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特許第6826535号(P6826535)
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特許
6826535
ガスクラスタイオンビーム技術に基づく中性ビーム処理方法およびそれにより製造される製品
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
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