特許 6828879 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6828879

(24)【登録日】2021年1月25日

(45)【発行日】2021年2月10日

(54)【発明の名称】欠陥検査装置及び欠陥検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/06 20060101AFI20210128BHJP

   G01B 11/30 20060101ALI20210128BHJP

   G01N 21/89 20060101ALI20210128BHJP

【ＦＩ】

   G01B11/06 101G

   G01B11/30 A

   G01N21/89 Z

【請求項の数】8

【全頁数】27

(21)【出願番号】特願2016-192599(P2016-192599)

(22)【出願日】2016年9月30日

(65)【公開番号】特開2018-54525(P2018-54525A)

(43)【公開日】2018年4月5日

【審査請求日】2019年6月14日

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用 開催日 平成２８年４月６日〜平成２８年４月８日 集会名 高機能素材ワールド２０１６内 第７回高機能フィルム展 開催場所 東京ビッグサイト（東京都江東区有明３−１１−１） 公開者 原 知之、関口 勝

(73)【特許権者】

【識別番号】592180823

【氏名又は名称】株式会社メック

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(74)【代理人】

【識別番号】100139686

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 史朗

(74)【代理人】

【識別番号】100206391

【弁理士】

【氏名又は名称】柏野 由布子

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100108578

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 詔男

(74)【代理人】

【識別番号】100094400

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 三義

(72)【発明者】

【氏名】原 知之

【審査官】 櫻井 仁

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１４１２３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０７３２０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−００９４３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０７９９０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−１５７３４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２９８４１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２５６０２１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｂ １１／００−１１／３０

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置であって、
ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行なう欠陥検出部と、
前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定する膜厚測定部と、
前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成する検査結果生成部と、
前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する出力部と、
を有し、
前記欠陥検査装置は、
前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果の第１座標と、前記膜厚測定部によって得られた膜厚と基準範囲とに基づいて膜厚異常として測定された第２座標と、が一致した欠陥を膜厚異常欠陥として分類する
欠陥検査装置。

【請求項2】

前記膜厚測定部は、前記被検査物の搬送方向において前記欠陥検出部よりも下流側に設けられ、
前記膜厚測定部は、前記欠陥検出部によって欠陥が検出された座標に応じた位置を対象とし、前記被検査物の測定対象部位について測定を行なう測定区間であって前記被検査物の搬送方向における測定区間の略中央に前記欠陥が位置するように測定する請求項１記載の欠陥検査装置。

【請求項3】

前記膜厚測定部は、第１膜厚測定部と、前記被検査物の搬送方向において前記第１膜厚測定部よりも下流側に設けられる第２膜厚測定部とがあり、
前記第１膜厚測定部が前記被検査物の搬送方向に対して複数の測定対象部位を測定する際の当該測定対象部位の間において、前記第２膜厚測定部が前記搬送方向に対して複数箇所を測定対象として膜厚を測定する
請求項１または請求項２に記載の欠陥検査装置。

【請求項4】

被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置であって、
ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行なう欠陥検出部と、
前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定する膜厚測定部と、
前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成する検査結果生成部と、
前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する出力部と、
を有し、
前記膜厚測定部は、前記被検査物の測定対象部位について測定を行なう測定区間であって前記被検査物の搬送方向における測定区間の略中央に前記欠陥が位置するように測定する
欠陥検査装置。

【請求項5】

被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置であって、
ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行なう欠陥検出部と、
前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定する膜厚測定部と、
前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成する検査結果生成部と、
前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する出力部と、
を有し、
前記膜厚測定部は、第１膜厚測定部と、前記被検査物の搬送方向において前記第１膜厚測定部よりも下流側に設けられる第２膜厚測定部とがあり、
前記第１膜厚測定部が前記被検査物の搬送方向に対して複数の測定対象部位を測定する際の当該測定対象部位の間において、前記第２膜厚測定部が前記搬送方向に対して複数箇所を測定対象として膜厚を測定する
欠陥検査装置。

【請求項6】

被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置における欠陥検査方法であって、
欠陥検出部が、ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行ない、
膜厚測定部が、前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定し、
検査結果生成部は、前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成し
出力部は、前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する欠陥検査方法であり、
前記欠陥検査装置は、前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果の第１座標と、前記膜厚測定部によって得られた膜厚と基準範囲とに基づいて膜厚異常として測定された第２座標と、が一致した欠陥を膜厚異常欠陥として分類する
欠陥検査方法。

【請求項7】

被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置における欠陥検査方法であって、
欠陥検出部が、ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行ない、
膜厚測定部が、前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定し、
検査結果生成部は、前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成し
出力部は、前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する欠陥検査方法であり、
前記膜厚測定部は、前記被検査物の測定対象部位について測定を行なう測定区間であって前記被検査物の搬送方向における測定区間の略中央に前記欠陥が位置するように測定する
欠陥検査方法。

【請求項8】

被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置における欠陥検査方法であって、
欠陥検出部が、ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行ない、
膜厚測定部が、前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定し、
検査結果生成部は、前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成し
出力部は、前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する欠陥検査方法であり、
前記膜厚測定部は、第１膜厚測定部と、前記被検査物の搬送方向において前記第１膜厚測定部よりも下流側に設けられる第２膜厚測定部とがあり、
前記第１膜厚測定部が前記被検査物の搬送方向に対して複数の測定対象部位を測定する際の当該測定対象部位の間において、前記第２膜厚測定部が前記搬送方向に対して複数箇所を測定対象として膜厚を測定する
欠陥検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、膜厚装置の測定結果と欠陥検査結果とを得る欠陥検査装置及び欠陥検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

光学フィルムなどの連続シート状物を検査対象とし、連続シートの汚れや傷等の欠陥検出を行う装置と並行して膜厚装置により連続シート状物の膜厚を測定し、欠陥検出とフィルム厚さの情報を取得する欠陥検査装置が知られている。このような欠陥検査装置は、例えば、特許文献１に開示されている。この特許文献１には、受けロールとタッチロールとでシート状物を挟み込み、タッチロールの動きに応じてシート状物の厚み測定を行い、欠陥検査装置から得られた欠陥検査結果と膜厚測定の結果とを得る構成について記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平９−３０４０２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ここで、被検査物の検査を行なう場合、欠陥検査の結果と、膜厚測定の結果について両方得られる場合には、欠陥検査の結果と、膜厚測定の結果との間において関連性があるか否かの判断を行なう場合がある。例えば、欠陥検査結果として欠陥が検出された被検査物上の位置と、膜厚測定の結果において膜厚に異常があることが検出された被検査物上の位置がほぼ同じ位置であれば、これらの測定結果において関連性がある可能性がある。一方で、それらの位置がある程度離れている場合には、関連性がない可能性がある。このような関連性の判断を行ないやすいことが望ましい。

【0005】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、被検査物の欠陥検査の結果と膜厚測定の結果との関連性を把握しやすい欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決するために、本発明は、被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置であって、ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行なう欠陥検出部と、前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定する膜厚測定部と、前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成する検査結果生成部と、前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する出力部とを有する。
例えば、膜厚測定結果と欠陥検出結果が検査結果マップにおいて、膜厚の異常がある位置と欠陥が検出された位置とが重なっている場合には、膜厚異常が原因で発生した欠陥であると判断することができる。

【0007】

また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、膜厚測定部は、前記被検査物の搬送方向において前記欠陥検出部よりも下流側に設けられ、前記膜厚測定部は、前記欠陥検出部によって欠陥が検出された座標に応じた位置を対象として膜厚を測定する。
これにより、欠陥検出部によって欠陥が検出された座標に対応する位置において膜厚を測定することができるので、欠陥の位置を対象として膜厚を把握することができ、欠陥と膜厚の関係を把握することができる。

【0008】

また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、膜厚測定部は、前記被検査物の測定対象部位について測定を行なう測定区間であって前記被検査物の搬送方向における測定区間の略中央に前記欠陥が位置するように測定する。
これにより、被検査物の搬送方向における測定区間の略中央に欠陥が位置するように測定するようにしたので、被検査物の搬送速度が加速あるいは減速されている途中であっても、欠陥の位置が中心となるようにして膜厚測定を行なうことができる。

