信号Ｖｏｕｔを所定レベル範囲内及び基準レベルに調整する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６−３１３３８５号公報

【特許文献2】特開平７−２１８９５３号公報

【特許文献3】特開平７−２５３６０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような特許文献１に記載の技術を超えて、計測対象の振動をより精度よく計測するための技術が求められている。

【0005】

この発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、その目的は、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の振動をより精度よく計測することが可能な振動センサシステム、振動計測方法および振動計測プログラムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる振動センサシステムは、計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部とを備える。

【0007】

（１１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる振動計測方法は、振動を計測する振動センサを、計測対象を含むエリアに設置するステップと、前記計測対象が稼働していない状態における前記振動センサの計測結果を取得するステップと、取得した前記計測結果に基づいて補正値を決定するステップと、前記計測対象を稼働するステップと、前記計測対象が稼働している状態における前記計測結果である対象計測結果を取得するステップと、取得した前記対象計測結果を、前記補正値を用いて補正するステップとを含む。

【0008】

（１２）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる振動計測プログラムは、振動センサシステムにおいて用いられる振動計測プログラムであって、コンピュータを、計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部、として機能させるためのプログラムである。

【0009】

本発明は、このような特徴的な処理部を備える振動センサシステムとして実現することができるだけでなく、かかる特徴的な処理部を備える振動計測装置として実現することができる。また、本発明は、振動センサシステムの一部または全部を実現する半導体集積回路として実現することができる。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の振動をより精度よく計測することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムの構成を示す図である。

【図2】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置の設置例を示す図である。

【図3】図３は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の構成を示す図である。

【図4】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の外観の一例を示す図である。

【図5】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置における無線モジュールの構成を示す図である。

【図6】図６は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置における取得部によって取得された振動データの示す加速度の時間変化の一例を示す図である。

【図7】図７は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置における補正部によって補正された振動データの示す加速度の時間変化の一例を示す図である。

【図8】図８は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける無線モジュールの変形例の構成を示す図である。

【図9】図９は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の変形例の構成を示す図である。

【図10】図１０は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の変形例の構成を示す図である。

【図11】図１１は、図１０に示す振動計測装置の変形例における無線モジュールの構成を示す図である。

【図12】図１２は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置の変形例における補正値決定部が用いる参考実効値の温度変化の一例を示す図である。

【図13】図１３は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測方法の手順を定めたフローチャートである。

【図14】図１４は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムが振動データを処理する際の動作手順を定めたフローチャートである。

【図15】図１５は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサシステムの構成を示す図である。

【図16】図１６は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の構成を示す図である。

【図17】図１７は、本発明の第２の実施の形態に係る振動計測装置における無線モジュールの構成を示す図である。

【図18】図１８は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサシステムにおける管理装置の構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。

【0013】

（１）本発明の実施の形態に係る振動センサシステムは、計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部とを備える。

【0014】

このような構成により、たとえば、計測対象が稼働していない状態であることを所定条件とすることで、計測対象が静止していても計測されるノイズ成分、および振動センサの設置環境に依存する成分に基づく補正値を決定することができる。これにより、上記成分の悪影響が抑制されるように対象計測結果を補正することができるので、上記成分により精度よく計測することが困難であった振幅の小さい微弱な振動を計測することができる。したがって、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の振動をより精度よく計測することができる。

【0015】

（２）好ましくは、前記補正値は、一定の変動幅である。

【0016】

このような構成により、たとえば、抑制対象の成分の変動が一定の範囲に収まる場合において、当該成分の対象計測結果に対する悪影響を効果的に抑制することができる。

【0017】

（３）より好ましくは、前記補正値は、正方向の変動幅と負方向の変動幅とを含む。

【0018】

このような構成により、抑制対象の成分の変動が正方向および負方向に非対称である場合においても、当該成分の対象計測結果に対する悪影響を効果的に抑制することができる。

【0019】

（４）好ましくは、前記補正部による補正は、前記対象計測結果の示す前記振動から前記補正値の示す振動分を除去することである。

【0020】

このように、たとえば、計測対象が静止していても計測される振動分を対象計測結果の示す振動から除去する構成により、対象計測結果の示す振動の振幅より小さい値の振幅を計測対象の振幅とすることができるので、振幅の小さい微弱な振動を良好に計測することができる。

【0021】

（５）好ましくは、前記所定条件は、ユーザにより所定の操作がなされたことを含む。

【0022】

このように、たとえば、計測対象が稼働していないことを認識可能なユーザにより所定の操作がなされたことを含む所定条件とする構成により、計測対象が静止している状態における計測結果を取得する可能性を高めることができる。

【0023】

（６）より好ましくは、前記振動センサシステムは、さらに、前記所定の操作を受け付ける操作部を備え、前記所定条件は、前記操作部が前記所定の操作を受け付けたことを含む。

【0024】

このような構成により、ユーザは、計測対象が稼働していない状態における計測結果の取得処理を容易に開始させることができる。

【0025】

（７）好ましくは、前記所定条件は、前記計測結果に基づく情報を処理する管理装置から指示を受けたことである。

【0026】

このように、たとえば、計測対象の稼働状況を認識可能な管理装置から指示を受けたことを所定条件とする構成により、計測対象が静止している状態における計測結果を取得する可能性を高めることができる。

【0027】

（８）好ましくは、前記所定条件は、前記振動センサシステムの電源がオンされたことである。

【0028】

このように、たとえば計測対象が稼働していない状態である場合において振動センサシステムの電源がオンされたことを所定条件とする構成により、計測対象が静止している状態における計測結果を取得する可能性を高めることができる。

【0029】

（９）好ましくは、前記振動センサシステムは、さらに、前記補正値決定部による前記補正値の決定完了を認識可能に出力する出力部を備える。

【0030】

このような構成により、ユーザは、補正値の決定タイミングを容易に認識することができるので、たとえば、補正値の決定より前に計測対象を稼働させてしまうことを防ぐことができる。

【0031】

（１０）好ましくは、前記取得部は、前記計測対象の温度を計測する温度センサの計測結果をさらに取得し、前記振動センサシステムは、さらに、前記計測対象の温度と前記補正値の正常範囲を決定するための値との対応関係を示す対応情報を保持する保持部と、前記取得部によって取得された前記温度センサの計測結果および前記対応情報に基づいて、前記補正値決定部によって決定された前記補正値が正常であるか否かを判定する判定部とを備える。

【0032】

このような構成により、判定部の判定結果に基づいて、対象計測結果が適正であるか否かを計測対象の温度に関わらず判断することができるので、対象計測結果の信頼性を高めることができる。

【0033】

（１１）本発明の実施の形態に係る振動計測方法は、振動を計測する振動センサを、計測対象を含むエリアに設置するステップと、前記計測対象が稼働していない状態における前記振動センサの計測結果を取得するステップと、取得した前記計測結果に基づいて補正値を決定するステップと、前記計測対象を稼働するステップと、前記計測対象が稼働している状態における前記計測結果である対象計測結果を取得するステップと、取得した前記対象計測結果を、前記補正値を用いて補正するステップとを含む。

【0034】

このような構成により、たとえば、計測対象が静止していても計測されるノイズ成分、および振動センサの設置環境に依存する成分に基づく補正値を決定することができる。これにより、上記成分の悪影響が抑制されるように対象計測結果を補正することができるので、上記成分により精度よく計測することが困難であった振幅の小さい微弱な振動を計測することができる。したがって、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の振動をより精度よく計測することができる。

【0035】

（１２）本発明の実施の形態に係る振動計測プログラムは、振動センサシステムにおいて用いられる振動計測プログラムであって、コンピュータを、計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部、として機能させるためのプログラムである。

【0036】

このような構成により、たとえば、計測対象が稼働していない状態であることを所定条件とすることで、計測対象が静止していても計測されるノイズ成分、および振動センサの設置環境に依存する成分に基づく補正値を決定することができる。これにより、上記成分の悪影響が抑制されるように対象計測結果を補正することができるので、上記成分により精度よく計測することが困難であった振幅の小さい微弱な振動を計測することができる。したがって、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の振動をより精度よく計測することができる。

