特許 6827495 半導体装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6827495

(24)【登録日】2021年1月21日

(45)【発行日】2021年2月10日

(54)【発明の名称】半導体装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/50 20060101AFI20210128BHJP

   H01L 21/56 20060101ALI20210128BHJP

   B23K 26/36 20140101ALI20210128BHJP

【ＦＩ】

   H01L23/50 D

   H01L23/50 R

   H01L23/50 J

   H01L21/56 R

   H01L21/56 D

   B23K26/36

【請求項の数】8

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2019-92689(P2019-92689)

(22)【出願日】2019年5月16日

(65)【公開番号】特開2020-188186(P2020-188186A)

(43)【公開日】2020年11月19日

【審査請求日】2019年7月31日

(73)【特許権者】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】黄 善夏

(72)【発明者】

【氏名】高橋 和宏

(72)【発明者】

【氏名】石橋 幹司

(72)【発明者】

【氏名】礒野 早織

【審査官】 井上 弘亘

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０４−２７７６３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１８７３０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０５４２９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１３８０７５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２３／５０

Ｂ２３Ｋ ２６／３６

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

溝部が形成されたリードフレームに半導体チップがボンディングされた状態で、前記リードフレーム及び前記半導体チップを樹脂材により封止する樹脂封止工程を含み、前記溝部は、前記リードフレームにおける前記半導体チップが搭載される側とは反対側の表面に形成されたものであり、さらに、
前記リードフレームにおける前記半導体チップが搭載される側とは反対側から前記溝部内の前記樹脂材にレーザ光を照射して前記溝部内の前記樹脂材を除去するレーザ光照射工程と、
前記溝部内の前記樹脂材を除去した後に前記リードフレームにメッキ処理を行なうメッキ工程と、
前記メッキ処理が行なわれた前記リードフレームを前記溝部に沿って切断する切断工程と、を含む、半導体装置の製造方法。

【請求項2】

前記樹脂封止工程と前記レーザ光照射工程との間に、又は、前記レーザ光照射工程と前記メッキ工程との間に、前記樹脂材における前記リードフレームの前記溝部とは反対側の表面にレーザマーキングを行なう工程をさらに含む、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項3】

前記メッキ工程においては、前記リードフレームに洗浄処理を行なってから前記メッキ処理を行なう、
請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項4】

前記溝部が前記リードフレームをエッチングすることにより形成されている、
請求項１から３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項5】

前記樹脂封止工程の前に、前記リードフレームの前記溝部側に保護フィルムを貼り付ける工程と、
前記レーザ光照射工程の前に、前記保護フィルムを前記リードフレームから剥がす工程と、をさらに含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項6】

前記切断工程では、ブレード又はレーザ光を用いて前記リードフレームを切断する、
請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項7】

前記リードフレームの前記溝部の反対側が前記樹脂材により封止されている、請求項１から６のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項8】

前記切断工程では、前記半導体チップを封止している前記樹脂材及び前記リードフレームの厚さ方向全体を切断する、請求項１から７のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、半導体装置の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体装置は年々大容量化されており、リード端子の数も増加傾向にある。このような背景の下、ＳＯＮ（Small Outlined Non-leaded Package）タイプおよびＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded Package）タイプなど、いわゆるノンリードタイプの半導体装置が開発および製造されている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−７７２７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示された半導体装置の製造方法では、リードの表面をメッキ膜によって被覆した後に、樹脂封止が行なわれる。封止に用いられている樹脂材のうち、メッキ膜に接している部分にレーザ光を照射して樹脂材を部分的に除去することにより、リードの表面を被覆しているメッキ膜を外部に露出させている。当該製造方法では、メッキ膜に接している樹脂材をレーザ光照射にて除去する際にメッキ膜に損傷などが発生しやすく、メッキ膜としての機能、ひいては半導体装置としての品質が低下する可能性がある。

【0005】

本明細書は、レーザ光照射にて樹脂材を除去する工程を含む半導体装置の製造方法において、上記のような従来手法に比べてメッキ膜ひいては半導体装置としての高い品質を得ることが可能な半導体装置の製造方法を開示することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書に開示された半導体装置の製造方法は、溝部が形成されたリードフレームに半導体チップがボンディングされた状態で、上記リードフレーム及び上記半導体チップを樹脂材により封止する樹脂封止工程と、上記溝部内の上記樹脂材にレーザ光を照射して上記溝部内の上記樹脂材を除去するレーザ光照射工程と、上記溝部内の上記樹脂材を除去した後に上記リードフレームにメッキ処理を行なうメッキ工程と、上記メッキ処理が行なわれた上記リードフレームを上記溝部に沿って切断する切断工程と、を含む。

