特許 6827144 積層体製造方法および積層体製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6827144

(24)【登録日】2021年1月20日

(45)【発行日】2021年2月10日

(54)【発明の名称】積層体製造方法および積層体製造装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20210128BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】4

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2020-188720(P2020-188720)

(22)【出願日】2020年11月12日

【審査請求日】2020年11月12日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】山田 忠知

(72)【発明者】

【氏名】野末 喬城

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０３０７１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０３０７１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０３０７１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２５９９９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１６／０９８６９７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層体を製造する積層体製造方法であって、
他方の面に保持用シートが貼付され、所定間隔の間隙を空けて配置された複数の前記被着体に跨るように、当該被着体の一方の面に接着シート母材を貼付する貼付工程と、
前記間隙に前記接着シート母材を入り込ませ、当該接着シート母材を前記保持用シートに貼付する変形工程と、
前記被着体から前記保持用シートを除去する除去工程とを実施し、
前記変形工程では、前記接着シート母材を前記間隙に入り込ませることで、前記被着体の角部によって当該接着シート母材に切込を形成し、
前記除去工程では、前記切込で仕切られ前記間隙に位置する前記接着シート母材の一部である不要シート部分を前記保持用シートと共に除去することで、当該接着シート母材から前記接着シートを形成して前記積層体を形成することを特徴とする積層体製造方法。

【請求項2】

前記不要シート部分と前記保持用シートとの接着力を向上させる接着力向上工程を実施することを特徴とする請求項１に記載の積層体製造方法。

【請求項3】

前記接着シート母材を冷却する冷却工程を実施することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の積層体製造方法。

【請求項4】

被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層体を製造する積層体製造装置であって、
他方の面に保持用シートが貼付され、所定間隔の間隙を空けて配置された複数の前記被着体に跨るように、当該被着体の一方の面に接着シート母材を貼付する貼付手段と、
前記間隙に前記接着シート母材を入り込ませ、当該接着シート母材を前記保持用シートに貼付する変形手段と、
前記被着体から前記保持用シートを除去する除去手段とを備え、
前記変形手段は、前記接着シート母材を前記間隙に入り込ませることで、前記被着体の角部によって当該接着シート母材に切込を形成し、
前記除去手段は、前記切込で仕切られ前記間隙に位置する前記接着シート母材の一部である不要シート部分を前記保持用シートと共に除去することで、当該接着シート母材から前記接着シートを形成して前記積層体を形成することを特徴とする積層体製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層体製造方法および積層体製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体に接着シートが貼付された積層体を製造する積層体製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３−３０７１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された転写方法（積層体製造方法）では、複数のチップＷＡ（被着体）のチップ間Ｃ（間隙）に接着シートＳ１（保持用シート）を入り込ませて接着剤層ＡＤ２（接着シート母材）に保持用シートを貼付した後、当該保持用シートを除去することで接着シート母材を切断するため、当該保持用シートの除去に伴って接着シート母材が破断しない場合、接着シート母材が切断されなくなる積層体の製造不良を招来する場合がある。

【0005】

本発明の目的は、積層体の製造不良が発生することを極力防止することができる積層体製造方法および積層体製造装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シート母材に切込を形成し、この切込によって形成される不要シート部分を保持用シートと共に除去するので、保持用シートの除去に伴って接着シート母材が破断し易くなり、積層体の製造不良が発生することを極力防止することがきる。
また、不要シート部分と保持用シートとの接着力を向上させれば、保持用シートを除去する際、不要シート部分が当該保持用シートから脱落し難くなる。
また、接着シート母材を冷却すれば、接着シート母材に切込を形成し易くなる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係る積層体製造装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明の積層体製造装置ＥＡは、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に接着シートＡＳが貼付された積層体ＬＭ（図１（Ｃ）参照）を製造する装置であって、他方の面ＷＫ２に保持用シートＡＳＫが貼付され、所定間隔の間隙ＣＬを空けて配置された複数の被着体ＷＫに跨るように、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に接着シート母材ＡＳＢを貼付する貼付手段１０と、間隙ＣＬに接着シート母材ＡＳＢを入り込ませ、当該接着シート母材ＡＳＢを保持用シートＡＳＫに貼付する変形手段２０と、被着体ＷＫから保持用シートＡＳＫを除去する除去手段３０と、不要シート部分ＵＳ（図１（Ｂ）参照）と保持用シートＡＳＫとの接着力を向上させる接着力向上手段４０と、接着シート母材ＡＳＢを冷却する冷却手段５０とを備えている。なお、本実施形態の接着シート母材ＡＳＢは、予め基材シートＢＳが貼付されたものが採用されている。