【0037】

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。また、以下に記載する実施の形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。

【0038】

＜第１の実施の形態＞
［構成および基本動作］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムの構成を示す図である。

【0039】

図１を参照して、振動センサシステム３０１は、複数の振動計測装置１０１と、複数のアクセスポイント１５１と、管理装置１８１とを備える。

【0040】

図２は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置の設置例を示す図である。

【0041】

図２を参照して、設備１０は、回転部９Ａ，９Ｂ，９Ｃを含む。以下、回転部９Ａ，９Ｂ，９Ｃの各々を回転部９とも称する。

【0042】

回転部９Ｃは、たとえばモータである。回転部９Ｃによって生成された回転動力は、回転部９Ｂ，９Ａを介して伝達される。

【0043】

振動計測装置１０１は、設備１０に設けられる。より詳細には、振動計測装置１０１は、たとえば加速度センサを含み、設備１０に固定される。振動計測装置１０１は、設備１０の振動を計測する。

【0044】

図２では、３つの振動計測装置１０１は、たとえば設備１０における回転部９Ａ，９Ｂ，９Ｃにそれぞれ取り付けられる。

【0045】

再び図１を参照して、振動計測装置１０１は、設備１０の振動を計測し、計測結果を示す振動データ情報を含む無線信号をブロードキャストする。

【0046】

アクセスポイント１５１は、たとえば、内部ネットワーク１１を介して管理装置１８１と有線通信を行うことが可能である。

【0047】

アクセスポイント１５１は、振動計測装置１０１から振動データ情報を受信すると、受信した振動データ情報を中継して内部ネットワーク１１経由で管理装置１８１へ送信する。

【0048】

管理装置１８１は、振動計測装置１０１による計測結果に基づく情報を処理する。より詳細には、管理装置１８１は、アクセスポイント１５１から振動データ情報を受信し、受信した振動データ情報に基づいて設備１０を管理する。

【0049】

具体的には、管理装置１８１は、たとえば設備１０における微弱な振動を検出する検出処理を行う。また、管理装置１８１は、設備１０の振動を分析することにより、たとえば、回転部９におけるアンバランス、ミスアライメント、共振による異常振動およびベアリングの異常振動等を検出し、設備１０のメンテナンスおよび異常診断を行う。

【0050】

なお、アクセスポイント１５１は、振動計測装置１０１から振動データ情報を無線により受信する構成であるとしたが、これに限定するものではない。アクセスポイント１５１は、振動計測装置１０１から振動データ情報を有線により受信する構成であってもよい。

【0051】

また、アクセスポイント１５１および管理装置１８１間において有線通信が行われる構成であるとしたが、これに限定するものではない。アクセスポイント１５１および管理装置１８１間において無線通信が行われる構成であってもよい。

【0052】

また、アクセスポイント１５１は、振動計測装置１０１から他の装置を介さずに振動データ情報を受信する構成であるとしたが、これに限定するものではない。たとえば、アクセスポイント１５１および振動計測装置１０１間において中継装置が設けられ、アクセスポイント１５１は、振動計測装置１０１から当該中継装置を介して振動データ情報を受信する構成であってもよい。

【0053】

［課題］
図２に示すように、振動計測装置１０１が回転部９の近傍に設けられる場合、振動計測装置１０１と振動源である計測対象との距離が短いので、計測対象から振動計測装置１０１へ伝わる振動のレベル（以下、計測対象レベルとも称する。）は大きい。

【0054】

しかしながら、振動計測装置１０１を振動源の近傍に設けることが困難な場合がある。また、振動計測装置１０１を振動源の近傍に設けることが可能であっても、振動源の振動が微弱な場合がある。

【0055】

このような場合、計測対象レベルが小さくなり、振動計測装置１０１が計測対象の振動の有無を検出することが困難となる。このような、微弱な振動を精度よく計測することが可能な技術が求められる。

【0056】

具体的には、たとえば半導体材料の合成炉のような化学反応を進行させる炉では、炉自体が高温となり、また炉の周囲にはヒータが設けられるので、振動源である反応物の近傍に振動計測装置１０１を設置することが困難となる。

【0057】

このような場合、たとえば炉の蓋等のように炉から離れた位置に振動計測装置１０１が設けられるため、計測対象レベルが小さくなってしまう。

【0058】

たとえば、反応物が振動していることを検出することができれば、突沸の発生および反応生成物の品質劣化等を判断することができる。また、反応物が振動していないことを検出することができれば、反応炉における配管の詰まり等を判断することができる。

【0059】

また、半導体材料の合成炉における反応物に起因する微弱な振動の検出の他に、レンズの研磨品質を判断するためにレンズの表面研磨中における微弱な振動を検出することが求められる。また、重要設備の運搬中における破損の有無を判断するために運搬中における当該重要設備の微弱な振動を検出することが求められる。

【0060】

そこで、本発明の実施の形態に係る振動センサシステムでは、以下のような構成および動作により、このような課題を解決する。

【0061】

図３は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の構成を示す図である。

【0062】

図３を参照して、振動計測装置１０１は、振動センサ部２１と、無線モジュール２２と、バッテリ２３と、操作部２４と、点灯部（出力部）２６とを備える。なお、バッテリ２３は、振動計測装置１０１の外部に設けられてもよい。

【0063】

振動計測装置１０１における振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６は、バッテリ２３から供給される電力を用いて動作する。なお、振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６の少なくともいずれか１つが、系統から受ける電力を用いて動作してもよいし、所定の直流電圧を出力する外部電源から受ける電力を用いて動作してもよい。

【0064】

振動センサ部２１は、具体的にはデジタル加速度センサである。より詳細には、振動センサ部２１は、振動センサとしてアナログの加速度センサと、計測結果を保持するデータレジスタと、データレジスタの状態を示すフラグを保持するフラグレジスタとを含む。加速度センサは、設備１０に密着するように取り付けられ、自己の加速度を設備１０の加速度として計測し、計測結果を示すアナログの計測信号を出力する。

【0065】

振動センサ部２１は、加速度センサから出力される計測信号を、無線モジュール２２によって設定されるサンプリング周期Ｔｖでサンプリングし、サンプリング結果であるデジタルの振動データＤｖをデータレジスタにおいて保持するとともに、フラグレジスタにおけるフラグを所定時間オンする。

【0066】

なお、サンプリング周期Ｔｖは所定の周期であってもよい。また、振動センサ部２１は、たとえばデジタルフィルタ処理した振動データＤｖをデータレジスタにおいて保持してもよい。

【0067】

無線モジュール２２は、たとえば専用の半導体集積回路により実現され、振動センサ部２１から取得した振動データＤｖをアクセスポイント１５１へ送信する。

【0068】

図４は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の外観の一例を示す図である。

【0069】

図３および図４を参照して、操作部２４および点灯部２６は、たとえば振動計測装置１０１の筐体の表面に設けられる。

【0070】

図４では、振動センサ部２１が振動計測装置１０１の筐体内に設けられる構成が示される。なお、振動センサ部２１が振動計測装置１０１の筐体内に設けられる構成に限らず、振動センサ部２１が当該筐体の外部に設けられる構成であってもよい。この場合、振動センサ部２１は、たとえばケーブルを介して振動計測装置１０１に接続される。

【0071】

操作部２４は、具体的にはボタンであり、ユーザが振動計測装置１０１に対して補正値を算出する処理を開始させるために用いられる。なお、操作部２４は、スイッチ等であってもよい。

【0072】

ユーザは、たとえば、設備１０が稼働していない状態において、操作部２４に対して押下等のオンする操作を行う。操作部２４は、ユーザによるオン操作を受け付け、オン操作を示すオン操作情報を無線モジュール２２へ出力する。

【0073】

点灯部２６は、たとえばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）であり、無線モジュール２２の制御に従って点灯する。