【0009】

また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、前記検査結果生成部は、前記膜厚測定結果を当該測定された膜厚に応じた態様にした前記検査結果マップを生成する。
また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、前記被検査物は多層構造であり、前記膜厚測定部は、前記被検査物の層毎の膜厚を測定し、前記検査結果生成部は、前記層毎に異なる検査結果マップであり、それぞれの検査結果マップには、対応する層の膜厚と前記欠陥検査結果とが含まれた検査結果マップを生成する。
また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、前記膜厚測定部は、第１膜厚測定部と、前記被検査物の搬送方向において前記第１膜厚測定部よりも下流側に設けられる第２膜厚測定部とがあり、前記第１膜厚測定部が前記被検査物の搬送方向に対して複数の測定対象部位を測定する際の当該測定対象部位の間において、前記第２膜厚測定部が前記搬送方向に対して複数箇所を測定対象として膜厚を測定する。

【発明の効果】

【0010】

この発明によれば、膜厚測定結果と欠陥検出結果とを同一マップ上に表された検査結果マップを生成するようにしたので、膜厚測定結果と欠陥検出結果とが、被検査物における座標における位置関係を簡単に把握することができるので、この位置関係に基づいて、膜厚と欠陥との関係が把握し易い。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】この発明の一実施形態による欠陥検査装置１の構成を示す概略構成図である。

【図2】欠陥検査装置１の膜厚測定と欠陥検出の処理の流れを説明するフローチャートである。

【図3】検査部１７と膜厚測定部１６の制御タイミングを示す図である。

【図4】膜厚測定の一例を示す図である。

【図5】膜厚測定の一例を示す図である。

【図6】膜厚マップ表示の一例を示す図である。

【図7】膜厚マップ表示の一例を示す図である。

【図8】検査部１７が生成する欠陥検出マップの一例を示す図である。

【図9】欠陥検出結果と膜厚情報とを合わせた検査マップの一例を示す図である。

【図10】欠陥検出結果と膜厚情報とを合わせた検査マップの一例を示す図である。

【図11】第２の実施形態における膜厚測定と欠陥検出の処理ステップを示す図である。

【図12】第２実施形態の欠陥検査装置における膜厚測定部１６の制御タイミングを示す図である。

【図13】第２の実施形態における撮像部１１と膜厚センサ１４の関係を示す図である。

【図14】第２の実施形態における撮像部１１と膜厚センサ１４の関係を示す図である。

【図15】膜厚に分類される欠陥の位置と膜厚センサ１４によって測定が行なわれる範囲との関係を示す図である。

【図16】第２実施形態の欠陥検出と膜厚情報を合わせたマップの一例を示す図である。

【図17】第３の実施形態における欠陥検査装置の構成を表す図である。

【図18】第３の実施形態における膜厚測定と欠陥検出の処理ステップを示す図である。

【図19】第４の実施形態における膜厚測定と欠陥検出の処理ステップを説明する図である。

【図20】第４の実施形態における欠陥検査装置と膜厚装置の制御タイミングを示す図である。

【図21】第４の実施形態における膜厚測定の結果である膜厚マップの一例を示す図である。

【図22】第４の実施形態において、多点膜厚装置を用いた場合における膜厚測定の結果である膜厚マップの一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の一実施形態による欠陥検査装置について図面を参照して説明する。
図１は、この発明の一実施形態による欠陥検査装置１の構成を示す概略構成図である。
欠陥検査装置１は、撮像部１１、欠陥検出部１２、ロータリエンコーダ１３、検査部１７、膜厚センサ１４、ロボット１５、膜厚測定部１６を有し、被検査物５０の検査を行なう。
被検査物５０は、連続シート状のものであり、例えば、フィルムや透明膜がコーティングされた金属板、ゴム板、樹脂板等がある。以下の実施形態においては、被検査物５０がフィルムである場合を一例として説明する。被検査物５０は、後述する搬送方向において長尺状のものである。被検査物５０の短軸方向が幅方向（Ｘ軸方向）に対応し、長軸（長尺）方向（Ｙ軸方向）が搬送方向に対応する。

【0013】

撮像部１１は、被検査物５０の全幅を対象として照明するライン状照明装置と、その透過光または反射光を受光するラインセンサとを含んで構成される。撮像部１１の撮像範囲の長手方向は、被検査物５０の走行方向に対して直交する方向となるように配置される。
このライン状照明装置は、例えば、蛍光灯、石英ロッド照明、ＬＥＤ照明などが使用される。このラインセンサは、例えば素子数２０４８〜８１９２素子のものが用いられる。この素子数は、被検査物５０の幅、走行速度、分解能、設置スペースなどに応じて、適切な素子数、速度（例えば、データレート、スキャンレート等）のものが所定の台数分使用される。また、ラインセンサは、ライン状照明装置から照射された光が被検査物５０を透過した透過光を受光する。ラインセンサによる透過光の受光は、被検査物５０が搬送方向に搬送された状態において行なわれる。ラインセンサは、被検査物５０の表面の色調の濃淡に応じた電気信号（欠陥データ）を欠陥検出部１２に出力する。言い換えると、ラインセンサは、被検査物５０の走行方向に対して直交する方向におけるライン（以下、検査ライン）単位で、被検査物５０の表面の光強度分布に応じた電気信号を出力する。ラインセンサとしては、例えば、ＣＭＯＳ（相補型ＭＯＳ）カメラ、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラが挙げられる。

【0014】

撮像部１１のライン状照明装置は、被検査物５０の裏面側に配置され、撮像部１１のラインセンサは、被検査物５０の表面側に配置される。ここでは、被検査物５０を透過した透過光をラインセンサによって受光する場合について説明するが、ライン状照明装置を被検査物５０の表面側に配置し、ライン状照明装置からの光が被検査物５０によって反射された反射光をラインセンサによって受光する構成とすることもできる。

【0015】

欠陥検出部１２は撮像部１１のラインセンサと接続される画像処理用コンピュータ及び画像ボードから構成され、ラインセンサから得られる画像データに基づいて被検査物５０の欠陥に関して検出を行なう。この欠陥検出部１２は、例えば、２値化部、ランレングス符号化部、及び連結性処理部を含んで構成されている。欠陥検出部１２は、撮像部１１のラインセンサから入力された欠陥データを予め決められた閾値に基づいて２値化を行い、欠陥データの圧縮後、連結性処理を行い、欠陥の特徴量（欠陥の形状の特徴を表す情報。例えば欠陥の周囲長、面積、幅、長さ、縦横比、面積率）を測定する。この欠陥検出部１２として、株式会社メック製の画像処理装置ＬＳＣ−６０００を使用することができる。

【0016】

ロータリエンコーダ１３は、自身が有する測定部の車輪を、主に搬送ロールに接触させて、搬送ロールの回転数に基づいて検査長を測定する。この搬送ロールは、被検査物５０を搬送方向に搬送する。ここで、検査長は、被検査物５０のＹ軸方向において検査開始位置からの距離を表す。

【0017】

膜厚センサ１４は、ロボット１５により被検査物の搬送方向に対して直交方向に搬送されることで、被検査物５０の幅方向において往復移動する。膜厚センサ１４の移動範囲は検査部１７で得られた製品幅に応じて決まる。この製品幅は、撮像部１１から得られた撮像結果が欠陥検出部１２においてデータ解析されることで、被検査物５０の両端の位置を検出することができる。
この膜厚センサ１４は光源からの光を被検査物５０に対して照射する光ファイバを有している。膜厚センサ１４は、この光ファイバから照射された光が被検査物５０の表面や被検査物５０の積層構造における各層において反射されることで、この反射光を入射用プローブヘッドの受光部によって受光する。この受光された光は、光ファイバを介して膜厚測定部１６に入射される。

【0018】

ロボット１５は、被検査物５０の幅方向に沿う方向（搬送方向に直交する方向）に沿って設けられた直線状のガイドレールと、このガイドレールに沿って移動する移動台とを有しており、検査部１７からの制御信号に従って、移動台を移動させる。このロボット１５は、例えば、一軸のロボットである。移動台には、膜厚センサ１４が載置されており、ガイドレールに沿って被検査物５０の幅方向に対して膜厚センサ１４を往復移動させる。この実施形態において、ロボット１５は、被検査物５０の搬送方向において、撮像部１１の下流側に配置される場合について説明するが、撮像部１１に対して上流側となるように配置してもよい。