【発明の効果】

【0007】

上記構成を備えた製造方法によれば、メッキ膜ひいては半導体装置としての高い品質を得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】準備工程において準備されるリードフレームと、複数の半導体チップとを示す平面図である。

【図2】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿った矢視断面図であり、溝部が形成されたリードフレーム（ダイパッド）上に半導体チップがボンディングされた状態を示している。

【図3】樹脂封止工程が行なわれた状態を示す断面図である。

【図4】レーザ光照射工程を行なう前に保護フィルムが除去された状態を示す断面図である。

【図5】レーザ光照射工程を行なっている様子を示す断面図である。

【図6】メッキ工程が行なわれた後の様子を示す断面図である。

【図7】切断工程を行なっている様子を示す断面図である。

【図8】実施の形態の製造方法によって得られた半導体装置を示す斜視図である。

【図9】実施の形態の製造方法によって得られた半導体装置が実装されている様子を示す断面図である。

【図10】（Ａ）〜（Ｅ）は、比較例１における半導体装置の製造方法の各工程を示す断面図である。

【図11】比較例１における半導体装置の製造方法によって得られた半導体装置が実装されている様子を示す断面図である。

【図12】（Ａ）〜（Ｆ）は、比較例２における半導体装置の製造方法の各工程を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

実施の形態について、以下、図面を参照しながら説明する。以下の説明において同一の部品および相当部品には同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。実施の形態の半導体装置の製造方法は、準備工程、樹脂封止工程、レーザ光照射工程、メッキ工程、および切断工程を含む。以下順に説明する。

【0010】

（準備工程）
図１は、準備工程において準備されるリードフレーム１と、複数の半導体チップ６とを示す平面図である。リードフレーム１は、銅などの金属からなる。リードフレーム１は、行列状に配列された複数のダイパッド２と、各ダイパッド２の周囲（四方）に配置された複数のリード３と、各ダイパッド２の四方に配置された複数のリード３を取り囲むタイバー４と、を含む。図１には、各ダイパッド２上に半導体チップ６が配置されている状態が示されている。

【0011】

タイバー４は、リードフレーム１において格子状に形成されている。リードフレーム１には、タイバー４に沿って延びる溝部５が予め形成されている。溝部５は、リードフレーム１における半導体チップ６が搭載される側とは反対側の表面に形成されており（図２参照）、溝部５の延在方向に対して直交する方向において溝幅Ｗ１を有している。溝幅Ｗ１は、例えば０．４０ｍｍ〜０．５０ｍｍである。溝部５は、リードフレーム１を貫通するものではなく、例えば、リードフレーム１の厚みの半分の溝深さを有し、リードフレーム１をエッチング（ウェットエッチング）することにより形成可能である。なお、溝部５の溝幅Ｗ１及び溝深さは、後工程で変形等の不具合が生じない程度の強度を確保すること、後工程で良好な外観検査が行えること、完成品である半導体装置の良好な実装強度などを考慮して、設定すればよい。

【0012】

図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿った矢視断面図であり、溝部５が形成されたリードフレーム１（ダイパッド２）上に半導体チップ６がボンディングされた状態を示している。図２に示すように、各半導体チップ６に設けられた複数の電極はボンディングワイヤ７を介してリード３（図１）に電気的に接続される。なお便宜上、図１にはボンディングワイヤ７を図示していない。

【0013】

（樹脂封止工程）
図３は、樹脂封止工程が行なわれた状態を示す断面図である。樹脂封止工程においては、半導体チップ６がボンディングされた状態で、リードフレーム１及び半導体チップ６を樹脂材９により封止する。図２および図３に示すように、樹脂封止工程の前に、リードフレーム１の溝部５側に保護フィルム８（例えばポリイミド樹脂テープ）を貼り付けて、保護フィルム８を貼り付けた上で樹脂封止を行なうとよい。