【0074】

図５は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置における無線モジュールの構成を示す図である。

【0075】

図５を参照して、無線モジュール２２は、メモリ（保持部）３０と、取得部３１と、送信部３２と、補正値決定部３４と、補正部３５と、開始判断部３６とを含む。

【0076】

開始判断部３６は、所定条件Ｃ１を満たす、所定の長さＬ１を有する期間Ｐ１を設定する。

【0077】

所定条件Ｃ１は、たとえば、操作部２４が所定の操作、具体的にはユーザによるオン操作を受け付けたことを含む。言い換えると、所定条件Ｃ１は、たとえばユーザにより所定の操作、具体的には操作部２４に対するオン操作がなされたことを含む。より具体的には、所定条件Ｃ１は、たとえば、操作部２４に対するオン操作がなされたこと、および当該オン操作がなされてからＬ１が経過することを含む。

【0078】

より詳細には、開始判断部３６は、操作部２４からオン操作情報を受けると、オン操作情報を受けたタイミングを開始タイミングとする期間Ｐ１を設定する。

【0079】

また、所定条件Ｃ１は、たとえば振動センサシステム３０１の電源がオンされたことである。詳細には、所定条件Ｃ１は、たとえば振動計測装置１０１の電源がオンされたことである。

【0080】

より詳細には、開始判断部３６は、自己の振動計測装置１０１がオフ状態からオン状態へ遷移すると、遷移したタイミングを開始タイミングとする期間Ｐ１を設定する。

【0081】

開始判断部３６は、設定した期間Ｐ１の開始タイミング、および当該開始タイミングからＬ１経過後の終了タイミングにおいて、それぞれ期間開始情報および期間終了情報を補正値決定部３４へ出力する。

【0082】

補正値決定部３４は、開始判断部３６から期間開始情報を受けると、期間Ｐ１が開始したことを認識し、割り込み処理である補正値決定処理を開始する。

【0083】

より詳細には、補正値決定部３４は、期間Ｐ１において所定の補正測定周期ごとに取得命令を取得部３１へ出力する。

【0084】

取得部３１は、計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果すなわち振動データＤｖを取得する。

【0085】

具体的には、取得部３１は、補正値決定部３４から取得命令を受けると、振動センサ部２１に対してサンプリング周期Ｔｖを設定する。そして、取得部３１は、振動センサ部２１におけるフラグレジスタの保持するフラグを監視し、当該フラグがオンされると、データレジスタから振動データＤｖを取得する。取得部３１は、取得した振動データＤｖにインデックスを付してメモリ３０に蓄積するとともに、取得完了通知を補正値決定部３４へ出力する。

【0086】

このインデックスは、取得部３１が振動データＤｖをメモリ３０に蓄積するごとにインクリメントされる。したがって、インデックスは、振動データＤｖの生成順を示すとともに、振動データＤｖの取得時刻に対応する。

【0087】

また、取得部３１は、たとえばメモリ３０をリングバッファとして機能させる。すなわち、取得部３１は、振動データＤｖを上限数までメモリ３０に蓄積する。取得部３１は、たとえば、上限数の振動データＤｖをメモリ３０に蓄積した状態において新たな振動データＤｖをメモリ３０に蓄積する際、当該上限数の振動データＤｖのうち最も古い振動データＤｖすなわち最も小さいインデックスの付された振動データＤｖを破棄した後、新たな振動データＤｖをメモリ３０に蓄積する。

【0088】

補正値決定部３４は、取得部３１から最初の取得完了通知を受けると、メモリ３０に蓄積された各振動データＤｖに付されたインデックスを参照し、参照した各インデックスのうち最も値の大きいインデックスすなわち最新の振動データＤｖに付されたインデックス（以下、開始インデックスとも称する。）を特定する。

【0089】

補正値決定部３４は、たとえば、開始判断部３６から期間終了情報を受けるまで補正測定周期ごとに取得命令を取得部３１へ出力し、取得命令の応答である２回目以降の取得完了通知を取得部３１から受ける。すなわち、メモリ３０において、補正測定周期ごとに新たな振動データＤｖが蓄積される。

【0090】

そして、補正値決定部３４は、開始判断部３６から期間終了情報を受けると、期間Ｐ１が満了したことを認識し、メモリ３０に蓄積された各振動データＤｖに付されたインデックスを再び参照する。

【0091】

補正値決定部３４は、参照した各インデックスのうち最も値の大きいインデックスすなわち最新の振動データＤｖに付されたインデックス（以下、終了インデックスとも称する。）を特定する。

【0092】

補正値決定部３４は、特定した開始インデックスおよび終了インデックスを用いて、開始インデックスの付された振動データＤｖから終了インデックスの付された振動データＤｖまでの振動データＤｖ（以下、対象振動データＤｔ１とも称する。）をメモリ３０から取得する。

【0093】

図６は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置における取得部によって取得された振動データの示す加速度の時間変化の一例を示す図である。なお、図６において、縦軸は重力加速度単位の加速度［ｇ］を示し、横軸は秒単位の時間［秒］を示す。

【0094】

図６には、期間Ｐ１において取得部３１によって取得された振動データＤｖすなわち対象振動データＤｔ１の示す加速度の時系列変化が示される。

【0095】

図６を参照して、補正値決定部３４は、所定条件Ｃ１を満たす期間Ｐ１において取得部３１によって取得された計測結果に基づいて補正値を決定する。

【0096】

より詳細には、補正値決定部３４は、たとえば、対象振動データＤｔ１に基づいて、一定の変動幅であって正方向の変動幅と負方向の変動幅とを含む補正値を決定する。

【0097】

具体的には、補正値決定部３４は、たとえば対象振動データＤｔ１の平均値Ａｖｅを算出する。そして、補正値決定部３４は、対象振動データＤｔ１に含まれる各々のデータから平均値Ａｖｅを差し引くことにより対象振動データＤｔ２を作成する。

【0098】

補正値決定部３４は、対象振動データＤｔ２のうちのゼロ以上の値を有するデータ（以下、正データとも称する。）に基づいて実効値Ａｅｐを補正値として算出する。

【0099】

より詳細には、たとえば、正データの個数がＮである場合において、正データの各々が示す値がＸ１〜ＸＮで表されるとき、正データの実効値Ａｅｐは以下の式（１）により求められる。

【数1】

【0100】

同様に、補正値決定部３４は、式（１）を用いて、対象振動データＤｔ２のうちのゼロより小さい値を有するデータ（以下、負データとも称する。）に基づいて実効値Ａｅｍを補正値として算出する。この負データの実効値Ａｅｍも正の値となる。

【0101】

なお、補正値決定部３４は、正データのすべてを用いて実効値Ａｅｐを算出する構成であるとしたが、これに限定するものではない。補正値決定部３４は、正データに含まれる各振動データＤｖのうち、加速度の大きい順の上位から所定個数の振動データＤｖたとえば１０個の振動データＤｖを特定し、特定した振動データＤｖを除去した正データに基づいて実効値Ａｅｐを算出する構成であってもよい。

【0102】

これにより、実効値Ａｅｐを算出する場合において、図６に示すピークＰ１，Ｐ２のように他の振動データＤｖと比べて大きい加速度の振動データＤｖを除くことができるので、より良好な実効値Ａｅｐを算出することができる。

【0103】

同様に、補正値決定部３４は、負データのすべてを用いて実効値Ａｅｍを算出する構成であるとしたが、これに限定するものではない。補正値決定部３４は、負データに含まれる各振動データＤｖのうち、加速度の大きい順の下位から所定個数の振動データＤｖたとえば１０個の振動データＤｖを特定し、特定した振動データＤｖを除去した負データに基づいて実効値Ａｅｍを算出する構成であってもよい。

【0104】

補正値決定部３４は、算出した平均値Ａｖｅおよび実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを含む補正値情報を補正部３５へ出力し、補正値決定処理を終了する。