【0019】

膜厚測定部１６は、分光方式の膜厚測定装置である。光源には可視光のハロゲンが使用され、膜厚センサ１４の光ファイバに対して光を出射する。また、膜厚測定部１６は、光ファイバから出射され被検査物５０から反射した光を、膜厚センサ１４の入射用プローブヘッドを介して入射し、この入射光を分光し、膜厚測定を行う。この場合、膜厚測定部１６は、可視光の反射を利用する膜厚測定装置であるため、透明フィルム及び透明のコーティング層のみの測定となるが、被検査物５０が複数の層から構成されていたとしても、層毎の膜厚測定が可能である。
この膜厚測定部１６は、被検査物５０の厚みを測定する膜厚センサ１４を被検査物５０の幅方向に移動させつつ、被検査物５０の厚みを測定する。

【0020】

検査部１７は、ロータリエンコーダ１３から得られるエンコーダ値に基づいて、被検査物５０を搬送方向に搬送した距離を算出し、ｙ座標の座標値を得る。
また、検査部１７は、膜厚測定を行なわせる指示を表す制御信号と膜厚測定部１６をロボット１５に出力する。検査部１７は、この制御信号に応じて膜厚測定部１６から得られた膜厚情報に対し、当該制御信号を出力した際のロボット１５のＸ軸方向における座標位置ｘと、当該制御信号を出力した際のロータリエンコーダ１３から得られたエンコーダ値とからなる座標（ｘ，ｙ）を対応付けて記憶する。ただし、ここでは、対応付けして記憶する座標については、後述する座標の補正を行なう。

【0021】

検査部１７は、欠陥検出部１２によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の被検査物における位置を表す第１座標とを含む欠陥検査結果と、膜厚測定部１６によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された被検査物における位置を表す第２座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、欠陥検出結果と膜厚測定結果とが、被検査物５０に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成する。
検査部１７は、得られた検査結果を表示装置の画面上に出力する。この表示装置は、検査部１７が有するようにしてもよいし、外部に液晶表示装置等のディスプレイが接続されてもよい。また、この出力は、画面上への表示だけでなく、電子データの出力や、印刷であってもよい。

【0022】

検査部１７は、欠陥検出部１２から出力される欠陥検査結果と、膜厚測定部１６から出力される膜厚情報と、膜厚測定時のロボット位置（ｘ，ｙ）とを取得する。
検査部１７は、撮像部１１で検出した欠陥中心の座標を（Ｘ、Ｙ）とし、ロボット１５（膜厚センサ１４）の座標を（ｘ、ｙ）とした場合は、以下の様に座標の補正を行なう。
ロボット１５（膜厚センサ１４）のｘ座標は、ロボット１５のＸ軸方向における原点を０とし、撮像部１１のＸ座標における製品端（製品始点端）をＷ_０＝０ｍｍとした場合、ロボット１５（膜厚センサ１４）のｘ座標（製品端Ｗ_０＝０ｍｍに対応するロボット１５のｘ座標）は、ｘ＝Δｘｍｍとなる。そのため、検査部１７は、ロボット１５（膜厚センサ１４）のｘ座標を、Ｘ＝ｘ−Δｘに基づいて求める。
膜厚センサ１４のｙ座標は、撮像部１１のＹ座標からＬｍｍ離れているとした場合、膜厚センサ１４の現在の位置からＬｍｍのオフセット処理を行い、撮像部１１との座標ズレを補正する。そのため、検査部１７は、ロボット１５（膜厚センサ１４）のｙ座標を、Ｙ＝ｙ−Ｌ（ｙ＝Ｙ＋Ｌ）に基づいて求める。ここで、Ｌは、撮像部１１と膜厚センサ１４との距離を表す。
検査部１７は、このような座標の補正を行なうことで、膜厚センサ１４の座標（ｘ，ｙ）を、撮像部１１の座標（Ｘ，Ｙ）に一致させる。この欠陥検査結果には、欠陥が検出された被検査物５０の座標を表すＸ軸方向における座標Ｘと、Ｙ軸方向における座標Ｙと、欠陥検査の結果が含まれる。

【0023】

次に示す表１は、上述した欠陥検査装置１において検査する場合に用いられる機器や被検査物５０の実施例を説明する表である。この表において、実施例を説明したが、これに限られるものではなく、種々の機器や被検査物５０を適用することが可能である。

【0024】

【表1】

【0025】

図２は、図１における欠陥検査装置１の膜厚測定と欠陥検出の処理の流れ(検査開始から膜厚測定の一回目の往路)を説明するフローチャートである。
ステップＳ１１：検査部１７は、欠陥検査を開始する。ここでは、検査部１７は、欠陥検査の開始時において、被検査物５０のＹ座標の値がＹ＝０としてリセットし、被検査物５０が搬送ロールによって搬送される距離をロータリエンコーダ１３から得られるエンコーダ値に基づいて測定する。リセットするタイミングとしては、例えば、検査開始ボタンによる検査開始信号が入ったタイミングで行う。
また、検査部１７は、検査開始時において、撮像部１１及び欠陥検出部１２を介して得られる、被検査物５０の撮像結果を基に、被検査物５０の幅方向における両端を検出することで、被検査物５０の検査幅（製品幅に対応）Ｗを測定する。これに基づいて、検査部１７は、製品端Ｗ_０のＸ座標（Δｘ）を求め、Ｘ＝０とする。

【0026】

ステップＳ１２：ロボット１５は、検査部１７から検査開始の制御信号を受信すると、検査幅Ｗの測定結果に基づいて、その検査幅Ｗに対応したＸ軸方向の範囲（ｘ＝Δｘ＋Ｄ〜Δｘ＋Ｗ−Ｄ）において、往復移動をする。ここで距離（製品端との間隔）Ｄは、Ｘ軸方向における製品端の一端（欠陥開始の基準となる製品端）の座標から、実際に膜厚測定（欠陥検査）が開始される位置を表す座標までの距離である。
ここでは、ロボット１５は、膜厚センサ１４を搭載して移動するにあたり、膜厚センサ１４の測定位置が、検査幅Ｗに対応したＸ軸方向の範囲（ｘ＝Δｘ＋Ｄ〜Δｘ＋Ｗ−Ｄ）に対応するように往復移動する。

【0027】

ステップＳ１３：検査部１７は、膜厚測定部１６に測定を行なわせる指示を表す制御信号を出力する。膜厚測定部１６は、検査部１７からの制御信号に基づいて、膜厚センサ１４から得られた結果を基に膜厚測定を行う。

【0028】

ステップＳ１４：検査部１７は、膜厚測定部１６に制御信号を出したときのロボット位置（測定位置（ｘ座標））とロータリエンコーダ１３のエンコーダ値に応じたｙ座標を取得する。膜厚測定部１６は、膜厚センサ１４から得られた値に基づく膜の厚さの測定結果と、その膜の厚さを測定した被検査物５０における座標を表す座標（ｘ、ｙ）とを含む膜厚情報を検査部１７に出力する。

【0029】

ステップＳ１５：検査部１７は、内部又は外部に設けられた表示装置の画面上に検査マップをリアルタイムで出力する。ここでは、検査部１７は、欠陥検査結果と膜厚測定結果を検査マップ上に表示する。

【0030】

ここでは、検査部１７は、欠陥検出部１２から得られた、欠陥検査の結果とその欠陥検査が行なわれた座標位置と、膜厚測定部１６から出力された膜厚情報に含まれる座標とを基に、欠陥検査の結果と膜厚の測定結果とを同じ検査マップ上に重ねて表示を行う。重ねて表示を行なうにあたり、検査部１７は、座標の補正を行なう。
ここで、膜厚センサ１４の座標（ｘ、ｙ）は、
Ｘ＝ｘ−Δｘ、Ｙ＝ｙ−Ｌ
の式に基づいて算出することで、座標位置の補正を行い、撮像部１１において欠陥検査の結果の（Ｘ、Ｙ）座標系に対応する位置となるようにする。