【0014】

半導体装置の製造方法は、樹脂封止工程と次述するレーザ光照射工程との間に、樹脂材９におけるリードフレーム１の溝部５とは反対側の表面９ａ（図３）に、レーザ光Ｌ１を照射することによるレーザマーキングを行なう工程をさらに含んでいてもよい。パルスレーザを用いて、走査光学系により走査することにより、型番やシリアルＮｏなどの任意の情報を印字可能である。

【0015】

図４に示すように、次述するレーザ光照射工程を行なう前に保護フィルム８がリードフレーム１から剥がされる。保護フィルム８の除去により、リードフレーム１の溝部５内に形成されている樹脂材９（９ｂ）が露出する。なお、保護フィルム８は、図３を参照しながら説明したレーザマーキングを行なう工程の前に、リードフレーム１から剥がしてもよい。

【0016】

（レーザ光照射工程）
図５に示すように、レーザ光照射工程においては、溝部５内の樹脂材９にレーザ光Ｌ２を照射して溝部５内の樹脂材９（９ｂ）を除去する。レーザ光Ｌ２としては、パルスレーザとして、レーザ光発振装置にＹＡＧレーザやＹＶＯ４レーザ又はこれらから発せられたレーザ光を第２高調波発生（ＳＨＧ：Second Harmonic Generation）材料により波長変換するグリーンレーザを利用可能である。また、走査光学系により走査することにより、レーザ光Ｌ２の照射領域を変化させることができる。

【0017】

樹脂材９の材質や樹脂材９（９ｂ）のサイズ（溝部５の溝幅Ｗ１等）に応じて、樹脂材９（９ｂ）を効率よく除去できるように、レーザ光Ｌ２の波長、出力、レーザ径、照射時間などが最適化される。レーザ光Ｌ２の発振装置としては、レーザマーキング（図３）にて用いたものと同じものを利用してもよい。

【0018】

（メッキ工程）
図６に示すように、溝部５内の樹脂材９（９ｂ）を除去した後に、リードフレーム１にメッキ処理を行なう。リードフレーム１のダイパッド２、リードフレーム１のタイバー４の表面、および溝部５の表面にメッキ層１０が形成される。ここで、メッキ層１０の材料としては、実装に用いられるはんだ材料に応じて、はんだ濡れ性が良好な材料を選定することができる。例えば、Ｓｎ（錫）系のはんだを用いる場合には、錫（Ｓｎ）、錫−銅合金（Ｓｎ−Ｃｕ）、錫−銀合金（Ｓｎ−Ａｇ）、錫−ビスマス（Ｓｎ−Ｂｉ）などを用いることができ、リードフレーム１側の下地にＮｉを用いた積層体のメッキ層１０とすることもできる。

【0019】

メッキ工程においては、リードフレーム１に所定の洗浄処理を行なってからメッキ処理を行なうとよい。メッキ工程の前処理のリードフレーム１の表面処理として、洗浄処理に加え、酸化膜の除去、表面活性化などのための処理を行なってもよい。溝部５内の樹脂材９（９ｂ）はレーザ光の照射を受けて改質（例えば炭化）していることがあり、溝部５内に多少の樹脂材９（９ｂ）が残存した場合であっても、改質した樹脂材９（９ｂ）はメッキ処理を行なう前の洗浄処理等の表面処理によって溝部５内から除去できる。

【0020】

図３を参照しながら説明したレーザマーキングを行なう工程は、樹脂封止工程とレーザ光照射工程との間に行なうことに代えてまたは加えて、上述のレーザ光照射工程と当該メッキ工程との間に行なってもよい。

【0021】

（切断工程）
図７に示すように、メッキ処理が行なわれたリードフレーム１を溝部５に沿って切断する。この切断工程では、幅Ｗ２を有するブレード１２を用いてリードフレーム１および樹脂材９の全厚さ部分を切断する。幅Ｗ２は、溝部５の溝幅Ｗ１（図１，図２）よりも小さい値である。

【0022】

この切断工程ではレーザ光を用いてリードフレーム１を切断してもよい。レーザ光の発振装置としては、レーザマーキング（図３）にて用いたものと同じものを利用してもよいし、レーザ光照射工程において樹脂材９（９ｂ）の除去に用いたものと同じものを利用してもよい。レーザ光の発振装置としては、レーザマーキング（図３）にて用いたものと、レーザ光照射工程において樹脂材９（９ｂ）の除去に用いたものと、この切断工程で用いるものとを共通化して、１台の装置でこれらの各工程を行なうようにすることも可能である。ただし、リードフレーム１の材料に応じて、リードフレーム１が吸収しやすい波長のレーザ光を用いることが好ましい。