【0105】

また、補正値決定部３４は、補正値決定処理の開始タイミングおよび終了タイミングにおいて、それぞれ処理開始情報および処理終了情報を点灯部２６へ出力する。

【0106】

再び図３および図４を参照して、点灯部２６は、たとえば補正値決定部３４による補正値の決定完了を認識可能に出力する。

【0107】

より詳細には、点灯部２６は、無線モジュール２２における補正値決定部３４から処理開始情報を受けると、自己のＬＥＤを点灯する。そして、点灯部２６は、補正値決定部３４から処理終了情報を受けると、自己のＬＥＤを消灯する。

【0108】

なお、点灯部２６は、補正値決定部３４が補正値決定処理を行っている間、自己のＬＥＤを単に点灯する構成に限らず、補正値決定処理の進捗状況がわかるように自己のＬＥＤを点灯する構成であってもよい。

【0109】

具体的には、補正値決定部３４は、たとえば、補正値決定処理の進捗度合いを示す進捗情報を所定周期ごとに作成し、作成した進捗情報を点灯部２６へ出力する。

【0110】

点灯部２６は、たとえば、補正値決定部３４から受ける進捗情報の示す進捗度合いに応じた点滅速度で自己のＬＥＤを点灯する。

【0111】

再び図５を参照して、補正値決定部３４は、補正値決定処理が終了すると、たとえば、所定の通常測定周期ごとに取得命令を取得部３１へ出力し、当該取得命令の応答である取得完了通知を取得部３１から受けると、受けた取得完了通知を補正部３５へ出力する。

【0112】

補正部３５は、期間Ｐ１の経過後に取得部３１によって取得された計測結果である対象計測結果を、補正値決定部３４によって決定された補正値を用いて補正する補正処理を行う。

【0113】

詳細には、補正部３５は、たとえば、対象計測結果の示す振動から補正値の示す振動分を除去する補正処理を行う。

【0114】

より詳細には、補正部３５は、補正値決定部３４から補正値情報を受けると、受けた補正値情報から平均値Ａｖｅおよび実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを取り出す。

【0115】

また、補正部３５は、補正値決定部３４から取得完了通知を受けると、最も値の大きいインデックスの付された振動データＤｖすなわち最新の振動データＤｖをメモリ３０から取得し、取得した振動データＤｖの値から平均値Ａｖｅを差し引く。

【0116】

補正部３５は、平均値Ａｖｅを差し引いた振動データＤｖの値がゼロ以上である場合、当該値から実効値Ａｅｐを差し引く。一方、補正部３５は、平均値Ａｖｅを差し引いた振動データＤｖの値がゼロより小さい場合、当該値に実効値Ａｅｍを加える。

【0117】

補正部３５は、実効値Ａｅｐを差し引くか、または実効値Ａｅｍを加えた後の振動データＤｖ（以下、補正済振動データとも称する。）、および自己の無線モジュール２２のＩＤを含む振動データ情報を作成し、作成した振動データ情報を送信部３２へ出力する。

【0118】

図７は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置における補正部によって補正された振動データの示す加速度の時間変化の一例を示す図である。なお、図７の見方は、図６と同様である。

【0119】

図７には、図６に示す対象振動データＤｔ１に対して補正処理を適用した後の振動データＤｖ２が示される。

【0120】

このように、振動データＤｖ２では、図６に示す対象振動データＤｔ１と比べて、不規則な振動の振幅を小さくすることができるので、振動データＤｖ２に基づいて微弱な振動をより精度よく検出することができる。

【0121】

なお、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置は、実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを用いて振動データＤｖを補正する構成であるとしたが、これに限定するものではない。振動計測装置１０１は、実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを用いないで振動データＤｖを補正する構成であってもよい。

【0122】

具体的には、振動計測装置１０１における補正値決定部３４は、上述したように、対象振動データＤｔ１の平均値Ａｖｅを算出し、対象振動データＤｔ１に含まれる各々のデータから平均値Ａｖｅを差し引くことにより対象振動データＤｔ２を作成する。

【0123】

補正値決定部３４は、対象振動データＤｔ２のうちのゼロ以上の値を有する正データの平均値Ａｖｅｐ、および対象振動データＤｔ２のうちのゼロより小さい値を有する負データの平均値Ａｖｅｎを補正値として算出する。

【0124】

この際、補正値決定部３４は、正データのすべてを用いて平均値Ａｖｅｐを算出する構成に限らず、正データに含まれる各振動データＤｖのうち、加速度の大きい順の上位から所定個数の振動データＤｖを除去した正データに基づいて平均値Ａｖｅｐを算出する構成であってもよい。

【0125】

同様に、補正値決定部３４は、負データのすべてを用いて平均値Ａｖｅｎを算出する構成に限らず、負データに含まれる各振動データＤｖのうち、加速度の大きい順の下位から所定個数の振動データＤｖを除去した負データに基づいて平均値Ａｖｅｎを算出する構成であってもよい。

【0126】

補正部３５は、補正対象の振動データＤｖから平均値Ａｖｅを差し引いた値がゼロ以上である場合、当該値から平均値Ａｖｅｐの絶対値を差し引く。一方、補正部３５は、補正対象の振動データＤｖから平均値Ａｖｅを差し引いた値がゼロより小さい場合、当該値に平均値Ａｖｅｎの絶対値を加える。

【0127】

なお、本発明の第１の実施の形態に係る無線モジュールでは、取得部３１は、補正値決定部３４から取得命令を受けると、振動センサ部２１から振動データＤｖを取得し、取得した振動データＤｖをメモリ３０に蓄積して取得完了通知を補正値決定部３４へ出力する構成であるとしたが、これに限定するものではない。取得部３１は、取得完了通知を補正値決定部３４へ出力しない構成であってもよい。

【0128】

この場合、補正値決定部３４は、たとえば、取得部３１へ取得命令を出力したタイミングからサンプリング周期Ｔｖの時間が経過したことをもって、振動センサ部２１が新たな振動データＤｖをメモリ３０に蓄積したと判断する。また、補正部３５は、たとえば、補正値決定部３４が出力する取得命令を監視し、補正値決定部３４が取得部３１へ取得命令を出力したタイミングからサンプリング周期Ｔｖの時間が経過したことをもって、振動センサ部２１が新たな振動データＤｖをメモリ３０に蓄積したと判断する。

【0129】

再び図５を参照して、送信部３２は、補正部３５によって補正された対象計測結果を含む無線信号を片方向通信により送信する。

【0130】

具体的には、送信部３２は、たとえば、ＩＥＥＥ８０２．１５．４の通信規格に従って無線信号を送信することが可能である。

【0131】

より詳細には、送信部３２は、補正部３５から振動データ情報を受けると、受けた振動データ情報をパケットに格納し、当該パケットをブロードキャストする。

【0132】

再び図１を参照して、アクセスポイント１５１は、振動計測装置１０１からパケットを受信すると、受信したパケットを中継して内部ネットワーク１１経由で管理装置１８１へ送信する。

【0133】

管理装置１８１は、アクセスポイント１５１から受信した補正済振動データを処理する。より詳細には、管理装置１８１は、アクセスポイント１５１からパケットを受信すると、受信したパケットから振動データ情報を取得する。

【0134】

管理装置１８１は、取得した振動データ情報に基づいて検出処理を行う。具体的には、管理装置１８１は、振動データ情報から補正済振動データを取り出し、取り出した補正済振動データに、振動データ情報に含まれる無線モジュール２２のＩＤ、および受信時刻を示すタイムスタンプを付する。

【0135】

管理装置１８１は、補正済振動データを蓄積する。管理装置１８１は、たとえば、蓄積した複数の補正済振動データの示す値の時系列変化に基づいて、計測対象における微弱な振動の有無を判定する。

【0136】

［無線モジュールの変形例］
所定条件Ｃ１は、操作部２４に対するオン操作がなされてからＬ１が経過するまでか、または振動計測装置１０１の電源がオンされたこととしたが、これに限定するものではない。所定条件Ｃ１は、管理装置１８１から指示を受けたことであってもよい。