【0031】

図３は、上述した実施形態における検査部１７と膜厚測定部１６の制御タイミングを示す図である。横軸は時間の結果を表し、縦軸は欠陥検査装置１内の各部又は制御項目を表す。
時刻Ｔ１において、欠陥検査が開始されると、検査部１７は、この検査開始タイミング（検査開始）において、被検査物５０の製品幅（検査幅）の測定（検査幅測定）を行う。
被検査物５０の製品幅の測定が完了すると、この測定完了の時刻Ｔ２において、ロボット１５による移動（ロボット移動）を行なわせ、膜厚測定開始位置（撮像部基準側の製品端）に移動させる。また、ロボット１５が膜厚測定開始位置への移動が完了した時刻Ｔ３において、膜厚測定部１６は、ロータリエンコーダ１３から得られる信号に基づいて、測定間隔（３０ｍｍ）のカウントを始める。この測定間隔は、Ｙ軸方向における距離（被検査物５０が搬送された距離）である。この測定間隔（３０ｍｍ）のカウントは、ロボット１５が、被検査物５０の一端側から他端側に到達するまでの間において所定回数（３８回）だけ行う。例えば、製品幅が３８０ｍｍであり、ｘ方向測定間隔が１０ｍｍであるとした場合には、所定回数として３８回行なう。

【0032】

また、検査部１７は、時刻Ｔ３において、膜厚測定部１６に膜厚測定要求の制御信号を出力する。膜厚測定部１６は、時刻Ｔ３において、この制御信号に基づき、膜厚測定を開始し、膜厚データ解析を行なう。検査部１７は膜厚測定要求の制御信号を出力した時点におけるロボット１５の幅方向における位置（ｘ座標）とロータリエンコーダ１３から得られるエンコーダ値のｙ座標を取得する。検査部１７は、撮像部１１と膜厚センサ１４とのそれぞれの座標における位置の補正は、Ｘ＝ｘ−Δｘ、Ｙ＝ｙ−Ｌの式に基づいて算出する。膜厚測定部１６での膜厚データ解析が終了した時刻Ｔ４において、膜厚測定部１６は、検査部１７に対し、膜厚データの解析結果として得られる膜厚の測定結果を膜厚データとして送信する（膜厚情報送信）。また、ロボット１５をｘ座標における次の膜厚測定位置に移動させる（ロボット移動）。

【0033】

検査部１７は、時刻Ｔ３における測定間隔の測定を開始してから所定の測定間隔（３０ｍｍ）が到来したことをロータリエンコーダ１３からのエンコーダ値に基づいて検出すると、この測定間隔が到来したことを検出したタイミングである時刻Ｔ３’において、膜厚測定部１６に対して、膜厚測定要求の制御信号を出力し、膜厚測定部１６に膜厚測定と膜厚データ解析を行なわせる。膜厚測定部１６は、時刻Ｔ３’において、この制御信号に基づき、膜厚測定を開始し、膜厚データ解析を行なう。ここのタイミングにおいて膜厚の測定が行なわれるＸ方向における位置は、前回の測定を行なったＸ方向における位置から１０ｍｍだけ被検査物５０のＸ軸方向における他端側へ移動した位置である。

【0034】

検査部１７は、膜厚測定要求の制御信号を出力した時点（時刻Ｔ３’）におけるロボット１５の幅方向における位置（ｘ座標）とロータリエンコーダ１３から得られるエンコーダ値のｙ座標を取得する。検査部１７は、撮像部１１と膜厚センサ１４とのそれぞれの座標における位置の補正は、Ｘ＝ｘ−Δｘ、Ｙ＝ｙ−Ｌの式に基づいて算出する。
膜厚測定部１６は、膜厚データ解析が終わったタイミングである時刻Ｔ４’において検査部１７に膜厚データを送信し、ロボット１５をＸ軸方向における次の膜厚測定位置に移動させる。また、時刻Ｔ３’から時刻Ｔ４’（時刻Ｔ３’’から時刻Ｔ４’’）における処理を、その後も、膜厚センサ１４が被検査物５０のＸ軸方向における検査開始位置（撮像部１１の検査開始基準側の端部）に対応する一端側の反対側である他端側に到達するまで繰り返し行う（例えば、測定間隔のカウント数が３８回に到達するまで行なう）。膜厚センサ１４が、被検査物５０のＸ軸方向における検査開始位置と反対である他端側端まで膜厚の測定が完了すると、膜厚測定部１６は、ロボット１５を被検査物５０のＸ軸方向における検査開始位置（撮像部１１の検査開始基準側の端部）に移動させる。

【0035】

言い換えると、時刻Ｔ３から時刻Ｔ３’’までの間において、Ｘ軸方向における膜厚の測定は、３８回行なわれる。膜厚測定の１回あたりにおいてＹ軸方向に搬送される被検査物５０の距離は３０ｍｍであるため、時刻Ｔ３から時刻Ｔ３’’までの間において、ロボット１５は、Ｘ軸方向において、１０ｍｍ×３８回であるため３８０ｍｍ進み、被検査物５０は、Ｙ軸方向において、３０ｍｍ×３８回＝１１４０ｍｍ進む。

【0036】

ここで、測定間隔のカウントが終了する時刻Ｔ３’’から次の測定間隔のカウントが開始される時刻Ｔ３’’’までの被検査物５０が搬送方向に搬送される搬送距離（被検査物５０の他端側に到達したロボット１５が、被検査物５０の一端側に戻るまでの間に被検査物５０が搬送方向に搬送される搬送距離）は、１５０ｍｍである。
また、この実施形態においては、被検査物５０のＸ軸方向の幅が３８０ｍｍである場合、被検査物５０のＸ軸方向における他端側に到達したロボット１５が被検査物５０のＸ軸方向における一端側（撮像部１１の検査開始基準側）に戻るまでの移動時間は１．５ｓｅｃである。

【0037】

そのため、被検査物５０の搬送速度５ｍ／ｍｉｎである場合、ロボット１５が戻ってくるまでの移動時間１．５ｓｅｃにおいて、被検査物５０は、Ｙ軸方向に１２５ｍｍ搬送される。そのため、この実施形態において、測定間隔（３０ｍｍ）のカウントが３８回終わった時刻Ｔ３’’から次の膜厚の測定を開始する時刻Ｔ３’’’までの被検査物５０のＹ軸方向における搬送距離は、余裕をもって１５０ｍｍとした。すなわち、ロータリエンコーダ１３のエンコーダ値に基づいて、被検査物５０がＹ軸方向に１５０ｍｍ搬送される間に、膜厚センサ１４は、被検査物５０の他端側から一端側に戻り、その後、次の膜厚の測定が開始されるまで待機する。

【0038】

次に、膜厚測定部１６は、時刻Ｔ３’’’において、ロータリエンコーダ１３からのエンコーダ値に基づいて、Ｙ軸方向における測定間隔（３０ｍｍ）のカウントを始める。また、同じく時刻Ｔ３’’’において、検査部１７から膜厚測定部１６に膜厚測定要求の制御信号を出力し、この制御信号を受けて、膜厚測定部１６は、膜厚測定と膜厚データ解析を行う。検査部１７は、この膜厚測定要求の信号を出した時点における被検査物５０の座標（ｘ、ｙ）を取得する。

【0039】

時刻Ｔ３から時刻Ｔ４（または時刻Ｔ３’から時刻Ｔ４’、時刻Ｔ３’’から時刻Ｔ４’’、または時刻Ｔ３’’’から時刻Ｔ４’’’）までは、膜厚測定部１６の測定時間と膜厚データ解析にかかる解析時間に依存する。
例えば、膜厚測定部１６が１回（Ｘ軸方向における１箇所）の膜厚測定を行う時間は３ｍｓｅｃ、膜厚データ解析を行う時間は約１００ｍｓｅｃ、ロボット移動時間（ｘ方向測定間隔１０ｍｍの場合）は５０ｍｓｅｃとなるため、Ｔ３からＴ３’までで必要な時間は約０．２ｓｅｃ（＝１５３ｍｓｅｃ）となる。検査対象の搬送速度５ｍ／ｍｉｎの場合は０．２ｓｅｃで１７ｍｍ搬送する。すなわち、膜厚測定部１６がＸ軸方向における１箇所の測定を行なう間に、被検査物５０がＹ軸方向に搬送される距離である搬送距離は、１７ｍｍである。そのため、測定間隔は余裕をもって３０ｍｍとした。そのため、被検査物５０がＹ軸方向に３０ｍｍ搬送される間に、１箇所の膜厚測定が完了する。

