特許6830992基板上に金属ホウ炭化物層を製造する方法

発明の名称　基板上に金属ホウ炭化物層を製造する方法

出願人　エーリコン・トレイディング・アーゲー・トリューバッハ　（識別番号 507269681）

　　　　特許公開件数ランキング 6758 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5543 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6830992

公報発行日　2021年2月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6830992

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