【0137】

ここでは、振動計測装置１０１が管理装置１８１から指示を受けた場合の振動センサシステム３０１における処理について説明する。

【0138】

図８は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける無線モジュールの変形例の構成を示す図である。

【0139】

図８を参照して、無線モジュール２２の変形例は、図５に示す無線モジュール２２と比べて、送信部３２の代わりに、通信部６２を備える。

【0140】

図８を参照して、通信部６２は、アクセスポイント１５１と双方向の無線通信を行うことが可能である。通信部６２は、アクセスポイント１５１および内部ネットワーク１１を介して管理装置１８１と通信を行うことが可能である。

【0141】

再び図１を参照して、管理装置１８１は、たとえば、設備１０の稼働状況を管理する。管理装置１８１は、たとえば、設備１０が稼働していない状態において、補正値決定命令を内部ネットワーク１１およびアクセスポイント１５１経由で振動計測装置１０１へ送信する。

【0142】

再び図８を参照して、無線モジュール２２における通信部６２は、管理装置１８１から補正値決定命令を受信すると、受信した補正値決定命令を開始判断部３６へ出力する。

【0143】

開始判断部３６は、通信部６２から補正値決定命令を受けると、受けた補正値決定命令に従って、補正値決定命令を受けたタイミングを開始タイミングとする期間Ｐ１を設定する。

【0144】

開始判断部３６は、設定した期間Ｐ１の開始タイミングおよび終了タイミングにおいて、それぞれ期間開始情報および期間終了情報を補正値決定部３４へ出力する。

【0145】

［振動計測装置１０１の変形例１］
図９は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の変形例の構成を示す図である。

【0146】

図９を参照して、振動計測装置１０１の変形例１は、図３に示す振動計測装置１０１と比べて、さらに、電源管理部３３を備える。

【0147】

振動計測装置１０１の変形例１における振動センサ部２１、無線モジュール２２、バッテリ２３、操作部２４および点灯部２６の動作は、図３に示す振動計測装置１０１における振動センサ部２１、無線モジュール２２、バッテリ２３、操作部２４および点灯部２６とそれぞれ同様である。

【0148】

振動計測装置１０１の変形例１における電源管理部３３は、振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６への電力供給のオンおよびオフを制御する。

【0149】

より詳細には、電源管理部３３には、たとえば、起床期間およびスリープ期間が交互に繰り返されるスケジュールが設定されている。電源管理部３３は、当該スケジュールに従って、振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６への電力供給のオンおよびオフを制御する。

【0150】

電源管理部３３は、起床期間において、バッテリ２３からの電力を振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６へ供給する。一方、電源管理部３３は、スリープ期間において、振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６への電力供給を停止する。

【0151】

振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６は、起床期間に入って電源管理部３３から電力供給を受けると、動作を開始する。

【0152】

より詳細には、補正値決定部３４は、起床期間において通常測定周期ごとに取得命令を取得部３１へ出力する。

【0153】

そして、振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６は、スリープ期間に入って電源管理部３３からの電力供給が停止すると、動作を停止する。

【0154】

また、電源管理部３３は、スリープ期間においても、操作部２４からオン操作情報を受けると、スケジュールに関わらず振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６へ電力を供給する。

【0155】

開始判断部３６は、スリープ期間においても、操作部２４からオン操作情報を受けると、スケジュールに関わらず期間Ｐ１を設定する。これにより、補正値決定部３４において、補正値決定処理が割り込み処理として行われる。

【0156】

なお、電源管理部３３は、無線モジュール２２における送信動作を監視し、無線モジュール２２における振動データ情報の送信処理がスリープ期間の開始タイミングより前に終了した場合、当該開始タイミングより前のタイミングであっても当該送信処理の終了後に振動センサ部２１、無線モジュール２２および点灯部２６への電力供給を停止してもよい。

【0157】

［振動計測装置１０１の変形例２］
図１０は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の変形例の構成を示す図である。

【0158】

図１０を参照して、振動計測装置１０１の変形例２は、図３に示す振動計測装置１０１と比べて、さらに、温度センサ部２５を備える。

【0159】

振動計測装置１０１の変形例２における振動センサ部２１、無線モジュール２２、バッテリ２３、操作部２４および点灯部２６の動作は、図３に示す振動計測装置１０１における振動センサ部２１、無線モジュール２２、バッテリ２３、操作部２４および点灯部２６とそれぞれ同様である。

【0160】

振動計測装置１０１の変形例２における温度センサ部２５は、たとえば計測対象の温度を計測する。具体的には、温度センサ部２５は、たとえばアナログの温度センサを含む。温度センサは、設備１０に密着するように取り付けられ、設備１０の温度を計測し、計測結果を示すアナログの計測信号を出力する。

【0161】

温度センサ部２５は、温度センサから出力される計測信号を所定のサンプリング周期Ｔｔでサンプリングし、サンプリング結果であるデジタルの温度データＤｔを無線モジュール２２へ出力する。

【0162】

なお、サンプリング周期Ｔｔは可変であってもよい。また、温度センサ部２５は、たとえばデジタルフィルタ処理した温度データＤｔを無線モジュール２２へ出力してもよい。

【0163】

図１１は、図１０に示す振動計測装置の変形例における無線モジュールの構成を示す図である。

【0164】

図１１を参照して、振動計測装置１０１の変形例２における無線モジュール２２は、図５に示す無線モジュール２２と比べて、さらに、判定部３７を含む。

【0165】

図１１に示す無線モジュール２２におけるメモリ３０、取得部３１、送信部３２、補正値決定部３４、補正部３５および開始判断部３６の動作は、図５に示す無線モジュール２２におけるメモリ３０、取得部３１、送信部３２、補正値決定部３４、補正部３５および開始判断部３６とそれぞれ同様である。

【0166】

無線モジュール２２における取得部３１は、たとえば、計測対象の温度を計測する温度センサの計測結果をさらに取得する。より詳細には、取得部３１は、温度センサ部２５から温度データＤｔをサンプリング周期Ｔｔごとに受けて、受けた温度データＤｔを判定部３７へ出力する。

【0167】

図１２は、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測装置の変形例における補正値決定部が用いる参考実効値の温度変化の一例を示す図である。なお、図１２において、縦軸は加速度の参考実効値［ｍｇ］を示し、横軸は温度［℃］を示す。

【0168】

図１２を参照して、メモリ３０は、たとえば、計測対象の温度と補正値の正常範囲を決定するための値との対応関係を示す対応情報を保持する。具体的には、メモリ３０は、計測対象の温度と加速度の参考実効値との対応関係を示す対応情報を保持する。

【0169】

参考実効値は、たとえば振動計測装置１０１の出荷時に設定される。より詳細には、参考実効値は、たとえば、静止状態における振動計測装置１０１によって算出された実効値Ａｅｐ，Ａｅｍに基づく値である。

【0170】

判定部３７は、たとえば、取得部３１によって取得された温度センサの計測結果および対応情報に基づいて、補正値決定部３４によって決定された補正値が正常であるか否かを判定する。

【0171】

より詳細には、補正値決定部３４は、補正値決定処理において平均値Ａｖｅおよび実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを算出し、算出結果を含む補正値情報を補正部３５および判定部３７へ出力する。

【0172】

判定部３７は、補正値決定部３４から補正値情報を受けると、現在の設備１０の温度における補正値の正常範囲を決定する。

【0173】

より詳細には、判定部３７は、取得部３１から受ける温度データＤｔのうち、直近の温度データＤｔの示す温度を設備１０の温度Ｔｓとして決定する。

【0174】

判定部３７は、たとえば、対応情報の示す温度ごとの参考実効値を最小二乗近似することにより直線Ｌｔを求め、求めた直線Ｌｔを用いて、特定した温度Ｔｓに対応する参考実効値Ａｓを算出する。

【0175】

判定部３７は、たとえば、算出した参考実効値Ａｓを所定数倍した値以下でありかつゼロ以上の範囲を正常範囲として決定する。なお、判定部３７は、参考実効値Ａｓ以下でありかつゼロ以上の範囲を正常範囲として決定してもよい。