【0040】

図４、図５は、上述した実施形態における膜厚測定の一例を示す図である。
膜厚測定部１６は、欠陥検査装置１が測定した検査幅（ロボット１５が被検査物５０のＸ軸方向における一端側から他端側まで移動する距離）に対応するロボット移動幅９において、ロボット１５が１往復する間に、往路において被検査物５０のＸ軸方向における他端側まで到達するまで膜厚測定部１６が移動と停止を繰り返して測定を行ない、その後、被検査物５０のＸ軸方向における一端側に戻る。
膜厚センサ１４の測定は、Ｘ軸方向における膜厚測定位置（始点位置）１０１から膜厚測定位置（終点位置）１０３の往路のみ行い、復路では膜厚測定位置（中間）１０２では停止せずに（膜厚の測定を行なわずに）膜厚測定位置（始点位置）１０１まで戻る。ｘ方向における膜厚を測定する測定間隔Ａは、任意で設定されてもよい。なお、ロボットゼロ位置１５ａと膜厚測定位置（始点位置）１０１との間において、膜厚センサ１４の測定は行なわない。

【0041】

この実施形態においては、製品端Ｗ_０から製品端（製品終点端）Ｗ₁までの幅（Ｘ軸方向の距離）が３８０ｍｍである被検査物５０の膜厚測定を行った。膜厚測定位置（始点位置）１０１は製品端Ｗ_０から５ｍｍ（距離Ｄ）、ｘ方向測定間隔Ａは１０ｍｍ間隔で設定を行い、一回の往復でＸ軸方向において３８回の膜厚測定を行った。
膜厚センサ１４は、連続シート状物（被検査物５０）がＹ軸方向に搬送されている間において、幅方向に移動しつつ測定する。そのため、膜厚を１回あたりに測定する検査対象上の測定エリア１３１は、測定毎に斜め方向にずれていく。
測定エリア１３１のＸ軸方向における幅Ｂは、膜厚センサ１４のファイバ径に依存する。また、測定エリア１３１のＹ軸方向における膜厚測定長さＣは、膜厚測定部１６の露光時間と被検査物５０の搬送速度に依存する。また、測定エリアのＹ軸方向における測定開始から、次の測定エリアのＹ軸方向における測定開始位置までの距離である測定間隔Ｅは、図４を用いて説明したように、測定間隔の３０ｍｍとなる。

【0042】

図６、図７は、図４及び図５において説明した実施形態における膜厚測定の結果を表す膜厚マップ表示の一例を示す図である。
図４及び図５に示す測定方法に従い、膜厚センサ１４の軌道１５１（往路）では膜厚測定を行い、膜厚測定部の軌道１５２（復路）では膜厚測定を行っていない。
図６において、膜厚マップは、膜厚正常部の領域における膜厚を２．１μｍ〜１．９μｍとした場合、膜厚が１．９μｍ以下の測定がされた場合は、測定されたエリアを白色として表示される（膜厚表示Ｆ）。また、膜厚が２．１μｍ以上の測定がされた場合は、測定されたエリアを黒色として表示される（膜厚表示Ｇ）。膜厚正常部（２．１μｍ〜１．９μｍ）は、灰色として表示される（膜厚表示Ｈ）。そして、膜厚測定部１６は、膜厚測定結果をこの測定された膜厚に応じた表示態様にする表示ルールに従い、例えば、縦軸を被検査物５０のＸ軸方向、横軸を被検査物５０のＹ軸方向とし、Ｘ軸とＹ軸において対応する位置（ｘ，ｙ）に、膜厚の測定結果に応じた表示態様で表示した膜厚マップ１４１を表示する。
ここで、膜厚正常部は、被検査物５０として用いられるシート状の製品によって決まるものであり、例えば、その検査対象であるシート状の製品の仕様（あるいは規格）において正常として定められた値の範囲に基づいて決まる。

【0043】

図７において、膜厚マップ１４１は、Ｘ軸方向における測定開始位置のｘ位置を中心とした幅Ｉと、測定開始位置から次の測定までの距離Ｊで囲まれる領域を膜厚表示ブロック１６１とし、検査マップ上に、それぞれの膜厚表示ブロックをＸ軸方向及びＹ軸方向に測定された座標に従って連続的に並べて表示される。幅Ｉは、ｘ方向測定間隔（図５の符号Ａ）と同じとする。また、距離Ｊは、等間隔である。
膜厚表示ブロック１６１では測定エリア開始位置から次の測定エリア開始位置との境界に位置するように測定エリア１３１が表示されるが、測定エリア１３１が膜厚表示ブロック１６１の中心（幅Ｉ及び距離Ｊのそれぞれの中心に対応する位置）となるように表示することも可能である。
この膜厚マップ１４１は、欠陥検出部１２の検査結果と、膜厚測定部１６の測定結果とに基づいて、検査部１７によって生成され、表示される。

【0044】

図８は、上述した実施形態における検査部１７が生成する欠陥検出マップの一例を示す図である。
検査部１７は、撮像部１１のラインセンサから得られた画像データをもとに欠陥検出処理を行い、欠陥検出マップ１７０を生成し、表示装置の画面上に表示する。欠陥検出マップ１７０において表示される欠陥の位置とその種別を表す記号は、検査部１７の条件にて設定可能となる。
例えは、以下の通りに設定可能である。
異物欠陥が検出された場合は、「○」として表示する。この図においては、この欠陥が検出された位置に対応させて、異物欠陥１８１が「○」によって表示される。異物欠陥とは、例えば、異物が被検査物に付着した状態である欠陥である。
ムラ欠陥が検出された場合は、「☆」として表示する。この図においては、この欠陥が検出された位置に対応させて、ムラ欠陥１８２が「☆」によって表示される。ムラ欠陥とは、被検査物５０の表面において平坦にならず凸状または凹状の形状が生じた欠陥である。
スジ欠陥が検出された場合は、「□」として表示する。この図においては、この欠陥が検出された位置に対応させて、スジ欠陥１８３が「□」によって表示される。スジ欠陥とは、搬送方向と平行に連続して生じたムラ、汚れである。
検査部１７は、この表示条件をもとに、検出された欠陥の種別に応じた記号を、その欠陥が検出された座標に対応する位置に表示された、欠陥検出マップ１７０を生成して表示する。

【0045】

図９、図１０は、上述した実施形態における欠陥検出結果と膜厚情報とを合わせた検査マップの一例を示す図である。図９は、被検査物５０の複数の層のうち第１層を表示している検査マップ２３の一例を表し、図１０は、被検査物５０の複数の層のうち第２層を表示している検査マップ２４の一例を表す図である。
ここで、被検査物５０が複数の層によって構成されている場合、欠陥検査装置１は、層毎に膜厚測定を行なうことができる。例えば、被検査物５０が複数の層によって構成されている場合としては、基材フィルムの一方側の主面（例えば表面）にコーティング層が形成されており、基材フィルムの他方側の主面（例えば裏面）にコーティング層が形成されている場合がある。このような場合、カーブフィッティング法またはＦＦＴ（高速フーリエ変換）を行なって、被検査物５０からの反射光（または透過光）のスペクトルを解析することで、各層の膜厚を測定することができる。この場合、膜厚マップは、各層毎に得られる。そして、例えば被検査物５０の複数の層のうち第１層を表示している検査マップ２３（図９）と第２層を表示している検査マップ２４（図１０）を比較すると、ムラ欠陥及びスジ欠陥がどちらの層で発生しているかが容易に判定可能となる。
このような層毎の検査マップは、例えば、検査部１７に設けられた入力装置（キーボードやマウス）を介して入力される指示に従い、どの層を表示するかを選択することができる。具体的には、特定の層の検査マップを選択して表示してもよいし、多数の層のうち任意の層を２つ以上選択して並べて表示するようにしてもよい。

【0046】

図９において、検査マップ２３は、第１層における膜厚マップと欠陥検出マップとが重ねられた場合の結果マップである。図１０において、検査マップ２４は、第２層における膜厚マップと欠陥検出マップとが重ねられた場合の結果マップである。図９、図１０において、縦軸が被検査物５０のＸ軸方向に対応し、横軸が被検査物５０のＹ軸方向に対応する。膜厚異常で発生するムラ欠陥（ムラ欠陥１８２、☆のマーク）及びスジ欠陥（スジ欠陥１８３、□のマーク）の座標が、膜厚測定で得られた膜厚異常のエリア内に位置する場合は、検査マップ２３、検査マップ２４により確認が容易となる。また、座標が一致した場合は「膜厚異常欠陥」として分類可能となる。
ここで、検査部１７は、座標が一致したか否かの判断は、例えば、欠陥検査結果における欠陥の座標の所定の範囲内に、膜厚情報の座標がある場合に、座標が一致したと判断してもよい。
図９において、第１層において膜厚が他のエリアと異なるエリアについては、当該他のエリアの表示態様とは異なる表示態様にて表示される。すなわち、図１０において、第２層においては、いずれのエリアにおいても膜厚は規格の範囲内に収まっていることがわかるが、図９において、第２においては、ムラ欠陥１８２があるエリアの膜厚が他のエリアよりも薄くなっていることがわかり、スジ欠陥１８３があるエリアの膜厚が他のエリアよりも厚くなっていることがわかる。