【0023】

切断工程の実施により、複数の半導体装置１１が得られる。図８に示すように、半導体装置１１は、平面視した場合に製品の外部に電気的接続用のリードが突出していないＱＦＮタイプのノンリード型の製品である。

【0024】

図９に示すように、半導体装置１１においては、各リード３の側部（片部）に段差が形成されており、リード３の側面３ａにおいてはメッキ層１０が形成されておらず元の金属が露出している。半導体装置１１は例えば、樹脂材９の側を上にリード３の側を下にして、プリント基板に実装される。プリント基板には、リード３に対応する位置にランド１３が形成されており、はんだ１４を介してリード３とランド１３とが接続される。

【0025】

（作用及び効果）
冒頭で述べたとおり、特許文献１に開示された半導体装置の製造方法では、リードの表面をメッキ膜によって被覆した後に、樹脂封止が行なわれる。封止に用いられている樹脂材のうち、メッキ膜に接している部分にレーザ光を照射して樹脂材を部分的に除去することにより、リードの表面を被覆しているメッキ膜を外部に露出させている。当該製造方法では、メッキ膜に接している樹脂材をレーザ光照射にて除去する際にメッキ膜に損傷などが発生しやすく、メッキ膜としての機能、ひいては半導体装置としての品質が低下する可能性がある。なお特許文献１に記載の発明では、請求項７及び８等の記載から、リードフレームにレーザ光照射を行う前にリードフレームの表面がメッキ膜により被覆されていることが必須であることは明らかであり、メッキ膜が被覆されない状態でレーザ照射を行なうような改変は特許文献１からは得られない。

【0026】

これに対して実施の形態の製造方法では、溝部５内の樹脂材９にレーザ光Ｌ２を照射して溝部５内の樹脂材９を除去し、溝部５内の樹脂材９を除去した後にリードフレーム１にメッキ処理を行なう。メッキ層１０は、レーザ光Ｌ２の照射に起因した損傷を受けることがない。したがって実施の形態の製造方法では、上記従来手法に比べてメッキ層１０ひいては半導体装置１１としての高い品質を得ることが可能である。

【0027】

レーザ光Ｌ２の発振装置としては、レーザマーキング（図３）にて用いたものと同じものを利用してもよい。溝部５内の樹脂材９を除去するために、既存ないし現有のレーザマーキング装置を用いることにより、新規に設備を導入しなくても済むなど、設備投資に要するコストの低減を図ることが可能となる。実施の形態の製造方法から得られるその他の作用及び効果について、以下の比較例１，２と対比しながらさらに説明する。

【0028】

（比較例１）
図１０（Ａ）〜図１０（Ｅ）は、比較例１における半導体装置の製造方法を示している。図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）は、実施の形態における図２〜図４にそれぞれ対応している。

【0029】

図１０（Ａ）に示すように、リードフレーム２１のタイバー２４には予め溝部２３が形成されている。溝部２３の溝幅は、実施の形態における溝幅Ｗ１よりも狭く設定される。リードフレーム２１の表面に、保護フィルム２２が貼り付けられる。この状態で樹脂封止が行なわれ、図１０（Ｂ）に示すように樹脂材２５が形成される。その後、図１０（Ｃ）に示すように保護フィルム２２がリードフレーム２１から剥がされる。

【0030】

図１０（Ｄ）に示すように、メッキ層２６が形成される。その後、図１０（Ｅ）に示すように、ブレード２７を用いてリードフレーム２１および樹脂材２５の全厚さ部分を切断する。ブレード２７の幅は、溝部２３の溝幅よりも大きい値である。以上の工程により、図１１に示す半導体装置２８が得られる。図１１は、実施の形態における図９に対応している。

【0031】

半導体装置２８においては、メッキ層２６の形成後、ブレード２７によってリードフレーム２１（タイバー２４）の全厚さ部分が切断されるという、いわゆるフルカットが実施されるため、切断面の全体がタイバー２４（リード）の側面２３ａにおいて露出する。プリント基板などへの実装後にも、露出された金属がそのまま露出されることとなる。

【0032】

比較例１の場合には、図９に示す実施の形態の場合に比べて、リードのうちのはんだ１４に接触する面積が小さい。したがって比較例１（図１１）の場合の実装強度は、実施の形態の場合に比べて小さくなりやすい。これは、外観検査時の検出力の低下の原因にもなり、外観検査の困難性に繋がり得る。