【0176】

判定部３７は、補正値情報に含まれる実効値ＡｅｐおよびＡｅｍの両方が正常範囲に含まれる場合、補正値決定部３４によって決定された補正値が正常であると判定する。

【0177】

一方、判定部３７は、当該実効値Ａｅｐ，Ａｅｍの少なくともいずれか一方が正常範囲に含まれない場合、補正値決定部３４によって決定された補正値が異常であると判定する。

【0178】

判定部３７は、判定結果を含む判定結果情報を作成し、作成した判定結果情報を送信部３２経由で管理装置１８１へ送信する。

【0179】

このような構成により、管理装置１８１では、判定結果情報に基づいて補正済振動データの信頼度を評価することができる。

【0180】

［振動計測方法］
図１３は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測方法の手順を定めたフローチャートである。

【0181】

図１３を参照して、ユーザは、振動を計測する加速度センサを、計測対象を含むエリアに設置する（ステップＳ１０２）。より詳細には、ユーザは、振動計測装置１０１に含まれる加速度センサが設備１０に密着するように振動計測装置１０１を設備１０に取り付ける。

【0182】

次に、ユーザは、設備１０が稼働していない状態において、振動計測装置１０１の電源をオンする（ステップＳ１０４）。

【0183】

次に、振動計測装置１０１は、計測対象が稼働していない状態における加速度センサの計測結果を取得する（ステップＳ１０６）。詳細には、振動計測装置１０１は、所定条件Ｃ１が満たされたので補正値決定処理を開始する。より詳細には、振動計測装置１０１は、サンプリング周期Ｔｖごとに振動データＤｖを取得する取得処理を開始し、期間Ｐ１における振動データＤｖすなわち対象振動データＤｔ１を取得する。

【0184】

次に、振動計測装置１０１は、取得した計測結果に基づいて補正値を決定する（ステップＳ１０８）。より詳細には、振動計測装置１０１は、対象振動データＤｔ１に基づいて補正値を決定する（ステップＳ１０８）。

【0185】

次に、ユーザは、計測対象を稼働する（ステップＳ１１０）。より詳細には、ユーザは、点灯部２６におけるＬＥＤの点灯状況を監視し、ＬＥＤが消灯すると振動計測装置１０１における補正値決定処理が完了したと判断し、設備１０を稼働させる。

【0186】

次に、振動計測装置１０１は、計測対象が稼働している状態における計測結果である対象計測結果を取得する（ステップＳ１１２）。より詳細には、振動計測装置１０１は、サンプリング周期Ｔｖごとの振動データＤｖの取得処理を継続して行う。

【0187】

次に、振動計測装置１０１は、取得した対象計測結果を、決定した補正値を用いて補正する（ステップＳ１１４）。より詳細には、振動計測装置１０１は、取得した振動データＤｖの補正処理を行う。

【0188】

次に、振動計測装置１０１は、補正後の振動データＤｖすなわち補正済振動データを含む振動データ情報を送信する（ステップＳ１１６）。

【0189】

なお、振動計測装置１０１は、上記ステップ１１４およびＳ１１６における振動データＤｖの補正処理および送信処理を１回行う構成に限らず、たとえばユーザが振動計測装置１０１の電源をオフするまで、振動データＤｖの補正処理および送信処理を繰り返し行う構成でってもよい。

【0190】

［動作の流れ］
振動センサシステム３０１における各装置は、コンピュータを備え、当該コンピュータにおけるＣＰＵ等の演算処理部は、以下のシーケンス図またはフローチャートの各ステップの一部または全部を含むプログラムを図示しないメモリからそれぞれ読み出して実行する。これら複数の装置のプログラムは、それぞれ、外部からインストールすることができる。これら複数の装置のプログラムは、それぞれ、記録媒体に格納された状態で流通する。

【0191】

図１４は、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムが振動データを処理する際の動作手順を定めたフローチャートである。

【0192】

図１４を参照して、まず、振動計測装置１０１は、所定条件Ｃ１が満たされるまで待機する（ステップＳ２０２でＮＯ）。

【0193】

そして、振動計測装置１０１は、所定条件Ｃ１が満たされると（ステップＳ２０２でＹＥＳ）、期間Ｐ１を設定する（ステップＳ２０４）。

【0194】

次に、振動計測装置１０１は、期間Ｐ１においてサンプリング周期Ｔｖごとに振動データＤｖを取得する、すなわち対象振動データＤｔ１を取得する（ステップＳ２０６）。

【0195】

次に、振動計測装置１０１は、取得した対象振動データＤｔ１に基づいて補正値を決定する（ステップＳ２０８）。

【0196】

次に、振動計測装置１０１は、リングバッファとして機能するメモリ３０に新たな振動データＤｖが蓄積されるまで待機し（ステップＳ２１０でＮＯ）、メモリ３０に新たな振動データＤｖが蓄積されると（ステップＳ２１０でＹＥＳ）、新たな振動データＤｖの補正処理を行う（ステップＳ２１２）。

【0197】

次に、振動計測装置１０１は、補正後の振動データＤｖすなわち補正済振動データを含む振動データ情報を送信する（ステップＳ２１４）。

【0198】

次に、振動計測装置１０１は、ユーザによりオン操作が発生するか、または補正値決定命令を管理装置１８１から受信した場合（ステップＳ２１６でＹＥＳ）、新たな期間Ｐ１を設定する（ステップＳ２０４）。

【0199】

一方、振動計測装置１０１は、ユーザによりオン操作が発生せず、かつ補正値決定命令を管理装置１８１から受信しない場合（ステップＳ２１６でＮＯ）、メモリ３０に新たな振動データＤｖが蓄積されるまで待機する（ステップＳ２１０でＮＯ）。

【0200】

なお、振動計測装置１０１は、上記ステップＳ２１６においてユーザによるオン操作の発生および補正値決定命令の受信についての判定を行ったが、これに限定するものではない。振動計測装置１０１は、割り込み処理として、当該判定をステップＳ２１０の待機中、ステップＳ２１０およびＳ２１２の間、ならびにステップＳ２１２およびＳ２１４の間のうちのいずれで行ってもよい。

【0201】

また、管理装置１８１は、上記ステップＳ２１４において振動データ情報が振動計測装置１０１により送信された後、振動データ情報を受信し、受信した振動データ情報に基づいて検出処理を行う。

【0202】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムは、複数の振動計測装置１０１と、複数のアクセスポイント１５１と、管理装置１８１とを備えるとしたが、これに限定するものではない。振動センサシステム３０１は、取得部３１と、補正値決定部３４と、補正部３５とを備える最小構成要素により、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の振動をより精度よく計測するという本発明の目的を達成することが可能である。

【0203】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、複数の振動計測装置１０１が設けられる構成であるとしたが、これに限定するものではない。振動センサシステム３０１では、１つの振動計測装置１０１が設けられる構成であってもよい。

【0204】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、振動センサは、加速度センサであるとしたが、これに限定するものではない。振動センサは、位置センサおよび速度センサのいずれか一方であってもよい。振動センサが、位置センサまたは速度センサであっても、対象計測結果を補正することが可能である。

【0205】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、振動センサ部２１が設けられる構成であるとしたが、これに限定するものではない。振動センサ部２１が振動センサシステム３０１の外部に設けられる構成であってもよい。

【0206】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、補正値は、一定の変動幅であって正方向の変動幅と負方向の変動幅とを含む構成であるとしたが、これに限定するものではない。補正値は、実効値Ａｅｐ，Ａｅｍの平均値等の一定の変動幅である構成であってもよい。また、当該補正値は、一定の変動幅でなくてもよい。

【0207】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、補正部３５は、対象計測結果の示す振動から補正値の示す振動分を除去する構成であるとしたが、これに限定するものではない。補正部３５は、補正値を用いて、対象計測結果から補正値の示すオフセット分を除去する構成であってもよい。

