特許6826131複数の陰極を備える冷陰極電離真空計

発明の名称　複数の陰極を備える冷陰極電離真空計

出願人　エム　ケー　エス　インストルメンツ　インコーポレーテッド　（識別番号 592053963）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6826131

公報発行日　2021年2月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6826131

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