【0011】

貼付手段１０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム１１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット１１と、先端アーム１１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面１２Ａを有する押圧部材としての保持部材１２とを備えている。

【0012】

変形手段２０は、駆動機器としての直動モータ２１の出力軸２１Ａに支持され、凹部２２Ａが形成された上蓋部材２２と、凹部２２Ａ内に支持された駆動機器としての第１リニアモータ２３と、第１リニアモータ２３のスライダ２３Ａに支持された第２リニアモータ２４と、第２リニアモータ２４のスライダ２４Ａに支持され、加圧ポンプやタービン等の図示しない気体供給手段によって生成される空気やガス等の流体としての気体を吹き付ける吹付管やノズル等の流体吹付手段２５と、凹部２６Ａが形成された受け台２６と、被着体母材ＷＫＢが貼付された保持用シートＡＳＫに張力を付与し、当該被着体母材ＷＫＢから間隙ＣＬを空けて複数の被着体ＷＫを形成する離間手段２７と、離間手段２７に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２８Ａを有する支持テーブル２８とを備え、接着シート母材ＡＳＢを間隙ＣＬに入り込ませることで、被着体ＷＫの角部ＷＫ３によって当該接着シート母材ＡＳＢに切込ＣＵ（図１（Ｂ）参照）を形成する構成となっている。
離間手段２７は、凹部２６Ａの底面に支持され、出力軸２７Ｂで支持テーブル２８を支持する駆動機器としての直動モータ２７Ａと、凹部２６Ａの側面に支持され、一対の把持部材２７Ｄを有する保持手段であって駆動機器としてのチャックシリンダ２７Ｃとを備えている。

【0013】

除去手段３０は、多関節ロボット１１と同等の多関節ロボット３１と、その先端アーム３１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な吸着パッド３２とを備え、切込ＣＵで仕切られ間隙ＣＬに位置する接着シート母材ＡＳＢの一部である不要シート部分ＵＳを保持用シートＡＳＫと共に除去することで、当該接着シート母材ＡＳＢから接着シートＡＳを形成して積層体ＬＭを形成する構成になっている。

【0014】

接着力向上手段４０は、支持テーブル２８内に設けられた赤外線照射手段４１を備えている。なお、本実施形態の接着シート母材ＡＳＢは、赤外線の照射により保持用シートＡＳＫとの接着力が向上するものが採用されている。

【0015】

冷却手段５０は、上蓋部材２２の凹部２２Ａ内に配管５１Ａを介して接続され、当該凹部２２Ａ内に冷却空気や冷却ガス等の冷却媒体を供給する冷却媒体供給手段５１を備えている。

【0016】

以上の積層体製造装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された積層体製造装置ＥＡに対し、当該積層体製造装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、接着シート母材ＡＳＢが積層された基材シートＢＳを保持面１２Ａに当接させると、貼付手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面１２Ａでの基材シートＢＳの吸着保持を開始する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、保持用シートＡＳＫを介して被着体母材ＷＫＢがフレーム部材としてのリングフレームＲＦに支持された一体物ＵＰを、支持面２８Ａ上の所定の位置に載置する。次に、変形手段２０がチャックシリンダ２７Ｃおよび直動モータ２７Ａを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、把持部材２７ＤでリングフレームＲＦを把持した後、支持テーブル２８を上昇させて保持用シートＡＳＫに張力を付与し、被着体ＷＫの相互間隔を広げて間隙ＣＬを形成する。そして、間隙ＣＬが所定の間隔となったことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された図示しない間隙検知手段に検知されると、変形手段２０が直動モータ２７Ａの駆動を停止する。