【0208】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、所定条件Ｃ１は、操作部２４に対するオン操作がなされたことを含むか、または振動計測装置１０１の電源がオンされたこととしたが、これに限定するものではない。所定条件Ｃ１は、操作部２４に対するオン操作がなされたことを含むこと、および振動計測装置１０１の電源がオンされたことのいずれか一方であってもよい。また、所定条件Ｃ１は、これらと異なる条件であってもよい。

【0209】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムは、操作部２４および点灯部２６を備える構成であるとしたが、これに限定するものではない。振動センサシステム３０１は、操作部２４および点灯部２６のいずれか一方を備える構成であってもよいし、操作部２４および点灯部２６を備えない構成であってもよい。

【0210】

ところで、上述の特許文献１に記載の技術を超えて、計測対象の振動をより精度よく計測するための技術が求められている。

【0211】

これに対して、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、取得部３１は、計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する。補正値決定部３４は、所定条件Ｃ１を満たす期間Ｐ１において取得部３１によって取得された計測結果に基づいて補正値を決定する。そして、補正部３５は、期間Ｐ１の経過後に取得部３１によって取得された計測結果である対象計測結果を、補正値決定部３４によって決定された補正値を用いて補正する。

【0212】

このような構成により、たとえば、計測対象が稼働していない状態であることを所定条件Ｃ１とすることで、計測対象が静止していても計測されるノイズ成分、および振動センサの設置環境に依存する成分に基づく補正値を決定することができる。これにより、上記成分の悪影響が抑制されるように対象計測結果を補正することができるので、上記成分により精度よく計測することが困難であった振幅の小さい微弱な振動を計測することができる。したがって、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の微弱な振動をより精度よく計測することができる。

【0213】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、補正値は、一定の変動幅である。

【0214】

このような構成により、たとえば、抑制対象の成分の変動が一定の範囲に収まる場合において、当該成分の対象計測結果に対する悪影響を効果的に抑制することができる。

【0215】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、補正値は、正方向の変動幅と負方向の変動幅とを含む。

【0216】

このような構成により、抑制対象の成分の変動が正方向および負方向に非対称である場合においても、当該成分の対象計測結果に対する悪影響を効果的に抑制することができる。

【0217】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、補正部３５による補正は、対象計測結果の示す振動から補正値の示す振動分を除去することである。

【0218】

このように、たとえば、計測対象が静止していても計測される振動分を対象計測結果の示す振動から除去する構成により、対象計測結果の示す振動の振幅より小さい値の振幅を計測対象の振幅とすることができるので、振幅の小さい微弱な振動を良好に計測することができる。

【0219】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、所定条件Ｃ１は、ユーザにより所定の操作がなされたことを含む。

【0220】

このように、たとえば、計測対象が稼働していないことを認識可能なユーザにより所定の操作がなされたことを含む所定条件Ｃ１とする構成により、計測対象が静止している状態における計測結果を取得する可能性を高めることができる。

【0221】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、操作部２４は、上記所定の操作を受け付ける。そして、所定条件Ｃ１は、操作部２４が上記所定の操作を受け付けたことを含む。

【0222】

このような構成により、ユーザは、計測対象が稼働していない状態における計測結果の取得処理を容易に開始させることができる。

【0223】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、所定条件Ｃ１は、計測結果に基づく情報を処理する管理装置１８１から指示を受けたことである。

【0224】

このように、たとえば、計測対象の稼働状況を認識可能な管理装置１８１から指示を受けたことを所定条件Ｃ１とする構成により、計測対象が静止している状態における計測結果を取得する可能性を高めることができる。

【0225】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、所定条件Ｃ１は、振動センサシステム３０１の電源がオンされたことである。

【0226】

このように、たとえば計測対象が稼働していない状態である場合において振動センサシステム３０１の電源がオンされたことを所定条件Ｃ１とする構成により、計測対象が静止している状態における計測結果を取得する可能性を高めることができる。

【0227】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、点灯部２６は、補正値決定部３４による補正値の決定完了を認識可能に出力する。

【0228】

このような構成により、ユーザは、補正値の決定タイミングを容易に認識することができるので、たとえば、補正値の決定より前に計測対象を稼働させてしまうことを防ぐことができる。

【0229】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動センサシステムでは、取得部３１は、計測対象の温度を計測する温度センサの計測結果をさらに取得する。メモリ３０は、計測対象の温度と補正値の正常範囲を決定するための値との対応関係を示す対応情報を保持する。そして、判定部３７は、取得部３１によって取得された温度センサの計測結果および対応情報に基づいて、補正値決定部３４によって決定された補正値が正常であるか否かを判定する。

【0230】

このような構成により、判定部３７の判定結果に基づいて、対象計測結果が適正であるか否かを計測対象の温度に関わらず判断することができるので、対象計測結果の信頼性を高めることができる。

【0231】

また、本発明の第１の実施の形態に係る振動計測方法では、まず、振動を計測する振動センサを、計測対象を含むエリアに設置する。次に、計測対象が稼働していない状態における振動センサの計測結果を取得する。次に、取得した計測結果に基づいて補正値を決定する。次に、計測対象を稼働する。次に、計測対象が稼働している状態における計測結果である対象計測結果を取得する。次に、取得した対象計測結果を、補正値を用いて補正する。

【0232】

このような構成により、たとえば、計測対象が静止していても計測されるノイズ成分、および振動センサの設置環境に依存する成分に基づく補正値を決定することができる。これにより、上記成分の悪影響が抑制されるように対象計測結果を補正することができるので、上記成分により精度よく計測することが困難であった振幅の小さい微弱な振動を計測することができる。したがって、計測対象の振動を計測する構成において、計測対象の微弱な振動をより精度よく計測することができる。

【0233】

次に、本発明の他の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

【0234】

＜第２の実施の形態＞
本実施の形態は、第１の実施の形態に係る振動センサシステムと比べて、管理装置において補正値が決定される振動センサシステムに関する。以下で説明する内容以外は第１の実施の形態に係る振動センサシステムと同様である。

【0235】

［構成および基本動作］
図１５は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサシステムの構成を示す図である。

【0236】

図１５を参照して、振動センサシステム３０２は、複数の振動計測装置１０２と、アクセスポイント１５１と、管理装置１８２とを備える。

【0237】

振動センサシステム３０２におけるアクセスポイント１５１の動作は、図１に示す振動センサシステム３０１におけるアクセスポイント１５１と同様である。

【0238】

振動計測装置１０２は、無線通信により情報を送受信する機能を有しており、アクセスポイント１５１および内部ネットワーク１１を介して管理装置１８２と通信を行うことが可能である。

【0239】

図１６は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサシステムにおける振動計測装置の構成を示す図である。

【0240】

図１６を参照して、振動計測装置１０２は、図３に示す振動計測装置１０１と比べて、無線モジュール２２の代わりに、無線モジュール５２を備える。

【0241】

振動計測装置１０２における振動センサ部２１、バッテリ２３、操作部２４および点灯部２６の動作は、図３に示す振動計測装置１０１における振動センサ部２１、バッテリ２３、操作部２４および点灯部２６とそれぞれ同様である。

【0242】

図１７は、本発明の第２の実施の形態に係る振動計測装置における無線モジュールの構成を示す図である。

【0243】

図１７を参照して、無線モジュール５２は、図５に示す無線モジュール２２と比べて、メモリ３０、送信部３２、補正値決定部３４、補正部３５および開始判断部３６の代わりに、処理部６１および通信部６２を含む。

【0244】

無線モジュール５２における通信部６２は、アクセスポイント１５１と無線通信を行うことが可能である。

【0245】

処理部６１は、操作部２４からオン操作情報を受けると、受けたオン操作情報を通信部６２経由で管理装置１８２へ送信する。

【0246】

また、処理部６１は、自己の振動計測装置１０２がオフ状態からオン状態へ遷移すると、オン遷移情報を通信部６２経由で管理装置１８２へ送信する。

【0247】

また、通信部６２は、管理装置１８２から処理開始情報を受信すると、受信した処理開始情報を処理部６１へ出力する。また、通信部６２は、管理装置１８２から処理終了情報を受信すると、受信した処理終了情報を処理部６１へ出力する。また、通信部６２は、管理装置１８２から取得命令を受信すると、受信した取得命令を処理部６１へ出力する。