【0047】

以下、図面を参照しながら本発明の第２の実施形態について説明する。
第２の実施形態における欠陥検査装置１の構成は、第１の実施形態における構成とはほぼ同じであるが、撮像部１１より下流に設置されたロボット１５は、Ｘ軸方向において一定間隔で膜厚を測定するのではなく、欠陥検出部１２によって欠陥が検出されたことに基づいて、その欠陥が検出された座標について、膜厚を測定する。すなわち、測定間隔Ａは適用しない。

【0048】

図１１は、第２の実施形態における膜厚測定と欠陥検出の処理ステップを示す図である。
ステップＳ２１において、検査部１７は、欠陥検出を開始し、Ｙ軸方向における座標Ｙをリセット（Ｙ＝０）する。また、検査部１７は、検査対象の検査幅（製品幅）Ｗを測定し、製品端Ｗ_０の場合におけるＸ座標（Δｘ）を求め、Ｘ＝０とする。
ステップＳ２２において、検査部１７は、撮像部１１によって得られた撮像結果に基づいて、欠陥検出部１２が欠陥を検出した場合に、この結果が、膜厚（ムラ・スジ等）に分類される欠陥であるか否かを判定する。検査部１７は、欠陥検出部１２の検査結果に基づいて、膜厚に関する欠陥があることが分類された場合（膜厚に関する欠陥を検出した場合）、欠陥が検出されたＸ座標に移動する制御信号をロボット１５に出力する。ロボット１５は、この制御信号に従い、指定されたＸ座標（ｘ＝Ｘ＋Δｘ）に移動する。

【0049】

ステップＳ２３において、検査部１７は、膜厚測定を行なう直前における、被検査物５０の搬送速度を測定し、膜厚測定長さＣ（Ｃ＝搬送速度×測定時間）を算出する。搬送速度は、例えば、ロータリエンコーダから得られるパルスを基に測定する。また、検査部１７は、欠陥が検出されたＹ座標をロータリエンコーダ１３のエンコーダ値に基づいて、ｙ＝Ｙ＋Ｌ−Ｃ／２の位置を算出し、その座標ｙにおいて膜厚センサ１４に測定を行なわせる制御信号を出力する。この制御信号を受け、膜厚センサ１４は、膜厚測定を行う。

【0050】

ステップＳ２４において、膜厚測定部１６は、膜厚センサ１４によって測定を行なって得られた膜厚情報を検査部１７に出力する。ステップＳ２５において、検査部１７は、欠陥検出結果に基づいて、結果マップに表示するとともに、膜厚測定部１６から送られてきた膜厚情報についても測定位置をもとに同じ結果マップ上に重ねて表示する。

【0051】

図１２は、第２実施形態の欠陥検査装置における膜厚測定部１６の制御タイミングを示す図である。
膜厚（ムラ・スジ等）に分類される欠陥を時刻Ｔ１において検出すると、検査部１７は、時刻Ｔ２において、ロボット１５に対し、欠陥が検出されたＸ座標の位置である座標Ｘ（ｘ＝Ｘ＋Δｘ）に移動をさせる。
時刻Ｔ２においてロボット１５が座標Ｘ（ｘ＝Ｘ＋Δｘ）に移動した後、膜厚測定を行うまでの間に、時刻Ｔ３において搬送速度を測定し、膜厚測定長さ（Ｃ＝搬送速度×測定時間）を算出する。そして、欠陥が検出された際のＹ座標をもとに、Ｙ＋Ｌ−Ｃ／２から求まる時刻Ｔ４において、検査部１７から膜厚測定部１６に膜厚測定要求の制御信号を出力し、膜厚測定部１６は、この制御信号に基づいて膜厚測定と膜厚データ解析を行う。
膜厚測定部１６は、膜厚データ解析が終わった時刻Ｔ５において、検査部１７に膜厚データを送信する。

【0052】

図１３、図１４は、第２の実施形態における撮像部１１と膜厚センサ１４の関係を示す図である。ここでは、膜厚測定部１６は、被検査物５０の測定対象部位について測定を行なう測定区間であって被検査物５０の搬送方向における測定区間の略中央に欠陥が位置するように、測定開始タイミングを搬送速度に応じて決定して測定する。
撮像部１１で膜厚（ムラ・スジ等）に分類される欠陥を検出した場合、その欠陥がロボット１５（膜厚センサ１４は、）に到達する前に欠陥のＸ座標に移動する（図１３）。ロボット１５（膜厚センサ１４は、）が移動した後、膜厚センサ１４は、欠陥到達まで待機し、Ｙ＋Ｌ−Ｃ／２から求まるタイミングで膜厚測定を行う（図１４）。これにより、例えば、ムラ欠陥１８２が検出された座標において、膜厚センサ１４が膜厚測定を行なうことができる。
上記の条件で膜厚測定することで、被検査物５０の搬送速度が変動しても目標欠陥の直上を膜厚測定することが可能となる。被検査物５０の搬送速度が変動する場合としては、例えば、被検査物５０の搬送開始直後における搬送速度の加速中であったり、被検査物５０の搬送終了直前における搬送速度の減速中であったり、搬送中に搬送速度を変更する指示があった場合などがある。

【0053】

図１５は、膜厚に分類される欠陥の位置と膜厚センサ１４によって測定が行なわれる範囲との関係を示す図である。図１５（ａ）において、搬送速度が所定の速度よりも遅い場合において、膜厚センサ１４によって測定される測定エリア１３１（いわゆる露光される被検査物５０の範囲）は、被検査物５０のＹ軸方向における距離Ｃ１の範囲である。そして、その距離Ｃ１の中央にムラ欠陥１８２が位置するように、ムラ欠陥１８２のＣ１／２だけ前の位置が膜厚測定の開始位置（符号２２１）として求まり（Ｙ＋Ｌ−Ｃ１／２）、この位置から測定が行なわれる。図１５（ｂ）において、搬送速度が所定の速度よりも早い場合において、膜厚センサ１４によって測定される測定エリア１３１（いわゆる露光される被検査物５０の範囲）は、被検査物５０のＹ軸方向における距離Ｃ２の範囲である。そして、その距離Ｃ２の中央にムラ欠陥１８２が位置するように、ムラ欠陥１８２のＣ２／２だけ前の位置が膜厚測定の開始位置（符号２２２）として求まり（Ｙ＋Ｌ−Ｃ２／２）、この位置から測定が行なわれる。
ここでは、露光時間を一定とした場合には、距離Ｃ１と距離Ｃ２では、搬送速度が速いため、距離Ｃ２の方が長い。

【0054】

図１６は、第２実施形態に欠陥検出と膜厚情報を合わせたマップ（検査マップ２５）の一例を示す図である。
図１３、図１４で得られた欠陥検出結果と膜厚情報とを結果マップに表示することで欠陥部位に膜厚異常が発生していることが容易に判断できる。また、欠陥検査結果において膜厚に欠陥があると分類された位置において、膜厚異常が測定された場合は「膜厚異常欠陥」として分類可能となる。結果マップ表示は、膜厚正常部が２．１μｍ〜１．９μｍである場合、膜厚が１．９μｍ以下として測定がされた座標は、測定された座標を含むエリアを白色として表示する（膜厚表示Ｆ）。膜厚が２．１μｍ以上として測定がされた場合は、測定された座標を含むエリアを黒色として表示する（図１６においては、黒色に表示される欠陥はない）。膜厚が正常値の範囲内（２．１μｍ〜１．９μｍ）である測定エリアは、灰色として表示される（符号Ｈ）。また、欠陥検出の表示は以下の通りに設定する。また、ここでは、欠陥検査結果として、異物欠陥１８１が記号〇によって表示され、ムラ欠陥１８２が記号☆によって表示され、スジ欠陥１８３が記号□によって表示されている。
ここで、膜厚測定位置を表す測定エリアを結果マップ上に表示する場合のサイズは、Ｘ軸方向における膜厚表示ブロック幅Ｋ、Ｙ軸方向における膜厚表示ブロック長さＭは、任意で設定可能である。また、膜厚測定位置のマップ表示は欠陥中心座標を中心とすることができる。