【0017】

次いで、貼付手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、保持部材１２を移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、複数の被着体ＷＫに跨るように、基材シートＢＳに積層された接着シート母材ＡＳＢを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付する。その後、貼付手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面１２Ａでの基材シートＢＳの吸着保持を解除した後、多関節ロボット１１を駆動し、保持部材１２を初期位置に復帰させる。次に、変形手段２０が直動モータ２１を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、上蓋部材２２を下降させて受け台２６とで空間ＳＰを形成した後、冷却手段５０が冷却媒体供給手段５１を駆動し、空間ＳＰに冷却媒体を供給して接着シート母材ＡＳＢを冷却する。この際、空間ＳＰ内に存在していた冷却前の気体を排出したり、冷却媒体供給手段５１で循環して冷気としたりするとよい。そして、変形手段２０が第１、第２リニアモータ２３、２４および図示しない気体供給手段を駆動し、流体吹付手段２５から気体を吹き付けながら、当該流体吹付手段２５を間隙ＣＬに沿って移動させる。これにより、図１（Ｂ）に示すように、接着シート母材ＡＳＢが間隙ＣＬに入り込み、被着体ＷＫの角部ＷＫ３によって接着シート母材ＡＳＢに切込ＣＵが形成され、当該切込ＣＵによって、接着シート母材ＡＳＢが、被着体ＷＫ上に位置する接着シートＡＳと、間隙ＣＬに位置する不要シート部分ＵＳとに区分けされる。なお、切込ＣＵは、接着シート母材ＡＳＢを貫通していてもよいし、貫通していなくてもよい。

【0018】

全間隙ＣＬまたは所定領域内の間隙ＣＬに接着シート母材ＡＳＢを入り込ませて切込ＣＵを形成すると、変形手段２０および冷却手段５０が図示しない気体供給手段および冷却媒体供給手段５１の駆動を停止した後、変形手段２０が直動モータ２１および第１、第２リニアモータ２３、２４を駆動し、上蓋部材２２および流体吹付手段２５を初期位置に復帰させる。次いで、接着力向上手段４０が赤外線照射手段４１を駆動し、不要シート部分ＵＳに赤外線を照射して当該不要シート部分ＵＳと保持用シートＡＳＫとの接着力を向上させる。その後、変形手段２０が直動モータ２７Ａおよびチャックシリンダ２７Ｃを駆動し、支持テーブル２８および把持部材２７Ｄを初期位置に復帰させる。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持して上下反転させ、図１（Ｃ）に示すように、当該一体物ＵＰを支持面２８Ａ上の所定の位置に載置すると、変形手段２０がチャックシリンダ２７Ｃおよび図示しない減圧手段を駆動し、把持部材２７ＤでリングフレームＲＦを把持するとともに、支持面２８Ａでの基材シートＢＳの吸着保持を開始する。そして、除去手段３０が多関節ロボット３１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３２を保持用シートＡＳＫに当接させた後、当該吸着パッド３２での保持用シートＡＳＫの吸着保持を開始する。次いで、除去手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、吸着パッド３２を上昇させた後右方へ移動させることで、リングフレームＲＦおよび被着体ＷＫから保持用シートＡＳＫを除去する。この際、不要シート部分ＵＳは、保持用シートＡＳＫと共に除去され、被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された積層体ＬＭが形成される。その後、除去手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、不要シート部分ＵＳが付着した保持用シートＡＳＫを図示しない廃棄ボックス内に投与した後、吸着パッド３２を初期位置に復帰させる。次に、変形手段２０がチャックシリンダ２７Ｃを駆動し、把持部材２７Ｄを初期位置に復帰させるとともに、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２８Ａでの基材シートＢＳの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、基材シートＢＳに保持された積層体ＬＭを次工程に搬送した後、リングフレームＲＦを図示しない回収ボックスに回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0019】

以上のような実施形態によれば、接着シート母材ＡＳＢに切込ＣＵを形成し、この切込ＣＵによって形成される不要シート部分ＵＳを保持用シートＡＳＫと共に除去するので、保持用シートＡＳＫの除去に伴って接着シート母材ＡＳＢが破断し易くなり、積層体ＬＭの製造不良が発生することを極力防止することがきる。

【0020】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0021】

例えば、貼付手段１０は、基材シートＢＳに積層された接着シート母材ＡＳＢを被着体ＷＫとの相対移動に合わせて供給し、当該接着シート母材ＡＳＢを押圧ローラ等の押圧手段で被着体ＷＫに押圧して貼付する構成（例えば、特開２０１９−１１７８３４号の実施形態で例示された構成のもの等）を採用してもよい。