【0248】

処理部６１は、通信部６２から処理開始情報を受けると、受けた処理開始情報を点灯部２６へ出力する。また、処理部６１は、通信部６２から処理終了情報を受けると、受けた処理終了情報を点灯部２６へ出力する。

【0249】

また、処理部６１は、通信部６２から取得命令を受けると、受けた取得命令を取得部３１へ出力する。

【0250】

取得部３１は、処理部６１から取得命令を受けると、振動センサ部２１におけるフラグレジスタの保持するフラグを監視し、当該フラグがオンされると、データレジスタから振動データＤｖを取得する。取得部３１は、取得した振動データＤｖにインデックスを付して処理部６１へ出力する。

【0251】

処理部６１は、取得部３１から振動データＤｖを受けると、受けた振動データＤｖ、および自己の無線モジュール５２のＩＤを含む振動データ情報を作成し、作成した振動データ情報を通信部６２へ出力する。

【0252】

通信部６２は、処理部６１から振動データ情報を受けると、受けた振動データ情報をアクセスポイント１５１および内部ネットワーク１１経由で管理装置１８２へ送信する。

【0253】

図１８は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサシステムにおける管理装置の構成を示す図である。

【0254】

図１８を参照して、管理装置１８２は、メモリ７０と、通信処理部７１と、検出部７３と、補正値決定部７４と、補正部７５と、開始判断部７６とを備える。

【0255】

管理装置１８２におけるメモリ７０、補正値決定部７４、補正部７５および開始判断部７６の動作は、図５に示す無線モジュール２２におけるメモリ３０、補正値決定部３４、補正部３５および開始判断部３６とそれぞれ同様である。

【0256】

通信処理部７１は、内部ネットワーク１１を介してアクセスポイント１５１と通信を行うことが可能である。

【0257】

通信処理部７１は、たとえばメモリ７０をリングバッファとして機能させる。通信処理部７１は、振動計測装置１０２から振動データ情報を受信すると、受信した振動データ情報から振動データＤｖおよび無線モジュール５２のＩＤを取得する。

【0258】

通信処理部７１は、取得した振動データＤｖに無線モジュール５２のＩＤを付した後、振動データＤｖをメモリ７０に蓄積する。

【0259】

通信処理部７１は、振動計測装置１０２からオン操作情報を受信すると、受信したオン操作情報を開始判断部７６へ出力する。また、通信処理部７１は、振動計測装置１０２からオン遷移情報を受信すると、受信したオン遷移情報を開始判断部７６へ出力する。

【0260】

開始判断部７６は、通信処理部７１からオン操作情報を受けると、オン操作情報を受けたタイミングを開始タイミングとする期間Ｐ１を設定する。また、開始判断部７６は、通信処理部７１からオン遷移情報を受けると、オン遷移情報を受けたタイミングを開始タイミングとする期間Ｐ１を設定する。

【0261】

開始判断部７６は、設定した期間Ｐ１の開始タイミングおよび終了タイミングにおいて、それぞれ期間開始情報および期間終了情報を補正値決定部７４へ出力する。

【0262】

補正値決定部７４は、開始判断部７６から期間開始情報を受けると、期間Ｐ１が開始したことを認識し、補正値決定処理を開始する。

【0263】

より詳細には、補正値決定部７４は、期間Ｐ１において補正測定周期ごとに取得命令を通信処理部７１、内部ネットワーク１１およびアクセスポイント１５１経由で振動計測装置１０２へ送信する。

【0264】

補正値決定部７４は、期間Ｐ１においてメモリ７０に蓄積される振動データＤｖに付されたインデックスを監視し、期間Ｐ１が満了すると、監視結果を用いてメモリ７０から対象振動データＤｔ１を取得し、取得した対象振動データＤｔ１に基づいて平均値Ａｖｅおよび実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを算出する。

【0265】

補正値決定部７４は、算出結果を含む補正値情報を補正部７５へ出力し、補正値決定処理を終了する。

【0266】

また、補正値決定部７４は、補正値決定処理の開始タイミングおよび終了タイミングにおいて、それぞれ処理開始情報および処理終了情報を通信処理部７１、内部ネットワーク１１およびアクセスポイント１５１経由で振動計測装置１０２へ送信する。

【0267】

また、補正値決定部３４は、補正値決定処理が終了すると、通常測定周期ごとに取得命令を通信処理部７１、内部ネットワーク１１およびアクセスポイント１５１経由で振動計測装置１０２へ送信する。

【0268】

補正部７５は、補正値決定部７４から補正値情報を受けると、受けた補正値情報から平均値Ａｖｅおよび実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを取り出す。

【0269】

補正部７５は、メモリ７０に蓄積される振動データＤｖを監視し、メモリ７０に新たな振動データＤｖが蓄積されると、当該新たな振動データＤｖをメモリ７０から取得する。

【0270】

補正部７５は、平均値Ａｖｅおよび実効値Ａｅｐ，Ａｅｍを用いて、取得した振動データＤｖを補正し、補正後の補正済振動データを検出部７３へ出力する。

【0271】

検出部７３は、補正部７５から補正済振動データを受けると、受けた補正済振動データに基づいて検出処理を行う。

【0272】

その他の構成および動作は第１の実施の形態に係る振動センサシステムと同様であるため、ここでは詳細な説明を繰り返さない。

【0273】

なお、本発明の第１の実施の形態および第２の実施の形態に係る各装置の構成要素および動作のうち、一部または全部を適宜組み合わせることも可能である。

【0274】

上記実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【0275】

以上の説明は、以下に付記する特徴を含む。

【0276】

［付記１］
計測対象の振動を計測する振動センサの計測結果を取得する取得部と、
所定条件を満たす期間において前記取得部によって取得された前記計測結果に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記期間の経過後に前記取得部によって取得された前記計測結果である対象計測結果を、前記補正値決定部によって決定された前記補正値を用いて補正する補正部とを備え、
前記計測対象は、半導体材料の合成炉または回転部を含む設備であり、
前記振動センサは、デジタル加速度センサであり、前記計測対象に密着するように取り付けられ、
前記振動センサは、自己の加速度を前記計測対象の加速度として計測し、計測結果を示すデジタルの振動データを出力し、
前記取得部は、前記振動センサから出力される前記振動データを前記計測結果として取得し、
前記補正値決定部は、前記期間において前記取得部によって取得された前記振動データである対象振動データの平均値を算出し、前記対象振動データから前記平均値を差し引いた後、ゼロ以上の値を有する前記対象振動データの実効値である正側実効値、およびゼロより小さい値を有する前記対象振動データの実効値である負側実効値を前記補正値として算出し、
前記補正部は、前記対象計測結果から前記補正部決定部によって算出された前記平均値を差し引いた後、前記対象計測結果がゼロ以上の値である場合、前記対象計測結果から前記正側実効値を差し引き、また、前記対象計測結果がゼロより小さい場合、前記対象計測結果に前記負側実効値を加える、振動センサシステム。

【符号の説明】

【0277】

９ 回転部
１０ 設備
１１ 内部ネットワーク
２１ 振動センサ部
２２ 無線モジュール
２３ バッテリ
２４ 操作部
２５ 温度センサ部
２６ 点灯部（出力部）
３０ メモリ
３１ 取得部
３２ 送信部
３３ 電源管理部
３４ 補正値決定部
３５ 補正部
３６ 開始判断部
３７ 判定部
５２ 無線モジュール
６１ 処理部
６２ 通信部
７０ メモリ
７１ 通信処理部
７３ 検出部
７４ 補正値決定部
７５ 補正部
７６ 開始判断部
１０１，１０２ 振動計測装置
１５１ アクセスポイント
１８１，１８２ 管理装置
３０１，３０２ 振動センサシステム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】