【0055】

以下、図面を参照しながら第３の実施形態について詳細に説明する。
図１７は、第３の実施形態における欠陥検査装置の構成を表す図である。この第３の実施形態において、第１（第２）の実施形態と同じ構成については、その説明を省略し、主に相違する点について説明する。この第３の実施形態において、第１（第２）の実施形態と相違する点は、撮像部１１の上流側に膜厚センサ１８、ロボット１９、膜厚測定部２０が設けられた点である。ここでは、ロータリエンコーダ１３は、Ｙ軸方向においてロボット１９と撮像部１１の間に位置する場合について図示しているが、撮像部１１と膜厚センサ１４、１８と同じ搬送速度の位置であればどこでもよい。

【0056】

図１８は、第３の実施形態における膜厚測定と欠陥検出の処理ステップを示す図である。
ステップＳ３１において、検査部１７は、欠陥検出を開始する。その際、Ｙ座標をリセットする（Ｙ＝０）。また、検査部１７は、検査対象の検査幅（製品幅）Ｗを測定し、製品端Ｗ_０を座標Ｘにおいて０としたときのｘ座標との差（Δｘ_１、Δｘ_２）を、ロボット１５（Δｘ_２）と、ロボット１９（Δｘ_１）について算出する。次に、ステップＳ３２において、検査幅Ｗの測定をもとに、ロボット１９（膜厚センサ１８）は、幅方向に（ｘ_１＝Δｘ_１＋Ｄ〜Δｘ_１＋Ｗ−Ｄ）の範囲を往復する移動を開始する。次に、ステップＳ３３において、検査部１７は膜厚測定部２０に測定する制御信号を出し、膜厚測定部２０は、検査部１７からの制御信号に基づいて、膜厚センサ１８によって、膜厚測定を行う。
ステップＳ３４において、検査部１７は、膜厚測定部２０に測定を行なわせる制御信号を出力した時点におけるロボット１９の位置（測定位置（ｘ_１座標））とエンコーダ値のｙ_１座標を、ロボット１９、ロータリエンコーダ１３から取得する。
膜厚測定部２０は、測定した膜厚情報を検査部１７に出力する。

【0057】

次にステップＳ３５において、検査部１７は、欠陥検出結果を結果マップに表示する。また、膜厚測定部２０から送信された膜厚情報も、測定位置をもとに同じ結果マップに重ねて表示する。
ここで、膜厚センサ１８の座標（ｘ_１、ｙ_１）は、
Ｘ＝ｘ_１−Δｘ_１、Ｙ＝ｙ_１＋Ｌ_１
に基づいて座標の補正を行い、撮像部１１の（Ｘ、Ｙ）座標と一致させる。ここで、Ｌ_１は、Ｙ軸方向における膜厚センサ１８から撮像部１１までの距離である。
次に、ステップＳ３６において、上記の測定結果に基づいて、「膜厚異常欠陥」に分類された欠陥があったと判定された場合、欠陥のＸ座標に移動する制御信号をロボット１５に出力し、ロボット１５は、欠陥が検出されたＸ座標（ｘ_２＝Ｘ＋Δｘ_２）に移動する。
検査部１７は、膜厚測定を行なう直前における、被検査物５０の搬送速度を測定し、膜厚測定長さＣ（Ｃ＝搬送速度×測定時間）を算出する。
また、検査部１７は、エンコーダ値から得られた欠陥のＹ座標をもとにｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２−Ｃ／２の位置で、膜厚センサ１４に膜厚測定を行なわせる制御信号を出力し、膜厚センサ１４は、この制御信号に基づいて膜厚測定を行う。ここで、Ｌ₂は、Ｙ軸方向における撮像部１１から膜厚センサ１４までの距離である。

【0058】

この第３の実施形態において、欠陥検出部１２と膜厚センサ１４の制御タイミングは図３と同じであり、欠陥検出部１２と膜厚センサ１８の制御タイミングは図１２と同じである。撮像部１１と膜厚センサ１４の関係は、図１３、図１４と同じである。

【0059】

次に、本発明における第４の実施形態について説明する。この第４実施形態における構成は、図１７の構成と同じであるが、一部の処理内容が異なる。
図１９は、第４の実施形態における膜厚測定と欠陥検出の処理ステップを説明する図である。
ステップＳ４１において、検査部１７は、欠陥の検出を開始し、Ｙ軸方向における座標Ｙをリセット（Ｙ＝０）する。また、検査部１７は、検査対象の検査幅（検査対象の製品幅）Ｗを測定し、製品端Ｗ_０の場合におけるＸ座標をＸ＝０としたときのｘ座標との差（Δｘ_１、Δｘ_２）を、ロボット１５（Δｘ_２）と、ロボット１９（Δｘ_１）について算出する。
ステップＳ４２において、検査幅Ｗの測定をもとに、ロボット１９（膜厚センサ１８）は、幅方向に（ｘ_１＝Δｘ_１＋Ｄ〜Δｘ_１＋Ｗ−Ｄ）の範囲を往復する移動を開始する。次に、ステップＳ４３において、検査部１７は、膜厚測定部２０に測定する制御信号を出し、膜厚測定部２０は、検査部１７からの欠陥検査装置からの制御信号により膜厚センサ１８によって、膜厚測定を行う。
ステップＳ４４において、検査部１７は、膜厚測定部２０に制御信号を出力したときのロボット１９の位置（測定位置（ｘ_１座標））とエンコーダ値のｙ_１座標をロボット１９、ロータリエンコーダ１３から取得する。
膜厚測定部２０は、測定した膜厚情報を検査部１７に出力する。

【0060】

次に、ステップＳ４５において、検査部１７は、欠陥検出結果を結果マップに表示する。また、膜厚測定部２０から送信された膜厚情報も、測定位置をもとに同じ結果マップに重ねて表示する。
ここで、膜厚センサ１８の座標（ｘ_１、ｙ_１）は、
Ｘ＝ｘ_１−Δｘ_１、Ｙ＝ｙ_１＋Ｌ_１
に基づいて座標の補正を行い、撮像部１１の（Ｘ、Ｙ）座標と一致させる。
次に、ステップＳ４６において、膜厚測定部２０にて「膜厚異常」が測定された場合、「膜厚異常」が測定されたＸ座標に移動する制御信号をロボット１５に出し、ロボット１５は、膜厚異常の欠陥が検出されたＸ座標（ｘ_２＝Ｘ＋Δｘ_２）に移動する。
検査部１７は、膜厚異常が発生したＹ座標をもとに、ｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２−Ｊの位置から膜厚測定を行なわせる制御信号を膜厚センサ１４に出力し、膜厚センサ１４は、検査部１７からの制御信号に基づいて、Ｘ座標（ｘ_２＝Ｘ＋Δｘ_２）の位置において膜厚測定を行う。この膜厚測定におけるＹ軸については、ｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２＋Ｊの位置まで等間隔で複数回行う。
したがって、膜厚センサ１４の測定間隔は、膜厚センサ１８の測定間隔よりも狭い範囲で細かく測定する。ここで、Ｊは、膜厚測定部２０が行なう膜厚測定のＹ軸方向において、測定位置から次の測定位置までの距離であり、この間、Ｘ軸における座標は変更しない。そのため、膜厚測定部２０にて「膜厚異常」が測定された場合には、その「膜厚異常」が発見されたＸ軸座標は同じにし、Ｙ軸方向における一定範囲内において等間隔で複数の膜厚測定を行なう。これにより、「膜厚異常」を測定したエリアを含む特定範囲内を細かく膜厚測定することができる。