【0022】

変形手段２０は、上蓋部材２２を移動させずにまたは移動させつつ、支持テーブル２８を移動させて上蓋部材２２と受け台２６とで空間ＳＰを形成してもよいし、上蓋部材２２や受け台２６を備えていなくてもよいし、第１、第２リニアモータ２３、２４に代えてまたは併用して、駆動機器としての所謂ＸＹテーブルで流体吹付手段２５を左右方向および前後方向に移動させてもよいし、流体吹付手段２５で吹き付ける流体を、冷風、大気、単体ガス、混合ガス等の気体の他、水や混合液等の液体やジェル状体としてもよいし、特開２０１３−３０７１６号のように、接着シート母材ＡＳＢを支持面で支持し、当該支持面から気体等の流体を吹き出す構成でもよいし、密閉空間を備えた膨張可能な樹脂やゴム等の膨張手段を、接着シート母材ＡＳＢが積層された基材シートＢＳにあてがい、当該密閉空間に気体や液体等の流体を供給して間隙ＣＬに接着シート母材ＡＳＢを入り込ませて切込ＣＵを形成してもよいし、保持用シートＡＳＫの面内において１方向または２方向以上の方向に張力を付与し、被着体ＷＫの相互間隔を広げて間隙ＣＬを形成してもよいし、保持用シートＡＳＫがリングフレームＲＦに貼付されていない場合、保持用シートＡＳＫを支持して当該保持用シートＡＳＫに張力を付与することで、間隙ＣＬを形成してもよいし、支持テーブル２８を移動させずにまたは移動させつつ、チャックシリンダ２７Ｃを移動させて間隙ＣＬを形成してもよいし、離間手段２７を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。

【0023】

除去手段３０は、チャックシリンダやチャックモータ等の保持用シート把持部材で保持用シートＡＳＫを把持し、不要シート部分ＵＳを保持用シートＡＳＫと共に除去してもよいし、枚葉または帯状の接着テープや粘着テープ等の剥離用テープを保持用シートＡＳＫに貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して不要シート部分ＵＳを保持用シートＡＳＫと共に除去してもよく、このような剥離用テープは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の剥離用テープが採用された場合は、当該剥離用テープを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。

【0024】

接着力向上手段４０は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、凹部２２Ａ内に配管４２Ａを介して接続された不活性ガス供給手段４２を採用し、不活性ガス供給手段４２で窒素ガスや窒素ガス等の不活性ガスを空間ＳＰに供給してもよいし、上蓋部材２２内に赤外線照射手段４１を配置してもよいし、赤外線照射手段４１に代えてまたは併用して、超音波振動子やバイブレータ等の振動付与手段で接着シート母材ＡＳＢに振動を付与し、不要シート部分ＵＳと保持用シートＡＳＫとの接着力を向上させてもよいし、接着シート母材ＡＳＢが冷却、加熱またはエネルギー線等によって接着力が向上するものが採用された場合、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却器、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、または、マイクロ波、Ｘ線、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線等を照射するエネルギー線照射手段等で、不要シート部分ＵＳと保持用シートＡＳＫとの接着力を向上させてもよく、エネルギー線としては、保持用シートＡＳＫに対する不要シート部分ＵＳの接着力を向上させることができるものであればどのようなものでもよく、例えば、どんな波長のものを採用してもよいし、単波長のものでもよいし複波長のものでもよいし、接着シート母材ＡＳＢの性質、材質、素質、組成等に応じて適宜なエネルギー線を採用してもよいし、エネルギー線照射手段として、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよく、エネルギー線を透過可能な材質の支持テーブル２８内に設けてもよいし、支持テーブル２８とは別体に設けてもよいし、本発明の積層体製造装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0025】

冷却手段５０は、例えば、流体吹付手段２５やその他の部材から冷却媒体を直接接着シート母材ＡＳＢに吹き付けて冷却してもよいし、支持テーブル２８の内部にペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却器を設けてもよいし、本発明の積層体製造装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0026】

積層体製造装置ＥＡは、変形手段２０で接着シート母材ＡＳＢに切込ＣＵを形成する前や、変形手段２０で接着シート母材ＡＳＢに切込ＣＵを形成すると同時に、接着力向上手段４０で不要シート部分ＵＳと保持用シートＡＳＫとの接着力を向上させてもよいし、被着体母材ＷＫＢに対し、厚み方向に貫通し、当該被着体母材ＷＫＢが複数の被着体ＷＫとなる切込や、厚み方向に貫通することなく、張力が付与されることで被着体母材ＷＫＢが分裂して複数の被着体ＷＫとなる切込を形成するカッター刃やレーザカッタ等の被着体母材切断手段が備わっていてもよいし、張力が付与されることで被着体母材ＷＫＢが分裂して複数の被着体ＷＫとなる脆弱な改質層を、被着体母材ＷＫＢに形成するレーザ照射装置や薬液投与手段等の脆弱層形成手段が備わっていてもよいし、被着体母材ＷＫＢを研削して当該被着体母材ＷＫＢの厚みを薄くするグラインダや砥石等の研削手段が備わっていてもよいし、厚み方向に貫通することのない切込が形成された被着体母材ＷＫＢに対し、当該切込が形成された面の反対側の面から当該切込に達するまで研削することで、被着体母材ＷＫＢから複数の被着体ＷＫを形成するグラインダや砥石等の研削個片化手段が備わっていてもよいし、押圧ローラ等の押圧部材で複数の積層体ＬＭに他の接着シートを押圧して貼付する他の貼付手段が備わっていてもよいし、チャックシリンダやチャックモータ等のシート把持部材や、枚葉または帯状の接着テープや粘着テープ等の剥離用テープで保持用シートＡＳＫに張力を付与し、積層体ＬＭから基材シートＢＳを剥離する基材シート剥離手段が備わっていてもよい。