【0033】

（比較例２）
図１２（Ａ）〜図１２（Ｆ）は、比較例２における半導体装置の製造方法を示している。図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は、比較例１における図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）とそれぞれ同一である。

【0034】

図１２（Ｄ）に示すように、比較例２においてはブレード２９ａを用いたいわゆるハーフカットが実施される。ブレード２９ａによって、溝部２３が存在していた位置に、溝部２３よりも大きな溝部２３ｂ（図１２（Ｅ）を参照）が形成される。この溝部２３ｂは、溝部２３よりも幅広であり、タイバー２４の厚みの約半分の深さを有する。

【0035】

その後、図１２（Ｅ）に示すようにメッキ層２６が形成される。図１２（Ｆ）に示すように、ブレード２９ｂを用いてリードフレーム２１および樹脂材２５の全厚さ部分を切断する。ブレード２７の幅は、溝部２３ｂの溝幅よりも小さい値である。以上の工程によれば、比較例１の場合とは異なり、リードの側面における金属の露出を小さくすることができ、実装強度および外観検査の容易性も得られる。

【0036】

しかしながら、比較例２の場合には、２種類のブレード２９ａ，２９ｂを使用するため、製造費用の増加に繋がりやすい。ブレード２９ａ，２９ｂを用いた２段階の切断が行なわれるため、カットバリ除去のための工数や、メッキ工程でのエッチング処理工数の増加が懸念される。ダイシング装置の生産能力の減少も懸念される。

【0037】

また比較例２の場合には、ブレード２９ａによるハーフカットを実施する際に、カット深さのバラつきの管理をする必要がある。カット深さが過剰であるとリードフレーム２１が分断されてしまい電気メッキ処理を行なうことができなくなり、カット深さが不足していると、メッキ層２６がリードの側面２６ａに適切に形成されにくくなる。

【0038】

比較例２の場合には、ブレード２９ａ，２９ｂの相対的なカット位置の誤差等にも十分に配慮する必要がある。例えば、ブレード２９ａにより、設定値よりも図１２（Ｄ）における紙面左側の位置にてハーフカットが行なわれ、ブレード２９ｂにより、設定値よりも図１２（Ｆ）における紙面右側の位置にてハーフカットが行なわれたとする。この場合には、リードの側面２６ａに形成されたメッキ層２６がブレード２９ｂによるダイシングの際に削り取られてしまう可能性が生じる。

【0039】

上述の実施の形態の製造方法によればこれらの懸念がない。すなわち、ハーフカットを実施する代わりに、溝部５をタイバー４に予め形成しておく。この溝部５は、例えばハーフカットによって形成される溝部２３ｂに相当するサイズを有する。溝部５内に形成された樹脂材９（９ｂ）はレーザ光の照射により除去される。その後、メッキ層１０が形成されるため、レーザ光の照射によるメッキ層１０の損傷も生じない。メッキ処理後は、比較例２と同様な手法によりブレード１２（図７）を用いて個片化が行なわれる。

【0040】

リード３において露出面積の小さい側面３ａを形成するために、ブレード２９ａを用いたハーフカットを行なわないため、加工精度の高い側面３ａひいてはリード３を確保できる。ブレード２９ａを用いたハーフカットを行なわないため、ハーフカットによるカット深さの影響を受けずに済むため、精度の高い均一なリード３（側面３ａ）を有する半導体装置１１を製品全体において得られることができる。ブレード１２による最終的なフルカット時においても、ハーフカットによるカット位置の影響を受けないため、個片化での歩留まりを比較例２の場合に比べて改善可能である。

【0041】

以上、実施の形態について説明したが、上記の開示内容はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0042】

１，２１ リードフレーム、２ ダイパッド、３ リード、３ａ，２３ａ，２６ａ 側面、４，２４ タイバー、５，２３，２３ｂ 溝部、６ 半導体チップ、７ ボンディングワイヤ、８，２２ 保護フィルム、９，２５ 樹脂材、９ａ 表面、１０，２６ メッキ層、１１，２８ 半導体装置、１２，２７，２９ａ，２９ｂ ブレード、１３ ランド、１４ はんだ、Ｌ１，Ｌ２ レーザ光、Ｗ１ 溝幅、Ｗ２ 幅。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】