【0061】

図２０は、第４の実施形態における欠陥検査装置と膜厚装置の制御タイミングを示す図である。
膜厚測定部２０で膜厚異常を測定したタイミングは時刻Ｔ１である。
時刻Ｔ２において、検査部１７からの制御信号に基づいて、ロボット１５が膜厚異常のＸ（ｘ_２＝Ｘ＋Δｘ_２）位置に移動する。検査部１７は、膜厚異常のＹ座標をもとにｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２−Ｊの時刻Ｔ３において、膜厚測定部１６に、膜厚測定を行なわせる制御信号を出力する。この制御信号を受け、膜厚測定部１６は、膜厚測定と膜厚データ解析を行う。さらに、この時刻Ｔ３において、測定間隔（３０ｍｍ）のカウントを始める。膜厚測定部１６において膜厚データ解析が終了した時刻Ｔ４において、膜厚測定部１６は、検査部１７に膜厚情報を送信する。
一方、測定間隔（３０ｍｍ）の時刻Ｔ３’（Ｔ３”）が到来すると、検査部１７は、膜厚測定部１６に膜厚測定要求の制御信号を出力し、膜厚測定部１６は、膜厚測定と膜厚データ解析を行う。
膜厚測定部１６での膜厚データ解析が終了した時刻Ｔ４’（Ｔ４”）において、膜厚測定部１６は、検査部１７に膜厚情報を送信する。測定間隔のカウントはｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２＋Ｊまで行う。これにより、ｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２−Ｊからｙ_２＝Ｙ＋Ｌ_２＋Ｊの範囲内において等間隔に膜厚測定が行なわれる。ここで、同じＸ座標位置にて膜厚測定部２０が欠陥検出結果として膜厚異常を連続で測定した場合は、膜厚異常が終息するまで（膜厚異常がなくなるまで）、検査部１７は、膜厚測定部１６に対する測定間隔のカウントを持続させることが可能である。
一方、膜厚測定部１６の測定タイミングに係わらず、膜厚測定部２０は、継続して膜厚測定を行っている。膜厚測定部２０の制御タイミングは、図３に示すタイミングと同様に行なう。

【0062】

図２１は、第４の実施形態における膜厚測定の結果である膜厚マップの一例を示す図である。
上述の第１の実施形態の測定条件を踏まえて、製品幅が３８０ｍｍであり、搬送速度を５ｍ／ｍｉｎとして測定を行なった場合、膜厚測定部２０では、測定開始位置（例えば第１測定位置３００）から次の測定位置（例えば第２測定位置３０１）までの距離Ｊは、１２９０ｍｍ（３０ｍｍ間隔で３８回の測定を行うと１１４０ｍｍとなり、測定終点から次の測定始点までのロボット移動時では１５０ｍｍの間隔は測定しないため合わせて１２９０ｍｍとなる。）となり、また、次の測定位置（例えば、第３測定位置３０２）までを合わせると２５８０ｍｍの距離となる。膜厚測定部２０によって膜厚異常が、第２測定位置３０１における膜厚表示ブロックの一部である分割膜厚表示ブロック３１０において測定された場合、その分割膜厚表示ブロック３１０の膜厚異常が測定されたＹ軸上の測定位置（第２測定位置３０１）を基準とし、Ｙ軸方向における前後の範囲（第１測定位置３００から第３測定位置３０２まで）を膜厚測定部１６によって細かく測定することができる。

【0063】

具体的には、膜厚測定部１６は、膜厚測定部２０で膜厚異常が検出された位置（第２測定位置３０１）から距離ＪをさかのぼったＹ座標（第１測定位置３００）から膜厚測定を開始し、膜厚測定部２０で膜厚異常が検出されなくなる位置を含む測定エリアが終了するまで膜厚測定を行う（ここでは、第３測定位置３０２まで）。
膜厚測定部２０では３回（第１測定位置３００、第２測定位置３０１、第３測定位置３０２の位置）しか測定できていないエリアを、膜厚測定部１６を用い、測定間隔を３０ｍｍとして測定した場合には、第１測定位置３００から第３測定位置３０２の位置まで、合計７６回測定することが可能となる。また、膜厚情報のマップ表示も膜厚測定部１６で測定した測定エリアは、膜厚測定部２０によって測定された測定エリアに比べて、より詳細に（短い間隔で）表示することが可能となる。例えば、膜厚測定部１６を用いずに膜厚測定部２０のみを用いて膜厚測定を行なった場合には、第２測定位置３０１から第３測定位置３０２に示す範囲について、膜厚異常として画面上に表示されるが、ここでは、膜厚測定部１６によって膜厚測定をさらに行ない、その測定結果も踏まえて膜厚情報を判定するため、例えば、規定よりも膜厚が薄い膜厚異常として測定された領域は、第２測定位置３０１から第３測定位置３０２までの測定エリアよりも狭い測定領域（分割膜厚表示ブロック群３２０）において、白色でマップ表示される。

【0064】

また、膜厚測定部１６に膜厚測定部２０とは違う多点膜厚装置（例えば、Ｃ１１２９５（浜松ホトニクス株式会社製））を適用した場合には、幅方向に複数点（２点〜１５点）を同時に測定することも可能となる。
図２２は、第４の実施形態において、多点膜厚装置を用いた場合における膜厚測定の結果である膜厚マップの一例を示す図である。この例においては、膜厚測定部１６として多点膜厚装置を用い、膜厚測定部２０によって幅方向の領域３３０において膜厚異常が測定された場合には、この幅方向の領域３３０に示す範囲において、多点膜厚装置（膜厚測定部１６）にて膜厚測定を行ない、Ｘ軸方向において複数箇所（図２２においては３箇所）を同時に測定することができる。これにより、膜厚測定部２０によって測定される測定エリアのＸ軸方向についてより細かく分割（ここでは３分割）し、その分割領域毎に膜厚測定をし、膜厚マップを作成することができる。

【0065】

上述した実施形態において、膜厚センサとして分光干渉法に基づいて、被検査物からの反射光のスペクトルを解析するようにしたので、被検査物に対して非接触で膜厚を測定することができる。これにより、タッチロールを利用する測定装置を利用すると、機械的に高さ方向の位置が変動しないことに起因して測定精度が低下することを回避することができる。

【0066】

また、上述の実施形態において、欠陥検査装置は、欠陥検出部が検出した膜厚欠陥（ムラ・スジ等）と膜厚測定部から得られた膜厚異常のエリアが一致した場合は、膜厚異常欠陥として分類することができる。
また、欠陥検査装置は、欠陥検出部が検出した膜厚欠陥（ムラ・スジ等）がどのコーティング層で発生しているかを分類できる。

【0067】

上述した実施形態における欠陥検査装置をコンピュータで実現するようにしてもよい。その場合、この機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでもよい。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよく、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）等のプログラマブルロジックデバイスを用いて実現されるものであってもよい。

【0068】

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

【符号の説明】

【0069】

１…欠陥検査装置、９…ロボット移動幅、１１…撮像部、１２…欠陥検出部、１３…ロータリエンコーダ、１４，１８…膜厚センサ、１５，１９…ロボット、１５ａ…ロボットゼロ位置、１６，２０…膜厚測定部、１７…検査部、２３，２４，２５…検査マップ、５０…被検査物、１０１…膜厚測定位置（始点位置）、１０２…膜厚測定位置（中間）、１０３…膜厚測定位置（終点位置）、１３１…測定エリア、１４１…膜厚マップ、１６１…膜厚表示ブロック、１５１…起動（往路）、１５２…軌道（復路）、１７０…欠陥検出マップ、１８１…異物欠陥、１８２…ムラ欠陥、１８３…スジ欠陥、２２１，２２２…測定開始位置、３００…第１測定位置、３０１…第２測定位置、３０２…第３測定位置、３１０…分割膜厚表示ブロック、３２０…分割膜厚表示ブロック群、３３０…幅方向の領域、Ａ…測定間隔、Ｂ…幅、Ｃ…膜厚測定長さ、Ｃ１，Ｃ２…距離（Ｙ軸方向における距離）、Ｄ…距離（製品端との間隔）、Ｅ…測定間隔、Ｆ…膜厚表示(正常部より薄い結果)、Ｇ…膜厚表示(正常部より厚い結果)、Ｈ…膜厚表示(正常部)、Ｉ…幅（膜厚表示ブロック幅，第１実施形態）、Ｊ…距離（膜厚表示ブロック長さ，第１実施形態）、Ｋ…膜厚表示ブロック幅、Ｌ…距離（撮像部と膜厚センサとの距離）、Ｌ_１…距離（膜厚センサと撮像部との距離）、Ｌ₂…距離（撮像部と膜厚センサとの距離）、Ｍ…膜厚表示ブロック長さ、Ｗ…検査幅（検査対象の製品幅）、Ｗ_０…製品端（製品始点端）、Ｗ₁…製品端（製品終点端）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】