【0027】

被着体母材ＷＫＢは、厚み方向に貫通し、当該被着体母材ＷＫＢが複数の被着体ＷＫとなる切込が形成されているものでもよいし、厚み方向に貫通することなく、張力が付与されることで分裂して複数の被着体ＷＫとなる切込が形成されたものでもよいし、張力が付与されることで分裂して複数の被着体ＷＫとなる脆弱な改質層が形成されたものでもよい。
被着体ＷＫは、被着体母材ＷＫＢから形成されたものでなく、予め所定の間隙ＣＬを空けて配置されたものであってもよい。
接着シート母材ＡＳＢは、予め基材シートＢＳが貼付されていなくてもよい。
一体物ＵＰは、保持用シートＡＳＫがフレーム部材に支持されていなくてもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

【0028】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付工程は、他方の面に保持用シートが貼付され、所定間隔の間隙を空けて配置された複数の被着体に跨るように、当該被着体の一方の面に接着シート母材を貼付する工程であればどのような工程でもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0029】

接着シート母材ＡＳＢ、接着シートＡＳ、基材シートＢＳ、保持用シートＡＳＫ、被着体母材ＷＫＢおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート母材ＡＳＢ、接着シートＡＳ、基材シートＢＳ、保持用シートＡＳＫ、被着体母材ＷＫＢおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート母材ＡＳＢ、接着シートＡＳおよび保持用シートＡＳＫは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、該当するシートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート母材ＡＳＢ、接着シートＡＳおよび保持用シートＡＳＫは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体母材ＷＫＢおよび被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート母材ＡＳＢ、接着シートＡＳおよび保持用シートＡＳＫは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
接着シート母材ＡＳＢがダイアタッチフィルムの場合、冷却手段５０または冷却工程で接着シート母材ＡＳＢを冷却する温度は、２０度以下とすることが好ましく、０度以下がより好ましく、−５度以下がさらに好ましく、−１０度以下が特に好ましい。

【0030】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0031】

ＥＡ…積層体製造装置
１０…貼付手段
２０…変形手段
３０…除去手段
４０…接着力向上手段
５０…冷却手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＢ…接着シート母材
ＡＳＫ…保持用シート
ＢＳ…基材シート
ＣＬ…間隙
ＣＵ…切込
ＬＭ…積層体
ＵＳ…不要シート部分
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
ＷＫ３…角部

【要約】

【課題】積層体の製造不良が発生することを極力防止できる積層体製造方法を提供する。
【解決手段】積層体製造方法は、他方の面ＷＫ２に保持用シートＡＳＫが貼付され間隙ＣＬを空けて配置された複数の被着体ＷＫに跨るように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に接着シート母材ＡＳＢを貼付する貼付工程と、間隙ＣＬに接着シート母材ＡＳＢを入り込ませ、接着シート母材ＡＳＢを保持用シートＡＳＫに貼付する変形工程と、被着体ＷＫから保持用シートＡＳＫを除去する除去工程とを実施し、変形工程では、接着シート母材ＡＳＢを間隙ＣＬに入り込ませることで、被着体ＷＫの角部ＷＫ３によって接着シート母材ＡＳＢに切込ＣＵを形成し、除去工程では、切込ＣＵで仕切られ間隙ＣＬ間に位置する接着シート母材ＡＳＢの一部である不要シート部分ＵＳを保持用シートＡＳＫと共に除去することで、接着シート母材ＡＳＢから接着シートＡＳを形成して積層体ＬＭを形成する。
【選択図】図１

【図1】